CN105044189A - 一种新型极限电流型片式氧传感器的制备方法 - Google Patents

Abstract

一种新型极限电流型片式氧传感器的制备方法，其特征在于依次包括以下工序：制备氧化锆流延基片工序，制备挥发性流延基片工序，制备扩散障碍层流延基片工序，去边落片工序，冲孔工序，冲压填充挥发片工序，丝网印刷工序，叠片工序，真空封塑工序，温等静压工序，分切工序，烧结工序，检测工序；本发明制备工序简单，生产效率很高，稳定性好，采取该制备方法制备出得氧传感器结构紧凑坚实，反应灵敏，高温下也可以稳定的工作。

Description

一种新型极限电流型片式氧传感器的制备方法

技术领域

本发明涉及一种极限电流型片式氧传感器的制备方法，具体说是一种结构合理、工艺简单、成品率高且产品性能稳定的新型极限电流型片式氧传感器的制备方法。

背景技术

目前二氧化锆基传感器主要包括氧传感器和NOx传感器，用于空燃比控制的氧传感器按工作原理分类，可分为三类：(1)浓差电池型；(2)电化学泵型；(3)氧化物半导体型。在三种氧传感器中，只有电化学泵型氧传感器用于稀薄燃烧系统中，电化学泵型氧传感器又分为极限电流型氧传感器和宽域氧传感器。

丰田公司1984年首次应用的稀薄燃烧控制系统。该系统的目的是，提高燃料的利用率，在保证有害气体的排放量低于规定值的基础上。控制空燃比在一个有限的范围内(14.7≤A/F≤23)是非常必要的，因为通过增大空燃比，在稀薄燃烧的范围(A/F>20)燃烧，可以使NOx的浓度降低到允许范围之内。但如果继续增大空燃比容易使发动机熄火，引起输出功率下降，同时由于不充分燃烧，污染反而更加严重。为了控制空燃比，在稀薄燃烧系统中，也要用到氧传感器来控制发动机废气的空燃比。而它利用的是稀薄空燃比传感器(即极限电流型氧传感器)。

目前国内极限电流型氧传感器还没有摆脱长期依赖进口的状况，主要是被日本的产品所垄断，日本极限电流型氧传感器主要采用氧化铝和氧化锆流延片叠合的制造技术，本发明是基于二氧化锆流延片为陶瓷主体进行设计的一种极限电流型氧传感器的制备方法。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种结构简单、工艺稳定、性能好，成本低的新型极限电流型氧传感器的制备方法。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

一种新型片式氧传感器的制备方法，其特征在于依次包括以下工序：制备氧化锆流延基片工序，制备挥发性流延基片工序，制备扩散障碍层流延基片工序，去边落片工序，冲孔工序，冲压填充挥发片工序，丝网印刷工序，叠片工序，真空封塑工序，温等静压工序，分切工序，烧结工序，检测工序；

所述制备氧化锆流延基片工序包括：以5mol氧化钇稳定氧化锆为主要粉体，加入溶剂、分散剂、粘结剂和增塑剂，通过球磨法制成稳定均匀的流延浆料；把氧化锆浆料在流延机上进行流延烘干定型，获得氧化锆流延生坯卷带；

所述制备挥发性流延基片工序包括：以碳粉为主要粉体，加入溶剂、分散剂、粘结剂和增塑剂，通过球磨法制成稳定均匀的流延浆料；把碳粉浆料在流延机上进行流延烘干定型，获得挥发性流延生坯卷带；

所述制备扩散障碍层流延基片工序包括：以5mol氧化钇稳定氧化锆为主要粉体，以纳米炭黑为造孔剂，加入溶剂、分散剂、粘结剂和增塑剂，通过球磨法制成稳定均匀的流延浆料；把扩散障碍层浆料在流延机上进行流延烘干定型，获得扩散障碍层流延生坯卷带；

所述去边落片工序包括：将氧化锆流延生坯卷带在自动裁片机上，裁成传感器上信号层的第一层氧化锆流延基片1、第二层氧化锆流延基片2、第三层氧化锆流延基片3、第四层氧化锆流延基片4、第五层氧化锆流延基片5和第六层氧化锆流延基片6；将扩散障碍层流延生坯卷带在自动裁片机上，裁成传感器扩散障碍层流延基片7；将挥发片流延生坯卷带在自动裁片机上，裁成传感器上空气参比通道19内的空气参比通道挥发片18；

所述冲孔工序包括：在裁好的第一层氧化锆流延基片1冲出印刷对位孔和第一层流延基片化学泵内电极引出孔13、在第二层氧化锆流延基片2上冲出印刷对位孔和第二层流延基片化学泵内电极引出14；在第三层氧化锆流延基片3上冲出空气参比通道19；第五层氧化锆流延基片5冲出印刷对位孔和第五层流延基片加热电极引出孔23，第六层氧化锆流延基片6冲出印刷对位孔和第六层流延基片加热电极引出孔24；

所述冲压填充挥发片工序包括：在冲压机上将挥发性流延带冲出空气参比通道19的形状，然后填充到第三层氧化锆流延基片3里面去。

所述丝网印刷工序包括：在第一层氧化锆流延基片1上表面依次用氧化铝浆料印刷化学泵外电极上表面绝缘层10、用Pt电极浆料印刷化学泵外电极11、用氧化铝浆料印刷化学泵外电极下表面绝缘层12；用炭黑浆料在化学泵外电极11头部位置印刷有机挥发层9、在挥发层图案四周印刷粘结剂层8，然后在粘结剂层8和有机挥发层9的上方叠压上扩散障碍层流延基片7。

在第二层氧化锆流延基片2的下表面依次用氧化铝浆料印刷化学泵内电极的上表面绝缘层15、用Pt电极浆料印刷化学泵内电极16、用氧化铝浆料印刷化学泵内电极的下表面绝缘层17。

在第五层氧化锆流延基片5的上表面依次用氧化铝浆料印刷加热电极上表面绝缘层20，然后在所述上表面绝缘层上印刷Pt电极浆料，形成加热电极21，最后在加热电极上印刷氧化铝浆料，形成加热电极下表面绝缘层22；在第六层氧化锆流延基片6的下表面印刷氧化铝浆料，形成加热引脚绝缘层25，然后在引脚绝缘层下表面印刷加热引脚电极26；其中每一次印刷都通过图形检测系统进行不良品的记录；

所述叠片工序包括：将所有印刷、填充好的第一层氧化锆流延基片1，第二层氧化锆流延基片2、第三层氧化锆流延基片3、第四层氧化锆流延基片4、第五层氧化锆流延基片5和第六层氧化锆流延基片6由上至下进行叠合，最后叠合上扩散障碍层形成氧传感器生坯；

所述真空封塑工序包括：在叠合后的氧传感器生坯下方垫上钢板，然后进行真空包装；

所述温等静压工序包括：对包装好的氧传感器生坯进行温水等静压压制，使所有流延基片叠合紧密，形成一个稳定的整体，等静压完成后搽干包装外面的水，取出氧传感器生坯；

所述分切工序包括：对压制好的氧传感器生坯进行加温切割，首先对氧传感器生坯进行预热处理，使PVB软化，便于切割，切割时同时对氧传感器生坯和刀片进行加热，切割成规则、精确的传感器基片；

所述烧结工序包括：把传感器基片按照顺序摆好在高温炉内，按照烧结程序进行烧结；

所述检测工序包括：对烧结出炉的芯片进行逐个进行外观检测和功能检测。

所述制备氧化锆流延基片工序其中氧化锆粉体、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：1000:(300～500):(10～30):(50～80):(20～40)；

所述氧化锆流延生坯卷带厚度为250±5um。

所述制备挥发性流延基片工序其中碳粉、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：500:(300～500):(10～30):(50～80)：(30～40)。

所述挥发性流延生坯卷带厚度为260±5um。

所述制备扩散障碍层流延基片工序其中氧化锆粉体、碳粉、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：1000:（10～100）：(300～500):(10～30):(50～80):(20～40)。

所述扩散障碍层流延生坯卷带厚度为100±5um；

所述溶剂为乙醇、甲苯或丁酮。

所述分散剂为三油酸甘油酯、亚油酸或柠檬酸。

所述粘结剂为PVA、PVB或PVC。

所述增塑剂为以乙二醇或邻苯二甲酸酯。

所述流延成型中的烘干温度为40～80℃。

所述温等静压中压制的压力为20～25Mpa，温度为70～80℃，时间为20～30min。

所述分切中切割预热温度为70℃，切割台板温度为70～80℃，切割刀口的温度为70～100℃。

所述烧结时的温度为1450～1550℃，排胶温度为100～800℃。

该极限电流型传感器应用了氧化钇稳定的氧化锆在高温状态下具有导氧离子的功能，首先给加热电极通一定的加热电压，使传感器头部达到工作温度，尾气通过扩散障碍层稳定的扩散到气体反应空腔内，内电极与空气相连，代表空气中的氧气浓度，由于尾气和空气之间有氧浓度差，所以在化学泵内外电极之间施加一个电压，外电极接正极，内电极接负极，会形成氧离子的稳定移动，形成稳定的极限电流平台，每一个极限电流值代表一个氧浓度值，从而达到测氧的目的。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：提供了一种片式氧传感器的制备方法，制备工序简单，生产效率很高，稳定性好，采取该制备方法制备出得氧传感器结构紧凑坚实，反应灵敏，高温下也可以稳定的工作。

附图说明

图1为本发明一种新型片式氧传感器的结构示意图。

具体实施方式

以下结合具体实施例对本发明的具体技术方案进行说明。

实施例1

一种新型片式氧传感器的制备方法，其特征在于依次包括以下工序：制备氧化锆流延基片工序，制备挥发性流延基片工序，制备扩散障碍层流延基片工序，去边落片工序，冲孔工序，冲压填充挥发片工序，丝网印刷工序，叠片工序，真空封塑工序，温等静压工序，分切工序，烧结工序，检测工序；

所述制备氧化锆流延基片工序包括：以5mol氧化钇稳定氧化锆为主要粉体，加入溶剂、分散剂、粘结剂和增塑剂，通过球磨法制成稳定均匀的流延浆料；把氧化锆浆料在流延机上进行流延烘干定型，获得氧化锆流延生坯卷带；

所述制备挥发性流延基片工序包括：以碳粉为主要粉体，加入溶剂、分散剂、粘结剂和增塑剂，通过球磨法制成稳定均匀的流延浆料；把碳粉浆料在流延机上进行流延烘干定型，获得挥发性流延生坯卷带；

所述制备扩散障碍层流延基片工序包括：以5mol氧化钇稳定氧化锆为主要粉体，以纳米炭黑为造孔剂，加入溶剂、分散剂、粘结剂和增塑剂，通过球磨法制成稳定均匀的流延浆料；把扩散障碍层浆料在流延机上进行流延烘干定型，获得扩散障碍层流延生坯卷带；

所述去边落片工序包括：将氧化锆流延生坯卷带在自动裁片机上，裁成传感器上信号层的第一层氧化锆流延基片1、第二层氧化锆流延基片2、第三层氧化锆流延基片3、第四层氧化锆流延基片4、第五层氧化锆流延基片5和第六层氧化锆流延基片6；将扩散障碍层流延生坯卷带在自动裁片机上，裁成传感器扩散障碍层流延基片7；将挥发片流延生坯卷带在自动裁片机上，裁成传感器上空气参比通道19内的空气参比通道挥发片18；

所述冲孔工序包括：在裁好的第一层氧化锆流延基片1冲出印刷对位孔和第一层流延基片化学泵内电极引出孔13、在第二层氧化锆流延基片2上冲出印刷对位孔和第二层流延基片化学泵内电极引出14；在第三层氧化锆流延基片3上冲出空气参比通道19；第五层氧化锆流延基片5冲出印刷对位孔和第五层流延基片加热电极引出孔23，第六层氧化锆流延基片6冲出印刷对位孔和第六层流延基片加热电极引出孔24；

所述冲压填充挥发片工序包括：在冲压机上将挥发性流延带冲出空气参比通道19的形状，然后填充到第三层氧化锆流延基片3里面去。

所述丝网印刷工序包括：在第一层氧化锆流延基片1上表面依次用氧化铝浆料印刷化学泵外电极上表面绝缘层10、用Pt电极浆料印刷化学泵外电极11、用氧化铝浆料印刷化学泵外电极下表面绝缘层12；用炭黑浆料在化学泵外电极11头部位置印刷有机挥发层9、在挥发层图案四周印刷粘结剂层8，然后在粘结剂层8和有机挥发层9的上方叠压上扩散障碍层流延基片7。

在第二层氧化锆流延基片2的下表面依次用氧化铝浆料印刷化学泵内电极的上表面绝缘层15、用Pt电极浆料印刷化学泵内电极16、用氧化铝浆料印刷化学泵内电极的下表面绝缘层17。

在第五层氧化锆流延基片5的上表面依次用氧化铝浆料印刷加热电极上表面绝缘层20，然后在所述上表面绝缘层上印刷Pt电极浆料，形成加热电极21，最后在加热电极上印刷氧化铝浆料，形成加热电极下表面绝缘层22；在第六层氧化锆流延基片6的下表面印刷氧化铝浆料，形成加热引脚绝缘层25，然后在引脚绝缘层下表面印刷加热引脚电极26；其中每一次印刷都通过图形检测系统进行不良品的记录；

所述叠片工序包括：将所有印刷、填充好的第一层氧化锆流延基片1，第二层氧化锆流延基片2、第三层氧化锆流延基片3、第四层氧化锆流延基片4、第五层氧化锆流延基片5和第六层氧化锆流延基片6由上至下进行叠合，最后叠合上扩散障碍层形成氧传感器生坯；

所述真空封塑工序包括：在叠合后的氧传感器生坯下方垫上钢板，然后进行真空包装；

所述温等静压工序包括：对包装好的氧传感器生坯进行温水等静压压制，使所有流延基片叠合紧密，形成一个稳定的整体，等静压完成后搽干包装外面的水，取出氧传感器生坯；

所述分切工序包括：对压制好的氧传感器生坯进行加温切割，首先对氧传感器生坯进行预热处理，使PVB软化，便于切割，切割时同时对氧传感器生坯和刀片进行加热，切割成规则、精确的传感器基片；

所述烧结工序包括：把传感器基片按照顺序摆好在高温炉内，按照烧结程序进行烧结；

所述检测工序包括：对烧结出炉的芯片进行逐个进行外观检测和功能检测。

所述制备氧化锆流延基片工序其中氧化锆粉体、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：1000:300:10:50:20；

所述氧化锆流延生坯卷带厚度为250±5um。

所述制备挥发性流延基片工序其中碳粉、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：500:300:10:50：30。

所述挥发性流延生坯卷带厚度为260±5um。

所述制备扩散障碍层流延基片工序其中氧化锆粉体、碳粉、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：1000:10：300:10:50:20。

所述扩散障碍层流延生坯卷带厚度为100±5um；

所述溶剂为乙醇。所述分散剂为三油酸甘油酯。所述粘结剂为PVA。所述增塑剂为已乙二醇。

所述流延成型中的烘干温度为40℃。

所述温等静压中压制的压力为20Mpa，温度为70℃，时间为20min。

所述分切中切割预热温度为70℃，切割台板温度为70℃，切割刀口的温度为70℃。

所述烧结时的温度为1450℃，排胶温度为400℃。

实施例2

工序内容同实施例1部分，但是工艺参数调整为：

所述制备氧化锆流延基片工序其中氧化锆粉体、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：1000:500:30:80:40；

所述氧化锆流延生坯卷带厚度为250±5um。

所述制备挥发性流延基片工序其中碳粉、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：500:500:30:80：40。

所述挥发性流延生坯卷带厚度为260±5um。

所述制备扩散障碍层流延基片工序其中氧化锆粉体、碳粉、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：1000:15：500:30:80:40。

所述扩散障碍层流延生坯卷带厚度为100±5um；

所述溶剂为甲苯。所述分散剂为亚油酸。所述粘结剂为PVB。所述增塑剂为邻苯二甲酸酯。

所述流延成型中的烘干温度为80℃。

所述温等静压中压制的压力为25Mpa，温度为80℃，时间为30min。

所述分切中切割预热温度为70℃，切割台板温度为80℃，切割刀口的温度为100℃。

所述烧结时的温度为1550℃，排胶温度为800℃。

实施例3

工序内容同实施例1部分，但是参数调整为：

所述制备氧化锆流延基片工序其中氧化锆粉体、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：1000:400:20:65:30；

所述氧化锆流延生坯卷带厚度为250±5um。

所述制备挥发性流延基片工序其中碳粉、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：500:400:20:65:35。

所述挥发性流延生坯卷带厚度为260±5um。

所述制备扩散障碍层流延基片工序其中氧化锆粉体、碳粉、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：1000:20:400:20:65:30。

所述扩散障碍层流延生坯卷带厚度为100±5um；

所述溶剂为丁酮。所述分散剂为柠檬酸。所述粘结剂为PVC。所述增塑剂为邻苯二甲酸酯。

所述流延成型中的烘干温度为60℃。

所述温等静压中压制的压力为23Mpa，温度为75℃，时间为25min。

所述分切中切割预热温度为70℃，切割台板温度为75℃，切割刀口的温度为85℃。

所述烧结时的温度为1500℃，排胶温度为600℃。

将实施例1-3制备的氧传感器的各性能参数检测如下：

a传感器平整度检测：将传感器平放在高平整度的工作台上，用厚度测试仪，在传感器的头部、中部、尾部分别取三个点进行测试，保护层区域和印刷线区域除外，厚度差小于0.20mm；

b传感器泄漏测试：通过泄漏测试仪，给传感器的空气参比通道施加380KPa的压力，泄漏量小于0.08ml/min；

c传感器强度测试：对氧传感器进行破坏性强度测试，氧传感器弯曲强度为790MPa以上；

d.传感器加热电阻测试：用万用表通过加热引脚测试加热电极的常温电阻值，电阻偏差小于±0.5Ω，根据车型不同可设计从2~9Ω之间的加热电阻；

e.传感器绝缘性能好；

f．该极限电流型氧传感器可精确测量λ从0.68～空气的范围。

由上可见，本发明所要保护的片式极限电流型氧传感器可取代目前市场上进口的极限电流型氧传感器。

Claims (10)

1.一种新型极限电流型片式氧传感器的制备方法，其特征在于依次包括以下工序：制备氧化锆流延基片工序，制备挥发性流延基片工序，制备扩散障碍层流延基片工序，去边落片工序，冲孔工序，冲压填充挥发片工序，丝网印刷工序，叠片工序，真空封塑工序，温等静压工序，分切工序，烧结工序，检测工序；

所述制备氧化锆流延基片工序包括：以5mol氧化钇稳定氧化锆为主要粉体，加入溶剂、分散剂、粘结剂和增塑剂，通过球磨法制成稳定均匀的流延浆料；把浆料在流延机上进行流延烘干定型，获得氧化锆流延生坯卷带；

所述制备挥发性流延基片工序包括：以碳粉为主要粉体，加入溶剂、分散剂、粘结剂和增塑剂，通过球磨法制成稳定均匀的流延浆料；把浆料在流延机上进行流延烘干定型，获得挥发性流延生坯卷带；

所述制备扩散障碍层流延基片工序包括：以5mol氧化钇稳定氧化锆为主要粉体，以纳米炭黑为造孔剂，加入溶剂、分散剂、粘结剂和增塑剂，通过球磨法制成稳定均匀的流延浆料；把浆料在流延机上进行流延烘干定型，获得扩散障碍层流延生坯卷带；

所述去边落片工序包括：将氧化锆流延生坯卷带在自动裁片机上，裁成传感器上信号层的第一层氧化锆流延基片（1）、第二层氧化锆流延基片（2）、第三层氧化锆流延基片（3）、第四层氧化锆流延基片（4）、第五层氧化锆流延基片（5）和第六层氧化锆流延基片（6）；将扩散障碍层流延生坯卷带在自动裁片机上，裁成传感器扩散障碍层流延基片（7）；将挥发片流延生坯卷带在自动裁片机上，裁成传感器上空气参比通道（19）内的空气参比通道挥发片（18）；

所述冲孔工序包括：在裁好的第一层氧化锆流延基片（1）冲出印刷对位孔和第一层流延基片化学泵内电极引出孔（13）、在第二层氧化锆流延基片（2）上冲出印刷对位孔和第二层流延基片化学泵内电极引出（14）；在第三层氧化锆流延基片（3）上冲出空气参比通道（19）；第五层氧化锆流延基片（5）冲出印刷对位孔和第五层流延基片加热电极引出孔（23），第六层氧化锆流延基片（6）冲出印刷对位孔和第六层流延基片加热电极引出孔（24）；

所述冲压填充挥发片工序包括：在冲压机上将挥发性流延带冲出空气参比通道（19）的形状，然后填充到第三层氧化锆流延基片（3）里面去，

所述丝网印刷工序包括：在第一层氧化锆流延基片（1）上表面依次用氧化铝浆料印刷化学泵外电极上表面绝缘层（10）、用Pt电极浆料印刷化学泵外电极（11）、用氧化铝浆料印刷化学泵外电极下表面绝缘层（12）；用炭黑浆料在化学泵外电极（11）头部位置印刷有机挥发层（9）、在挥发层图案四周印刷粘结剂层（8），然后在粘结剂层（8）和有机挥发层（9）的上方叠压上扩散障碍层流延基片7，

在第二层氧化锆流延基片（2）的下表面依次用氧化铝浆料印刷化学泵内电极的上表面绝缘层（15）、用Pt电极浆料印刷化学泵内电极（16）、用氧化铝浆料印刷化学泵内电极的下表面绝缘层（17），

在第五层氧化锆流延基片（5）的上表面依次用氧化铝浆料印刷加热电极上表面绝缘层（20），然后在所述上表面绝缘层上印刷Pt电极浆料，形成加热电极（21），最后在加热电极上印刷氧化铝浆料，形成加热电极下表面绝缘层（22）；在第六层氧化锆流延基片（6）的下表面印刷氧化铝浆料，形成加热引脚绝缘层（25），然后在引脚绝缘层下表面印刷加热引脚电极（26）；其中每一次印刷都通过图形检测系统进行不良品的记录；

所述叠片工序包括：将所有印刷、填充好的第一层氧化锆流延基片（1），第二层氧化锆流延基片（2）、第三层氧化锆流延基片（3）、第四层氧化锆流延基片（4）、第五层氧化锆流延基片（5）和第六层氧化锆流延基片（6）由上至下进行叠合，最后叠合上扩散障碍层形成氧传感器生坯；

所述真空封塑工序包括：在叠合后的氧传感器生坯下方垫上钢板，然后进行真空包装；

所述温等静压工序包括：对包装好的氧传感器生坯进行温水等静压压制，使所有流延基片叠合紧密，形成一个稳定的整体，等静压完成后搽干包装外面的水，取出氧传感器生坯；

所述分切工序包括：对压制好的氧传感器生坯进行加温切割，首先对氧传感器生坯进行预热处理，使PVB软化，便于切割，切割时同时对氧传感器生坯和刀片进行加热，切割成规则、精确的传感器基片；

所述烧结工序包括：把传感器基片按照顺序摆好在高温炉内，按照烧结程序进行烧结；

所述检测工序包括：对烧结出炉的芯片进行逐个进行外观检测和功能检测。

2.如权利要求1所述的新型极限电流型片式氧传感器的制备方法，其特征在于氧化锆流延生坯卷带厚度为250±5um，挥发性流延生坯卷带厚度为260±5um，扩散障碍层流延生坯卷带厚度为100±5um。

3.如权利要求1所述的新型极限电流型片式氧传感器的制备方法，其特征在于所述制备氧化锆流延基片工序其中氧化锆粉体、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：1000:(300～500):(10～30):(50～80):(20～40)。

4.如权利要求1所述的新型极限电流型片式氧传感器的制备方法，其特征在于所述制备挥发性流延基片工序其中碳粉、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：500:(300～500):(10～30):(50～80)：(30～40)。

5.如权利要求1所述的新型极限电流型片式氧传感器的制备方法，其特征在于所述制备扩散障碍层流延基片工序其中氧化锆粉体、碳粉、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为：1000:（10～100）：(300～500):(10～30):(50～80):(20～40)。

6.如权利要求1所述的新型极限电流型片式氧传感器的制备方法，其特征在于所述溶剂为乙醇、甲苯或丁酮。

7.如权利要求1所述的新型极限电流型片式氧传感器的制备方法，其特征在于所述分散剂为三油酸甘油酯、亚油酸或柠檬酸，所述粘结剂为PVA、PVB或PVC。

8.如权利要求1所述的新型极限电流型片式氧传感器的制备方法，其特征在于所述增塑剂为已乙二醇或邻苯二甲酸酯。

9.如权利要求1所述的新型极限电流型片式氧传感器的制备方法，其特征在于所述流延成型中的烘干温度为40～80℃；所述温等静压中压制的压力为20～25Mpa，温度为70～80℃，时间为20～30min；所述烧结时的温度为1450～1550℃，排胶温度为100～800℃。

10.如权利要求1所述的新型极限电流型片式氧传感器的制备方法，其特征在于所述分切中切割预热温度为70℃，切割台板温度为70～80℃，切割刀口的温度为70～100℃。