CN105026959A - 用于地震应用的mems基旋转传感器及具有其的传感器单元 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于在地震数据采集中使用的MEMS基旋转传感器以及具有该MEMS基旋转传感器的传感器单元。该MEMS基旋转传感器包括基板、设于基板上的锚以及通过多个挠性弹簧联接于该锚的检测质量。检测质量具有联接到其并从其延伸的第一电极。第二电极被固定到基板上，并且第一和第二电极中的一个被配置为接收致动信号，第一和第二电极中的另一个被配置为产生具有与第一电极相对于第二电极的角运动程度相对应的幅值的电信号。MEMS基旋转传感器进一步包括被配置为接收该电信号并提供所述致动信号的闭环电路。还描述了用于在地震数据采集中使用MEMS基旋转传感器的相关方法。

Description

用于地震应用的MEMS基旋转传感器及具有其的传感器单元
背景技术
地震勘探包括对地下地质结构进行碳氢沉积物勘测。地震勘测通常包括在预定位置处部署震源和地震传感器。震源产生地震波，地震波沿着它们的路径传播到地质结构中产生压力变化和振动。地质结构的弹性特性的变化散射地震波，改变其传播方向及其它性质。由震源发射的部分能量到达地震传感器。某些地震传感器对压力变化敏感(水听器)，其它的对粒子运动敏感(例如，地震检波器)，并且工业勘测可以仅部署一种类型的传感器或两种。响应于所检测的地震事件，传感器生成电信号以产生地震数据。然后，地震数据的分析可以指示碳氢沉积物的可能位置的存在或不存在。
历史上，通过将地震源和传感器沿一条直线放置，已经实现了沿一个表面的地震数据采集。在这种结构中，假设地中的反射点位于由横向线与垂直轴线定义的一个二维平面中。这通常被称为二维地震勘测。然而，三维地震勘测通常是优选的，以便获得更好的信号质量，以及提高空间和时间分辨率。三维勘测的一个缺点是需要大量的传感器，这需要大量的部署人员。这导致成本的增加和效率的降低。因此，期望提供改进的地震传感器，以允许稀疏采样并且进而少量的传感器部署，而不影响数据质量。
发明内容
本发明涉及一种用于地震数据采集中的MEMS基旋转传感器及具有其的传感器单元。用于陆地地震数据采集的传感器单元包括用于测量垂直波场的粒子运动传感器，其中，该垂直波场具有水平梯度。该传感器单元进一步包括用于测量该水平梯度的x分量的第一MEMS基旋转加速度计以及正交于该第一MEMS基旋转加速度计定位的第二MEMS基旋转加速度计。该第二MEMS基旋转加速度计测量该水平梯度的y分量。该第一和第二MEMS基旋转加速度计中的至少之一包括基板、设于基板上的锚以及通过多个挠性弹簧联接于该锚的检测质量。该检测质量具有联接到其并从其延伸的第一电极。第二电极被固定到基板上，并且第一和第二电极中的一个被配置成接收致动信号，第一和第二电极中的另一个被配置为产生具有与第一电极相对于第二电极的角运动程度相对应的幅值的电信号。MEMS基旋转传感器进一步包括被配置为接收该电信号并提供所述致动信号的闭环电路。
描述了一种地震数据采集系统，其具有用于产生地震波的一个或多个地震源以及用于记录由所述地震源产生的地震波的一个或多个传感器单元。所述一个或多个传感器单元包括用于测量所述地震波的垂直波场的第一地震传感器以及用于测量所述垂直波场的梯度的第二地震传感器。
还描述了一种用于执行地震数据采集的方法。该方法包括利用一个或多个地震源产生地震波，并且利用一个或多个传感器单元记录由所述地震源产生的地震波。所述一个或多个传感器单元包括用于测量所述地震波的垂直波场的第一地震传感器以及用于测量所述垂直波场的梯度的第二地震传感器。
附图说明
现在参考与附图结合的以下描述。
图1示出了根据本发明的MEMS基旋转传感器的示意图；
图2示出了图1的MEMS基旋转传感器的旋转；
图3示出了根据本发明的另一个实施例的MEMS基旋转传感器的示意图；
图4示出了根据本发明的MEMS基旋转传感器的控制环的流程图；
图5示出了根据本发明的MEMS基旋转传感器的示意图；
图6示出了根据本发明的MEMS基旋转传感器的示意图；
图7示出了奈奎斯特采样的示意图；
图8示出了帕普里斯采样的示意图；
图9示出了包含根据本发明的MEMS基旋转传感器的陆基地震数据采集系统的示意图；
图10示出了包含根据本发明的MEMS基旋转传感器的传感器单元的示意图；以及
图11示出了包含根据本发明的MEMS基旋转传感器的海基地震数据采集系统。
具体实施方式
描述了根据本发明的MEMS基旋转传感器及使用这样的MEMS基旋转传感器的方法的多个实施例。然而，应该理解，下面的说明仅是示例性地说明本发明的装置及方法。因此，许多修改、变化及替换是预期的。
图1示意地示出了根据本发明的一个实施例的电容性微机电系统(MEMS)基的旋转传感器10的机械结构。因为它的尺寸、低功耗和低成本，因此传感器10的MEMS基设计是有利的。MEMS基旋转传感器10包括：经由多个挠性弹簧16联接到地震质量14的中心锚12。在一些实施例中，中心锚12的半径为大约300微米，而地震质量14的宽度为大约300微米。当然，其他实施例可以设想为，中心锚12和地震质量14具有其它尺寸。锚12联接到外部环境从而承受角加速度，这会导致地震质量14由于惯性的影响而旋转。挠性弹簧16能够弯曲，从而允许地震质量14绕锚12旋转。
参考图2，MEMS基旋转传感器10包括一对梁状电极18、20，它们被布置在传感器的相反侧。在一些实施例中，这样的电极18、20的长度为550微米，宽度为5微米。当然，其他实施例可以设想为，梁状电极18、20具有其它尺寸。该对电极18、20协作以检测由MEMS基旋转传感器的角位移导致的差分电容。在图2的例子中，电极18由于地震质量14的角位移而从其原始位置22移位。电极20也由于地震质量14的角位移而从它的原始位置24在相反的方向(相对于电极18的位移)上移位。因此，电极18增加一个量ε的电容，而电极20减小相同量ε的电容。两个电极18、20的电容差给出了电容变化量ε，这与地震质量14的旋转有关。地震质量14的角位移从而利用这种差分电容器检测器转换为电信号。应该理解，电极18和20各自的电容变化也可以是不同的量，可以根据线性函数变化，也可以根据非线性函数变化。
参考图3，根据本发明的另一实施例的MEMS基旋转传感器30被示为包括滑动梳状电极32、34，它们用于探测由地震质量36的旋转产生的差分电容。在一些实施例中，所述滑动梳状电极32、34的梳齿长度为20微米，梳齿宽度为3微米，梳长度为420微米，梳宽度为50微米。当然，可以考虑其它尺寸。MEMS基旋转传感器30还包括中心锚38和挠性弹簧39，该挠性弹簧将地震质量36联接到中心锚。梳状电极32、34产生机电动作以在差分电容检测的同一时间平衡地震角位移。MEMS基旋转传感器30的电容变化产生一个电流，该电流经过电荷放大器以获得输出电压。此时，获得了开环读出，其中，输出电压正比于由MEMS基旋转传感器30测得的输入角加速度。
本文描述的MEMS基旋转传感器可以与反馈控制回路结构使用，该结构线性化相对于控制电压的力函数，从而提高动态性能。这可以通过模拟控制、数字控制、或它们的组合实现。致动信号，例如方波、三角波、正弦波、或其它波形可以施加到一个或多个电极(例如，电极32、34)。响应于所述致动信号，一个或多个电极(例如，电极32、34)可以产生具有对应于角加速度的特性(如幅值)的电信号。也可以在没有致动信号的情况下，产生对应于角加速度的电信号。参考图4，反馈控制回路结构40可包括一个Σ-△调制器42，其接收对应于角加速度的电信号，并且可以用于将测量信号转换成一个比特流电压输出。在施加粗糙量化过程50之前，输出电压可以通过一个积分器44，电荷放大器46以及一个比例-积分-微分(PID)控制器48。模拟信号可被转换成一个比特流序列。所述比特流然后可被发送到一个力反馈发生器52，其可以向MEMS基旋转传感器的电极(例如，电极32)提供所述致动信号，以创建正比于比特流平均值的静电力。这可以通过向其施加静电力而物理衰减地震质量14(例如，检测质量)的振荡。这可以通过保持电压电平恒定并通过脉冲密度控制或其他控制算法调制所述平均力来实现。这种过程利用基于Σ-△调制的原则，例如模拟信号的过采样，模拟信号(其中比特流平均值是输入信号的量度)的比特流转换和过采样，以使量化噪声分布于一个宽的带宽上。应该理解，电极可以布置成使得第一组电极接收所述致动信号而第二组电极产生对应于角加速度的电信号。第一组和第二组可能或可能不重叠。一些电极，或全部电极，可接收激活信号并且也产生对应于角加速度的电信号。
本发明考虑到了电极如何绕地震质量分布的几种变型。例如，参考图5，MEMS基旋转传感器60包括绕中心锚64布置的地震质量62。地震质量62通过多个挠性弹簧66联接到锚64。在一个实施例中，所述MEMS基旋转传感器60包括四个挠性弹簧66。地震质量62包括多个从地震质量延伸并适于与其一起移动的电极68(例如，梁状电极)。MEMS基旋转传感器60被布置在基板70上，该基板包括设于所述地震质量62的相反侧的一对固定电极72、74。沟槽76分隔出基板70的具有电极72、74的区域。
参考图6，在另一个实施例中，MEMS基旋转传感器80包括通过多个挠性弹簧86联接到中心锚84的地震质量82。地震质量82包括从地震质量延伸并适于与其一起移动的多个电极88(例如，以梁状配置)。在本实施例中，电极90、92被分割并绕地震质量82分布。MEMS基旋转传感器80被设置在基板92上并包括一对沟槽94、96，以便分隔出基板的具有电极组88、90的区域。
应当理解，本文描述的MEMS基旋转传感器的几种变型是预期的。例如，也可以使用合缝梳子、滑动梳子和滑体。此外，可以使用不同的控制机制，包括直接电容测量、开环中的差分电容测量、以及闭环中具有力反馈的差分电容测量。此外，可以设想，本文所描述的MEMS基旋转传感器可以与各种其它的地震传感器一起使用。例如，当与平移加速度计一起使用时，MEMS基旋转传感器将测量由所述平移加速度计所测量的任何信号的梯度。实际上，在这样的实施例中，平移加速度计可以是MEMS基平移加速度计，其利用与所述MEMS基旋转传感器相同的反馈控制环路结构40(图4)。
本文描述的MEMS基旋转传感器可以在地震数据采集环境中使用，以减少传感器节点的数目和/或增加此类节点之间的间隔，从而实现更大的可部署的阵列和/或降低运行成本。更具体地，本文描述的MEMS基旋转传感器可被用于测量由部署在地震勘测中的平移加速度计获得的任何信号的梯度。在陆地地震勘测中，例如，表面波(例如，地滚波)的视波长接近其真实的波长，因为它们以大的出射角传播。由于它们较强的能量及在自由表面处小的视波长，具有陆地地震操作噪声的特点的表面波具有更高的幅值。
本文描述的MEMS基旋转传感器非常适合测量噪声分量在自由表面处的空间梯度。由于这种梯度测量，可在传感器节点之间内插噪声分量，从而允许稀疏空间采样。例如，不同于采用一个标准奈奎斯特采样98，对于信号的最短波长需要两次测量(图7)，根据本发明的MEMS基旋转传感器允许帕普里斯采样99，其对于最短波长，仅需要对垂直波场和其在每个周期的梯度同地测量(图8)。因此，部署根据本发明的MEMS基旋转传感器需要更少的传感器以进行地震数据采集而不影响数据质量。此外，本文所描述的MEMS基旋转传感器的部署允许对本地噪声衰减，而无需使用来自其他传感器的数据。因此，本地噪声衰减可独立于传感器间距而实现。在一个实施例中，旋转测量数据可被用作用于自适应去除地滚噪声的噪声模型。
本文描述的MEMS基旋转传感器(例如，MEMS基旋转传感器10、30、60、80)可在各种地震数据采集系统中使用。例如，参考图9，用于陆基地震勘测的传感器组件100的组合体被部署在地面102上。地面102覆盖感兴趣的地质地层104，如油气储层。一个或多个地震源106，它可以是振动器、气枪、或爆炸装置，被部署在传感器组件100所位于的勘测区域中。
地震源106的激活使得地震波传播到地质地层104中。该地震波然后从地下结构108(包括地质地层104)反射，并向上向传感器组件100传播。该传感器组件中的传感器测量反射自地下结构108的地震波。例如，参考图10，示例性传感器组件100被示为包括一对根据本发明的MEMS基旋转传感器(例如，旋转传感器60)以及MEMS基平移加速度计110。应该理解，图10中示出的MEMS基旋转传感器60可被替换为本文所描述的任意MEMS基旋转传感器。在图10的实施例中，传感器组件100包括彼此正交定位的MEMS基旋转传感器60，使得MEMS基旋转传感器中的一个测量垂直波场的水平梯度的x分量，MEMS基旋转传感器中的另一个测量垂直波场的水平梯度的y分量。传感器组件100还可以包括一个或多个尖峰112，或联接元件，以增进传感器组件与地面的耦合。根据另一个实施例，传感器组件100可以完全或部分地插入地中、靠近表面，以便被耦合到地并对地滚敏感。根据一个实施例，传感器组件100可以在地面上延伸。
再次参考图9，在一个实施例中，传感器组件100通过电缆114(或其他类型的通信介质)互相连通至信号处理单元150。可替代地，不同于由电电缆114连接传感器组件100，传感器组件也可与控制器信号处理单元无线通信(用于无电缆传感器组件)。在一些实施方式中，中间路由器或集线器可以被提供于传感器组件100的网络的中间点处，以使所述传感器组件和所述信号处理单元150之间能够通信。
图9中所示的信号处理单元150还包括可在处理器154上执行的处理软件152。处理器154被连接到存储介质156(例如，一个或多个磁盘存储设备和/或一个或多个存储器设备)。存储介质156用来存储传感器数据158，它包括由每个传感器组件100所产生的输出数据。在操作过程中，信号处理单元150中的软件152是可执行的，以处理该传感器数据158，从而产生一个输出来表征所述地质地层104。应该理解，处理单元150中的项目可以被包含到传感器单元100中。这可以在“盲节点”配置中使用，其中各个节点相对于所收集的数据和/或功率和/或通讯是自立的。
本文中所描述的MEMS基旋转传感器10、30、60、80也可以在海洋地震数据采集系统中使用。例如，图11描绘了根据本发明的一些实施例的海基地震数据采集系统200的实施例。在系统200中，勘探船202在船后面拖曳一个或多个地震拖缆204(图11中描绘了一个示例性拖缆204)。应该注意，拖缆204可以被布置为散布，其中，多个拖缆被拖曳在相同深度的大致同一平面上。作为另一实例，所述拖缆204也可被拖曳在多个深度上，例如以上方/下方散布。
地震拖缆204可以是几千米长，而且可以包含各种支持电缆(未示出)以及可以用于支持沿所述拖缆的通信的布线和/或电路(未示出)。一般来说，每个拖缆204包括在其中安装记录地震信号的地震传感器的主电缆。根据本发明的实施例，拖缆204包含地震传感器单元206，其可以包括水听器、粒子运动传感器和本文描述的MEMS基旋转传感器10、30、60、80。因此，每个传感器单元206能够检测压力波场和与接近于所述传感器的声信号相关联的粒子运动的至少一个分量。粒子运动的例子包括粒子移位的一个或多个分量，粒子速度的一个或多个分量(主测线(x)，联络测线(y)和垂直沿测线(z)分量)以及粒子加速度的一个或多个分量。各传感器单元206还能够检测振动噪声的角加速度。
根据本发明的特定实施例，传感器单元206可包括一个或多个水听器、地震检波器、粒子位移传感器、粒子速度传感器、加速度计、压力梯度传感器、旋转传感器或它们的组合。例如，传感器单元206可包括一个对平移加速度敏感的电容性微机电系统(MEMS)基传感器，以及对角加速度敏感的所述MEMS基旋转传感器10、30、60、80。
海洋地震数据采集系统200还包括地震源208(图11中描绘了两个示例性地震源208)，例如气枪等。在本发明的一些实施例中，地震源208可以联接到勘探船202，或被勘探船202拖曳。可替代地，在其他实施例中，地震源208可以独立于勘探船202操作，其中该地震源可以联接到其它船只或浮标。
当所述地震拖缆204被拖曳在勘探船202后面时，声信号210(通常被称为“声弹”)由地震源208产生，并被定向向下穿过水柱212进入水底表面218下方的地层214和216。声信号210被各种地下地质构造，例如图11中所描绘的示例性地层220反射。
由地震源208产生的入射声信号210产生相应的反射声信号、或压力波222，其被拖缆204的地震传感器感测到。应该注意，由所述地震传感器接收并感测到的压力波包括不经过反射即传播到传感器的“上行”压力波，以及压力波222中被空气-水界面或自由表面224反射而产生的“下行”压力波。
拖缆204的地震传感器产生表明所获得的压力波场和粒子运动的测量结果的信号(例如数字信号)，其被称为“弹道”。根据本发明的一些实施例，弹道被记录并可以至少部分地由部署在勘探船202上的信号处理单元226(例如，与图9的信号处理单元150相同或相似的单元)处理。例如，特定的多分量传感器可以提供一个弹道，其对应于由它的水听器进行的压力波场的测量；并且该传感器可提供对应于粒子运动的一个或多个分量的一个或多个弹道。所述传感器单元可以通过本文描述的MEMS基旋转传感器进一步感测角加速度。这种测量便于移除横向振动噪声。
地震采集的目的是要建立一个勘探区域的图像，用于识别地下地质构造(如示例性的地质构造220)的目的。对该代表物的随后分析可以揭示碳氢化合物矿床在地下地质构造中的可能位置。在一些实施例中，可以在地震勘探船202上执行对该代表物的部分分析，例如由信号处理单元226进行。根据其它实施例，可以通过相对于船202远程定位的地震数据处理系统来处理该代表物。因此，许多变型都是可能的并且在所附权利要求的范围之内。
尽管已经在上面描述了MEMS基旋转传感器以及使用MEMS基旋转传感器的相关方法的各种实施例，但是应该理解，它们仅是作为举例而被介绍，而不是作为限制。例如，尽管MEMS基旋转传感器10被描述为在地震数据采集系统中使用，但是应该理解，所述传感器也可以在地震数据采集领域之外的其他数据采集系统中使用。因此，本发明的广度和范围不应由任何上述示例性实施例限制，而是应当仅根据所附权利要求及其等同物限定。此外，在所描述的实施例中提供了上面的优点和特征，但是不应将权利要求的应用限制为实现上述任何或全部优点的过程和结构。
此外，这里给出的分节标题是为了与37CFR 1.77的建议一致或者提供组织线索。这些标题不限制或表征本发明中任何权利要求中界定的本发明。具体来说并通过例子，“背景技术”中对技术的描述不解释为承认该技术是本发明中任何发明的现有技术。“发明内容”也不能当作权利要求中给出的本发明的特征。而且，本发明中提及的单数形式的“发明”不是用来表明本发明仅要求保护一个新颖点。按照与本发明关联的多个权利要求的限制可以给出多个发明，且因此权利要求定义本发明及其受保护的等效物。在所有情形中，应根据说明书按照权利要求自身的优点考虑它们的范畴，而不应受本中列出的标题限制。

Claims (26)

1.一种用于陆基地震数据采集的传感器单元，包括：
用于测量垂直波场的粒子运动传感器，所述垂直波场具有水平梯度；
用于测量所述水平梯度的x分量的第一MEMS基旋转加速度计；
正交于所述第一MEMS基旋转加速度计定位的第二MEMS基旋转加速度计，所述第二MEMS基旋转加速度计用于测量所述水平梯度的y分量；
其中，所述第一和第二MEMS基旋转加速度计中的至少一个包括：
基板；
设于所述基板上的锚；
通过多个挠性弹簧联接于所述锚的检测质量，所述检测质量具有联接到其并从其延伸的第一电极；
固定到所述基板上的第二电极，第一和第二电极中的一个被配置为接收致动信号，第一和第二电极中的另一个被配置为产生具有与第一电极相对于第二电极的角运动程度相对应的幅值的电信号；以及
被配置为接收所述电信号并提供所述致动信号的闭环电路。
2.根据权利要求1所述的传感器单元，其中，所述粒子运动传感器以及所述第一和第二MEMS基旋转加速度计被设于外壳中，所述外壳具有从其向下悬垂的一个或多个联接元件，所述联接元件提供所述传感器组件至地面的联接。
3.根据权利要求1所述的传感器单元，其中，所述粒子运动传感器是单分量粒子运动传感器。
4.根据权利要求1所述的传感器单元，其中，所述粒子运动传感器是三分量粒子运动传感器。
5.一种MEMS基旋转传感器，包括：
基板；
设于所述基板上的锚；
通过多个挠性弹簧联接于所述锚的检测质量，所述检测质量具有联接到其并从其延伸的第一电极；
固定到所述基板上的第二电极，第一和第二电极中的一个被配置为接收致动信号，第一和第二电极中的另一个被配置为产生具有与第一电极相对于第二电极的角运动程度相对应的幅值的电信号；以及
被配置为接收所述电信号并提供所述致动信号的闭环电路。
6.根据权利要求5所述的MEMS基旋转传感器，其中，所述锚被设置于所述检测质量的中心。
7.根据权利要求5所述的MEMS基旋转传感器，其中，所述第一电极是梁状电极。
8.根据权利要求5所述的MEMS基旋转传感器，其中，所述第一和第二电极是梳状电极。
9.根据权利要求5所述的MEMS基旋转传感器，其中，所述闭环电路包括Σ-△调制器，并且所述电信号通过所述Σ-△调制器。
10.根据权利要求5所述的MEMS基旋转传感器，其中，所述电信号是模拟信号，所述闭环电路将所述模拟信号转换为比特流序列。
11.根据权利要求5所述的MEMS基旋转传感器，其中，所述闭环电路进一步包括用于接收所述比特流序列并将所述比特流序列转换为所述致动信号的力反馈发生器。
12.一种地震数据采集系统，包括：
用于产生地震波的一个或多个地震源；以及
用于记录由所述地震源产生的地震波的一个或多个传感器单元，所述一个或多个传感器单元具有用于测量所述地震波的垂直波场的第一地震传感器以及用于测量所述垂直波场的梯度的第二地震传感器，其中，所述第二地震传感器是MEMS基旋转传感器。
13.根据权利要求12所述的地震数据采集系统，其中，所述第一地震传感器是单分量粒子运动传感器。
14.根据权利要求12所述的地震数据采集系统，其中，所述第一地震传感器是三分量粒子运动传感器。
15.根据权利要求12所述的地震数据采集系统，进一步包括用于测量所述垂直波场的梯度的第三传感器，其中，所述第三传感器是正交于所述第二地震传感器定位的MEMS基旋转传感器。
16.根据权利要求12所述的地震数据采集系统，其中，所述MEMS基旋转传感器包括：
基板；
设于所述基板上的锚；
通过多个挠性弹簧联接于所述锚的检测质量，所述检测质量具有联接到其并从其延伸的第一电极；以及
固定到所述基板上的第二电极，第一和第二电极中的一个被配置为接收致动信号，第一和第二电极中的另一个被配置为产生具有与第一电极相对于第二电极的角运动程度相对应的幅值的电信号。
17.根据权利要求12所述的地震数据采集系统，其中，所述第一地震传感器及所述MEMS基旋转传感器产生通过闭环电路发送的电信号，该闭环电路被配置为提供致动信号。
18.根据权利要求17所述的地震数据采集系统，其中，所述电信号是模拟信号，所述闭环电路将所述模拟信号转换为相应的比特流序列。
19.根据权利要求18所述的地震数据采集系统，其中，所述闭环电路进一步包括用于接收相应的比特流序列并将所述相应的比特流序列转换为所述致动信号的力反馈发生器。
20.根据权利要求12所述的地震数据采集系统，其中，所述地震数据采集系统是陆基地震数据采集系统。
21.根据权利要求12所述的地震数据采集系统，其中，所述地震数据采集系统是海基地震数据采集系统。
22.一种用于执行地震数据采集的方法，包括：
利用一个或多个地震源产生地震波；
利用一个或多个传感器单元记录由所述地震源产生的地震波，所述传感器单元具有用于测量所述地震波的垂直波场的第一地震传感器以及用于测量所述垂直波场的梯度的第二地震传感器，其中，所述第二地震传感器是MEMS基旋转传感器。
23.根据权利要求22所述的方法，其中，所述第一地震传感器是用于测量所述垂直波场的MEMS基平移加速度计。
24.根据权利要求23所述的方法，其中，所述第二地震传感器是用于测量所述垂直波场的梯度的MEMS基旋转传感器。
25.根据权利要求22所述的方法，其中，地震数据采集是在陆地环境中执行的。
26.根据权利要求22所述的方法，其中，地震数据采集是在海洋环境中执行的。
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