CN105019016A - 具有翻转装置的拉晶炉 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，名称是具有翻转装置的拉晶炉，包括炉体，炉体安装在架子上，炉体内部具有炉腔，在炉腔内设置加热装置和多组卡着拉晶管的卡件，加热装置可以对拉晶管进行加热，所述的炉体两端具有多组对应卡件的轴孔，卡件后面安装第一转轴，第一转轴穿过轴孔，在第一转轴外面有小齿轮；在炉体的端部外侧具有转轮，转轮经过转轴安装在架子上，转轮连接第一动力装置，转轮内侧有大齿圈，齿圈和小齿轮啮合，具有不用翻转就可以使拉晶管各处受热均匀、拉晶效果好的优点。
Description
技术领域
本发明涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，特别是涉及拉晶炉。
背景技术
晶粒是制造半导体致冷件的部件，晶粒的主要成分是三碲化二铋，作为制造致冷件的晶粒要求其分子排列整齐，晶粒里面的分子排列越整齐，致冷件的效率就越高。
晶粒是由晶棒切割而成的，这就要求晶棒里面的分子排列是整齐的。
制造晶棒时，对其里面的分子进行排列的过程就是拉晶，拉晶是在拉晶炉中进行的，原料放置在拉晶管中，拉晶时拉晶管处于均衡的环境中有利于拉晶的效果。
拉晶炉具有炉腔，在炉腔内有放置拉晶管的卡件，拉晶时卡件卡着拉晶管；现有技术中，炉腔内的卡件是固定在炉腔内、不会转动的，这样，在拉晶的过程中，拉晶管在炉腔内的位置是不动的，具有拉晶效果差的缺点。
发明内容
本发明的目的就是针对上述缺点，提供一种拉晶效果好的拉晶炉——具有翻转装置的拉晶炉。
本发明的技术方案是这样实现的：具有翻转装置的拉晶炉，包括炉体，炉体安装在架子上，炉体内部具有炉腔，在炉腔内设置加热装置和多组卡着拉晶管的卡件，加热装置可以对拉晶管进行加热，其特征是：
所述的炉体两端具有多组对应卡件的轴孔，卡件后面安装第一转轴，第一转轴穿过轴孔，在第一转轴外面有小齿轮；
在炉体的端部外侧具有转轮，转轮经过转轴安装在架子上，转轮连接第一动力装置，转轮内侧有大齿圈，齿圈和小齿轮啮合。
进一步地讲，所述的炉体是由两端的炉挡板和中间的炉圈组成的，炉挡板是圆形的，炉圈是筒形的，炉挡板和炉圈具有配合的滑轮和滑道，所述的炉圈可以在炉挡板上转动结合，所述的加热装置安装在炉挡板上并在炉圈内，所述的加热装置在炉圈内，所述的炉圈连接有第二动力装置。
较好的，所述的内齿圈的齿数不是小齿轮齿数的倍数。
进一步地讲，所述的加热装置包括炉圈内底部的电加热丝和上面的红外线加热管。
本发明的有益效果是：
1、这样的拉晶炉具有不用翻转就可以使拉晶管各处受热均匀、拉晶效果好的优点；
2、所述的炉体是由两端的炉挡板和中间的炉圈组成的，炉挡板是圆形的，炉圈是筒形的，炉挡板和炉圈具有配合的滑轮和滑道，所述的炉圈可以在炉挡板上转动结合，所述的加热装置安装在炉挡板上并在炉圈内，所述的炉圈连接有第二动力装置，具有拉晶效果更好、短时间内完成拉晶、节省能源的优点；
3、所述的内齿圈的齿数不是小齿轮齿数的倍数，所述的加热装置包括炉圈内底部的电加热丝和上面的红外线加热管，具有拉晶效果更好的优点。
附图说明
图1是发明的结构示意图。
其中：1、炉体 2、架子 3、炉腔 4、加热装置 5、卡件 6、轴孔 7、第一转轴 8、小齿轮 9、转轮 10、转轴 11、第一动力装置 12、炉挡板 13、炉圈 14、第二动力装置 15、电加热丝 16、红外线加热管。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明。
如图1所示，具有翻转装置的拉晶炉，包括炉体1，炉体安装在架子2上，炉体1内部具有炉腔3，在炉腔内设置加热装置4和多组卡着拉晶管的卡件5，加热装置可以对拉晶管进行加热，其特征是：
所述的炉体两端具有多组对应卡件的轴孔6，卡件后面安装第一转轴7，第一转轴穿过轴孔，在第一转轴外面有小齿轮8；
在炉体的端部外侧具有转轮9，转轮9经过转轴10安装在架子上，转轮连接第一动力装置11，转轮内侧有大齿圈，齿圈和小齿轮啮合。
第一动力装置运行，带动转轮运行，转轮内的大齿圈带动小齿轮运行，由于轴孔6的限位作用，可以实现第一转轴7在同轴芯处的转动，这样避免了拉晶管朝着一个方向放置，例如避免了拉晶管朝向的部位总是朝着一个方向，减少了出现拉晶不均匀的现象，具有本发明的优点。
进一步地讲，所述的炉体是由两端的炉挡板12和中间的炉圈13组成的，炉挡板是圆形的，炉圈是筒形的，炉挡板和炉圈具有配合的滑轮和滑道，所述的炉圈可以在炉挡板上转动结合，所述的加热装置安装在炉挡板上并在炉圈内，所述的炉圈连接有第二动力装置14。由于加热装置安装在炉圈上，这样炉圈转动，加热更均匀。经过试验，这样拉晶时间缩短1∕4，具有相同时间拉晶效果更好、相同质量拉晶时间短、节省能源的优点；
较好的，所述的内齿圈的齿数不是小齿轮齿数的倍数，这样拉晶管的位置就会在截面的朝向上不断的变换，使用效果更好，例如内齿圈的齿数是41、42、43、44齿，小齿轮的齿数是10齿，这样效果更好；如果内齿圈的齿数是40齿，小齿轮的齿数是10齿，这样效果较差。
进一步地讲，所述的加热装置包括炉圈内底部的电加热丝15和上面的红外线加热管16。发明人经过试验，这样的拉晶效果更好。
以上所述仅为本发明的具体实施例，但本发明的结构特征并不限于此，任何本领域的技术人员在本发明的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本发明的专利范围内。
Claims (5)
1.具有翻转装置的拉晶炉，包括炉体，炉体安装在架子上，炉体内部具有炉腔，在炉腔内设置加热装置和多组卡着拉晶管的卡件，加热装置可以对拉晶管进行加热，其特征是：
所述的炉体两端具有多组对应卡件的轴孔，卡件后面安装第一转轴，第一转轴穿过轴孔，在第一转轴外面有小齿轮；
在炉体的端部外侧具有转轮，转轮经过转轴安装在架子上，转轮连接第一动力装置，转轮内侧有大齿圈，齿圈和小齿轮啮合。
2.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征是：所述的炉体是由两端的炉挡板和中间的炉圈组成的，炉挡板是圆形的，炉圈是筒形的，炉挡板和炉圈具有配合的滑轮和滑道，所述的炉圈可以在炉挡板上转动结合，所述的加热装置安装在炉挡板上并在炉圈内，所述的加热装置在炉圈内，所述的炉圈连接有第二动力装置。
3.根据权利要求1或2所述的拉晶炉，其特征是：所述的内齿圈的齿数不是小齿轮齿数的倍数。
4.根据权利要求1或2所述的拉晶炉，其特征是：所述的加热装置包括炉圈内底部的电加热丝和上面的红外线加热管。
5.根据权利要求3所述的拉晶炉，其特征是：所述的加热装置包括炉圈内底部的电加热丝和上面的红外线加热管。
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| CN201510473444.1A CN105019016A (zh) | 2015-08-06 | 2015-08-06 | 具有翻转装置的拉晶炉 |
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| CN105019016A true CN105019016A (zh) | 2015-11-04 |
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