CN104966790A - 集成触控amoled显示器件及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种集成触控AMOLED显示器件制备方法,包括:在载体上制作柔性基板;在所述柔性基板上直接制作触摸屏传感器,或者先在所述柔性基板上制作第一阻障层,再在所述第一阻障层上制作触摸屏传感器;在所述触摸屏传感器上制作第二阻障层;在所述第二阻障层上制备低温多晶硅薄膜晶体管层;在所述低温多晶硅薄膜晶体管层上制作OLED元件层;在所述OLED元件层上制作封装保护层;在所述封装保护层上制作柔性后盖;去除所述载体。应用本发明技术方案,能够降低集成触控AMOLED显示器件的厚度和成本,并消除视差。
Description
技术领域
本发明涉及半导体器件制备技术领域,特别是涉及一种集成触控AMOLED显示器件及其制备方法。
背景技术
AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diode,有源矩阵有机发光二极管)是公认的新一代显示面板,相比于一般的液晶面板,具有反应速度更快、对比度更高、视角更广的技术优点。
随着AMOLED技术的日益进步,AMOLED的应用场景也越来越广泛,例如在智能移动显示终端也应用了AMOLED显示器。通常,智能移动显示终端为了便于用户使用和操作,也需要集成触摸屏技术,因此在智能移动显示终端就需要将AMOLED显示技术和触控技术结合起来。在传统技术中,是在AMOLED外部的封装盖板上贴合触摸屏传感器,再在触摸屏传感器上贴盖板玻璃(CoverLens),有时为了需要增强Cover Lens强度,甚至需要使用强化玻璃,这就造成传统技术中的显示器件整体厚度比较大,重量大,成本较高的问题,同时AMOLED屏与触摸屏之间有空隙,会造成可读性下降引起视差的技术问题。
发明内容
基于此,有必要提供一种集成触控AMOLED显示器件及其制备方法,应用本发明技术方案,能够降低集成触控AMOLED显示器件的厚度和成本,并消除视差。
一种集成触控AMOLED显示器件制备方法,包括:
在载体上制作柔性基板;
在所述柔性基板上直接制作触摸屏传感器,或者先在所述柔性基板上制作第一阻障层,再在所述第一阻障层上制作触摸屏传感器;
在所述触摸屏传感器上制作第二阻障层;
在所述第二阻障层上制备低温多晶硅薄膜晶体管层;
在所述低温多晶硅薄膜晶体管层上制作OLED元件层;
在所述OLED元件层上制作封装保护层;
在所述封装保护层上制作柔性后盖
去除所述载体。
在一个实施例中,所述在载体上制作柔性基板的步骤,包括:
在玻璃载体上涂覆PI膜,对所述PI膜进行热烘形成柔性基板。
在一个实施例中,所述第一阻障层和所述第二阻障层为有机物膜组成的阻障层,或无机物膜组成的阻障层,或者有机物膜与无机物膜相互交替而组成的阻障层;
所述有机物膜为丙烯酸酯、聚苯乙烯、聚烯苯基胺中的一种或多种;
所述无机物膜为石墨烯膜、SiN、SiO2、a-Si、AL2O3中的一种或多种。
在一个实施例中,所述在所述第二阻障层上制备低温多晶硅薄膜晶体管层的步骤,包括:
对非晶硅采用激光晶化方式,实现人工控制超级横向成长形成低温多晶硅薄膜晶体管层。
在一个实施例中,所述封装保护层为有机物膜与无机物膜交替而成的封装保护层。
在一个实施例中,在所述在载体上制作柔性基板的步骤之前,所述方法还包括:
在所述载体上制作硬度级别为7H~10H的薄膜硬化层。
在一个实施例中,所述方法还包括模组制作的步骤。
一种集成触控AMOLED显示器件,包括:
柔性基板;
所述柔性基板之上的第一阻障层及触摸屏传感器,或者所述柔性基板之上的触摸屏传感器;
所述触摸屏传感器之上的第二阻障层;
所述第二阻障层之上的低温多晶硅薄膜晶体管层;
所述低温多晶硅薄膜晶体管层之上的OLED元件层;
所述OLED元件层之上的封装保护层;以及
所述封装保护层上的柔性后盖。
在一个实施例中,所述柔性基板为对PI膜进行热烘而形成的柔性基板;
所述第一阻障层和所述第二阻障层为有机物膜组成的阻障层,或无机物膜组成的阻障层,或者有机物膜与无机物膜相互交替而组成的阻障层;所述有机物膜为丙烯酸酯、聚苯乙烯、聚烯苯基胺中的一种或多种;所述无机物膜为石墨烯膜、SiN、SiO2、a-Si、AL2O3中的一种或多种;
所述低温多晶硅薄膜晶体管层为对非晶硅采用激光晶化方式,实现人工控制超级横向成长而形成的低温多晶硅薄膜晶体管层;
所述封装保护层为有机物膜与无机物膜交替而成的封装保护层。
在一个实施例中,在所述柔性基板之下,还包括硬度级别为7H~10H的薄膜硬化层。
上述集成触控AMOLED显示器件及其制备方法,将触摸屏传感器集成到AMOLED器件中的柔性基板与低温多晶硅薄膜晶体管层之间,相比于传统技术在在AMOLED显示器件封装盖板之外贴合触摸屏,降低了器件厚底和制备成本,并消除了视差问题,同时保证显示器件的高柔性要求。
附图说明
图1为一个实施例中的集成触控AMOLED显示器件制备方法的流程示意图;
图2为又一个实施例中的集成触控AMOLED显示器件制备方法的流程示意图;
图3为一个实施例中的集成触控AMOLED显示器件的结构示意图;
图4为又一个实施例中的集成触控AMOLED显示器件的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
参见图1,在一个实施例中提供了一种集成触控AMOLED显示器件制备方法,包括:
步骤101,在载体上制作柔性基板。
具体的,本步骤中的载体可以是玻璃载体。本步骤具体为:在玻璃载体上涂覆PI膜(Polymide Film,聚酰亚胺薄膜),对PI膜进行热烘(如在氮气,160~280℃环境下热烘3至4小时)而形成柔性基板。
步骤102,在柔性基板上直接制作触摸屏传感器,或者先在柔性基板上制作第一阻障层,再在第一阻障层上制作触摸屏传感器。
步骤103,在触摸屏传感器上制作第二阻障层。
具体的,前述两步骤中的第一阻障层和第二阻障层为有机物膜组成的阻障层,或无机物膜组成的阻障层,或者有机物膜与无机物膜相互交替而组成的阻障层。优选的,有机物膜为丙烯酸酯、聚苯乙烯、聚烯苯基胺中的一种或多种,无机物膜为石墨烯膜、SiN、SiO2、a-Si(非晶硅)、AL2O3中的一种或多种。第一阻障层和第二阻障层起到阻挡水汽、保证平整的作用。
步骤104,在第二阻障层上制备低温多晶硅薄膜晶体管层。
具体的,本步骤中对非晶硅采用激光晶化方式,实现人工控制超级横向成长形成低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS-TFT,Low Temperature Poly-Silicon,ThinFilm Transistor)层。对非晶硅进行激光晶化,降低了原料成本,同时结合人工控制超级横向成长技术,使形成的多晶硅中含有较少的晶界,从而使TFT器件性能均衡。
步骤105,在低温多晶硅薄膜晶体管层上制作OLED元件层。
具体的,制作OLED(Organic Light-Emitting Diode)元件层的步骤可以参照传统技术,其中的OLED器件可以但不限于包括空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层及电子注入层。
步骤106,在OLED元件层上制作封装保护层。
具体的,封装保护层为有机物膜与无机物膜交替而成的封装保护层,起到保护OLED器件的作用。
步骤107,在封装保护层上制作柔性后盖。
具体的,柔性后盖可以采用PET(Polyethylene Terephthalate,聚对苯二甲酸类塑料)材料。
步骤108,去除载体。
具体的,采用激光刻蚀的技术去除玻璃载体。在本步骤之后,还可以包括模组制作的工序,如检测、修复、清洗、IC绑定等工艺过程。
参见图2,在另一个实施例中提供了一种集成触控AMOLED显示器件制备方法,包括:
步骤201,在载体上制作硬度级别为7H-10H(硬度定义及计量单位可参见对铅笔笔芯的硬度等级划分,硬度等级分为13等级,以H和B相区别,H表示硬,B表示软)的薄膜硬化层。
具体的,薄膜硬化层起到对器件的防刮伤的作用。可选的,在制作薄膜硬化层之前可以先制作一层阻障层,该阻障层最终在步骤208中,和载体一起去除。
步骤202,制作柔性基板。
步骤203,在柔性基板上直接制作触摸屏传感器,或者先在柔性基板上制作第一阻障层,再在第一阻障层上制作触摸屏传感器。
步骤204,在触摸屏传感器上制作第二阻障层。
具体的,前述两步骤中的第一阻障层和第二阻障层为有机物膜组成的阻障层,或无机物膜组成的阻障层,或者有机物膜与无机物膜相互交替而组成的阻障层。优选的,有机物膜为丙烯酸酯、聚苯乙烯、聚烯苯基胺中的一种或多种,无机物膜为石墨烯膜、SiN、SiO2、a-Si、AL2O3中的一种或多种。第一阻障层和第二阻障层起到阻挡水汽、保证平整的作用。
步骤205,在第二阻障层上制备低温多晶硅薄膜晶体管层。
具体的,本步骤中对非晶硅采用激光晶化方式,实现人工控制超级横向成长形成低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS-TFT)层。对非晶硅进行激光晶化,降低了原料成本,同时结合人工控制超级横向成长技术,使形成的多晶硅中含有较少的晶界,从而使TFT器件性能均衡。
步骤206,在低温多晶硅薄膜晶体管层上制作OLED元件层。
具体的,制作OLED元件层的步骤可以参照传统技术,其中的OLED器件可以但不限于包括空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层及电子注入层。
步骤207,在OLED元件层上制作封装保护层。
具体的,封装保护层为有机物膜与无机物膜交替而成的封装保护层,起到保护OLED器件的作用。
步骤208,在封装保护层上制作柔性后盖。
步骤209,去除载体。
步骤210,模组制作。
参见图3,一种集成触控AMOLED显示器件,包括:
柔性基板301;
柔性基板301之上的第一阻障层302及触摸屏传感器303;
触摸屏传感器303之上的第二阻障层304;
第二阻障层304之上的低温多晶硅薄膜晶体管层305;
低温多晶硅薄膜晶体管层305之上的OLED元件层306;
OLED元件层306之上的封装保护层307;以及
封装保护层307之上的柔性后盖308。
具体的,柔性基板301为对PI膜进行热烘而形成的柔性基板。第一阻障层302和第二阻障层304为有机物膜组成的阻障层,或无机物膜组成的阻障层,或者有机物膜与无机物膜相互交替而组成的阻障层;有机物膜为丙烯酸酯、聚苯乙烯、聚烯苯基胺中的一种或多种;无机物膜为石墨烯膜、SiN、SiO2、a-Si、AL2O3中的一种或多种。低温多晶硅薄膜晶体管层305为对非晶硅采用激光晶化方式,实现人工控制超级横向成长而形成的低温多晶硅薄膜晶体管层。封装保护层307为有机物膜与无机物膜交替而成的封装保护层。柔性后盖308采用PET材料。
参见图4,在另一个实施例中的集成触控AMOLED显示器件,与图3实施例相比,还包括硬度级别为7H~10H的薄膜硬化层400,对整体器件起到保护作用。该器件的其它部分401至408,与图3实施例相类似,在此不再赘述。
上述实施例中的集成触控AMOLED显示器件及其制备方法,将触摸屏传感器集成到AMOLED器件中的柔性基板与低温多晶硅薄膜晶体管层之间,相比于传统技术在在AMOLED显示器件封装盖板之外贴合触摸屏,降低了器件厚底和制备成本,并消除了视差问题,同时保证显示器件的高柔性要求。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种集成触控AMOLED显示器件制备方法,其特征在于,包括:
在载体上制作柔性基板;
在所述柔性基板上直接制作触摸屏传感器,或者先在所述柔性基板上制作第一阻障层,再在所述第一阻障层上制作触摸屏传感器;
在所述触摸屏传感器上制作第二阻障层;
在所述第二阻障层上制备低温多晶硅薄膜晶体管层;
在所述低温多晶硅薄膜晶体管层上制作OLED元件层;
在所述OLED元件层上制作封装保护层;
在所述封装保护层上制作柔性后盖;
去除所述载体。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在载体上制作柔性基板的步骤,包括:
在玻璃载体上涂覆PI膜,对所述PI膜进行热烘形成柔性基板。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一阻障层和所述第二阻障层为有机物膜组成的阻障层,或无机物膜组成的阻障层,或者有机物膜与无机物膜相互交替而组成的阻障层;
所述有机物膜为丙烯酸酯、聚苯乙烯、聚烯苯基胺中的一种或多种;
所述无机物膜为石墨烯膜、SiN、SiO2、a-Si、AL2O3中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在所述第二阻障层上制备低温多晶硅薄膜晶体管层的步骤,包括:
对非晶硅采用激光晶化方式,实现人工控制超级横向成长形成低温多晶硅薄膜晶体管层。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述封装保护层为有机物膜与无机物膜交替而成的封装保护层。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述在载体上制作柔性基板的步骤之前,所述方法还包括:
在所述载体上制作硬度级别为7H~10H的薄膜硬化层。
7.根据权利要求1至6任一项所述的方法,其特征在于,所述方法还包括模组制作的步骤。
8.一种集成触控AMOLED显示器件,其特征在于,包括:
柔性基板;
所述柔性基板之上的第一阻障层及触摸屏传感器,或者所述柔性基板之上的触摸屏传感器;
所述触摸屏传感器之上的第二阻障层;
所述第二阻障层之上的低温多晶硅薄膜晶体管层;
所述低温多晶硅薄膜晶体管层之上的OLED元件层;
所述OLED元件层之上的封装保护层;以及
所述封装保护层之上的柔性后盖。
9.根据权利要求8所述的器件,其特征在于,所述柔性基板为对PI膜进行热烘而形成的柔性基板;
所述第一阻障层和所述第二阻障层为有机物膜组成的阻障层,或无机物膜组成的阻障层,或者有机物膜与无机物膜相互交替而组成的阻障层;所述有机物膜为丙烯酸酯、聚苯乙烯、聚烯苯基胺中的一种或多种;所述无机物膜为石墨烯膜、SiN、SiO2、a-Si、AL2O3中的一种或多种;
所述低温多晶硅薄膜晶体管层为对非晶硅采用激光晶化方式,实现人工控制超级横向成长而形成的低温多晶硅薄膜晶体管层;
所述封装保护层为有机物膜与无机物膜交替而成的封装保护层。
10.根据权利要求8所述的器件,其特征在于,在所述柔性基板之下,还包括硬度级别为7H~10H的薄膜硬化层。
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