CN104942442A - 激光微加工装置及其方法 - Google Patents
激光微加工装置及其方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104942442A CN104942442A CN201510323353.XA CN201510323353A CN104942442A CN 104942442 A CN104942442 A CN 104942442A CN 201510323353 A CN201510323353 A CN 201510323353A CN 104942442 A CN104942442 A CN 104942442A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- laser
- ultrasonic
- workpiece
- container
- vibration platform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/352—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
本发明涉及激光微加工装置及方法，包括旋转台以及位于其上的容器，下超声振动台安装在容器底部，上超声振动台固定在下超声振动台上，工件置于上超声振动台上，上超声振动台上方布置有激光源和透镜，激光束穿过透镜到达工件的表面，上超声振动台上侧设有超声喇叭，超声喇叭发射超声波至工件的表面，外容器通过进液管和出液管与容器相连，进液管上喷嘴朝向工件的表面。激光辐照浸没在液体中工件表面时，超声喇叭辐照工件表面，或使工件在竖直方向和水平方向产生超声振动；激光与超声波同时理想的作用在工件第一表面，达到不同的加工效果，可强化超声空化、水射流等现象，实现对工件表面的再清洗，减小加工的热影响区、裂纹、碎屑的沉积等。
Description
技术领域
本发明涉及一种激光微加工装置及其方法，属于激光微细加工技术领域。
背景技术
微加工领域通常指通过在微细工件上去除材料实现特征的创建和修改。激光加工技术是常见的一种激光微细加工技术。激光微细加工有许多优点，包括良好的柔性(光束扫描轨迹路径的可控制性)，非接触式加工(激光束为最主要的加工刀具，且与工件不接触)，高分辨率(小于10微米)。因此，激光微细加工有许多现有的和潜在的应用领域，包括但不局限于如：医疗设备、太阳能电池以及提高摩擦性能的机械零件表面微织构。
与此同时，目前激光加工仍存在以下一个或多个缺陷：
1)碎屑的沉积；
2)激光诱导的热效应缺陷，包括表面氧化层、重铸层、热影响区、裂纹等；
3)有害的表面残余拉应力，降低了零部件的机械性能，也可视为激光诱导热效应的另一种缺陷形式。
在加工过程中，上述缺点很难被减少或去除，其增加了加工的难度、时间和成本。
因此，有必要开发一种新的技术来提高激光加工的效率和质量，避免上述缺点中一个或多个的发生。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种激光微加工装置及其方法，旨在避免缺陷的发生，提高加工质量和效率。
本发明的目的通过以下技术方案来实现：
激光微加工装置，特点是：包括旋转台以及位于其上的容器，下超声振动台安装在容器底部，上超声振动台固定在下超声振动台上，工件置于上超声振动台上，放置工件的上超声振动台上方布置有激光源和透镜，激光源发出激光束，激光束穿过透镜到达工件的表面，放置工件的上超声振动台上侧设有超声喇叭，超声喇叭发射超声波至工件的表面，外容器通过进液管和出液管与容器相连，进液管端部设有喷嘴，喷嘴朝向工件的表面。
进一步地，上述的激光微加工装置，其中，所述进液管和出液管的管路上安装有变流量泵。
更进一步地，上述的激光微加工装置，其中，所述进液管管路上设有过滤器。
更进一步地，上述的激光微加工装置，其中，所述放置工件的上超声振动台上侧设有第一超声喇叭和第二超声喇叭，分别位于左右两侧并朝向工件表面。
更进一步地，上述的激光微加工装置，其中，所述上超声振动台发射的超声波传播的方向垂直于工件表面，下超声振动台发射的超声波传播方向水平于工件表面。
更进一步地，上述的激光微加工装置，其中，所述进液管发射具有压力的液体至加工区域及周围区域。
更进一步地，上述的激光微加工装置，其中，所述激光源发出的激光的运动方向与下超声振动台运动方向之间的角度可调。
本发明激光微加工方法，激光器发出激光束，激光束透过透镜继续在容器的液体中传播，激光束到达工件表面时，超声喇叭、上超声振动台和下超声振动台发出的超声波到达工件表面，当工件表面激光光斑移动时，旋转台带动容器、下超声振动台、上超声振动台和工件转动，实现下超声振动台发生的超声波的方向与激光轨迹的夹角可调，发出的超声波到达工件表面后，在液体中产生空化泡，空化泡经过一次或多次脉动后产生冲击波，在空泡内外压力失衡后发生溃灭，产生高压液体射流，冲击波与液体射流作用在工件表面后实现熔渣的去除、工件表面的快速冷却，超声波在液体下产生微小的热对流，迅速带走激光在工件表面辐照后产生的碎屑、气泡，外容器内的液体与容器内的液体对流，喷嘴发射液体流至工件表面，迅速带走悬浮的气泡和熔渣并加速容器中液体的对流，出液管将容器内的液体经变量泵抽到外容器内，使容器内液位平衡以及快速冷却。
再进一步地，上述的超声波辅助水下激光微加工方法，其中，超声波形与激光脉冲波形及相位可调。
再进一步地，上述的超声波辅助水下激光微加工方法，其中，所述激光器为振镜扫描激光器，外容器和容器中装有去离子水，超声波频率为20～80kHz。
本发明技术方案突出的实质性特点和显著的进步主要体现在：
①激光辐照浸没在液体中工件表面时，利用超声喇叭辐照工件表面，或使工件在竖直方向和水平方向产生超声振动；激光与超声波将同时理想的作用在工件的第一表面，从而达到不同的加工效果；
②可强化超声空化、水射流等现象，实现对工件表面的再清洗，减小加工的热影响区、裂纹、碎屑的沉积等；
③可加快溶液的对流，迅速带走表面的热气泡、碎屑等，可提高激光在溶液中的传输效率，提高加工质量和效率；
④实现激光不同轨迹路径下的超声振动方向的调整，提高加工过程的控制性，较好地改善激光液下微加工的效果，提高激光微细加工的质量、效率以及精度。
附图说明
下面结合附图对本发明技术方案作进一步说明：
图1：本发明的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，激光微加工装置，包括旋转台1以及位于其上的容器15，下超声振动台2安装在容器15底部，上超声振动台3固定在下超声振动台2上，工件4置于上超声振动台3上，放置工件4的上超声振动台3上方布置有激光源7和透镜6，激光源7发出激光束8，激光束8穿过透镜6到达工件4的表面，放置工件4的上超声振动台3上侧设有第一超声喇叭5和第二超声喇叭9，分别位于左右两侧并朝向工件4的表面，第一超声喇叭5和第二超声喇叭9发射超声波至工件4的表面，外容器14通过进液管10和出液管11与容器15相连，进液管10端部设有喷嘴，喷嘴朝向工件4的表面，进液管10和出液管11的管路上安装有变流量泵13，进液管10管路上设有过滤器12。
其中，激光器7为振镜扫描激光器，激光源可按照计划轨迹进行扫描，透镜6为傅里叶透镜，透镜6与工件4之间的距离可调，外容器14和容器15中装有去离子水，超声波频率为20～80kHz。
具体应用时，超声波在容器15的液体中传输时产生空化、水射流和对流现象，激光器7发出激光束8，激光束8透过透镜6继续在容器15的液体中传播，激光束8到达工件4表面时，第一超声喇叭5、第二超声喇叭9、上超声振动台3和下超声振动台2发出的超声波同时到达和在一定时间范围内到达工件表面，当工件4表面激光光斑移动时，旋转台1带动容器15、下超声振动台2、上超声振动台3和工件4转动，实现下超声振动台2发生的超声波的方向与激光轨迹的夹角可调，发出的超声波到达工件表面后，在水中产生空化泡，空化泡经过一次或多次脉动后产生冲击波，在空泡内外压力失衡后发生溃灭，产生高压水射流，冲击波与水射流作用在工件表面后可实现熔渣的去除、工件表面的快速冷却，减小热应力，降低裂纹的发生，超声波在水下产生微小的热对流，迅速带走激光在工件表面辐照后产生的碎屑、气泡，提高表面质量，外容器14内的水与容器15内的水对流，进液管10的头部安装的喷嘴发射水流至工件表面，迅速带走悬浮的气泡和熔渣并加速容器15中液体的对流，出液管11将容器15内的水经变量泵13抽到外容器14内，保证容器15内水位的平衡和水的快速冷却，进液管10上安装有过滤器，提高工件表面射流的纯净度，从而获得更好的加工效果。
上超声振动台3发射的超声波传播的方向垂直于工件表面，下超声振动台4发射的超声波传播方向水平于工件表面。进液管10发射具有压力的水流至加工区域及周围区域。激光源7发出的激光的运动方向与下超声振动台运动方向之间的角度可调。超声波形与激光脉冲波形及相位可调。
激光辐照浸没在液体中工件表面时，利用超声喇叭辐照工件表面，或使工件在竖直方向和水平方向产生超声振动。激光与超声波将同时理想的作用在工件的第一表面，从而达到不同的加工效果。
综上所述，本发明可强化超声空化、水射流等现象，实现对工件表面的再清洗，减小加工的热影响区、裂纹、碎屑的沉积等。可加快溶液的对流，迅速带走表面的热气泡、碎屑等，可提高激光在溶液中的传输效率，提高加工质量和效率。实现激光不同轨迹路径下的超声振动方向的调整，提高加工过程的控制性。很好的改善激光液下微加工的效果，提高激光微细加工的质量、效率以及精度。
需要理解到的是：以上所述仅是本发明的优选实施方式，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.激光微加工装置，其特征在于：包括旋转台以及位于其上的容器，下超声振动台安装在容器底部，上超声振动台固定在下超声振动台上，工件置于上超声振动台上，放置工件的上超声振动台上方布置有激光源和透镜，激光源发出激光束，激光束穿过透镜到达工件的表面，放置工件的上超声振动台上侧设有超声喇叭，超声喇叭发射超声波至工件的表面，外容器通过进液管和出液管与容器相连，进液管端部设有喷嘴，喷嘴朝向工件的表面。
2.根据权利要求1所述的激光微加工装置，其特征在于：所述进液管和出液管的管路上安装有变流量泵。
3.根据权利要求1所述的激光微加工装置，其特征在于：所述进液管管路上设有过滤器。
4.根据权利要求1所述的激光微加工装置，其特征在于：所述放置工件的上超声振动台上侧设有第一超声喇叭和第二超声喇叭，分别位于左右两侧并朝向工件表面。
5.根据权利要求1所述的激光微加工装置，其特征在于：所述上超声振动台发射的超声波传播的方向垂直于工件表面，下超声振动台发射的超声波传播方向水平于工件表面。
6.根据权利要求1所述的激光微加工装置，其特征在于：所述进液管发射具有压力的液体流至加工区域及周围区域。
7.根据权利要求1所述的激光微加工装置，其特征在于：所述激光源发出的激光的运动方向与下超声振动台运动方向之间的角度可调。
8.权利要求1所述装置实现激光微加工方法，其特征在于：激光器发出激光束，激光束透过透镜继续在容器的液体中传播，激光束到达工件表面时，超声喇叭、上超声振动台和下超声振动台发出的超声波到达工件表面，当工件表面激光光斑移动时，旋转台带动容器、下超声振动台、上超声振动台和工件转动，实现下超声振动台发生的超声波的方向与激光轨迹的夹角可调，发出的超声波到达工件表面后，在液体中产生空化泡，空化泡经过一次或多次脉动后产生冲击波，在空泡内外压力失衡后发生溃灭，产生高压液体射流，冲击波与液体射流作用在工件表面后实现熔渣的去除、工件表面的快速冷却，超声波在液体下产生微小的热对流，迅速带走激光在工件表面辐照后产生的碎屑、气泡，外容器内的液体与容器内的液体对流，喷嘴发射液体流至工件表面，迅速带走悬浮的气泡和熔渣并加速容器中液体的对流，出液管将容器内的液体经变量泵抽到外容器内，使容器内液位平衡以及快速冷却。
9.根据权利要求8所述的激光微加工方法，其特征在于：超声波形与激光脉冲波形及相位可调。
10.根据权利要求8所述的激光微加工方法，其特征在于：所述激光器为振镜扫描激光器，外容器和容器中装有去离子水，超声波频率为20～80kHz。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510323353.XA CN104942442A (zh) | 2015-06-11 | 2015-06-11 | 激光微加工装置及其方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510323353.XA CN104942442A (zh) | 2015-06-11 | 2015-06-11 | 激光微加工装置及其方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104942442A true CN104942442A (zh) | 2015-09-30 |
Family
ID=54157791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510323353.XA Pending CN104942442A (zh) | 2015-06-11 | 2015-06-11 | 激光微加工装置及其方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN104942442A (zh) |
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105689898A (zh) * | 2016-04-05 | 2016-06-22 | 江南大学 | 一种超声辅助激光等离子体背部湿刻法刻蚀石英玻璃的加工方法 |
| CN106994559A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-08-01 | 河南理工大学 | 一种高度可调的倾角式超声振动加工装置 |
| CN107058718A (zh) * | 2017-03-11 | 2017-08-18 | 江苏大学 | 一种用于轴类零件空化射流强化的装置及方法 |
| CN107081681A (zh) * | 2017-06-06 | 2017-08-22 | 浙江工业大学 | 基于磨粒动态冲击效应的微流体通道加工装置 |
| CN107790897A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-13 | 江苏大学 | 一种超声振动辅助激光打孔方法及装置 |
| CN107953038A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-04-24 | 常州英诺激光科技有限公司 | 透明脆性材料加工设备 |
| CN108123011A (zh) * | 2018-01-11 | 2018-06-05 | 温州大学激光与光电智能制造研究院 | 激光制绒装备及其方法 |
| CN109048033A (zh) * | 2018-08-24 | 2018-12-21 | 江苏大学 | 一种激光加载下的水下冲击焊接金属与陶瓷的装置及其方法 |
| CN109570151A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-04-05 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置及清洗方法 |
| CN109693036A (zh) * | 2017-10-24 | 2019-04-30 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
| CN109746571A (zh) * | 2017-11-02 | 2019-05-14 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
| CN110078019A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-08-02 | 东南大学 | 一种基于激光诱导空化的纳尺度薄膜孔制备装置及其方法 |
| CN110405347A (zh) * | 2019-07-12 | 2019-11-05 | 天津科技大学 | 一种超声辅助激光不锈钢着色的方法及装置 |
| CN110539095A (zh) * | 2019-10-15 | 2019-12-06 | 天津科技大学 | 一种制备金属表面疏水性的超声辅助激光装置 |
| CN110883433A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-03-17 | 清华大学 | 一种基于液体辅助飞秒激光在线刻蚀的微通道加工系统 |
| CN111375769A (zh) * | 2020-04-17 | 2020-07-07 | 东南大学 | 双超声辅助水下激光增材装置和方法 |
| CN111889896A (zh) * | 2020-07-02 | 2020-11-06 | 松山湖材料实验室 | 一种超声协同激光的晶锭剥离方法 |
| CN113732515A (zh) * | 2021-09-26 | 2021-12-03 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 可控液流-振动耦合辅助激光铣抛加工方法与系统 |
| CN113814560A (zh) * | 2021-09-10 | 2021-12-21 | 广东工业大学 | 多脉宽激光加工装置及方法 |
| CN114571106A (zh) * | 2022-03-28 | 2022-06-03 | 北京理工大学 | 超声能场及液体辅助的飞秒激光多光束高效制孔装置 |
| CN114589158A (zh) * | 2022-03-15 | 2022-06-07 | 广东工业大学 | 连杆激光空化复合超声波清洗装置及清洗方法 |
| WO2022144808A1 (ru) * | 2020-12-31 | 2022-07-07 | Дмитрий ЧУХЛАНЦЕВ | Установка для лазерного ударного упрочнения деталей |
| WO2022144809A1 (ru) * | 2020-12-31 | 2022-07-07 | Дмитрий ЧУХЛАНЦЕВ | Способ лазерного ударного упрочнения деталей |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20070262063A1 (en) * | 2006-05-11 | 2007-11-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Laser shock hardening method and apparatus |
| CN101396768A (zh) * | 2007-09-28 | 2009-04-01 | 速技能机械有限公司 | 利用引入射流柱中的激光束的激光加工装置 |
| CN201235433Y (zh) * | 2008-07-29 | 2009-05-13 | 扬州大学 | 复合同步超声频振动微细电解加工装置 |
| CN103084682A (zh) * | 2013-01-16 | 2013-05-08 | 河南理工大学 | 一种液束射流电解加工微坑的方法 |
| CN103203664A (zh) * | 2013-04-11 | 2013-07-17 | 温州大学 | 一种选择性激光熔化成形金属零件的内孔抛光方法 |
| US20140263213A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Benxin Wu | Ultrasound-assisted water-confined laser micromachining |
| CN204657747U (zh) * | 2015-06-11 | 2015-09-23 | 温州大学 | 激光微加工装置 |
-
2015
- 2015-06-11 CN CN201510323353.XA patent/CN104942442A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20070262063A1 (en) * | 2006-05-11 | 2007-11-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Laser shock hardening method and apparatus |
| CN101396768A (zh) * | 2007-09-28 | 2009-04-01 | 速技能机械有限公司 | 利用引入射流柱中的激光束的激光加工装置 |
| CN201235433Y (zh) * | 2008-07-29 | 2009-05-13 | 扬州大学 | 复合同步超声频振动微细电解加工装置 |
| CN103084682A (zh) * | 2013-01-16 | 2013-05-08 | 河南理工大学 | 一种液束射流电解加工微坑的方法 |
| US20140263213A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Benxin Wu | Ultrasound-assisted water-confined laser micromachining |
| CN103203664A (zh) * | 2013-04-11 | 2013-07-17 | 温州大学 | 一种选择性激光熔化成形金属零件的内孔抛光方法 |
| CN204657747U (zh) * | 2015-06-11 | 2015-09-23 | 温州大学 | 激光微加工装置 |
Cited By (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105689898A (zh) * | 2016-04-05 | 2016-06-22 | 江南大学 | 一种超声辅助激光等离子体背部湿刻法刻蚀石英玻璃的加工方法 |
| CN107058718A (zh) * | 2017-03-11 | 2017-08-18 | 江苏大学 | 一种用于轴类零件空化射流强化的装置及方法 |
| CN106994559A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-08-01 | 河南理工大学 | 一种高度可调的倾角式超声振动加工装置 |
| CN107081681A (zh) * | 2017-06-06 | 2017-08-22 | 浙江工业大学 | 基于磨粒动态冲击效应的微流体通道加工装置 |
| CN109693036A (zh) * | 2017-10-24 | 2019-04-30 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
| CN109746571A (zh) * | 2017-11-02 | 2019-05-14 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
| CN107790897A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-13 | 江苏大学 | 一种超声振动辅助激光打孔方法及装置 |
| CN107953038A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-04-24 | 常州英诺激光科技有限公司 | 透明脆性材料加工设备 |
| CN107953038B (zh) * | 2017-12-27 | 2023-10-20 | 常州英诺激光科技有限公司 | 透明脆性材料加工设备 |
| CN108123011A (zh) * | 2018-01-11 | 2018-06-05 | 温州大学激光与光电智能制造研究院 | 激光制绒装备及其方法 |
| CN109048033A (zh) * | 2018-08-24 | 2018-12-21 | 江苏大学 | 一种激光加载下的水下冲击焊接金属与陶瓷的装置及其方法 |
| CN109048033B (zh) * | 2018-08-24 | 2020-12-18 | 江苏大学 | 一种激光加载下的水下冲击焊接金属与陶瓷的装置及方法 |
| CN109570151A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-04-05 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置及清洗方法 |
| CN109570151B (zh) * | 2019-01-25 | 2023-12-22 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置及清洗方法 |
| CN110078019A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-08-02 | 东南大学 | 一种基于激光诱导空化的纳尺度薄膜孔制备装置及其方法 |
| CN110078019B (zh) * | 2019-04-04 | 2021-06-29 | 东南大学 | 一种基于激光诱导空化的纳尺度薄膜孔制备装置及其方法 |
| CN110405347A (zh) * | 2019-07-12 | 2019-11-05 | 天津科技大学 | 一种超声辅助激光不锈钢着色的方法及装置 |
| CN110539095A (zh) * | 2019-10-15 | 2019-12-06 | 天津科技大学 | 一种制备金属表面疏水性的超声辅助激光装置 |
| CN110883433A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-03-17 | 清华大学 | 一种基于液体辅助飞秒激光在线刻蚀的微通道加工系统 |
| CN111375769B (zh) * | 2020-04-17 | 2022-03-25 | 东南大学 | 双超声辅助水下激光增材装置和方法 |
| CN111375769A (zh) * | 2020-04-17 | 2020-07-07 | 东南大学 | 双超声辅助水下激光增材装置和方法 |
| CN111889896B (zh) * | 2020-07-02 | 2022-05-03 | 松山湖材料实验室 | 一种超声协同激光的晶锭剥离方法 |
| CN111889896A (zh) * | 2020-07-02 | 2020-11-06 | 松山湖材料实验室 | 一种超声协同激光的晶锭剥离方法 |
| WO2022144808A1 (ru) * | 2020-12-31 | 2022-07-07 | Дмитрий ЧУХЛАНЦЕВ | Установка для лазерного ударного упрочнения деталей |
| WO2022144809A1 (ru) * | 2020-12-31 | 2022-07-07 | Дмитрий ЧУХЛАНЦЕВ | Способ лазерного ударного упрочнения деталей |
| CN113814560A (zh) * | 2021-09-10 | 2021-12-21 | 广东工业大学 | 多脉宽激光加工装置及方法 |
| CN113732515A (zh) * | 2021-09-26 | 2021-12-03 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 可控液流-振动耦合辅助激光铣抛加工方法与系统 |
| CN114589158A (zh) * | 2022-03-15 | 2022-06-07 | 广东工业大学 | 连杆激光空化复合超声波清洗装置及清洗方法 |
| CN114589158B (zh) * | 2022-03-15 | 2023-02-28 | 广东工业大学 | 激光空化复合超声波清洗方法及装置 |
| CN114571106A (zh) * | 2022-03-28 | 2022-06-03 | 北京理工大学 | 超声能场及液体辅助的飞秒激光多光束高效制孔装置 |
| CN114571106B (zh) * | 2022-03-28 | 2022-12-09 | 北京理工大学 | 超声能场及液体辅助的飞秒激光多光束高效制孔装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104942442A (zh) | 激光微加工装置及其方法 | |
| US9649722B2 (en) | Ultrasound-assisted water-confined laser micromachining | |
| CN204657747U (zh) | 激光微加工装置 | |
| US10814431B2 (en) | Device for laser-inducing cavitation strengthening with multi-system automatic coordination work | |
| CN113146078B (zh) | 一种用于激光水下加工的气泡观测与消除装置、方法 | |
| CN102248308A (zh) | 利用激光空化微射流进行微加工的方法 | |
| CN112589261B (zh) | 一种多能场辅助超短脉冲激光加工过程监测装置及方法 | |
| CN110640337A (zh) | 一种液态流动涂层辅助激光背向湿刻加工低锥度玻璃深孔的装置及方法 | |
| CN103402597B (zh) | 消泡方法以及消泡装置 | |
| CN112658446B (zh) | 一种激光诱导等离子体微细加工装置及方法 | |
| WO2008149352A3 (en) | Apparatus and method for inducing controllable jets in liquids | |
| JP4977234B2 (ja) | レーザ衝撃硬化処理方法および装置 | |
| CN109465252A (zh) | 超声辅助激光水下清洗装置及方法 | |
| CN106636607A (zh) | 一种可控约束的激光微喷丸强化装置及其方法 | |
| US11708619B2 (en) | Method and device for reducing and homogenizing residual stress of a component | |
| CN106994559A (zh) | 一种高度可调的倾角式超声振动加工装置 | |
| CN109570151B (zh) | 液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置及清洗方法 | |
| CN109175896B (zh) | 一种硬脆材料的超声加工方法及系统 | |
| JP2017177162A (ja) | レーザピーニング加工装置及びレーザピーニング加工方法 | |
| CN103803485A (zh) | 激光直写玻璃表面制备光学微结构的方法 | |
| CN107953038B (zh) | 透明脆性材料加工设备 | |
| CN113957236A (zh) | 一种基于聚焦超声的表面强化方法 | |
| JP4868729B2 (ja) | レーザ衝撃硬化処理方法および装置 | |
| CN116117331A (zh) | 一种用于半球谐振子的激光抛光方法 | |
| CN213764458U (zh) | 非金属脆性材料的激光焊接修复装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20150930 |