CN104937474A - 通过衍射元件放大出射光瞳的光学透镜 - Google Patents
通过衍射元件放大出射光瞳的光学透镜 Download PDFInfo
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Abstract
一种用于产生图像供观察者观看的光学仪器,包括产生物体光学图像以供观察者在出射光瞳处观看的光学系统,以及位于像平面的衍射元件,产生在观察者看来是单个放大的出射光瞳的出射光瞳阵列。所述衍射元件包括具有衍射单元阵列的表面,其中每个衍射单元生成所述出射光瞳阵列中的一个出射光瞳,衍射单元各自包括微透镜,产生衍射干扰并生成以出射光瞳阵列的形式相对彼此排列的多个出射光瞳,微透镜各自包括具有多个表面的不规则特征。衍射单元从衍射元件的光轴向外呈渐进放射状设置,以及渐进地配置以提供渐增的角度偏移,这样,不依赖于所述衍射元件的孔上的位置,来自接收到的图像的光线会中继到横跨所述衍射元件的孔的视平面上的共同区域内。
Description
技术领域
本发明涉及光学仪器,特别是显微镜,尤其是具有可以由观察者观看物体成像的出射光瞳的光学仪器,以及与该光学仪器一起使用的衍射光学元件。
背景技术
在传统光学仪器中,出射光瞳的大小由光学仪器的数值孔径和总放大倍数的函数决定,所以出射光瞳的大小尺寸是固定的且相对较小。因此,观察者必须准确地将他/她眼睛的入射光瞳与光学仪器的出射光瞳对准,以正确观察图像。
本发明申请人此前研制了数个不同的光学仪器,通过在中间像平面放置衍射元件,提供有效放大的出射光瞳,使观察者可以将他/她的眼睛放置在放大的出射光瞳内的任何位置观看图像。这些光学仪器公布在美国专利US-A-6028704、US-A-6608720、US-A-7123415中。英国专利GB-A-2418345公布了衍射光栅在黑白摄影图像彩色化中的用途。
发明内容
本发明申请人目前研制出了改进的光学仪器,同样提供了有效放大的出射光瞳,但能提供更高的光学净度且不需要安装场镜,场镜是精密研磨和抛光的玻璃组件,考虑到视场的大小,场镜通常是光学仪器中最昂贵的组件。
一方面,本发明提供了用于产生光学图像供观察者观看的光学仪器,该光学仪器包括:用于产生供观察者在出射光瞳处观看物体光学图像的光学系统;位于光学系统像平面的衍射光学元件,用于产生出射光瞳,在观察者看来是单个、放大的出射光瞳的出射光瞳阵列;其中衍射元件包括具有衍射单元阵列的表面,每个衍射单元生成出射光瞳阵列中的一个出射光瞳,每个衍射单元都包括微透镜,能有效地产生光的衍射干扰,并生成以多个出射光瞳,多个出射光瞳以出射光瞳阵列的形式相对彼此排列,微透镜各自包括具有多个表面的不规则特征;其中衍射单元从衍射元件的光轴向外呈渐进放射状设置,以及渐进地配置以提供渐增的角度偏移,这样,不依赖衍射元件的孔上的位置,来自接收到的图像的光线会中继到横跨所述衍射元件的孔的视平面上的共同区域内
另一方面,本发明提供了用于产生光学图像供观察者观看的光学仪器,该光学仪器包括:用于产生供观察者在出射光瞳处观看物体光学图像的光学系统;位于光学系统像平面的衍射光学元件,用于产生出射光瞳阵列,出射光瞳阵列在观察者看来是单个放大的出射光瞳;其中衍射元件包括具有衍射单元阵列的表面,其中每个衍射单元生成出射光瞳阵列中的一个出射光瞳,衍射单元各自都包括微透镜,能有效地产生光的衍射干扰,并生成以出射光瞳阵列形式相对彼此排列的多个出射光瞳,微透镜各自包括具有多个表面的不规则特征。
在一个实施例中,所述衍射元件被配置以将来自接收到的图像的光线中继到横跨所述衍射元件的孔的视平面上的共同区域内。
在一个实施例中,所述衍射单元从衍射元件的光轴向外呈渐进放射状设置,以及渐进地配置以提供渐增的角度偏移,这样,不依赖衍射元件的孔上的位置,来自接收到的图像的光线会中继到视平面上的共同区域内。
在一个实施例中,所述衍射单元将来自接收到的图像的光线中继到视平面上的共同区域内而不需要任何中继透镜。
在一个实施例中,所述微透镜在径向螺旋上形成,可选地,微透镜在螺距为约40微米至约120微米或70微米至约100微米的径向螺旋上形成,和/或沿螺旋方向的螺距为约40微米至约120微米或70微米至约100微米。
又一方面,本发明提供了用于产生光学图像供观察者观看的光学仪器,该光学仪器包括:用于产生供观察者在出射光瞳处观看物体光学图像的光学系统;位于光学系统像平面的衍射元件,用于产生出射光瞳阵列,出射光瞳阵列在观察者看来是单个放大的出射光瞳;其中衍射元件包括具有衍射单元阵列的表面,其中每个衍射单元生成出射光瞳阵列中的一个出射光瞳,衍射单元各自都包括微透镜,能有效地产生光的衍射干扰,并生成以出射光瞳阵列的形式相对彼此排列的多个出射光瞳,微透镜各自包括具有多个表面的不规则特征,并且在径向螺旋上形成。
在一个实施例中,所述径向螺旋的螺距为约40微米至约120微米或者约70微米至约100微米,和/或沿螺旋方向的螺距为约40微米至约120微米或70微米至约100微米。
在一个实施例中,所述衍射元件被配置以将来自接收到的图像的光线中继到横跨所述衍射元件的孔的视平面上的共同区域内。
在一个实施例中,所述衍射单元从衍射元件的光轴向外呈渐进放射状设置,以及渐进地配置以提供渐增的角度偏移,这样,不依赖衍射元件的孔上的位置,来自接收到的图像的光线会中继到横跨所述衍射元件的孔的视平面上的共同区域内。
在一个实施例中,所述衍射单元将来自接收到的图像的光线中继到视平面上的共同区域内而不需要任何中继透镜。
在一个实施例中,所述微透镜各自包括直线微透镜表面,直线微透镜表面界定侧面并且相对所述衍射元件的表面倾斜或偏斜,可选地,所述侧面相对衍射元件表面的角度从约65度至约90度或者从75度至约90度。
再一方面,本发明提供了用于产生光学图像供观察者观看的光学仪器,该光学仪器包括:光学系统,用于产生供观察者在出射光瞳处观看物体的光学图像;衍射元件,位于光学系统像平面,用于产生出射光瞳阵列,出射光瞳阵列在观察者看来是单个放大的出射光瞳;其中衍射元件包括具有衍射单元阵列的表面,其中每个衍射单元生成出射光瞳阵列中的一个出射光瞳,衍射单元各自包括微透镜,能有效地产生光的衍射干扰,并生成以出射光瞳阵列的形式相对彼此排列的多个出射光瞳,微透镜各自包括具有多个表面的不规则特征,并且所述微透镜各自包括直线微透镜表面,直线微透镜表面界定侧面,并且相对衍射元件的表面倾斜或偏斜。
在一个实施例中,所述衍射元件被配置以将来自接收到的图像的光线中继到横跨所述衍射元件的孔的视平面上的共同区域内。
在一个实施例中,所述衍射单元从衍射元件的光轴向外呈渐进放射状设置,以及渐进地配置以提供渐增的角度偏移,这样,不依赖衍射元件的孔上的位置,来自接收到的图像的光线会中继到横跨所述衍射元件的孔的视平面上的共同区域内。
在一个实施例中,所述衍射单元将来自接收到的图像的光线中继到视平面上的共同区域内而不需要任何中继透镜。
在一个实施例中,所述微透镜在径向螺旋上形成,可选地,微透镜在螺距为约40微米至约120微米或70微米至约100微米的径向螺旋上形成,和/或沿螺旋方向的螺距为约40微米至约120微米或70微米至约100微米。
在一个实施例中,所述侧面相对衍射元件表面的角度从约65度至约90度或者从75度至约90度。
在一个实施例中,所述侧面是弧形或弯曲的表面,可选地,所述侧面是截头圆柱形或截头圆锥形表面,可选地,所述侧面是向外弯曲或向内弯曲的表面。
在一个实施例中,所述微透镜各自包括弯曲的微透镜表面,从直线微透镜表面延伸至衍射元件的表面,可选地,所述弯曲的微透镜表面是凹面或凸面,可选地,所述弯曲的微透镜表面的半径为约0.5毫米至约5毫米,约0.5毫米至约2毫米,或者0.5毫米至约1.5毫米。
在一个实施例中,所述微透镜用切削工具成形,可选地,所述切削工具包括截头球形的尖端,具有平直部分以将每个所述微透镜切出直线微透镜表面,以及球面部分以将每个所述微透镜切出有球面半径的弯曲微透镜表面。
在一个实施例中,所述球形部分的半径为约0.5毫米至约5毫米,约0.5毫米至约2毫米,约0.5毫米至约1.5毫米。
在一个实施例中,使所述衍射单元的所述微透镜以相对所述衍射元件光轴增加的角方向成形,以提供渐增的角度偏移。
在一个实施例中,相对所述衍射元件光轴不断增加角方向来倾斜切削工具以形成所述微透镜,因为所述微透镜从所述衍射元件光轴向外呈渐进放射状成形。
在一个实施例中,所述微透镜的宽度为约30微米至约100微米或者约40微米至约70微米。
在一个实施例中,所述微透镜的长度为约30微米至约100微米或者约50微米至约90微米。
在一个实施例中,所述微透镜在所述衍射元件的表面大体上呈矩形。
在一个实施例中,所述衍射元件的表面在大体平坦的平面上。
在一个实施例中,所述光学仪器是显微镜。
附图说明
本发明的优选实施方式将在下文中通过仅与附图有关的实施例进行说明,其中:
图1示出了依据本发明第一个实施例的光学仪器;
图2(a)示出了依据图1所示光学仪器的一个实施例的衍射元件的正视图;
图2(b)示出了图2(a)中的衍射元件的片段立体图;
图2(c)示出了图2(a)中的衍射元件以及依据本发明实施例正在切削中的切削工具的片段垂直剖视图(沿图2(b)中I-I剖面);
图3示出了依据本发明第二个实施例的光学仪器;以及
图4示出了图3中光学仪器的衍射元件以及依据本发明实施例正在切削中的切削工具的片段垂直剖视图(沿图2(b)中I-I剖面)。
具体实施方式
图1示出了依据本发明第一个实施例的显微镜,在本实施例中是投影显微镜。
所述显微镜包含物镜3,用于在像平面上,此处是在主像平面PIP上,产生物平面OP处的物体的主像,在本实施例中主像由孔径光阑5限制。
在本实施例中,所述显微镜进一步包含投影透镜7,投影透镜7将物镜3所成主像成像到像平面上,此处是成像到第二像平面SIP上,并在投影透镜7的光线交点9处产生物镜3孔径的像。
所述显微镜进一步包含场镜装置11,在本实施例中包含一对场镜15、17,用于将出射光瞳中继至视平面VP,以便可由观察者的眼睛看到。
所述显微镜进一步包含衍射元件25,在本实施例中是透射元件,位于第二像平面SIP处,此处是在场镜装置11的场镜15和17中间,能有效地产生出射光瞳阵列,每个出射光瞳都对应于在没有衍射元件25时所产生的出射光瞳。
通过适当设计,衍射元件25能够配置成使得出射光瞳阵列中的出射光瞳相隔开或相接触,并且所述配置被选择成使得出射光瞳阵列在观察者眼中实际效果是单个连续放大的出射光瞳。
在本实施例中,如图2(a)至(c)所示,所述衍射元件25包括具有衍射单元阵列39的主表面37,其中每个衍射单元产生出射光瞳阵列中的一个出射光瞳。个体衍射单元39的轮廓及形态决定了每个个体光瞳图像内的相对光能。
在本实施例中,所述表面37在大体上平坦的平面上。在可选实施例中,所述表面37可以是部分球形的表面。
在本实施例中,所述衍射单元39各自包括微透镜41,能有效产生穿过其的光线的衍射干扰,并生成以出射光瞳阵列形式相对彼此排列的多个出射光瞳,以使其看上去是单个连续的放大出射光瞳。
在本实施例中,每个所述微透镜41包括具有多个表面的不规则特征。在本实施例中,所述微透镜41在所述衍射元件25的主表面37上具有大体上呈矩形或球形的形状。
在本实施例中,所述微透镜41在径向螺旋上形成。在可选实施例中,所述微透镜41可以在同心圆上形成,能够围绕偏离同心圆轴心的轴旋转,由此可避免观察到同心圆图案。
在本实施例中,所述微透镜41在径向螺距为60微米及沿螺旋方向螺距为69.3微米的径向螺旋上形成。在其它实施例中,所述径向螺距可以是约40微米至约120微米。在其它实施例中,所述沿螺旋方向的螺距可以是约40微米至约120微米。
在本实施例中,所述微透镜41的径向宽度为55微米。在其它实施例中,所述微透镜41的径向宽度可以是约30微米至约100微米。
在本实施例中,所述微透镜41的平均径向长度为100微米。在其它实施例中,所述微透镜41的径向宽度可以是约30微米至约100微米。
每个所述微透镜41包含第一直线表面42,其相对衍射元件25的所述主表面37倾斜或偏斜,并界定侧面。
在本实施例中,所述直线表面42相对所述衍射元件25的所述主表面37包围了80.27度的角度β。在其它实施例中,所述直线表面42相对所述衍射元件25的所述主表面37可包围约65度至约90度的角度β。
在本实施例中,所述直线表面42是弧形或弯曲的表面,此处是面朝外、截头圆柱形或者截头圆锥形的表面。在可选实施例中,所述直线表面42可以是面朝外、截头圆柱形或者截头圆锥形的表面。
每个所述微透镜41包含第二个弧形或弯曲的表面43,从所述直线表面42延伸至所述衍射元件25的主表面37。
在本实施例中,所述弧形表面43是凹面。在另一个实施例中,所述弧形表面43可以是凸面。
在本实施例中,所述弧形表面43的半径为1毫米。在其它实施例中,所述弧形表面43的半径为约0.5毫米至约5毫米,优选地,从约0.5毫米至约2毫米,更优选地,从约0.5毫米至约1.5毫米。
在本实施例中,如图2(c)所示,所述微透镜41用切削工具51经过所述衍射元件25形成。
在本实施例中,所述工具51包括截头球形的尖端53,具有平直部分55以将每个所述微透镜41切出所述直线表面42,以及球面部分57以将每个所述微透镜31切出有球面半径的弧形表面43。在本实施例中,所述球面部分57的半径为1毫米,以及所述平直部分55设置为距离所述工具51的轴28.6微米。在其它实施例中,所述球面部分57的半径为约0.5毫米至约5毫米,优选地,从约0.5毫米至约2毫米,更优选地,从约0.5毫米至约1.5毫米。
有了这种结构,所述显微镜能提供单个放大的出射光瞳,其具有对应出射光瞳阵列的有效尺寸,且所述出射光瞳阵列具有期望的光学性质,尤其是能够提供多色图像均匀的光分布。
图3示出了依据本发明第二个实施例的显微镜。
本实施例中的显微镜与第一个描述的实施例中的显微镜相类似,因此为了避免重复描述,仅就不同之处进行详细描述,相同部件用相同标号标示。
本实施例中的显微镜与第一个描述的实施例中的显微镜的不同之处在于省略了场镜装置11,而取代的是衍射元件25被配置以将来自接收到的图像的光线中继到横跨衍射元件25的孔的视平面VP上的共同区域内,在本实施例中居中在衍射元件25的光轴上。
在本实施例中,从所述衍射元件25的光轴向外呈渐进放射状设置的衍射单元39渐进地配置以提供渐增的角度偏移,这样,不依赖于所述衍射元件25的孔上的位置,来自接收到的图像的光线会中继到共同区域内。
在本实施例中,使所述衍射单元39的所述微透镜41以相对所述衍射元件25的光轴增加的角方向成形,以提供渐增的角度偏移。
在本实施例中,如图4所示,相对所述衍射元件25的光轴不断增加角方向β1,β2,β3,...,βn来倾斜切削工具51以形成微透镜41,因为所述微透镜41从所述衍射元件25的光轴向外呈渐进放射状成形。
最后,应当理解本发明是以其优选实施方式描述的,能以多种不同方式改进,均在权利要求所限定的本发明的保护范围中。
例如,上述实施例中所述衍射元件25是透射元件,但应当理解的是,该衍射元件25也可以被提供作为反射元件。
Claims (29)
1.一种用于产生光学图像供观察者观看的光学仪器,所述光学仪器包括:
光学系统,用于产生供观察者在出射光瞳处观看物体的光学图像;以及
衍射元件,位于光学系统像平面,用于产生出射光瞳阵列,所述出射光瞳阵列在观察者看来是单个放大的所述出射光瞳;
其中所述衍射元件包括具有衍射单元阵列的表面,每个衍射单元生成出射光瞳阵列中的一个所述出射光瞳,所述衍射单元各自包括微透镜,能有效地产生光的衍射干扰,并生成多个所述出射光瞳,多个所述出射光瞳以所述出射光瞳阵列的形式相对彼此排列,所述微透镜各自包括具有多个表面的不规则特征;
其中所述衍射单元从所述衍射元件的光轴向外呈渐进放射状设置,以及渐进地配置以提供渐增的角度偏移,这样,不依赖于在所述衍射元件的孔上的位置以及不需要任何中继透镜装置,来自接收到的所述图像的光线会中继到横跨所述衍射元件的所述孔的视平面上的共同区域内。
2.一种用于产生光学图像供观察者观看的光学仪器,所述光学仪器包括:
光学系统,用于产生供观察者在出射光瞳处观看物体的光学图像;以及
衍射元件,位于光学系统像平面,用于产生出射光瞳阵列,所述出射光瞳阵列在观察者看来是单个放大的所述出射光瞳;
其中所述衍射元件包括具有衍射单元阵列的表面,每个衍射单元生成出射光瞳阵列中的一个所述出射光瞳,所述衍射单元各自包括微透镜,能有效地产生光的衍射干扰,并生成多个所述出射光瞳,多个所述出射光瞳以所述出射光瞳阵列的形式相对彼此排列,所述微透镜各自包括具有多个表面的不规则特征。
3.根据权利要求2所述的仪器,其中所述衍射元件被配置以将来自接收到的所述图像的光线中继到横跨所述衍射元件的孔的视平面上的共同区域内。
4.根据权利要求3所述的仪器,其中所述衍射单元从所述衍射元件的光轴向外呈渐进放射状设置,以及渐进地配置以提供渐增的角度偏移,这样,不依赖于在所述衍射元件的所述孔上的位置,来自接收到的所述图像的光线会中继到所述视平面上的共同区域内。
5.根据权利要求2至4中任一权利要求所述的仪器,其中所述衍射单元将来自接收到的所述图像的光线中继到视平面上的共同区域内而不需要任何中继透镜装置。
6.根据权利要求1至5中任一权利要求所述的仪器,其中所述微透镜在径向螺旋上形成,可选地,所述微透镜在螺距为约40微米至约120微米或70微米至约100微米的径向螺旋上形成,和/或沿所述螺旋的所述螺距为约40微米至约120微米或70微米至约100微米。
7.一种用于产生光学图像供观察者观看的光学仪器,所述光学仪器包括:
光学系统,用于产生供观察者在出射光瞳处观看物体的光学图像;以及
衍射元件,位于光学系统像平面,用于产生出射光瞳阵列,所述出射光瞳阵列在观察者看来是单个放大的所述出射光瞳;
其中所述衍射元件包括具有衍射单元阵列的表面,其中每个所述衍射单元生成所述出射光瞳阵列中的一个所述出射光瞳,所述衍射单元各自包括微透镜,能有效地产生光的衍射干扰,并生成多个所述出射光瞳,多个所述出射光瞳以所述出射光瞳阵列的形式相对彼此排列,所述微透镜各自包括具有多个表面的不规则特征,并且在径向螺旋上形成。
8.根据权利要求7所述的仪器,其中所述径向螺旋的螺距为约40微米至约120微米或70微米至约100微米,和/或沿所述螺旋的所述螺距为约40微米至约120微米或70微米至约100微米。
9.根据权利要求7或8所述的仪器,其中所述衍射元件被配置以将来自接收到的所述图像的光线中继到横跨所述衍射元件的孔的视平面上的共同区域内。
10.根据权利要求9所述的仪器,其中所述衍射单元从所述衍射元件的光轴向外呈渐进放射状设置,以及渐进地配置以提供渐增的角度偏移,这样,不依赖于在所述衍射元件的所述孔上的位置,来自接收到的所述图像的光线会中继到横跨所述衍射元件的所述孔的所述视平面上的所述共同区域内。
11.根据权利要求8至10中任一权利要求所述的仪器,其中所述衍射单元将来自接收到的所述图像的光线中继到视平面上的共同区域内而不需要任何中继透镜装置。
12.根据权利要求1至11中任一权利要求所述的仪器,其中所述微透镜各自包括直线微透镜表面,所述直线微透镜表面界定侧面并且相对所述衍射元件的所述表面倾斜或偏斜,可选地,所述侧面相对所述衍射元件的所述表面的角度从约65度至约90度或者从75度至约90度。
13.一种用于产生光学图像供观察者观看的光学仪器,所述光学仪器包括:
光学系统,用于产生供观察者在出射光瞳处观看物体的光学图像;以及
衍射元件,位于光学系统像平面,用于产生出射光瞳阵列,所述出射光瞳阵列在观察者看来是单个放大的出射光瞳;
其中所述衍射元件包括具有衍射单元阵列的表面,其中每个衍射单元生成所述出射光瞳阵列中的一个所述出射光瞳,所述衍射单元各自包括微透镜,能有效地产生光的衍射干扰,并生成多个出射光瞳,所述多个出射光瞳以所述出射光瞳阵列的形式相对彼此排列,所述微透镜各自包括具有多个表面的不规则特征,并且所述微透镜各自包括直线微透镜表面,所述直线微透镜表面界定侧面,并且相对所述衍射元件的所述表面倾斜或偏斜。
14.根据权利要求13所述的仪器,其中所述衍射元件被配置以将来自接收到的所述图像的光线中继到横跨所述衍射元件的孔的视平面上的共同区域内。
15.根据权利要求14所述的仪器,其中所述衍射单元从所述衍射元件的光轴向外呈渐进放射状设置,以及渐进地配置以提供渐增的角度偏移,这样,不依赖于在所述衍射元件的所述孔上的位置,来自接收到的所述图像的光线会中继到横跨所述衍射元件的所述孔的所述视平面上的所述共同区域内。
16.根据权利要求14或15所述的仪器,其中所述衍射单元将来自接收到的图像的光线中继到视平面上的共同区域内而不需要任何中继透镜装置。
17.根据权利要求13至16中任一权利要求所述的仪器,其中所述微透镜在径向螺旋上形成,可选地,微透镜在螺距为约40微米至约120微米或70微米至约100微米的径向螺旋上形成,和/或沿所述螺旋的所述螺距为约40微米至约120微米或70微米至约100微米。
18.根据权利要求12至17中任一权利要求所述的仪器,所述侧面相对所述衍射元件的所述表面的角度从约65度至约90度或者从75度至约90度。
19.根据权利要求12至18中任一权利要求所述的仪器,其中所述侧面是弧形或弯曲的表面,可选地,所述侧面是截头圆柱形或截头圆锥形表面,可选地,所述侧面是向外弯曲或向内弯曲的表面。
20.根据权利要求12至19中任一权利要求所述的仪器,其中所述微透镜各自包括弯曲的微透镜表面,从所述直线微透镜表面延伸至所述衍射元件的所述表面,可选地,所述弯曲的微透镜表面是凹面或凸面,可选地,所述弯曲的微透镜表面的半径为约0.5毫米至约5毫米,约0.5毫米至约2毫米,或者0.5毫米至约1.5毫米。
21.根据权利要求1至20中任一权利要求所述的仪器,其中所述微透镜用切削工具成形,可选地,所述切削工具包括截头球形的尖端,具有平直部分以将每个所述微透镜切出直线微透镜表面,以及球面部分以将每个所述微透镜切出有球面半径的弯曲微透镜表面。
22.根据权利要求21所述的仪器,其中所述球形部分的半径为约0.5毫米至约5毫米,约0.5毫米至约2毫米,约0.5毫米至约1.5毫米。
23.根据权利要求1至22中任一权利要求所述的仪器,其中使所述衍射单元的所述微透镜以相对所述衍射元件光轴增加的角方向成形,以提供渐增的角度偏移。
24.根据权利要求23所述的仪器,其中相对所述衍射元件光轴不断增加角方向来倾斜切削工具以形成所述微透镜,因为所述微透镜从所述衍射元件光轴向外呈渐进放射状成形。
25.根据权利要求1至24中任一权利要求所述的仪器,其中所述微透镜的宽度为约30微米至约100微米或者约40微米至约70微米。
26.根据权利要求1至25中任一权利要求所述的仪器,其中所述微透镜的长度为约30微米至约100微米或者约50微米至约90微米。
27.根据权利要求1至26中任一权利要求所述的仪器,其中所述微透镜在所述衍射元件的所述表面大体上呈矩形。
28.根据权利要求1至27中任一权利要求所述的仪器,其中所述衍射元件的所述表面在大体平坦的平面上。
29.根据权利要求1至28中任一权利要求所述的仪器,其中所述光学仪器是显微镜。
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