CN104928646B - 双层式负载腔室真空与大气快速平衡结构 - Google Patents

双层式负载腔室真空与大气快速平衡结构 Download PDF

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Abstract

双层式负载腔室真空与大气快速平衡结构，主要解决现有平衡结构不够合理导致影响设备产能的问题。它包括上下层腔体、上下层腔室、平衡阀、平衡阀管路、上下层回填组件及上下层抽气控制阀等。所述的上层腔体上的回填管道及抽气结构左右对称，分别连通到上层腔室A、上层腔室B；下层腔体上的回填管道及抽气结构左右对称，分别连通到下层腔室C、下层腔室D。由上层平衡阀管路、平衡阀和下层平衡阀管路将上下层腔体连通，通过平衡阀的控制来实现大气与真空环境的快速转换以达到平衡。所述的下层腔体与上层腔体为独立结构，通过定位将两层腔体连接在一起成为双层式负载腔室。本发明实现了双层式负载腔室真空与大气转换时的快速平衡过程，缩短回填与抽气时间，提高了半导体镀膜沉积设备的产能。

Description

双层式负载腔室真空与大气快速平衡结构
技术领域
本发明涉及一种双层式负载腔室真空与大气快速平衡结构，此结构主要应用于半导体镀膜沉积设备中双层式负载腔室内真空与大气环境互换的快速平衡，属于半导体薄膜沉积的应用与制备技术领域。
背景技术
现有半导体镀膜设备的产能是评估设备性能的一项重要指标，缩短某些模块的回填时间、抽气时间、温升时间及工艺时间等都有利于提高设备产能。对于双层式负载腔室，当上层为真空状态，下层为大气状态或者当上层为大气状态，下层为真空状态时，也就是只要两层密闭腔体间存在压差时，如何快速平衡两层腔体之间的压差是降低抽气或者回填时间应解决的问题之一。那么就要求双层式负载腔室有快速平衡两层腔体之间大气和真空环境相互转换的功能和结构，进而缩短回填或抽气时间来提高设备产能。
发明内容
本发明以解决上述问题为目的，主要解决现有平衡结构不够合理导致影响设备产能的问题。本发明提供了一种新型的结构，实现了双层式负载腔室真空与大气转换时的快速平衡过程，有效地缩短回填与抽气时间，提高设备产能。
为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：双层式负载腔室真空与大气快速平衡结构，包括下层腔体(1)、上层腔体(2)、上层腔室A(3)、上层腔室B(4)、上层平衡阀管路(5)、平衡阀(6)、下层平衡阀管路(7)、下层腔室C(8)、下层腔室D(9)、上层回填组件(10)、下层回填组件(11)、下层抽气控制阀(12)及上层抽气控制阀(13)。
所述的上层腔体(2)上的回填管道及抽气结构左右对称，分别连通到上层腔室A(3)、上层腔室B(4)；下层腔体(1)上的回填管道及抽气结构左右对称，分别连通到下层腔室C(8)、下层腔室D(9)。由上层平衡阀管路(5)、平衡阀(6)和下层平衡阀管路(7)将上下层腔体连通，通过平衡阀(6)的控制来实现大气与真空环境的快速转换以达到平衡。
本发明的有益效果及特点在于：
1、本发明实现了双层式负载腔室真空与大气快速平衡的结构设计，将上下层腔体之间通过平衡阀连通。当两层密闭腔体间存在压差时，打开平衡阀，通过压差的作用使两层腔体内的气压瞬时达到平衡；
2、依附于1的基础上，当两层腔体达到平衡后，可继续对上层(下层)回填(抽气)或者抽气(回填)，可降低负载腔室整体的回填及抽气时间，提高了设备的产能，增加了效益。
附图说明
图1是本发明的主视图。
图2是图1的右视图。
具体实施方式
实施例
参照附图1、2，双层式负载腔室真空与大气快速平衡结构，包括下层腔体1、上层腔体2、上层腔室A3、上层腔室B4、上层平衡阀管路5、平衡阀6、下层平衡阀管路7、下层腔室C8、下层腔室D9、上层回填组件10、下层回填组件11、下层抽气控制阀12及上层抽气控制阀13。
所述的上层腔体2上的回填管道及抽气结构左右对称，分别连通到上层腔室A3、上层腔室B4；下层腔体1上的回填管道及抽气结构左右对称，分别连通到下层腔室C8、下层腔室D9。
所述上层回填组件10连通上层腔体2，气体由上层回填组件10进入到上层腔体2；下层回填组件11连通下层腔体1，气体由下层回填组件11进入到下层腔体1；下层抽气控制阀12连接在下层腔体1的抽气管路上，控制着下层抽气管路的开断；上层抽气控制阀13连接在上层腔体2的抽气管路上，控制着上层抽气管路的开断。由上层平衡阀管路5、平衡阀6和下层平衡阀管路7将上下层腔体连通，通过平衡阀6的控制来实现大气与真空环境的快速转换以达到平衡。
下层腔体1与上层腔体2为独立结构，通过定位将两层腔体连接在一起成为双层式负载腔室。由上层平衡阀管路5、平衡阀6和下层平衡阀管路7将上层腔体2和下层腔体1连通。当上层腔体2为真空状态，下层腔体1为大气状态时，打开平衡阀6，两层腔体瞬间达到气压平衡状态；然后关闭平衡阀6，控制上层回填组件10对上层腔体2回填，与此同时，打开下层抽气控制阀12，对下层腔体1抽气。总之，当两层密闭腔体间存在压差时，打开平衡阀，通过压差的作用使两层腔体内的气压瞬时达到平衡，降低了负载腔室整体的回填及抽气时间，效益上提高了设备的产能。

Claims (1)

1.一种双层式负载腔室真空与大气快速平衡结构，其特征在于：它包括下层腔体、上层腔体、上层腔室A、上层腔室B、上层平衡阀管路、平衡阀、下层平衡阀管路、下层腔室C、下层腔室D、上层回填组件、下层回填组件、下层抽气控制阀及上层抽气控制阀，所述的上层腔体上的回填管道及抽气结构左右对称，分别连通到上层腔室A、上层腔室B；下层腔体上的回填管道及抽气结构左右对称，分别连通到下层腔室C、下层腔室D，由上层平衡阀管路、平衡阀和下层平衡阀管路将上下层腔体连通，通过平衡阀的控制来实现大气与真空环境的快速转换以达到平衡；所述的下层腔体与上层腔体为独立结构，通过定位将两层腔体连接在一起成为双层式负载腔室。
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