CN104889674A - 一种表面织构的制造设备及其使用方法 - Google Patents

一种表面织构的制造设备及其使用方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104889674A
CN104889674A CN201410851940.1A CN201410851940A CN104889674A CN 104889674 A CN104889674 A CN 104889674A CN 201410851940 A CN201410851940 A CN 201410851940A CN 104889674 A CN104889674 A CN 104889674A
Authority
CN
China
Prior art keywords
slide unit
axis slide
tool heads
test specimen
processed test
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201410851940.1A
Other languages
English (en)
Inventor
姜峰
程鑫
刘清风
徐西鹏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Huaqiao University
Original Assignee
Huaqiao University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Huaqiao University filed Critical Huaqiao University
Priority to CN201410851940.1A priority Critical patent/CN104889674A/zh
Publication of CN104889674A publication Critical patent/CN104889674A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
    • B23P9/00—Treating or finishing surfaces mechanically, with or without calibrating, primarily to resist wear or impact, e.g. smoothing or roughening turbine blades or bearings; Features of such surfaces not otherwise provided for, their treatment being unspecified
    • B23P9/04—Treating or finishing by hammering or applying repeated pressure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

本发明公开了一种表面织构的制造设备及其使用方法，包括被加工试件、工具头、基座系统、电磁激振系统和压力传感器；被加工试件固接在基座系统；电磁激振系统装接在基座系统；工具头固接在电磁激振系统；压力传感器与工具头相连；通过基座系统调节被加工试件与工具头的相对位置；通过电磁激振系统使工具头发生振动从而实现工具头对被加工试件进行加工；通过压力传感器检测工具头与被加工试件间压力的动态变化。本发明的一种表面织构的制造设备及制造方法，利用电磁激振产生稳定的振幅和频率来驱动工具头，配合X、Y、Z三个方向滑台的高精度单独运动或联动，产生出分布复杂的表面织构，加工精度高，效率高，操作方便快捷。

Description

一种表面织构的制造设备及其使用方法
技术领域
本发明涉及一种表面织构的制造设备及其使用方法。
背景技术
表面织构是在功能表面上加工出的具有一定尺寸和排列的凹坑或微小槽型的阵列，表面织构的主要几何参数包括截面形状和分布状态，典型的截面形状包括圆弧形、三角形、矩形、圆锥形等；分布状态包括织构在表面的位置、分布的几何形状以及分布密度等。表面织构在改善表面的摩擦性能、光学性能，提高功能表面的抗磨损、液体滞留能力等方面起到重要的作用。表面织构的加工方法包括：激光加工、光刻加工、离子刻蚀加工、电解加工、数控机械加工等方式，可以满足现在大部分表面织构的加工，但是存在加工精度和加工效率难以同时保证、加工成本较高等一系列问题。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足之处，提供了一种表面织构的制造设备及其使用方法，利用电磁激振产生稳定的振幅和频率来驱动工具头，配合X、Y、Z三个方向滑台的高精度单独运动或联动，产生出分布复杂的表面织构，加工精度高，效率高，操作方便快捷。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案之一是：
一种表面织构的制造设备，包括被加工试件4及对被加工试件4进行加工的工具头5；还包括基座系统、电磁激振系统和压力传感器6；
所述被加工试件4固接在基座系统上；所述电磁激振系统装接在基座系统上；所述工具头5固接在电磁激振系统上；所述压力传感器6与工具头5相连；
通过基座系统调节被加工试件4与工具头5的相对位置；通过电磁激振系统使工具头5发生振动从而实现工具头5对被加工试件4进行加工；通过压力传感器6检测工具头5与被加工试件4间压力的动态变化。
一实施例中：所述基座系统包括光学平板1，X轴滑台3，Y轴滑台2和Z轴滑台10；Y轴滑台2滑动装接在光学平板1上且可沿Y轴方向滑动；X轴滑台3滑动装接在Y轴滑台2上且可沿X轴方向滑动；所述被加工试件4固接在X轴滑台3；Z轴滑台10滑动装接在光学平板1上且可沿Z轴方向滑动；所述X轴方向、Y轴方向与Z轴方向两两垂直；通过X轴滑台3、Y轴滑台2和Z轴滑台10使被加工试件4和工具头5可在X轴方向、Y轴方向与Z轴方向上移动从而调节被加工试件4与工具头5的相对位置；
所述电磁激振系统包括交流线圈(11)，永磁体(12)和弹簧(13)；电磁激振器支架(9)装接在Z轴滑台(10)，永磁体(12)装接在电磁激振器支架(9)；交流线圈(11)固接在电磁激振器外壳(8)上；所述工具头(5)固接在连接杆(7)上；通过交流线圈(11)产生振动并通过电磁激振器外壳(8)和连接杆(7)传递至工具头(5)以使工具头(5)发生振动从而实现工具头(5)对被加工试件(4)进行加工；
Z轴滑台10所述压力传感器6装接在工具头5与连接杆7之间。
一实施例中：所述工具头5形状根据所需被加工试件4的表面织构截面形状要求设定，所述工具头5材质根据被加工试件4材质选择。
一实施例中：所述连接杆(7)为带锥度螺钉；所述连接杆(7)螺接在电磁激振器外壳(8)上。
一实施例中：所述X轴滑台3由步进电机驱动，其步进精度优于0.35μm；所述Y轴滑台2由步进电机驱动，其步进精度优于0.35μm；所述Z轴滑台10由步进电机驱动，其步进精度优于0.35μm。
一实施例中：所述电磁激振器的性能参数为：振动频率f＝0～20000Hz，振幅范围为0～5mm。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案之二是：
一种表面织构的制造设备的使用方法，包括：
1)通过X轴滑台3和Y轴滑台2调整被加工试件4在X轴方向与Y轴方向上的位置使其正对工具头5；
2)通过Z轴滑台10调整工具头5在Z轴方向上的位置使其与被加工试件4刚好接触；
3)根据所需表面织构的深度，继续移动Z轴滑台10使工具头5压入被加工试件4；
4)根据所需表面织构的几何参数，调整电磁激振系统的振动频率和振幅并确定X轴滑台3和/或Y轴滑台2的移动速度，启动电磁激振系统使工具头5发生振动并根据需要同时使X轴滑台3和/或Y轴滑台2移动以对被加工试件4进行加工，从而制造出所需的表面织构。
一实施例中：还包括：
5)通过移动Z轴滑台10抬起工具头5，根据所需表面织构的几何参数，调整X轴滑台3和/或Y轴滑台2的位置，重复所述步骤3)-4)一次或多次，从而制造出所需的表面织构。
一实施例中：所述步骤2)中，判断工具头5与被加工试件4刚好接触的方法为：压力传感器6检测到工具头5与被加工试件4间压力大于临界值时，发出提醒信号，此时即为工具头5与被加工试件4刚好接触。
本技术方案与背景技术相比，它具有如下优点：
本发明提供的一种表面织构的制造设备，利用电磁激振产生稳定的振幅和频率来驱动工具头，配合X、Y、Z三个方向滑台的高精度移动，使工具头与被加工试件发生相对移动产生表面织构，同时可以结合数控技术实现X、Y、Z三个方向滑台的联动，产生出分布更加复杂的表面织构。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
图1所示为本发明的一种表面织构的制造设备示意图，A为主视图，B为局部示意图。
图2所示为本发明实施例2的一种表面织构的加工效果图。
图3所示为本发明实施例3的一种表面织构的加工效果图。
图4所示为本发明实施例4的一种表面织构的加工效果图。
附图标记：1.光学平板；2.Y轴滑台；3.X轴滑台；4.被加工试件；5.工具头；6.压力传感器；7.连接杆；8.电磁激振器外壳；9.电磁激振器支架10.Z轴高精度滑台；11.交流线圈；12.永磁体；13.弹簧。
具体实施方式
下面通过实施例具体说明本发明的内容：
实施例1
请查阅图1，一种表面织构的制造设备，包括被加工试件4及对被加工试件4进行加工的工具头5；还包括基座系统、电磁激振系统和压力传感器6；
所述基座系统包括光学平板1，X轴滑台3，Y轴滑台2和Z轴滑台10；Y轴滑台2滑动装接在光学平板1上且可沿Y轴方向滑动；X轴滑台3滑动装接在Y轴滑台2上且可沿X轴方向滑动；所述被加工试件4固接在X轴滑台3；Z轴滑台10滑动装接在光学平板1上且可沿Z轴方向滑动；所述X轴方向、Y轴方向与Z轴方向两两垂直；
所述电磁激振系统包括交流线圈(11)，永磁体(12)和弹簧(13)；电磁激振器支架(9)装接在Z轴滑台(10)，永磁体(12)装接在电磁激振器支架(9)；交流线圈(11)固接在电磁激振器外壳(8)上；所述工具头(5)固接在连接杆(7)上；
所述压力传感器6装接在工具头5与连接杆7之间；
通过X轴滑台3、Y轴滑台2和Z轴滑台10使被加工试件4和工具头5可在X轴方向、Y轴方向与Z轴方向上移动从而调节被加工试件4与工具头5的相对位置；通过电磁激振器产生电磁激振并通过电磁激振器外壳8和连接杆7传递至工具头5以使工具头5发生振动从而实现工具头5对被加工试件4进行加工；通过压力传感器6检测工具头5与被加工试件4间压力的动态变化，当压力大于临界值时，压力传感器6发出提醒信号。
本实施例之中，所述工具头5形状根据所需被加工试件4的表面织构截面形状要求设定，所述工具头5材质根据被加工试件4材质选择。
本实施例之中，所述连接杆7为带锥度螺钉；其螺纹的锥度部分在螺钉的尾部，电磁激振器外壳8端面上设有螺纹孔，带锥度螺钉的锥度部分与该螺纹孔内锥面适配以使连接杆7螺接在电磁激振器外壳8上。
本实施例之中，所述X轴滑台3由步进电机驱动，其步进精度优于0.3μm；所述Y轴滑台2由步进电机驱动，其步进精度优于0.3μm；所述Z轴滑台10由步进电机驱动，其步进精度优于0.3μm。
本实施例之中，振动频率f＝0～20000Hz，振幅范围为0～5mm。
本发明现场使用方式如下：
1)通过X轴滑台3和Y轴滑台2调整被加工试件4在X轴方向与Y轴方向上的位置使其正对工具头5；
2)通过Z轴滑台10调整工具头5在Z轴方向上的位置使其与被加工试件4刚好接触；所述判断工具头5与被加工试件4刚好接触的方法为：压力传感器6检测到工具头5与被加工试件4间压力大于临界值时，发出提醒信号，此时即为工具头5与被加工试件4刚好接触；所述临界值＝0.005～0.02N，根据被加工试件的材料决定，材料硬度越大，临界值越高；
3)根据所需表面织构的深度，继续移动Z轴滑台10使工具头5压入被加工试件4；
4)根据所需表面织构的几何参数，调整电磁激振系统的振动频率和振幅并确定X轴滑台3和/或Y轴滑台2的移动速度，启动电磁激振系统使工具头5发生高频振动并根据需要同时使X轴滑台3和/或Y轴滑台2移动以对被加工试件4进行加工；
5)通过移动Z轴滑台10抬起工具头5，根据所需表面织构的几何参数，调整X轴滑台3和/或Y轴滑台2的位置，重复所述步骤3)-4)一次或多次，从而制造出所需的表面织构。
实施例2
请查阅图2，为采用本发明的一种表面织构的制造设备及制造方法所产生的一种表面织构的加工效果图，其加工过程如下：
1)通过X轴滑台3和Y轴滑台2调整被加工试件4在X轴方向与Y轴方向上的位置使其正对工具头5；本实施例之中，工具头5顶端形状为顶锥角60°，圆头半径20μm的圆锥，工具头5材质为单晶金刚石，被加工试件4材质为铝合金；
2)通过Z轴滑台10调整工具头5在Z轴方向上的位置使其与被加工试件4刚好接触；所述判断工具头5与被加工试件4刚好接触的方法为：压力传感器6检测到工具头5与被加工试件4间压力大于临界值0.02N时，发出提醒信号，此时即为工具头5与被加工试件4刚好接触；
3)根据所需表面织构的深度，继续移动Z轴滑台10使工具头5压入被加工试件4的压入深度为100μm；
4)根据所需表面织构的几何参数，调整电磁激振系统的振动频率为1000Hz，振幅为150μm，振动波形为正弦波，并确定Y轴滑台2的直线移动速度为200mm/s(200μm×1000Hz＝200mm/s)；启动电磁激振系统使工具头5发生高频振动并同时启动Y轴滑台2以对被加工试件4进行加工，加工出图2中线条1所示轨迹；
5)通过移动Z轴滑台10抬起工具头5，根据所需表面织构的几何参数，调整Y轴滑台2使其沿Y轴负向移动50μm，重复所述步骤3)-4)加工出图2中线条2所示轨迹；
6)重复步骤5)，加工出图2中线条3所示轨迹，得到所需的表面织构。
实施例3
请查阅图3，为采用本发明的一种表面织构的制造设备及制造方法所产生的一种表面织构的加工效果图，其加工过程如下：
1)通过X轴滑台3和Y轴滑台2调整被加工试件4在X轴方向与Y轴方向上的位置使其正对工具头5；本实施例之中，工具头5顶端形状为顶锥角60°，圆头半径20μm的圆锥，工具头5材质为单晶金刚石，被加工试件4材质为铝合金；
2)通过Z轴滑台10调整工具头5在Z轴方向上的位置使其与被加工试件4刚好接触；所述判断工具头5与被加工试件4刚好接触的方法为：压力传感器6检测到工具头5与被加工试件4间压力大于临界值0.02N时，发出提醒信号，此时即为工具头5与被加工试件4刚好接触；
3)根据所需表面织构的深度，继续移动Z轴滑台10使工具头5压入被加工试件4的压入深度为100μm；
4)根据所需表面织构的几何参数，调整电磁激振系统的振动频率为1000Hz，振幅为150μm，振动波形为正弦波，并确定Y轴滑台2的直线移动速度为200mm/s(200μm×1000Hz＝200mm/s)；启动电磁激振系统使工具头5发生高频振动并同时启动Y轴滑台2以对被加工试件4进行加工，加工出图3中线条1所示轨迹；
5)通过移动Z轴滑台10抬起工具头5，根据所需表面织构的几何参数，调整X轴滑台3使其沿X轴负向移动50μm，重复所述步骤3)-4)加工出图3中线条2所示轨迹；
6)重复步骤5)，加工出图3中线条3所示轨迹，得到所需的表面织构。
实施例4
请查阅图4，为采用本发明的一种表面织构的制造设备及制造方法所产生的一种表面织构的加工效果图，其加工过程如下：
1)通过X轴滑台3和Y轴滑台2调整被加工试件4在X轴方向与Y轴方向上的位置使其正对工具头5；本实施例之中，工具头5顶端形状为顶锥角60°，圆头半径20μm的圆锥，工具头5材质为单晶金刚石，被加工试件4材质为铝合金；
2)通过Z轴滑台10调整工具头5在Z轴方向上的位置使其与被加工试件4刚好接触；所述判断工具头5与被加工试件4刚好接触的方法为：压力传感器6检测到工具头5与被加工试件4间压力大于临界值0.02N时，发出提醒信号，此时即为工具头5与被加工试件4刚好接触；
3)根据所需表面织构的深度，继续移动Z轴滑台10使工具头5压入被加工试件4的压入深度为100μm；
4)根据所需表面织构的几何参数，调整电磁激振系统的振动频率为1000Hz，振幅为150μm，振动波形为正弦波，并确定Y轴滑台2的直线移动速度为200mm/s(200μm×1000Hz＝200mm/s)；启动电磁激振系统使工具头5发生高频振动并同时启动Y轴滑台2以对被加工试件4进行加工，加工出图2中线条1所示轨迹；
5)通过移动Z轴滑台10抬起工具头5，根据所需表面织构的几何参数，调整X轴滑台3使其沿X轴负向移动180μm，调整Y轴滑台2使其沿Y轴负向移动100μm，重复所述步骤3)-4)加工出图4中线条2所示轨迹；
6)通过移动Z轴滑台10抬起工具头5，根据所需表面织构的几何参数，调整X轴滑台3使其沿X轴负向移动180μm，调整Y轴滑台2使其沿Y轴负向移动100μm，再次重复所述步骤3)-4)加工出图4中线条3所示轨迹，得到所需的表面织构。
以上所述，仅为本发明较佳实施例而已，故不能依此限定本发明实施的范围，即依本发明专利范围及说明书内容所作的等效变化与修饰，皆应仍属本发明涵盖的范围内。

Claims (9)

1.一种表面织构的制造设备，其特征在于：包括被加工试件(4)及对被加工试件(4)进行加工的工具头(5)；还包括基座系统、电磁激振系统和压力传感器(6)；
所述被加工试件(4)固接在基座系统上；所述电磁激振系统装接在基座系统上；所述工具头(5)固接在电磁激振系统上；所述压力传感器(6)与工具头(5)相连；
通过基座系统调节被加工试件(4)与工具头(5)的相对位置；通过电磁激振系统使工具头(5)发生振动从而实现工具头(5)对被加工试件(4)进行加工；通过压力传感器(6)检测工具头(5)与被加工试件(4)间压力的动态变化。
2.根据权利要求1所述的一种表面织构的制造设备，其特征在于：
所述基座系统包括光学平板(1)，X轴滑台(3)，Y轴滑台(2)和Z轴滑台(10)；Y轴滑台(2)滑动装接在光学平板(1)上且可沿Y轴方向滑动；X轴滑台(3)滑动装接在Y轴滑台(2)上且可沿X轴方向滑动；所述被加工试件(4)固接在X轴滑台(3)；Z轴滑台(10)滑动装接在光学平板(1)上且可沿Z轴方向滑动；所述X轴方向、Y轴方向与Z轴方向两两垂直；通过X轴滑台(3)、Y轴滑台(2)和Z轴滑台(10)使被加工试件(4)和工具头(5)可在X轴方向、Y轴方向与Z轴方向上移动从而调节被加工试件(4)与工具头(5)的相对位置；
所述电磁激振系统包括交流线圈(11)，永磁体(12)和弹簧(13)；电磁激振器支架(9)装接在Z轴滑台(10)，永磁体(12)装接在电磁激振器支架(9)；交流线圈(11)固接在电磁激振器外壳(8)上；所述工具头(5)固接在连接杆(7)上；通过交流线圈(11)产生振动并通过电磁激振器外壳(8)和连接杆(7)传递至工具头(5)以使工具头(5)发生振动从而实现工具头(5)对被加工试件(4)进行加工；
所述压力传感器(6)装接在工具头(5)与连接杆(7)之间。
3.根据权利要求2所述的一种表面织构的制造设备，其特征在于：所述工具头(5)形状根据所需被加工试件(4)的表面织构截面形状要求设定，所述工具头(5)材质根据被加工试件(4)材质选择。
4.根据权利要求2所述的一种表面织构的制造设备，其特征在于：所述连接杆(7)为带锥度螺钉；所述连接杆(7)螺接在电磁激振器外壳(8)上。
5.根据权利要求2所述的一种表面织构的制造设备，其特征在于：所述X轴滑台(3)由步进电机驱动，其步进精度优于0.35μm；所述Y轴滑台(2)由步进电机驱动，其步进精度优于0.35μm；所述Z轴滑台(11)由步进电机驱动，其步进精度优于0.35μm。
6.根据权利要求2所述的一种表面织构的制造设备，其特征在于：所述电磁激振器的性能参数为：振动频率f＝0～20000Hz，振幅范围为0～5mm。
7.根据权利要求2所述的一种表面织构的制造设备的使用方法，其特征在于：包括：
1)通过X轴滑台(3)和Y轴滑台(2)调整被加工试件(4)在X轴方向与Y轴方向上的位置使其正对工具头(5)；
2)通过Z轴滑台(10)调整工具头(5)在Z轴方向上的位置使其与被加工试件(4)刚好接触；
3)根据所需表面织构的深度，继续移动Z轴滑台(11)使工具头(5)压入被加工试件(4)；
4)根据所需表面织构的几何参数，调整电磁激振系统的振动频率和振幅并确定X轴滑台(3)和/或Y轴滑台(2)的移动速度，启动电磁激振系统使工具头(5)发生振动并根据需要同时使X轴滑台(3)和/或Y轴滑台(2)移动以对被加工试件(4)进行加工，从而制造出所需的表面织构。
8.根据权利要求7所述的一种表面织构的制造设备的使用方法，其特征在于：还包括：
5)通过移动Z轴滑台(10)抬起工具头(5)，根据所需表面织构的几何参数，调整X轴滑台(3)和/或Y轴滑台(2)的位置，重复所述步骤3)-4)一次或多次，从而制造出所需的表面织构。
9.根据权利要求7或8所述的一种表面织构的制造设备的使用方法，其特征在于：所述步骤2)中，判断工具头(5)与被加工试件(4)刚好接触的方法为：压力传感器(6)检测到工具头(5)与被加工试件(4)间压力大于临界值时，发出提醒信号，此时即为工具头(5)与被加工试件(4)刚好接触。
CN201410851940.1A 2014-12-31 2014-12-31 一种表面织构的制造设备及其使用方法 Pending CN104889674A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410851940.1A CN104889674A (zh) 2014-12-31 2014-12-31 一种表面织构的制造设备及其使用方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410851940.1A CN104889674A (zh) 2014-12-31 2014-12-31 一种表面织构的制造设备及其使用方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN104889674A true CN104889674A (zh) 2015-09-09

Family

ID=54022860

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410851940.1A Pending CN104889674A (zh) 2014-12-31 2014-12-31 一种表面织构的制造设备及其使用方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104889674A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109097545A (zh) * 2018-10-08 2018-12-28 吉林大学 激光预热与高频振动耦合非晶合金表面改性装置与方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000218401A (ja) * 1999-02-01 2000-08-08 Fuji Kogyo Kk 超音波振動切削装置
JP2007326179A (ja) * 2006-06-07 2007-12-20 Tohoku Univ 微細形状加工装置
CN201040319Y (zh) * 2007-05-21 2008-03-26 江苏大学 一种三自由度超声振动钻削并联机床
CN101480646A (zh) * 2009-01-21 2009-07-15 江西理工大学 摆动辗压纵向振动激振装置
CN103406713A (zh) * 2013-08-26 2013-11-27 赵显华 用于孔槽表面超声波加工的体振动方法及装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000218401A (ja) * 1999-02-01 2000-08-08 Fuji Kogyo Kk 超音波振動切削装置
JP2007326179A (ja) * 2006-06-07 2007-12-20 Tohoku Univ 微細形状加工装置
CN201040319Y (zh) * 2007-05-21 2008-03-26 江苏大学 一种三自由度超声振动钻削并联机床
CN101480646A (zh) * 2009-01-21 2009-07-15 江西理工大学 摆动辗压纵向振动激振装置
CN103406713A (zh) * 2013-08-26 2013-11-27 赵显华 用于孔槽表面超声波加工的体振动方法及装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
殷祥超: "《振动理论与测试技术》", 31 August 2007 *
邢栋梁: "超声振动辅助铣削加工表面的摩擦学性能研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库 工程科技Ⅰ辑》 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109097545A (zh) * 2018-10-08 2018-12-28 吉林大学 激光预热与高频振动耦合非晶合金表面改性装置与方法
CN109097545B (zh) * 2018-10-08 2023-09-15 吉林大学 激光预热与高频振动耦合非晶合金表面改性装置与方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104551527A (zh) 一种微观表面织构的制造设备及制造方法
CN103769959B (zh) 一种超声微磨削加工设备及工艺
CN104002220A (zh) 超声振动辅助下单颗磨粒磨削实验装置及方法
EP0431553A2 (en) Microscopic grinding method and microscopic grinding device
CN102172883A (zh) 一种硬脆材料高质量微细通孔的加工方法及装置
CN109304664B (zh) 一种基片均匀抛光装置及其工作方法
CN103343899B (zh) 成本低廉、可靠性较高的激光线光源组件的装配方法
CN104309003A (zh) 一种复合振动超声铣削主轴
CN102689171A (zh) 一种仪表机芯间隙精密自动调节系统
CN105240443B (zh) 基于挤压工作模式的半主动车削颤振磁流变减振装置
CN104897494A (zh) 一种模拟多种工况的光学表面抗划痕性能测试设备及其使用方法
CN104889674A (zh) 一种表面织构的制造设备及其使用方法
US12083645B2 (en) Magnetic field-assisted vibratory finishing device for minute structure and finishing method
CN103769993A (zh) 立式磨床精密滚子轴承滚道超精装置
CN110561031B (zh) 一种静压力可控的超声表面滚压方法和装置
CN202327738U (zh) 激光线光源组件
CN104568633A (zh) 可控速控温的单颗磨粒磨削实验装置
CN104483262A (zh) 一种超声振动实现微位移的微动摩擦试验机
CN208984313U (zh) 一种电机振动测试工装
CN207643507U (zh) 一种微结构撞点加工机床导光板模具的调节平台
CN203843604U (zh) 一种超声微磨削加工设备
CN202922340U (zh) 一种改变超声波传导方向的机构
CN113172487A (zh) 微米级功能结构的振动铁磁流体超精密抛光装置及方法
CN100420534C (zh) 基于线框电极进行电火花套料加工的方法
CN108225962B (zh) 单颗磨粒钟摆式划擦试验装备

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20150909