CN104831347A - 一种内热式化学气相渗透致密c/c坩埚的工装及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，包括石墨支撑座、石墨发热体、石墨防污管、石墨保温筒、石墨顶盖和位于石墨保温筒内的石墨支撑筒，石墨支撑座设置于真空电阻沉炭炉的炉底上方，石墨发热体穿过石墨支撑座中部安装于炉底中心部位，石墨防污管套装于石墨发热体上，石墨保温筒和石墨支撑筒均设置于石墨支撑座上，石墨顶盖设置于石墨保温筒上方且套装在石墨防污管上，所述石墨保温筒内设置有用于化学气相渗透致密C/C坩埚预制体的反应室。另外，本发明还公开了采用该工装化学气相渗透致密C/C坩埚的方法。本发明的工装结构简单，设计合理。采用本发明工装和方法致密的C/C坩埚均匀性好，密度达1.5g/cm3以上。
Description
技术领域
本发明属于化学气相渗技术领域，具体涉及一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装及方法。
背景技术
单晶硅提拉过程中，炉内温度为1460℃～1600℃范围内，装载多晶硅原料的石英坩埚已变软，主要靠背面的C/C坩埚承托。冷炉后石英坩埚与C/C坩埚粘贴在一起，还需敲打C/C坩埚使石英坩埚剥离。为此，延长C/C坩埚的使用寿命，降低成本，已成为单晶硅行业的难点之一。
中国专利公开号CN1350959A公开了“飞机炭刹车盘的快速气相沉炭方法及设备”，采用内热梯度定向流化学气相渗透制备炭刹车盘的方法，该方法将炭盘预制体套装在内石墨发热体炉中，靠炭盘内径～外径之间的较大厚度形成内型面温度高、外型面温度低的热梯度；碳源气体从预制体外侧低温面进入，通过预制体中孔隙，从内侧高温面抽出炉外。进气管由炉底进入，预制体高度达1.0m，气体分布不均；且碳源气体经过预制体之间没有人造缝隙，其孔隙不均匀，势必导致流量不均匀，造成炭盘密度不均匀。
中国专利ZL200320115117.6公开了“一种狭缝定向流制备飞机炭刹车盘的方法”，该方法将飞机炭刹车盘预制体套装内石墨发热体炉中，各预制体之间垫入0.5mm～4.0mm等厚度的石墨垫片，碳源气体从炉底部进入预制体外型面(冷端)，经过预制体间狭缝从内型面(热端)排出炉外。本方法解决了炭盘预制体孔隙不均匀造成的密度不均匀的问题，但预制体总高1.3m，仅从炉底进气，导致上下产品密度不均匀的问题没有解决。
中国专利ZL201110433814.0公开了“一种多沉积室CVI致密炭/炭坩埚的装置及方法”，每层坩埚(可放4～8个坩埚)放置于一个沉积室，并通过一路碳源气体进气管供气，可确保每层坩埚都能接触到新鲜的碳源气体，但一层有4～8个坩埚，其增密效率的均匀性仍有限。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装。该工装结构简单，设计合理，可同时致密多个C/C坩埚预制体，通过在真空电阻沉炭炉内设置石墨发热体，可从内部加热C/C坩埚预制体，显著降低了能耗；通过设置内石墨筒和外石墨筒，并在石墨底座底部安装用于向空腔内通入碳源气体的进气管，碳源气体通过第一出气孔和第二出气孔进入内石墨筒与外石墨筒之间，并与C/C坩埚预制体内、外壁接触，发生热解炭沉炭反应，达到增密目的。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，其特征在于，包括石墨支撑座、石墨发热体、石墨防污管、石墨保温筒、石墨顶盖和位于石墨保温筒内的石墨支撑筒，石墨支撑座设置于真空电阻沉炭炉的炉底上方，石墨发热体穿过石墨支撑座中部安装于炉底中心部位，石墨防污管套装于石墨发热体上，石墨保温筒和石墨支撑筒均设置于石墨支撑座上，石墨顶盖设置于石墨保温筒上方且套装在石墨防污管上，所述石墨支撑座与真空电阻沉炭炉的炉壳之间以及石墨保温筒与真空电阻沉炭炉的炉壳之间均设置有保温炭毡，所述石墨保温筒内设置有用于化学气相渗透致密C/C坩埚预制体的反应室，所述反应室位于石墨支撑筒和石墨顶盖之间，所述反应室包括套装于石墨防污管上的分气装置和设置于所述分气装置上方的石墨封气板；所述分气装置包括石墨分气座和设置于石墨分气座上方的内石墨筒，以及设置于石墨分气座上方且位于内石墨筒外侧的外石墨筒，所述外石墨筒的筒壁上部开设有第一排气孔，所述石墨分气座包括石墨底座和设置于石墨底座上方的石墨挡气板，所述石墨底座和石墨挡气板之间形成空腔，石墨底座上安装有用于向空腔内通入碳源气体的进气管，所述石墨挡气板上开设有用于将空腔内的碳源气体导出的第一出气孔和第二出气孔，第一出气孔和第二出气孔均位于内石墨筒和外石墨筒之间。
上述的一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，其特征在于，所述分气装置的数量为多个，多个所述分气装置叠放设置，所述石墨封气板设置于最上层分气装置上方。
上述的一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，其特征在于，所述石墨封气板上开设有第二排气孔，所述石墨发热体的底部通过C/C复合材料螺栓固定安装于炉底中心部位。
上述的一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，其特征在于，最上层所述分气装置的外石墨筒的外壁下部安装有热电偶。
上述的一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，其特征在于，所述石墨顶盖上开设有第三排气孔。
上述的一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，其特征在于，所述石墨底座包括石墨内筒和石墨外筒，以及用于连接石墨内筒和石墨外筒的石墨底板。
上述的一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，其特征在于，所述石墨内筒、石墨外筒和石墨底板为一体式结构，所述石墨外筒的上部外缘设置有第一台阶，所述石墨挡气板的下部外缘设置有与所述第一台阶相配合的第一凹槽；所述石墨内筒的上部内缘设置有第二台阶，所述石墨挡气板的下部内缘设置有与所述第二台阶相配合的第二凹槽。
另外，本发明还提供了一种采用上述工装化学气相渗透致密C/C坩埚的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、将底部具有通孔的C/C坩埚预制体倒扣套装于石墨防污管上，并使第一出气孔位于C/C坩埚预制体的内侧，且第二出气孔位于C/C坩埚预制体的外侧；
步骤二、通过进气管向空腔内通入碳源气体，一部分碳源气体通过第二出气孔导出进入C/C坩埚预制体外壁和外石墨筒内壁之间并与C/C坩埚预制体外壁接触发生热解炭沉炭反应，另一部分碳源气体通过第一出气孔导出进入C/C坩埚预制体内壁和内石墨筒外壁之间并与C/C坩埚预制体内壁接触发生热解炭沉炭反应，实现C/C坩埚预制体的化学气相渗透致密，得到C/C坩埚。
上述的方法，其特征在于，步骤二中所述碳源气体为天然气或丙烯，碳源气体的流量为2m3/h～10m3/h。
上述的方法，其特征在于，步骤二中所述热解炭沉炭反应的温度为900℃～1200℃，真空度为-0.98MPa～-0.90MPa，时间为300h～600h。
本发明与现有技术相比具有以下优点：
1、本发明的工装结构简单，设计合理，可同时致密多个C/C坩埚预制体。
2、本发明通过在真空电阻沉炭炉内设置石墨发热体，可从内部加热C/C坩埚预制体，显著降低了能耗；通过设置内石墨筒和外石墨筒，并在石墨底座底部安装用于向空腔内通入碳源气体的进气管，碳源气体通过第一出气孔和第二出气孔进入内石墨筒与外石墨筒之间，并与C/C坩埚预制体内、外壁接触，发生热解炭沉炭反应，达到增密目的。
3、本发明优选叠放设置多个分气装置，每个C/C坩埚预制体单独供气，即每个C/C坩埚位于一个独立的沉积室，有效提高了沉炭效率和产品密度的均匀性，缩短了生产周期，提高了C/C坩埚的密度，大幅度延长了C/C坩埚的使用寿命。
4、本发明通过石墨发热体从内部加热C/C坩埚预制体，即内热式化学气相渗透致密C/C坩埚，可做到炉内温度均匀，打破了内热式加热必须是热梯度法的常规，最大限度的利用热能，保温效果好，极大地节约了能耗，降低了成本。
5、采用本发明的工装和方法致密的C/C坩埚均匀性好，密度达1.5g/cm3以上。
下面结合附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细说明。
附图说明
图1为本发明工装第一种具体实施方式的结构示意图。
图2为本发明工装第二种具体实施方式的结构示意图。
图3为本发明石墨分气座的结构示意图。
附图标记说明：
1—炉底； 2—C/C复合材料螺栓； 3—石墨发热体；
4—石墨支撑座； 5—石墨防污管； 6—石墨支撑筒；
7—石墨保温筒； 8—热电偶； 9—保温炭毡；
10—炉壳； 11—石墨顶盖； 12—进气管；
13-1—石墨底座； 13-2—石墨挡气板； 13-11—石墨底板；
13-12—石墨内筒； 13-13—石墨外筒； 14—空腔；
15—内石墨筒； 16—C/C坩埚预制体； 17—外石墨筒；
18—第一排气孔； 19—石墨封气板； 20—第一出气孔；
21—第二出气孔； 22—第二排气孔； 23—第三排气孔；
24—第一台阶； 25—第二台阶。
具体实施方式
本发明工装由以下实施例1至实施例2进行描述：
实施例1
如图1和图3所示，本实施例的内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，包括石墨支撑座4、石墨发热体3、石墨防污管5、石墨保温筒7、石墨顶盖11和位于石墨保温筒7内的石墨支撑筒6，石墨支撑座4设置于真空电阻沉炭炉的炉底1上方，石墨发热体3穿过石墨支撑座4中部安装于炉底1中心部位，石墨防污管5套装于石墨发热体3上，石墨保温筒7和石墨支撑筒6均设置于石墨支撑座4上，石墨顶盖11设置于石墨保温筒7上方且套装在石墨防污管5上，所述石墨支撑座4与真空电阻沉炭炉的炉壳10之间以及石墨保温筒7与真空电阻沉炭炉的炉壳10之间均设置有保温炭毡9，所述石墨保温筒7内设置有用于化学气相渗透致密C/C坩埚预制体16的反应室，所述反应室位于石墨支撑筒6和石墨顶盖11之间，所述反应室包括套装于石墨防污管5上的分气装置和设置于所述分气装置上方的石墨封气板19；所述分气装置包括石墨分气座和设置于石墨分气座上方的内石墨筒15，以及设置于石墨分气座上方且位于内石墨筒15外侧的外石墨筒17，所述外石墨筒17的筒壁上部开设有第一排气孔18，所述石墨分气座包括石墨底座13-1和设置于石墨底座13-1上方的石墨挡气板13-2，所述石墨底座13-1和石墨挡气板13-2之间形成空腔14，石墨底座13-1上安装有用于向空腔14内通入碳源气体的进气管12，所述石墨挡气板13-2上开设有用于将空腔14内的碳源气体导出的第一出气孔20和第二出气孔21，第一出气孔20和第二出气孔21均位于内石墨筒15和外石墨筒17之间。
如图1和图3所示，本实施例中，所述分气装置的数量为1个。
如图1和图3所示，本实施例中，所述石墨封气板19上开设有第二排气孔22，所述石墨发热体3的底部通过C/C复合材料螺栓2固定安装于炉底1中心部位。
如图1和图3所示，本实施例中，所述分气装置的外石墨筒17的外壁下部安装有热电偶8。
如图1和图3所示，本实施例中，所述石墨顶盖11上开设有第三排气孔23。
如图1和图3所示，本实施例中，所述石墨底座13-1包括石墨内筒13-12和石墨外筒13-13，以及用于连接石墨内筒13-12和石墨外筒13-13的石墨底板13-11。
如图1和图3所示，本实施例中，所述石墨内筒13-12、石墨外筒13-13和石墨底板13-11为一体式结构，所述石墨外筒13-13的上部外缘设置有第一台阶24，所述石墨挡气板13-2的下部外缘设置有与所述第一台阶24相配合的第一凹槽；所述石墨内筒13-12的上部内缘设置有第二台阶25，所述石墨挡气板13-2的下部内缘设置有与所述第二台阶25相配合的第二凹槽。
实施例2
如图2和图3所示，本实施例的内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，包括石墨支撑座4、石墨发热体3、石墨防污管5、石墨保温筒7、石墨顶盖11和位于石墨保温筒7内的石墨支撑筒6，石墨支撑座4设置于真空电阻沉炭炉的炉底1上方，石墨发热体3穿过石墨支撑座4中部安装于炉底1中心部位，石墨防污管5套装于石墨发热体3上，石墨保温筒7和石墨支撑筒6均设置于石墨支撑座4上，石墨顶盖11设置于石墨保温筒7上方且套装在石墨防污管5上，所述石墨支撑座4与真空电阻沉炭炉的炉壳10之间以及石墨保温筒7与真空电阻沉炭炉的炉壳10之间均设置有保温炭毡9，所述石墨保温筒7内设置有用于化学气相渗透致密C/C坩埚预制体16的反应室，所述反应室位于石墨支撑筒6和石墨顶盖11之间，所述反应室包括套装于石墨防污管5上的分气装置和设置于所述分气装置上方的石墨封气板19；所述分气装置包括石墨分气座和设置于石墨分气座上方的内石墨筒15，以及设置于石墨分气座上方且位于内石墨筒15外侧的外石墨筒17，所述外石墨筒17的筒壁上部开设有第一排气孔18，所述石墨分气座包括石墨底座13-1和设置于石墨底座13-1上方的石墨挡气板13-2，所述石墨底座13-1和石墨挡气板13-2之间形成空腔14，石墨底座13-1上安装有用于向空腔14内通入碳源气体的进气管12，所述石墨挡气板13-2上开设有用于将空腔14内的碳源气体导出的第一出气孔20和第二出气孔21，第一出气孔20和第二出气孔21均位于内石墨筒15和外石墨筒17之间。
如图2和图3所示，本实施例中，所述分气装置的数量为2个，2个所述分气装置叠放设置，所述石墨封气板19设置于上层分气装置上方。
如图2和图3所示，本实施例中，所述石墨封气板19上开设有第二排气孔22，所述石墨发热体3的底部通过C/C复合材料螺栓2固定安装于炉底1中心部位。
如图2和图3所示，本实施例中，最上层所述分气装置的外石墨筒17的外壁下部安装有热电偶8。
如图2和图3所示，本实施例中，所述石墨顶盖11上开设有第三排气孔23。
如图2和图3所示，本实施例中，所述石墨底座13-1包括石墨内筒13-12和石墨外筒13-13，以及用于连接石墨内筒13-12和石墨外筒13-13的石墨底板13-11。
如图2和图3所示，本实施例中，所述石墨内筒13-12、石墨外筒13-13和石墨底板13-11为一体式结构，所述石墨外筒13-13的上部外缘设置有第一台阶24，所述石墨挡气板13-2的下部外缘设置有与所述第一台阶24相配合的第一凹槽；所述石墨内筒13-12的上部内缘设置有第二台阶25，所述石墨挡气板13-2的下部内缘设置有与所述第二台阶25相配合的第二凹槽。
本发明方法由以下实施例3至实施例5进行描述：
实施例3
本实施例采用实施例1中所述工装进行化学气相渗透致密C/C坩埚，具体包括以下步骤：
步骤一、如图1所示，将底部具有通孔的C/C坩埚预制体16倒扣套装于石墨防污管5上，并使第一出气孔20位于C/C坩埚预制体16的内侧，且第二出气孔21位于C/C坩埚预制体16的外侧；
步骤二、通过进气管12向空腔14内通入碳源气体，一部分碳源气体通过第二出气孔21导出进入C/C坩埚预制体16外壁和外石墨筒17内壁之间并与C/C坩埚预制体16外壁接触发生热解炭沉炭反应，另一部分碳源气体通过第一出气孔20导出进入C/C坩埚预制体16内壁和内石墨筒15外壁之间并与C/C坩埚预制体16内壁接触发生热解炭沉炭反应，实现C/C坩埚预制体16的化学气相渗透致密，得到密度为1.5g/cm3的C/C坩埚；所述碳源气体为天然气或丙烯，碳源气体的流量为2m3/h；所述热解炭沉炭反应的温度为900℃，真空度为-0.90MPa，时间为300h。
实施例4
本实施例采用实施例2中所述工装进行化学气相渗透致密C/C坩埚，具体包括以下步骤：
步骤一、如图2所示，将一个底部具有通孔的C/C坩埚预制体16倒扣套装于石墨防污管5上，并使底层分气装置的第一出气孔20位于C/C坩埚预制体16的内侧，且第二出气孔21位于C/C坩埚预制体16的外侧；将另一个底部具有通孔的C/C坩埚预制体16倒扣套装于石墨防污管5上，并使上层分气装置的的第一出气孔20位于C/C坩埚预制体16的内侧，且第二出气孔21位于C/C坩埚预制体16的外侧；
步骤二、通过进气管12向空腔14内通入碳源气体(每个分气装置独立通气)，一部分碳源气体通过第二出气孔21导出进入C/C坩埚预制体16外壁和外石墨筒17内壁之间并与C/C坩埚预制体16外壁接触发生热解炭沉炭反应，另一部分碳源气体通过第一出气孔20导出进入C/C坩埚预制体16内壁和内石墨筒15外壁之间并与C/C坩埚预制体16内壁接触发生热解炭沉炭反应，实现C/C坩埚预制体16的化学气相渗透致密，得到密度为1.55g/cm3的C/C坩埚；所述碳源气体为天然气或丙烯，碳源气体的流量为7m3/h；所述热解炭沉炭反应的温度为1050℃，真空度为-0.94MPa，时间为450h。
实施例5
本实施例采用实施例2中所述工装进行化学气相渗透致密C/C坩埚，具体包括以下步骤：
步骤一、如图2所示，将一个底部具有通孔的C/C坩埚预制体16倒扣套装于石墨防污管5上，并使底层分气装置的第一出气孔20位于C/C坩埚预制体16的内侧，且第二出气孔21位于C/C坩埚预制体16的外侧；将另一个底部具有通孔的C/C坩埚预制体16倒扣套装于石墨防污管5上，并使上层分气装置的的第一出气孔20位于C/C坩埚预制体16的内侧，且第二出气孔21位于C/C坩埚预制体16的外侧；
步骤二、通过进气管12向空腔14内通入碳源气体(每个分气装置独立通气)，一部分碳源气体通过第一出气孔20导出进入C/C坩埚预制体16外壁和外石墨筒17内壁之间并与C/C坩埚预制体16外壁接触发生热解炭沉炭反应，另一部分碳源气体通过第二出气孔21导出进入C/C坩埚预制体16内壁和内石墨筒15外壁之间并与C/C坩埚预制体16内壁接触发生热解炭沉炭反应，实现C/C坩埚预制体16的化学气相渗透致密，得到密度为1.6g/cm3的C/C坩埚；所述碳源气体为天然气或丙烯，碳源气体的流量为10m3/h；所述热解炭沉炭反应的温度为1200℃，真空度为-0.98MPa，时间为600h。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例，并非对本发明做任何限制，凡是根据发明技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化，均仍属于本发明技术方案的保护范围内。
Claims (10)
1.一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，其特征在于，包括石墨支撑座(4)、石墨发热体(3)、石墨防污管(5)、石墨保温筒(7)、石墨顶盖(11)和位于石墨保温筒(7)内的石墨支撑筒(6)，石墨支撑座(4)设置于真空电阻沉炭炉的炉底(1)上方，石墨发热体(3)穿过石墨支撑座(4)中部安装于炉底(1)中心部位，石墨防污管(5)套装于石墨发热体(3)上，石墨保温筒(7)和石墨支撑筒(6)均设置于石墨支撑座(4)上，石墨顶盖(11)设置于石墨保温筒(7)上方且套装在石墨防污管(5)上，所述石墨支撑座(4)与真空电阻沉炭炉的炉壳(10)之间以及石墨保温筒(7)与真空电阻沉炭炉的炉壳(10)之间均设置有保温炭毡(9)，所述石墨保温筒(7)内设置有用于化学气相渗透致密C/C坩埚预制体(16)的反应室，所述反应室位于石墨支撑筒(6)和石墨顶盖(11)之间，所述反应室包括套装于石墨防污管(5)上的分气装置和设置于所述分气装置上方的石墨封气板(19)；所述分气装置包括石墨分气座和设置于石墨分气座上方的内石墨筒(15)，以及设置于石墨分气座上方且位于内石墨筒(15)外侧的外石墨筒(17)，所述外石墨筒(17)的筒壁上部开设有第一排气孔(18)，所述石墨分气座包括石墨底座(13-1)和设置于石墨底座(13-1)上方的石墨挡气板(13-2)，所述石墨底座(13-1)和石墨挡气板(13-2)之间形成空腔(14)，石墨底座(13-1)上安装有用于向空腔(14)内通入碳源气体的进气管(12)，所述石墨挡气板(13-2)上开设有用于将空腔(14)内的碳源气体导出的第一出气孔(20)和第二出气孔(21)，第一出气孔(20)和第二出气孔(21)均位于内石墨筒(15)和外石墨筒(17)之间。
2.根据权利要求1所述的一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，其特征在于，所述分气装置的数量为多个，多个所述分气装置叠放设置，所述石墨封气板(19)设置于最上层分气装置上方。
3.根据权利要求1或2所述的一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，其特征在于，所述石墨封气板(19)上开设有第二排气孔(22)，所述石墨发热体(3)的底部通过C/C复合材料螺栓(2)固定安装于炉底(1)中心部位。
4.根据权利要求1或2所述的一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，其特征在于，最上层所述分气装置的外石墨筒(17)的外壁下部安装有热电偶(8)。
5.根据权利要求3所述的一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，其特征在于，所述石墨顶盖(11)上开设有第三排气孔(23)。
6.根据权利要求1或2所述的一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，其特征在于，所述石墨底座(13-1)包括石墨内筒(13-12)和石墨外筒(13-13)，以及用于连接石墨内筒(13-12)和石墨外筒(13-13)的石墨底板(13-11)。
7.根据权利要求6所述的一种内热式化学气相渗透致密C/C坩埚的工装，其特征在于，所述石墨内筒(13-12)、石墨外筒(13-13)和石墨底板(13-11)为一体式结构，所述石墨外筒(13-13)的上部外缘设置有第一台阶(24)，所述石墨挡气板(13-2)的下部外缘设置有与所述第一台阶(24)相配合的第一凹槽；所述石墨内筒(13-12)的上部内缘设置有第二台阶(25)，所述石墨挡气板(13-2)的下部内缘设置有与所述第二台阶(25)相配合的第二凹槽。
8.一种采用如权利要求1或2所述工装化学气相渗透致密C/C坩埚的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、将底部具有通孔的C/C坩埚预制体(16)倒扣套装于石墨防污管(5)上，并使第一出气孔(20)位于C/C坩埚预制体(16)的内侧，且第二出气孔(21)位于C/C坩埚预制体(16)的外侧；
步骤二、通过进气管(12)向空腔(14)内通入碳源气体，一部分碳源气体通过第二出气孔(21)导出进入C/C坩埚预制体(16)外壁和外石墨筒(17)内壁之间并与C/C坩埚预制体(16)外壁接触发生热解炭沉炭反应，另一部分碳源气体通过第一出气孔(20)导出进入C/C坩埚预制体(16)内壁和内石墨筒(15)外壁之间并与C/C坩埚预制体(16)内壁接触发生热解炭沉炭反应，实现C/C坩埚预制体(16)的化学气相渗透致密，得到C/C坩埚。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，步骤二中所述碳源气体为天然气或丙烯，碳源气体的流量为2m3/h～10m3/h。
10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，步骤二中所述热解炭沉炭反应的温度为900℃～1200℃，真空度为-0.98MPa～-0.90MPa，时间为300h～600h。
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