CN104769287B - 流体的伺服驱动装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种流体的伺服驱动装置，具有加载压力流体的驱动件(2)和调节驱动件的压力流体加载的两级式的按比例的位置调节器(3)。位置调节器的电子‑流体的先导级(10)包括一个电机的转换器(14)和一个被所述转换器操作的比例阀(16)，所述比例阀具有压力流体入口(18)、控制压力出口(19)和排出口(20)。位置调节器的流体的功率级(11)包括两个座式阀(24、25)，它们具有所配属的压力路程转换器，所述压力路程转换器由共同的控制室(34)被施加负载，所述控制室与先导级(10)的控制压力出口(19)相连接。

Description

流体的伺服驱动装置
本发明涉及一种流体的、尤其气动的伺服驱动装置，尤其是电枢伺服驱动装置，包括加载压力流体(尤其压缩空气)的驱动件和调节驱动件的压力流体加载装置的按比例的位置调节器。
以不同的构造方式已知和使用流体的电枢伺服驱动装置。例如可以引用DE 19537493 C1、EP 1751640、EP 918939 B1、DE 102009023706 A1、EP1758007 A1、GB 2485049 A、EP 822344 A2、DE 19502212 C1。
如上面所述的作为现有技术的专利文献，具有按比例的位置调节器的流体的伺服驱动装置通常是很昂贵的。不止在制造成本方面是不利的。伺服驱动装置的各个部件的耗费的流体连接还会带来使系统一定程度上不稳定的风险。
由DE 102007058518 A1已知一种气动的电枢-伺服驱动装置，它同样包括可加载压缩空气的驱动件和调控驱动件的压缩空气加载的按比例的位置调节器，相对于上面所述的背景技术(例如DE 102009023706 A1)其特征在于，电子流体的先导级包括一个电机的转换器(压电弯曲转换器)和一个被这种电机的转换器操作的比例阀(喷嘴-平行板-系统)。通过相应的控制压力传导将功率级的两个阀的控制压力入口与比例阀的出口相连接。
本发明所要解决的技术问题在于，在上面所述的背景技术的缺点方面提供一种辅助，尤其通过提供一种前述类型的流体的伺服驱动装置，它在相对较低成本的情况下在较高的工作安全性下具有可靠的功能性，其中，同时能够比根据DE 102007058518 A1中的流体的伺服驱动装置实现更高的经济效益。
所述技术问题根据本发明通过在权利要求1中详细给出的流体的伺服驱动装置所解决。因此，这种伺服驱动装置的特点在于多个技术功能上共同起作用的特征，其中，对于根据本发明的(设计为两级式的、具有电子流体的先导级和流体的功率级)位置调节器的特征还在于，功率级的两个阀设计为座式阀并且将它们安装在共同的壳体内，并且电子-流体的先导级包括一个电机的转换器和一个被该转换器操作的比例阀，其中，电子流体的先导级的控制压力出口作用在流体的功率级的控制室上。在此，从每个(共同的)被容纳在座式阀之间的壳体内的控制室加载两个压力路程转换器，其中每个压力路程转换器作用在流体的功率级的两个座式阀中的一个上。在无压力的控制室中两个座式阀的第一座式阀在打开的位置上被预紧，并且两个座式阀中的第二座式阀在闭合位置上被预紧。两个压力路程转换器在此这样地配置和相互调整，使得通过压力过程、即在工作区间内的压力提高形成对两个座式阀的操作的明确的分级(即两个座式阀的按顺序的操作)，亦即，首先第一座式阀被累进地被关闭，并且在完全关闭第一座式阀之后才打开第二座式阀。以这种方式，将在控制室中的压力明确地与通过两个座式阀的开关状态定义的工作时刻相匹配，当然相反的匹配也是可行的。通过这种明确的匹配，在位置调节器明确的特性下，能够在控制技术上容易地控制这种位置调节器，尽管他的构造和仪器成本较低，但仍能够尤其避免不稳定性。此外，根据本发明的位置调节器、不同于用于滑阀的位置调节器，特征在于完全的无泄漏(或者所有情况下具有可忽略的泄漏)的功率级，这尤其在效率方面是十分突出的优点，因为由此在没有长期的压力流体加载的情况下能够实现连接的驱动件(见下)的实际上的“闭塞”或“保持”。
在本发明的范围内所使用的对两个压力路程转换器的相互协调在所述的分级操作或操作顺序方面可以通过合适的配置两个压力路程转换器的面积关系来实现，在控制室内的控制压力作用在这个面积上，如通过对在两个座式阀上作用的预紧力的协调作用，这种预紧力不仅相互作用而且作用在相关压力路程转换器的各自所属的有效面积上。
通过位置调节器的先导级和功能级的按比例的运行，可实现伺服驱动装置的特别高的、相对于驱动件的脉冲宽度调制控制被显著提高的使用寿命，并且全部的阀在工作中主要地具有局部偏移，并且只是很少地通过它的整个运动区域来被操作。
根据本发明的第一优选改进方案，在用于控制压力的工作压力区间的局部区间内部(构成“闭塞区间”)两个座式阀都被闭合。换言之：在压力提升的情况下在工作压力区间内，第二座式阀打开，即在同样的控制压力下，或多或少不是与第一座式阀的完全闭合同时进行。而是对于控制压力存在或多或少特别的区间，在该区间内两个座式阀都被闭合。相关的闭塞区间特别优选在由控制压力总共可达到的区间的10％至30％。类似地，对于稳定的工作关系是非常大的优点。此外，在经济效益方面也是有利的，因为由此实现了，在功率级内在所述的闭塞区间内不存在自然通风消耗。这去除了压力供应装置在相应的工作时刻内“保持”的负载，即在保持驱动件的相应工作时刻的情况下。只有在改变驱动件的工作时刻的情况下(例如为了打开或闭合由相关的伺服驱动装置操作的电枢)由此在伺服驱动装置的功率级内产生在压力流体上的自身消耗。在特别优选的是，这样地相互调整伺服驱动装置的单个部件，使得存在这样的工作特征曲线的确定对称性，即控制压力区间的平均值优选在前面所述的闭塞区间之内。
本发明的另外优选的改进方案的特征在于，工作压力区间在由控制压力总共能够实现的控制压力区间的95％至85％之间。在这种关系下，特别优选的是，“只”在由控制压力总共能实现的控制压力区间的90％以上，控制压力的改变才对两个座式阀的位置的改变起作用。相应地，例如控制压力区间的最初的5％和最后的5％是“无作用”的，当控制压力达到或超过最大控制压力的5％时，第一座式阀才开始闭合，并且当控制压力达到最大控制压力的95％时，第二座式阀才完成打开。
根据另一个特别优选的改进方案，每个座式阀和包括所配属的压力路程转换器的单元具有关于控制压力的打开横截面的特征曲线的非线性走势。更确切地说，特征曲线优选在与相关的座式阀的相应完全关闭的区间相邻的地方在平滑度方面，与和完全关闭的阀距离更远的区间相比，例如打开横截面的指定改变要求控制压力的更大的改变。换言之，确定打开横截面与控制压力的关系的梯度在两个座式阀中特别优选地、靠近相应闭合时刻的地方比离相应闭合时刻较远的地方更加平滑。这例如能够实现对伺服驱动器的驱动件在精密调节，尤其由伺服驱动装置操作的电枢的范围内特别灵敏地加载。此外，在调节的稳定性方面是有较大优点的。相应地在所述非线性方面对部件的调整能够在此不止使用相应的压力路程转换器，尤其还在相应回位弹簧的特性上。更确切地说，还能够调整座式阀。即通过将它设计为软密封的方法，其中特别优选相应地设置具有在肖氏硬度70至85之间的硬度的软阀座。为了产生特征曲线所述的平滑的梯度，密封边缘能够在相应阀座的硬度上被调整，即(通过相应的成型)首先不通过密封边缘的整个外周构成开口缝隙，而是只通过密封边缘的局部区域。在前面所述的座式阀的软密封特性方面特别有利的是，阀座设计在啮合的密封装置上，其中密封边缘特别优选地设计在可移动的阀体上(闭合体)。
本发明的另外优选的改进方案的特征在于，所配属的控制压力膜片分别与每个座式阀的阀杆相连接，控制压力膜片将控制室相对于相应座式阀的第一阀腔密封。相关的控制压力膜片在此是相应的压力路程转换器的一部分，具有用于控制压力有效的面积。另外的上面详细阐述的对两个座式阀的操作的分级在控制室内中改变压力关系的情况下能够尤其通过相应地影响控制压力膜片来实现，尤其这样地影响几何尺寸、厚度和/或材料选择，使得配属于第二座式阀的压力路程转换器在比配属于第一座式阀的压力路程转换器更高的控制压力下起作用。
特别优选第二膜片分别与每个座式阀的阀杆相连接，第二膜片将每个座式阀的第二阀腔相对于周围环境密封。但是，当然也考虑其它形式的对相应第二阀腔相对于周围环境的密封。也能够考虑所述的第二膜片，用来在改变压力关系的情况下影响对两个座式阀的分级操作的对于本发明明显的特性。
本发明的另外优选的改进方案的特征在于，分别包括一个座式阀和所配属的压力路程转换器的单元彼此相对地设立。两个座式阀的阀杆能够在此(但是不是必须)设在相同的轴线上。因此，在控制技术方面提供了特别有吸引力的可能性，使用一个传感器，测量两个压力路程转换器和/或阀杆的控制压力作用的部件相互间的相对距离，精确地测定位置调节器的功率级的开关状态。亦即，一个传感器的信号能够说明有关两个座式阀的位置，并且因此说明位置调节器的实时工作时刻。相关的信号能够在此作为“实际信号”返回到调节单元上。当传感器被安置在控制电路板上时，在结构方面是特别有利的，所述控制电路板被安置在两个压力路程转换器的控制压力起作用的部件(例如控制压力膜片)之间。无论如何在实施方式中，其中在前面所述的范围内设置测量两个压力路程转换器和/或阀杆的控制压力作用的部件相互间的相对距离，不存在配属于两个座式阀的压力路程转换器和/或阀杆的刚性连接。
令人感兴趣地是，特别紧凑的和同样可靠的和性能卓越的伺服驱动装置是先导级的电机的转换器，根据本发明的另外优选的改进方案，设计为压电式的弯曲转换器。这种压电式工作的弯曲转换器能够以最低的电气操作能量被可靠地运行，这迎合固有安全的运行。特别优选的是，先导级在结构上被集成在功率级的壳体内或者直接地构造在该功率级内。当使用空气作为先导级的压力流体时，上述设计是适用的。在降低振动和共振风险(这对于控制关系是不利的)的情况下，通过相应最小化的空气体积率通过最短的连接通道，能够实现具有较高动态的、最低的反应时间的特别稳定的工作关系。
本发明特别的应用在于，伺服驱动装置的驱动件具有一个流体的作功室，该作功室通过功率级的作功出口与两个座式阀的邻近控制室的第一阀腔相连接，其中，第一座式阀的第二阀腔与压力流体供应装置、第二座式阀的第二阀腔与压力流体排泄装置相连接。这种构造方式利用根据本发明所提供的可能性，并且使用功能卓越的、紧凑的、可靠的伺服驱动装置。
特别优选地是，伺服驱动装置的先导级使用压力流体来驱动，为伺服驱动装置的驱动件(通过功率级)加载压力流体。这至少适用于在气动式伺服驱动装置的情况，在这种情况下不仅驱动件而且按比例的位置调节器的先导级都利用压缩空气来运行。不仅位置调节器的先导级而且它的功率级都能够由同样的压缩空气供应装置来提供，其中，特别优选地将先导级的压缩空气入口安置在压力限制器之前，或配属于压力限制器。
在安全技术的观点下，当功率级的座式阀没有电输入信号的情况下，在先导级上具有与在压力流体供应装置停机的情况下同样的开关位置。以这种方式，与(电子的或气动的/混合的)伺服驱动装置的哪个部件或哪个区间被干扰或发生故障无关地，提供位置调节器的同样的开关关系，因而被位置调节调节器加载的驱动件始终具有同样预定的中止位置。以这种方式保证了可靠的自动防故障关系。
下面结合在附图中明示的优选实施例来详细地阐述本发明。在附图中：
图1示出气动实施的按照本发明的伺服驱动装置的第一实施例的示意图，
图2示出功率级的特征曲线图，即两个座式阀的打开横截面关于控制压力的曲线，
图3示出本发明的第二实施例，作为根据图1所示的实施例的变形方案，
图4示出本发明的第三实施例，作为根据图1所示的实施例的变形方案，
在图1中示出的气动的、用于操作电枢1的伺服驱动器包括可加载压缩空气的驱动件2和调节驱动件的被压缩空气加载的按比例的位置调节器3。驱动件2在此设计为简单作用的气动缸4的形式，它以这种已知的方式包括壳体5、在壳体内密封的可移动导引的限定了体积可改变的作功室6的边界的活塞7以及活塞杆8和在活塞7上作用的预紧弹簧或回位弹簧9。
按比例的位置调节器3设计为两级式的，其具有电子-气动的前置级(辅助级)10和气动的功率级11。一个且同一个压缩空气供应器12用于对前置级10和功率级11的供应。
电子-气动的前置级10包括电信号入口13、一个以压电弯曲转换器15形式的电机转换器14和一个被电机转换器操作的比例阀16，该比例阀具有通过减压阀17连接在压缩空气供应器12上的压缩空气入口18、控制压力出口19和排出口20。以这种已知的方式，在控制压力出口19上存在的压力与压电弯曲转换器15的特定几何形状相关，这种特定几何形状与设在电信号入口13上的电压有关。电信号入口13在它这侧通过调节单元21与额定值输入器22相关联。
气动的功率级11包括两个以阀组形式安放在壳体23中、相互对置安置的座式阀24和25，它们分别包括固定在壳体上的阀座26或27和具有在其上安置的闭合体30或31的阀杆28或29。阀杆28或29在此分别与双层壁的膜片单元32或33密封地和固定地相连接，其中，在壳体23内部在两个膜片单元32和33之间布置的空间构成控制室34，压电前置级10的控制压力出口19连接在控制室上。细节上，座式阀24的阀杆28与压力板44固定连接，压力板是“控制压力膜片”32a的功能部分，控制压力膜片在它这侧构成膜片单元32(双层壁)的朝向控制室34的壁。膜片单元32的第二壁构成“腔室膜片”32b，其中，在控制压力膜片32a和腔室膜片32b之间的空间是无压力的和透气的。对应地也适用于第二座式阀25。膜片单元32和33将控制室34分别相对于相应座式阀24或25的第一阀腔35或36密封，其中，两个第一阀腔35和36相互关联并且与功率级11的共同作功出口37相关联，这个共同的作功出口在它这侧与驱动件2的气动的作功室6相连接。第一座式阀24的第二阀腔38在此与压缩空气排出口39相连接，而第二座式阀25的第二阀腔40与压缩空气供应器12相连接。前置级10能够(未在图中详细阐述)结构上集成在功率级11的壳体23内或者直接地构造在功率级11上。
预紧弹簧或回位弹簧41或42分别作用在两个阀杆28或29上，即在功率级11的两个座式阀24和25中(在缺少气动加载，亦即在控制室34中无压力(见下)的情况下)第一座式阀24(即在图1中右侧所示)在打开的位置上被预紧，相反地第二座式阀25(即在图1中左侧所示)在关闭的位置上被预紧。对于两个座式阀24和25中的每一个，膜片单元32或33和预紧弹簧或回位弹簧41或42的功能组合构成(在相关的闭合体30或31各自对相关的阀杆28或29作用的)压力行程转换器，相应阀杆28或29的位置根据在控制室34中的压力(控制压力)指向。前述的两个座式阀24和25的布置在两个压力行程转换器上相互对置地延伸，换言之，借助这两个压力行程转换器能够气动地操作座式阀24和25。主要的是，两个压力行程转换器被共同的控制室34加载，该控制室与前置级10的控制压力出口19相连接。
配属于第一座式阀24的压力行程转换器与配属于第二座式阀25的压力行程转换器相配合(参见图2)，当在控制室34内的压力稳定提高的情况下，即在稳定提高控制压力p超过限定的工作压力区间(下限驱动压力B1和上限驱动压力B2)的情况下，首先累进地闭合第一座式阀24，并且在完全地闭合第一座式阀24之后才累进地打开第二座式阀25。在用于控制压力的工作压力区间的构成闭塞区间S的部分区间中，使两个座式阀24和25都被闭合，其中，闭塞区间大约是由控制压力全部可实现的控制压力区间的20％。控制压力区间的中间值在此在闭塞区间S之中。
工作压力区间共计大约是控制压力全部可实现的控制压力区间的90％，这意味着，在控制压力区间的最低的5％和最高的5％内，两个座式阀24和25相应的位置未改变。如图2所示，分别包括座式阀24或25和所配属的压力行程转换器的单元具有在开放横截面Q关于控制压力p的曲线中特征曲线24’或25’的非线性走势。在细节上，相应地接近或邻接闭锁区间S有平滑的特征曲线，对于座式阀24或25的开放横截面Q改变预定的数值，与特征区间的和闭塞区间S进一步远离的区间相比，需要相对更大地改变控制压力p。这种非线性尤其通过阀座26或27与闭合体30或31合适的相互协调而形成，但是也通过在压力行程转换器的侧向(例如，膜片单元32或33和/或预紧弹簧和回位弹簧41或42)的措施来形成。
根据前面所阐述的结构可以得到下面这些伺服驱动装置的功能性：如果通过额定值输入22和调节单元21相应地加载电子-气动前置级10，逐步地提高在控制室34中存在的控制压力(首先从无压力状态开始)，则在大约提高5％压力(相对于控制压力全部可实现的控制压力区间)之后，开始关闭第一座式阀24，其中，由于上面所阐述的特征曲线第一座式阀24的开放横截面首先相对快速地改变，但是之后明显较慢地改变。例如在最大控制压力40％的时候，完全关闭第一座式阀。在进一步提高控制压力直至达到最大控制压力60％的时候座式阀24和25的位置不改变；此时两个座式阀被闭锁。在进一步提升控制压力时才打开第二座式阀25，即首先逐步地缓慢地、之后较快地，并且至大约最大控制压力的95％时才到达它完全被打开的位置。
由于位置调节器3的这种特性和上面所述的压缩空气供应装置12和驱动件2在位置调节器上的连接，当控制压力在闭塞区间S(控制压力的40％至60％)之内时驱动件2的作功室6被闭塞，在0％至40％之间的压力区间内时(在第一座式阀24的不同开放横截面的情况下)与压缩空气排出口39相连接，并且在60％至100％之间的压力区间内时(在第二座式阀25的不同开放横截面的情况下)与压缩空气供应器12相连接。因此，电枢1与在控制室34中存在的控制压力(没有功率级11的自然通风消耗)相关地被固持，或多或少动态地被关闭，或者(还是或多或少动态地)被打开。
位置调节器包括在控制室34中安置在两个座式阀24和25之间的传感器43，该传感器测量所述两个与座式阀24或25的阀杆28或29固定连接的压力板44和45相互间的相对距离。根据相关的距离信号(并且由此用于功率级11的实时驱动点)从传感器43作为调节单元21回馈的实际值而被传送。取代在压力板44和45之间的距离，传感器43还能够可选地测定在两个压力行程转换器的另外控制压力反应的元件之间的距离，在它们之间(必要时在控制板上面)安置传感器。因此需要注意，配属于两个座式阀24和25的压力路转换器和/或阀杆28和29不是刚性地相互联接。
这样地设计前置级10，在没有由它构造的电气的入口信号情况下控制室34是无压力的，因而第一座式阀24是打开的并且第二座式阀25是关闭的。因此，驱动单元2的作功室6是无压力的，并且驱动单元2的活塞7处于通过预紧弹簧和回位弹簧9预设的位置上。因此，功率级11的座式阀24和25的位置(例如驱动件2的位置)在调节单元21停止(或者相对地是不作功的)情况下是在前面的侧向上，同在压缩空气供应器12停止的情况中一样。位置调节器因此具有限定的和明确的失效-安全-关系。
在图3(只示出相应的部分)中示出的根据图1所示的位置驱动器的变形方案与之前所阐述的实施方式的首要不同之处在于，压力行程转换器和传感器的不同类型的设计方案。即，在此在两个阀杆28和29上作用的回位力由整体上、安置在控制室34中的、被牵引的弹簧件46所提供。根据本发明的分级地、即与控制压力相关地相互位移地对两个座式阀24和25的操作由此通过两个膜片单元32和33在它们的被加载控制压力的面和/或它们的强度方面不同的布置而实现。共同的弹簧件46在此同时表示为传感器47，方法是，将传感器功能集成在弹簧件中，测量弹簧件46的实际延展，并且作为表示功率级的驱动时刻、即两个座式阀24和25的位置的变量传回给调节单元21。
图4示出用于构造座式阀24和25的特殊的结构选择。因此，在此尤其示出被软密封的座式阀的应用方式，其中，每个阀座26或27设在被触碰的具有在肖氏硬度70至85之间的硬度的密封件28上。并且在每个阀杆28或29的闭合体30或31上设有限定边界的密封边缘49。因此，仍显著地预设了阀特征曲线24’和25’(开放横截面Q相对于控制压力p)的已经在图2中所示的非线性，以便能够实现对驱动件2的尽可能敏感的调整。
此外，在图4中示出，第二膜片单元(腔室膜片)50与每个座式阀24或25的杆28或29相连接，所示第二膜片单元将相应座式阀的相应第二阀腔38或40相对于外部环境密封。

Claims (22)

1.一种流体的伺服驱动装置，包括能够加载压力流体的驱动件(2)和调节所述驱动件的压力流体加载的按比例的位置调节器(3)，具有如下特征：
所述位置调节器(3)设计为两级式的，具有电子-流体的先导级(10)和流体的功率级(11)；
所述电子-流体的先导级(10)包括电子的信号入口(13)、一个电机转换器(14)和一个被所述转换器操作的比例阀(16)，所述比例阀(16)具有压力流体入口(18)、控制压力出口(19)和排出口(20)；
所述流体的功率级(11)包括两个安装在共同的壳体(23)内的座式阀(24、25)，它们分别通过作用在相关阀杆(28、29)上的压力路程转换器而能够被气动地操作；
这两个压力路程转换器由共同的控制室(34)被施加负载，所述控制室(34)被安置在座式阀(24、25)之间的壳体(23)内，并且与所述先导级(10)的控制压力出口(19)相连接；
在缺少流体的负载的情况下、即在所述控制室(34)无压力的情况下，在所述功率级(11)的两个座式阀(24、25)中的第一座式阀在打开位置上被预紧并且第二座式阀在闭合位置上被预紧；
配属于所述第一座式阀(24)的压力路程转换器这样地与配属于所述第二座式阀(25)的压力路程转换器相协调，使得在不断提高所述控制室(34)中的压力，使之超过由下限运行压力(B1)和上限运行压力(B2)限定的工作压力区间时，首先所述第一座式阀累进地被闭合，并且在所述第一座式阀(24)被完全闭合之后，所述第二座式阀(25)才累进地被打开。
2.根据权利要求1所述的伺服驱动装置，其特征在于，所述伺服驱动装置是气动的伺服驱动装置。
3.根据权利要求1所述的伺服驱动装置，其特征在于，所述伺服驱动装置是电枢-伺服驱动装置。
4.根据权利要求1所述的伺服驱动装置，其特征在于，在用于控制压力(p)的工作压力区间的构成闭塞区间(S)的局部区间内，闭合两个座式阀(24、25)。
5.根据权利要求4所述的伺服驱动装置，其特征在于，所述闭塞区间(S)在由控制压力总共能够达到的控制压力区间的10％至30％之间。
6.根据权利要求5所述的伺服驱动装置，其特征在于，所述控制压力区间的中间值落在所述闭塞区间(S)内。
7.根据权利要求1所述的伺服驱动装置，其特征在于，所述工作压力区间在由控制压力总共能够实现的控制压力区间的95％至85％之间。
8.根据权利要求1所述的伺服驱动装置，其特征在于，每个座式阀(24；25)和包括所配属的压力路程转换器的单元具有关于控制压力(p)的打开横截面(Q)的特征曲线(24’；25’)的非线性走势。
9.根据权利要求1所述的伺服驱动装置，其特征在于，将两个座式阀(24、25)设计为软密封。
10.根据权利要求9所述的伺服驱动装置，其特征在于，相应地设有肖氏硬度在70至85之间的硬度的较软的阀座(26、27)。
11.根据权利要求10所述的伺服驱动装置，其特征在于，所述阀座(26、27)设计在咬合的密封装置(28)上，和/或密封边缘(49)设计在能够运动的闭合体(30、31)上。
12.根据权利要求1所述的伺服驱动装置，其特征在于，每个座式阀(24、25)的阀杆(28、29)与所配属的膜片单元(32、33)相连接，所述膜片单元(32、33)使控制室(34)相对于相应座式阀的第一阀腔(35、36)被密封。
13.根据权利要求12所述的伺服驱动装置，其特征在于，每个座式阀(24、25)的阀杆(28、29)与第二膜片(50)相连接，所述第二膜片(50)使相应座式阀的第二阀腔(38、40)相对于周围环境被密封。
14.根据权利要求1所述的伺服驱动装置，其特征在于，包括分别一个座式阀(24、25)和所配属的压力路程转换器的单元彼此相反地对置。
15.根据权利要求14所述的伺服驱动装置，其特征在于，配属于两个座式阀(24、25)的压力路程转换器和/或阀杆(28、29)非刚性地相互耦连。
16.根据权利要求15所述的伺服驱动装置，其特征在于，设置传感器(43；47)，所述传感器(43；47)提供关于两个压力路程转换器和/或阀杆的对控制压力反应的元件的彼此相对距离的信号。
17.根据权利要求16所述的伺服驱动装置，其特征在于，所述传感器(43)被安置在控制电路板上，所述控制电路板在其一侧被安置在两个压力路程转换器的对控制压力反应的元件之间。
18.根据权利要求1所述的伺服驱动装置，其特征在于，所述先导级(10)的电机转换器(14)设计为压电的弯曲转换器(15)。
19.根据权利要求18所述的伺服驱动装置，其特征在于，所述先导级在结构上集成在所述功率级(11)的壳体(23)内或者直接构造在所述功率级上。
20.根据权利要求1所述的伺服驱动装置，其特征在于，所述驱动件(2)具有一个流体的作功室(6)，所述作功室(6)通过所述功率级(11)的作功出口(37)与两个座式阀(24、25)的邻近所述控制室(34)的第一阀腔(35、36)相连接，其中，所述第一座式阀(24)的第二阀腔(38)与压力流体排出装置(39)相连接，并且所述第二座式阀(25)的第二阀腔(40)与压力流体供应装置相连接。
21.根据权利要求20所述的伺服驱动装置，其特征在于，在压力流体供应装置(12)上通过压力限定器(17)还连接有所述先导级(10)的压力流体入口(18)。
22.根据权利要求20或21所述的伺服驱动装置，其特征在于，所述功率级(11)的座式阀(24、25)在没有电输入信号的情况下在所述先导级(10)上如同所述压力流体供应装置(12)停机的情况而处于同样的开关位置。
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