CN104765253A - 一种自动对位机构以及设有该自动对位机构的曝光机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种自动对位机构,包括基座组件、对位支架以及角度调节装置,所述角度调节装置设置在基座组件上,所述角度调节装置包括驱动件、转动体一以及第一驱动装置,所述转动体一的外周面与所述对位支架一端的端面接触,所述第一驱动装置驱动驱动件前进带动所述转动体一进行转动时,所述转动体一的外周面与所述对位支架接触时产生推压力,所述推压力作用在所述对位支架上,驱动对位支架相对基座组件转动a的角度,所述a为(-1-1)°。还公开了一种曝光机,包括曝光机主体、光源装置、控制系统以及自动对位机构,所述自动对位机构安装在曝光机主体上。本发明的曝光机通过该对位机构自动调节安装位置,结构简单,稳定性好,调节精度高。
Description
技术领域
本发明涉及曝光技术领域,尤其涉及一种自动对位机构以及设有该对位机构的曝光机。
背景技术
在曝光机对PCB板进行曝光中,要保证曝光精度高,曝光得到的图形更清晰和稳定,其中对PCB板的定位要求更高,因此为保证PCB板的最佳位置,减少PCB板的位置误差,曝光机中还专门设有用于调节PCB板的放置位置并减少该误差的对位机构。
现有技术中,出现了很多用于调节PCB板位置误差的对位机构,虽然从一定程度上解决了现有技术中没有调节PCB板位置,使得曝光精度低、曝光显示图像差的问题,由于对PCB板的调节是微调,甚至需要精确到微米级,现有的对位机构还存在如下的问题:(1)PCB板放置位置最主要是角度的误差,现有的对位机构角度调节精度低,无法精确调节PCB板存在的角度误差,从而无法保证精度;(2)现有的驱动机构由电机、轴、轴承一、轴承二和轴承套组成,来驱动进行X、Y以及转动方向的运动,连接时,轴一端与电机直接相连,存在一个间隙,轴另一端通过单独的深沟球轴承进行支撑,换向时,先有一个间隙的移动和径向移动,稳定性差,直接影响到调节的精度。
发明内容
本发明针对现有技术中的不足,提供一种自动对位机构,结构简单,稳定性好,调节精度高。
为了解决上述技术问题,本发明通过下述技术方案得以解决:
一种自动对位机构,包括基座组件以及可转动设置在基座组件上的对位支架,还包括调节对位支架相对基座组件转动的角度调节装置,所述角度调节装置设置在所述基座组件上,所述角度调节装置包括与基座组件成滑动配合连接的驱动件、设置在驱动件上的转动体一以及用于驱动所述驱动件平移的第一驱动装置,所述转动体一的外周面与所述对位支架一端的端面相接触,所述第一驱动装置驱动所述驱动件前进带动所述转动体一进行转动时,所述转动体一的外周面与所述对位支架接触时产生推压力,所述推压力作用在所述对位支架上,驱动对位支架相对基座组件转动a的角度,所述a为(-1-1)°。
优选的,所述第一驱动装置包括驱动器、与驱动器输出端相连的轴体结构、设置在轴体结构上的第一定位装置、套设在轴体结构上并与所述驱动件顶压连接的转动体二以及套设在轴体结构上并与所述的驱动件相连的第一平衡装置,所述转动体二为至少一个。
优选的,所述轴体结构包括第一轴段、第二轴段和第三轴段以及设置在第一轴段与第二轴段之间的凸台,所述第一轴段上与驱动器输出端相连的一端为外螺纹结构,所述第二轴段为偏心轴结构,所述轴体结构为一体结构;所述驱动器输出端与第一轴段相连,所述第一定位装置套设在第一轴段上,所述转动体二和第一平衡装置套设在第二轴段上。
优选的,所述第一定位装置包括定位座、套设在第一轴段上的限位件和锁紧件,所述定位座套装在所述锁紧件上;所述限位件的横截面为N边形,其中N≥4,所述定位座上设有用于容纳所述限位件并与所述限位件形状相适配的置放腔。
优选的,所述定位座包括与驱动器相连的连接部一、与连接部一相对设置的连接部二以及连接所述连接部一和连接部二的连接部三,所述定位座为一体结构,所述置放腔设置在所述连接部二的外端上。
优选的,所述第一驱动装置还包括至少两对轴承组件,其中一对轴承组件套设在第二轴段上并位于所述限位件与凸台之间,所述另一对轴承组件套设在所述的第三轴段上,所述轴承组件包括至少两个轴承一。
优选的,所述驱动件包括驱动件本体、在所述驱动件本体的一端设有与转动体二顶压连接的推动部一和在另一端的驱动件本体上设有的轴一,所述转动体一套装在轴一上并能相对轴一转动。
优选的,第一平衡装置包括套设在第二轴段上的转动件三、套装在转动件三上的连接套、分别设置在连接套和驱动件本体上的支撑柱一以及连接所述驱动件与所述连接套的弹性件一,所述弹性件一的一端通过支撑柱一与驱动件相连,另一端通过支撑柱一与连接套相连。
优选的,所述角度调节装置还包括用于平衡所述对位支架和驱动件的第二平衡装置,所述第二平衡装置包括分别设置在对位支架和驱动件本体上的支撑柱二以及连接所述驱动件与所述对位支架的弹性件二,所述弹性件二的一端通过支撑柱二与驱动件相连,另一端通过支撑柱二与对位支架相连。
一种曝光机,包括曝光机主体、设置在曝光机主体内的光源装置以及控制系统,还包括上述所述的自动对位机构,所述自动对位机构安装在所述的曝光机主体上。
本发明取得如下的有益效果:(1)本发明的对位机构,通过所述的角度调节装置精确调整对位支架相对基座组件的角度,来保证PCB板安装位置的精度,所述转动体一的外周面与所述对位支架一端的端面相接触,为顶压配合,直接将调节力度作用在对位支架上,来实现对对位支架的角度位置的调节,大大提高了调节的精度;(2)本发明的第一驱动装置包括的第一定位装置一端与驱动器连接,且与轴体结构通过紧固件固定连接,消除了驱动器与轴体结构直接连接产生的间隙,使得驱动器在驱动轴体结构转动过程中更平稳,大大提高了调节的精度;(3)与所述驱动件顶压连接的转动体二为多个,即多个点接触,保证了驱动的稳定性,进一步提高调节的精度;(4)套设在轴体结构上的轴承组件,为至少两个轴承一,且两个轴承一的薄边相连,不会产生径向跳动,进一步提高调节的精度。
总之,本发明的对位机构,稳定性好,调节精度高,设有该对位机构的曝光机,曝光更稳定,曝光质量好。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本发明的实践了解到。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解,构成本申请的一部分,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
图1本发明一种自动对位机构实施例的结构示意图一;
图2为本发明第一驱动装置的结构示意图;
图3为本发明第一驱动装置的剖视图;
图4为本发明第一定位装置的结构示意图;
图5为本发明角度调节装置的的结构示意图;
图6为本发明轴体结构的结构示意图;
图7为本发明定位座的结构示意图;
图8为本发明限位片的结构示意图;
图9为本发明轴承组件的结构示意图;
图10为本发明驱动件的结构示意图;
图11为本发明第一滑动组件的构示意图;
图12为本发明一种自动对位机构实施例的结构示意图二;
图13为本发明导轨一的结构示意图;
图14为本发明滑块一的结构示意图;
图15为本发明滑块一与导轨一连接的结构示意图;
图16为本发明连接基板的结构示意图;
图17为本发明第二驱动装置的结构示意图;
图18为本发明第三驱动装置的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例的附图,对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例,本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
除非另作定义,此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。同样,“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制,而是表示存在至少一个。
如图1-11所示,作为本发明的实施例,一种自动对位机构,包括基座组件100、可转动设置在基座组件100上的对位支架200以及调节对位支架200相对基座组件100转动的角度调节装置300,所述角度调节装置300设置在所述基座组件100上,所述角度调节装置300包括与基座组件100成滑动配合连接的驱动件101、设置在驱动件101上的转动体一103以及用于驱动所述驱动件101平移的第一驱动装置104,所述转动体一103的外周面与所述对位支架200一端的端面相接触,在本实施例中,设定驱动件101沿Y向水平运动,由第一驱动装置104驱动驱动件101前进带动所述转动体一103进行转动时,转动体一103的转动推动对位支架200相对基座组件100进行转动,由于所述转动体一103的外周面与所述对位支架200一端的端面相接触,转动体一103的转动作用力直接作用在对位支架200上给对位支架200一个推压力,所述推压力驱动对位支架200相对基座组件100转动a的角度,所述a为(-1-1)°,结构简单,不会产生间隙的运动,大大提高了调节的精度,节约了成本。
在本实施例中,如图2-3所示,所述第一驱动装置104包括驱动器1、与驱动器1输出端相连的轴体结构2、至少两对轴承组件6、设置在轴体结构2上的第一定位装置3、套设在轴体结构2上并与所述驱动件101顶压连接的转动体二4以及套设在轴体结构2上并与所述的驱动件101相连的第一平衡装置5,所述转动体二4为两个,保证转动体二4与驱动件101作用支架为两个,保证驱动件101在运动过程的稳定性,且优选所述的驱动器1为电机,即通过电机驱动轴体结构2的转动,来推动驱动件101的运动。
在本实施例中,如图6所示,所述轴体结构2包括第一轴段21、第二轴段22和第三轴段24以及设置在第一轴段21与第二轴段22之间的凸台23所述第二轴段22为偏心轴结构,所述轴体结构2为一体结构;所述驱动器1输出端与第一轴段21相连,所述第一定位装置3套设在第一轴段21上,所述转动体二4和第一平衡装置5套设在第二轴段22上;如图2和4所示,所述第一定位装置3包括定位座31、套设在第一轴段21上的限位件33和锁紧件32以及电机座34,所述第一轴段21上与驱动器1输出端相连的一端为外螺纹结构,所述锁紧件32连接在设有外螺纹结构的第一轴段21上,所述定位座31套装在所述锁紧件32上,且与驱动器1相连的一端也套装在设有外螺纹结构的第一轴段21上,设置成外螺纹结构,增大摩擦力,使得锁紧件32连接更为可靠,将径向跳动降至最低,保证了传递力的稳定性,也就提高了可调节的精度。
在本实施例中,如图7所示,所述定位座31包括与驱动器1相连的连接部一311、与连接部一311相对设置并与电机座34相连的连接部二312以及连接所述连接部一311和连接部二312的连接部三313,所述定位座31为一体结构,并通过中部设有的孔二314进行连接,还在所述连接部二312的外端上设置有用于所述限位件33放置的置放腔315,所述置放腔315与所述限位件33形状相适配;如图8所示,所述限位件33的横截面为N边形的结构,其中N≥4,在本实施例中,选取N=4,为四个方向,本发明的限位件33中部还设有用于与轴承结构连接的孔一331,通过该孔一331安装在第一轴段21上;同时,第三轴段24上也套设该限位件33。
在本发明中,轴承组件6为两对,其中一对轴承组件6套设在第二轴段22上并位于所述限位件与凸台23之间,另一对轴承组件6套设在所述的第三轴段24上,在本实施例中,优选所述轴承组件6包括两个角接触轴承61,如图9所示,一对角接触轴承61的D距离通过限位件33压紧,来压紧成对角接触轴承61的外圈,使得内圈胀开;在两个角接触轴承61的内圈之间垫有垫片62,垫片62优选铜垫片,厚度根据角接触轴承61的型号进行选定,加垫片62后的角接触轴承61的内圈往外胀,即垫片62施加了一个预紧力,来消除一对角接触轴承61组合的轴向和径向的间隙,使得成对的对角接触轴承61不会产生径向跳动,进一步提高调节的精度。
在本实施例中,如图6所示,所述第一轴段21上设有孔三211,用于机床螺丝的安装,目的是用来顶紧驱动器输出端,防止驱动器输出端的松动;如图4所示,所述锁紧件32上设有至少两个孔二321,用于机床螺丝的安装,目的是用来顶紧锁紧件32与第一轴段21,防止第一轴段21的松动,在本实施例中,孔三211与孔二321在空间上呈90°设置;如图7所示,所述定位座31的连接部三313上设有的孔一316为工艺孔,轴体结构2与驱动器相连后,工具如扳手通过该工艺孔来压紧孔三211上的机床螺丝。
在本实施例中,如图10所示,所述驱动件101包括驱动件本体1011、在所述驱动件本体1011的一端设有与转动体二4顶压连接的推动部一1012和在另一端的驱动件本体1011上设有的轴一1013,所述转动体一103套装在轴一1013上并能相对轴一1013转动。如图11所示,本发明的驱动件101下方还设有第四滑动组件105,所述第四滑动组件包括与驱动件相连的导轨四1051、与导轨四1051相配合并设置在基座组件100上的滑块四1052,在第一驱动装置104的驱动下,所述驱动件101通过第四滑动组件105相对基座组件100进行滑动,且有定位片一1053,用于连接驱动件101的侧部和导轨四1051,起到限位和加强的作用。
在本实施例中,设有的用于平衡驱动件101在前进和回退过程中的稳定性,故第一平衡装置5包括套设在第二轴段22上的转动件三51、套装在转动件三51上的连接套52、分别设置在连接套52和驱动件本体1011上的支撑柱一53以及连接所述驱动件101与所述连接套52的弹性件一54,本发明的弹性件一54为处于拉伸状态的具有弹性的连接件,本发明优选拉簧,所述弹性件一54的一端通过支撑柱一53与驱动件101相连,另一端通过支撑柱一53与连接套52相连,在调节时,通过电机驱动带动轴承组件6的角接触轴承61和转动件三51转动,角接触轴承61顶压驱动件101的推动部一1012运动,同时,转动件三51转动带动连接套52和弹性件一54一起运动,且驱动件101前进和回退的过程中,弹性件一54的拉伸长度保持不变,来平衡调节的稳定性好,进一步提高调节的精度。
在本实施例中,同理,为保持驱动件本体1011对所述对位支架200调节的稳定性,所述角度调节装置300还包括用于平衡所述对位支架200和驱动件101的第二平衡装置102,所述第二平衡装置102包括分别设置在对位支架200和驱动件本体1011上的支撑柱二1021以及连接所述驱动件101与所述对位支架200的弹性件二1022,本发明的弹性件二1022为处于拉伸状态的具有弹性的连接件,本发明优选拉簧,所述弹性件二1022的一端通过支撑柱二1021与驱动件101相连,另一端通过支撑柱二1021与对位支架200相连,在调节时,通过电机驱动带动轴承组件6的角接触轴承61和转动件三51转动,角接触轴承61顶压驱动件101的推动部一1012运动,驱动件101的运动使得转动体一103与对位支架200相对进行转动,来调节对位支架200的相对角度位置,且驱动件101前进和回退的过程中,弹性件二1022的拉伸长度保持不变,来平衡调节的稳定性好,进一步提高调节的精度。
在本实施例中,如图12-15所示,还能对所述对位支架200的X和Y方向进行调节,来调节得到PCB板放置位置的精确性,本发明的对位机构还包括驱动所述基座组件100和对位支架200一并沿Y方向移动的第一移动装置400和一并沿X方向移动的第二移动装置500以及连接第一移动装置400和第二移动装置500的连接基板600,所述第一移动装置400与所述基座组件100相连,所述连接基板600设置在所述第一移动装置400上方,所述第二移动装置500设置在所述连接基板600上方,结构紧凑,调节可靠,进一步提高调节的精度。
在本实施例中,如图12所示,所述第一移动装置400包括两对第一滑动组件401以及驱动所述基座组件100和对位支架200一并沿Y方向移动的第二驱动装置402,所述第一滑动组件401包括与基座组件100相连的滑块一4011、与滑块一4011相配合的并连接在所述连接基板600底部的导轨一4012,其中本实施例的导轨一4012优选如图13的导轨,所述导轨一4012宽度较大,重心低,结构紧凑,本发明的导轨一4012还有节省空间的好处;所述导轨一4012的两侧设有两个导槽4013,如图14所示,对应所述滑块一4011设有两个导向块4014,滑动时,通过两个导向块4014嵌入到导槽4013中,双边卡紧,如图15所示,且滑块一4011内的钢球的接触角设置呈45°放置,使得滑块一4011上与导轨一4012接触的4个方向为等负荷,因此连接更为紧固,施加预紧力后,实现无间隙、高精度的平滑稳定的直线运动,进一步提高了调节的精度,克服了由于Y方向的第一滑动组件401跨度大,易摇摆的不足。其中,驱动Y方向移动的第二驱动装置402优选本发明角度调节装置中的第一驱动装置,来保证调节的精确性,如图17所示,第二驱动装置402具体的结构包括驱动推板一403和所述第一驱动装置104,在本实施例中,如图2-3所示,所述第一驱动装置104包括驱动器1、与驱动器1输出端相连的轴体结构2、至少两对轴承组件6、设置在轴体结构2上的第一定位装置3、套设在轴体结构2上并与所述驱动推板一403顶压连接的转动体二4以及套设在轴体结构2上并与所述的驱动推板一403相连的第一平衡装置5,所述转动体二4为两个,保证转动体二4与驱动推板一403作用支架为两个,对应驱动推板一403的结构,包括两个与转动体二4相对应的推快一,保证驱动推板一403在运动过程的稳定性,且优选所述的驱动器1为电机,即通过电机驱动轴体结构2的转动,来推动转动体二4的运动,带动所述基座组件100和对位支架200一并沿Y方向移动。
在本实施例中,如图6所示,所述轴体结构2包括第一轴段21、第二轴段22和第三轴段24以及设置在第一轴段21与第二轴段22之间的凸台23所述第二轴段22为偏心轴结构,所述轴体结构2为一体结构;所述驱动器1输出端与第一轴段21相连,所述第一定位装置3套设在第一轴段21上,所述转动体二4和第一平衡装置5套设在第二轴段22上;如图2和4所示,所述第一定位装置3包括定位座31、套设在第一轴段21上的限位件33和锁紧件32以及电机座34,所述第一轴段21上与驱动器1输出端相连的一端为外螺纹结构,所述锁紧件32连接在设有外螺纹结构的第一轴段21上,所述定位座31套装在所述锁紧件32上,且与驱动器1相连的一端也套装在设有外螺纹结构的第一轴段21上,设置成外螺纹结构,增大摩擦力,使得锁紧件32连接更为可靠,将径向跳动降至最低,保证了传递力的稳定性,也就提高了可调节的精度。
在本实施例中,如图7所示,所述定位座31包括与驱动器1相连的连接部一311、与连接部一311相对设置并与电机座34相连的连接部二312以及连接所述连接部一311和连接部二312的连接部三313,所述定位座31为一体结构,并通过中部设有的孔二314进行连接,还在所述连接部二312的外端上设置有用于所述限位件33放置的置放腔315,所述置放腔315与所述限位件33形状相适配;如图8所示,所述限位件33的横截面为N边形的结构,其中N≥4,在本实施例中,选取N=4,为四个方向,本发明的限位件33中部还设有用于与轴承结构连接的孔一331,通过该孔一331安装在第一轴段21上;同时,第三轴段24上也套设该限位件33。
在本发明中,轴承组件6为两对,其中一对轴承组件6套设在第二轴段22上并位于所述限位件与凸台23之间,另一对轴承组件6套设在所述的第三轴段24上,在本实施例中,优选所述轴承组件6包括两个角接触轴承61,如图9所示,一对角接触轴承61的D距离通过限位件33压紧,来压紧成对角接触轴承61的外圈,使得内圈胀开;在两个角接触轴承61的内圈之间垫有垫片62,垫片62优选铜垫片,厚度根据角接触轴承61的型号进行选定,加垫片62后的角接触轴承61的内圈往外胀,即垫片62施加了一个预紧力,来消除一对角接触轴承61组合的轴向和径向的间隙,使得成对的对角接触轴承61不会产生径向跳动,进一步提高调节的精度。
在本实施例中,如图6所示,所述第一轴段21上设有孔三211,用于机床螺丝的安装,目的是用来顶紧驱动器输出端,防止驱动器输出端的松动;如图4所示,所述锁紧件32上设有至少两个孔二321,用于机床螺丝的安装,目的是用来顶紧锁紧件32与第一轴段21,防止第一轴段21的松动,在本实施例中,孔三211与孔二321在空间上呈90°设置;如图7所示,所述定位座31的连接部三313上设有的孔一316为工艺孔,轴体结构2与驱动器相连后,工具如扳手通过该工艺孔来压紧孔三211上的机床螺丝。
在本实施例中,如图10所示,所述驱动件101包括驱动件本体1011、在所述驱动件本体1011的一端设有与转动体二4顶压连接的推动部一1012和在另一端的驱动件本体1011上设有的轴一1013,所述转动体一103套装在轴一1013上并能相对轴一1013转动。如图11所示,本发明的驱动件101下方还设有第四滑动组件105,所述第四滑动组件包括与驱动件相连的导轨四1051、与导轨四1051相配合并设置在基座组件100上的滑块四1052,在第一驱动装置104的驱动下,所述驱动件101通过第四滑动组件105相对基座组件100进行滑动,且有定位片一1053,用于连接驱动件101的侧部和导轨四1051,起到限位和加强的作用。
在本实施例中,设有的用于平衡驱动件101在前进和回退过程中的稳定性,故第一平衡装置5包括套设在第二轴段22上的转动件三51、套装在转动件三51上的连接套52、分别设置在连接套52和驱动件本体1011上的支撑柱一53以及连接所述驱动件101与所述连接套52的弹性件一54,本发明的弹性件一54为处于拉伸状态的具有弹性的连接件,本发明优选拉簧,所述弹性件一54的一端通过支撑柱一53与驱动件101相连,另一端通过支撑柱一53与连接套52相连,在调节时,通过电机驱动带动轴承组件6的角接触轴承61和转动件三51转动,角接触轴承61顶压驱动件101的推动部一1012运动,同时,转动件三51转动带动连接套52和弹性件一54一起运动,且驱动件101前进和回退的过程中,弹性件一54的拉伸长度保持不变,来平衡调节的稳定性好,进一步提高调节的精度。
在本实施例中,如图12、16所示,所述连接基板600包括连接基板本体601以及自连接基板本体601的侧部延伸的连接部四602;所述第二移动装置500包括至少一组设置在连接基板本体601上的第二滑动组件501和至少两组设置在连接部四602上的第三滑动组件502以及驱动所述基座组件100和对位支架200一并沿X方向移动的第三驱动装置503,所述第二滑动组件501和第三滑动组件502呈平行设置,为保证滑动平稳,故将两组第三滑动组件502设置在连接基板本体601的端部,且位于同一侧边;所述第二滑动组件501包括至少一个与连接基板本体601相连的滑块二5011和与滑块二5011相配合的导轨二5012,所述第三滑动组件502包括与连接部四602相连的滑块三5021和与滑块三5021相配合的导轨三5022,本实施例的导轨二5012和导轨三5022优选上述Y方向的导轨一4012结构,同理滑块二5011和滑块三5021优选上述Y方向的滑块一4011结构。
如图18所示,本发明的第三驱动装置503具体的结构包括驱动推板二504和所述第一驱动装置104,在本实施例中,如图2-3所示,所述第一驱动装置104包括驱动器1、与驱动器1输出端相连的轴体结构2、至少两对轴承组件6、设置在轴体结构2上的第一定位装置3、套设在轴体结构2上并与所述驱动推板二504顶压连接的转动体二4以及套设在轴体结构2上并与所述的驱动推板二504相连的第一平衡装置5,所述转动体二4为两个,保证转动体二4与驱动推板二504作用支架为两个,对应驱动推板二504的结构,包括两个与转动体二4相对应的推块二,保证驱动推板二504在运动过程的稳定性,且优选所述的驱动器1为电机,即通过电机驱动轴体结构2的转动,来推动转动体二4的运动,带动所述基座组件100和对位支架200一并沿Y方向移动。
在本实施例中,如图6所示,所述轴体结构2包括第一轴段21、第二轴段22和第三轴段24以及设置在第一轴段21与第二轴段22之间的凸台23所述第二轴段22为偏心轴结构,所述轴体结构2为一体结构;所述驱动器1输出端与第一轴段21相连,所述第一定位装置3套设在第一轴段21上,所述转动体二4和第一平衡装置5套设在第二轴段22上;如图2和4所示,所述第一定位装置3包括定位座31、套设在第一轴段21上的限位件33和锁紧件32以及电机座34,所述第一轴段21上与驱动器1输出端相连的一端为外螺纹结构,所述锁紧件32连接在设有外螺纹结构的第一轴段21上,所述定位座31套装在所述锁紧件32上,且与驱动器1相连的一端也套装在设有外螺纹结构的第一轴段21上,设置成外螺纹结构,增大摩擦力,使得锁紧件32连接更为可靠,将径向跳动降至最低,保证了传递力的稳定性,也就提高了可调节的精度。
在本实施例中,如图7所示,所述定位座31包括与驱动器1相连的连接部一311、与连接部一311相对设置并与电机座34相连的连接部二312以及连接所述连接部一311和连接部二312的连接部三313,所述定位座31为一体结构,并通过中部设有的孔二314进行连接,还在所述连接部二312的外端上设置有用于所述限位件33放置的置放腔315,所述置放腔315与所述限位件33形状相适配;如图8所示,所述限位件33的横截面为N边形的结构,其中N≥4,在本实施例中,选取N=4,为四个方向,本发明的限位件33中部还设有用于与轴承结构连接的孔一331,通过该孔一331安装在第一轴段21上;同时,第三轴段24上也套设该限位件33。
在本发明中,轴承组件6为两对,其中一对轴承组件6套设在第二轴段22上并位于所述限位件与凸台23之间,另一对轴承组件6套设在所述的第三轴段24上,在本实施例中,优选所述轴承组件6包括两个角接触轴承61,如图9所示,一对角接触轴承61的D距离通过限位件33压紧,来压紧成对角接触轴承61的外圈,使得内圈胀开;在两个角接触轴承61的内圈之间垫有垫片62,垫片62优选铜垫片,厚度根据角接触轴承61的型号进行选定,加垫片62后的角接触轴承61的内圈往外胀,即垫片62施加了一个预紧力,来消除一对角接触轴承61组合的轴向和径向的间隙,使得成对的对角接触轴承61不会产生径向跳动,进一步提高调节的精度。
在本实施例中,如图6所示,所述第一轴段21上设有孔三211,用于机床螺丝的安装,目的是用来顶紧驱动器输出端,防止驱动器输出端的松动;如图4所示,所述锁紧件32上设有至少两个孔二321,用于机床螺丝的安装,目的是用来顶紧锁紧件32与第一轴段21,防止第一轴段21的松动,在本实施例中,孔三211与孔二321在空间上呈90°设置;如图7所示,所述定位座31的连接部三313上设有的孔一316为工艺孔,轴体结构2与驱动器相连后,工具如扳手通过该工艺孔来压紧孔三211上的机床螺丝。
在本实施例中,如图10所示,所述驱动件101包括驱动件本体1011、在所述驱动件本体1011的一端设有与转动体二4顶压连接的推动部一1012和在另一端的驱动件本体1011上设有的轴一1013,所述转动体一103套装在轴一1013上并能相对轴一1013转动。如图11所示,本发明的驱动件101下方还设有第四滑动组件105,所述第四滑动组件包括与驱动件相连的导轨四1051、与导轨四1051相配合并设置在基座组件100上的滑块四1052,在第一驱动装置104的驱动下,所述驱动件101通过第四滑动组件105相对基座组件100进行滑动,且有定位片一1053,用于连接驱动件101的侧部和导轨四1051,起到限位和加强的作用。
在本实施例中,设有的用于平衡驱动件101在前进和回退过程中的稳定性,故第一平衡装置5包括套设在第二轴段22上的转动件三51、套装在转动件三51上的连接套52、分别设置在连接套52和驱动件本体1011上的支撑柱一53以及连接所述驱动件101与所述连接套52的弹性件一54,本发明的弹性件一54为处于拉伸状态的具有弹性的连接件,本发明优选拉簧,所述弹性件一54的一端通过支撑柱一53与驱动件101相连,另一端通过支撑柱一53与连接套52相连,在调节时,通过电机驱动带动轴承组件6的角接触轴承61和转动件三51转动,角接触轴承61顶压驱动件101的推动部一1012运动,同时,转动件三51转动带动连接套52和弹性件一54一起运动,且驱动件101前进和回退的过程中,弹性件一54的拉伸长度保持不变,来平衡调节的稳定性好,进一步提高调节的精度。
在本实施例中,所述转动件一、转动件二和转动件三均优选为轴承。
一种曝光机,包括曝光机主体、设置在曝光机主体内的光源装置以及控制系统以及自动对位机构,其中,自动对位机构为上述的具体结构,所述自动对位机构安装在所述的曝光机主体上。
最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
总之,以上所述仅为本发明的较佳实施例,凡依本发明申请专利范围所作的均等变化与修饰,皆应属本发明专利的涵盖范围。
Claims (10)
1.一种自动对位机构,包括基座组件(100)以及可转动设置在基座组件(100)上的对位支架(200),其特征在于:还包括调节对位支架(200)相对基座组件(100)转动的角度调节装置(300),所述角度调节装置(300)设置在所述基座组件(100)上,所述角度调节装置(300)包括与基座组件(100)成滑动配合连接的驱动件(101)、设置在驱动件(101)上的转动体一(103)以及用于驱动所述驱动件(101)平移的第一驱动装置(104),所述转动体一(103)的外周面与所述对位支架(200)一端的端面相接触,所述第一驱动装置(104)驱动所述驱动件(101)前进带动所述转动体一(103)进行转动时,所述转动体一(103)的外周面与所述对位支架(200)接触时产生推压力,所述推压力作用在所述对位支架(200)上,驱动对位支架(200)相对基座组件(100)转动a的角度,所述a为(-1-1)°。
2.根据权利要求1所述的自动对位机构,其特征在于:所述第一驱动装置(104)包括驱动器(1)、与驱动器(1)输出端相连的轴体结构(2)、设置在轴体结构(2)上的第一定位装置(3)、套设在轴体结构(2)上并与所述驱动件(101)顶压连接的转动体二(4)以及套设在轴体结构(2)上并与所述的驱动件(101)相连的第一平衡装置(5),所述转动体二(4)为至少一个。
3.根据权利要求2所述的自动对位机构,其特征在于:所述轴体结构(2)包括第一轴段(21)、第二轴段(22)和第三轴段(24)以及设置在第一轴段(21)与第二轴段(22)之间的凸台(23),所述第一轴段(21)上与驱动器(1)输出端相连的一端为外螺纹结构,所述第二轴段(22)为偏心轴结构,所述轴体结构(2)为一体结构;所述驱动器(1)输出端与第一轴段(21)相连,所述第一定位装置(3)套设在第一轴段(21)上,所述转动体二(4)和第一平衡装置(5)套设在第二轴段(22)上。
4.根据权利要求3所述的自动对位机构,其特征在于:所述第一定位装置(3)包括定位座(31)、套设在第一轴段(21)上的限位件(33)和锁紧件(32),所述定位座(31)套装在所述锁紧件(32)上;所述限位件(33)的横截面为N边形,其中N≥4,所述定位座(31)上设有用于容纳所述限位件(33)并与所述限位件(33)形状相适配的置放腔(315)。
5.根据权利要求4所述的自动对位机构,其特征在于:所述定位座(31)包括与驱动器(1)相连的连接部一(311)、与连接部一(311)相对设置的连接部二(312)以及连接所述连接部一(311)和连接部二(312)的连接部三(313),所述定位座(31)为一体结构,所述置放腔(315)设置在所述连接部二(312)的外端上。
6.根据权利要求1-5任一项所述的自动对位机构,其特征在于:所述第一驱动装置(104)还包括至少两对轴承组件(6),其中一对轴承组件(6)套设在第二轴段(22)上并位于所述限位件与凸台(23)之间,所述另一对轴承组件(6)套设在所述的第三轴段(24)上,所述轴承组件(6)包括至少两个轴承一(61)。
7.根据权利要求6所述的自动对位机构,其特征在于:所述驱动件(101)包括驱动件本体(1011)、在所述驱动件本体(1011)的一端设有与转动体二(4)顶压连接的推动部一(1012)和在另一端的驱动件本体(1011)上设有的轴一(1013),所述转动体一(103)套装在轴一(1013)上并能相对轴一(1013)转动。
8.根据权利要求7所述的自动对位机构,其特征在于:第一平衡装置(5)包括套设在第二轴段(22)上的转动件三(51)、套装在转动件三(51)上的连接套(52)、分别设置在连接套(52)和驱动件本体(1011)上的支撑柱一(53)以及连接所述驱动件(101)与所述连接套(52)的弹性件一(54),所述弹性件一(54)的一端通过支撑柱一(53)与驱动件(101)相连,另一端通过支撑柱一(53)与连接套(52)相连。
9.根据权利要求1-8任一项所述的自动对位机构,其特征在于:所述角度调节装置(300)还包括用于平衡所述对位支架(200)和驱动件(101)的第二平衡装置(102),所述第二平衡装置(102)包括分别设置在对位支架(200)和驱动件本体(1011)上的支撑柱二(1021)以及连接所述驱动件(101)与所述对位支架(200)的弹性件二(1022),所述弹性件二(1022)的一端通过支撑柱二(1021)与驱动件(101)相连,另一端通过支撑柱二(1021)与对位支架(200)相连。
10.一种曝光机,包括曝光机主体、设置在曝光机主体内的光源装置以及控制系统,其特征在于:还包括如权利要求1-9所述的自动对位机构,所述自动对位机构安装在所述的曝光机主体上。
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