CN104678721B - 一种对位机构以及设有该对位机构的曝光机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种对位机构，包括基座组件以及对位支架和角度调节装置，所述角度调节装置设置在所述基座组件上，所述角度调节装置包括推动装置和用于驱动所述推动装置平移的第一驱动装置，所述第一驱动装置包括直线电机组件和光栅组件，所述光栅组件包括光栅尺、安装支架和光栅尺读数头，所述光栅尺读数头与推动装置相连并与推动装置移动方向平行设置，所述安装支架与基座组件相连，所述光栅尺设置在所述的安装支架上；还公开了一种曝光机，包括曝光机主体、光源装置、控制系统以及对位机构，所述对位机构安装在曝光机主体上。本发明的曝光机通过该对位机构自动调节安装位置，结构简单，稳定性好，调节精度高。

Description

一种对位机构以及设有该对位机构的曝光机

技术领域

本发明涉及曝光技术领域，尤其涉及一种能进行自动对位的对位机构以及设有该对位机构的曝光机。

背景技术

在曝光机对PCB板进行曝光中，要保证曝光精度高，曝光得到的图形更清晰和稳定，其中对PCB板的定位要求更高，因此为保证PCB板的最佳位置，减少PCB板的位置误差，曝光机中还专门设有用于调节PCB板的放置位置并减少该误差的对位机构。

现有技术中，出现了很多用于调节PCB板位置误差的对位机构，虽然从一定程度上解决了现有技术中没有调节PCB板位置，使得曝光精度低、曝光显示图像差的问题，由于对PCB板的调节是微调，甚至需要精确到微米级，现有的对位机构还存在如下的问题：(1)PCB板放置位置最主要是角度的误差，现有的对位机构角度调节精度低，一般都是通过传统的旋转电机进行驱动，需要跟转换机构配合进行传动，，在进给速度、加速度、快速定位精度等方面很难有突破性的提高，中间转换的机构会对传递结果造成一定的误差，无法精确调节PCB板存在的角度误差，从而无法保证精度；(2)现有的驱动机构由电机、轴、轴承一、轴承二和轴承套组成，来驱动进行X、Y以及转动方向的运动，连接时，轴一端与电机直接相连，存在一个间隙，轴另一端通过单独的深沟球轴承进行支撑，换向时，先有一个间隙的移动和径向移动，稳定性差，直接影响到调节的精度。

发明内容

本发明针对现有技术中的不足，提供一种对位机构，结构简单，稳定性好，调节精度高。

为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：

一种对位机构，包括基座组件以及可转动设置在基座组件上的对位支架、调节对位支架相对基座组件转动的角度调节装置，所述角度调节装置设置在所述基座组件上，所述角度调节装置包括推动装置和用于驱动所述推动装置平移的第一驱动装置，所述第一驱动装置包括直线电机组件和光栅组件，所述光栅组件包括光栅尺、安装支架和光栅尺读数头，所述光栅尺读数头与推动装置相连并与推动装置移动方向平行设置，所述安装支架与基座组件相连，所述光栅尺设置在所述的安装支架上。

优选的，所述推动装置包括推板结构、配合推板结构相对基座组件滑动的第四滑动组件、设置在推板结构一端上的转动体一，所述推板结构一侧与直线电机组件相连，另一侧与光栅组件相连，所述推板结构包括推板结构本体、在所述推板结构本体的前端上设有的轴一，所述转动体一套装在轴一上并能相对轴一转动；所述转动体一的外周面与所述对位支架一端的端面相接触，所述直线电机组件驱动所述推板结构前进带动所述转动体一进行转动时，所述转动体一的外周面与所述对位支架接触时产生推压力，所述推压力作用在所述对位支架上，驱动对位支架相对基座组件进行转动。

优选的，所述第四滑动组件包括设置在所述基座组件上的导轨四和与导轨四相配合的滑块四，所述导轨四包括上导轨四本体、下导轨四本体以及在上导轨四本体和下导轨四本体连接后两侧分别形成的导槽四，所述滑块四包括滑块四本体和在滑块四本体上设有的与导槽四相配合的导向块四以及在导向块四上方设有的用于容纳上导轨四本体的腔体。

优选的，所述角度调节装置还包括用于平衡所述对位支架和推板结构的第一平衡装置，所述第一平衡装置包括分别设置在对位支架和推板结构上的支撑柱一以及连接所述推板结构与所述对位支架的弹性件一，所述弹性件一的一端通过支撑柱一与推板结构相连，另一端通过支撑柱一与对位支架相连。

优选的，还包括驱动所述基座组件和对位支架一并沿Y方向移动的第一移动装置和一并沿X方向移动的第二移动装置以及连接第一移动装置和第二移动装置的连接基板，所述第一移动装置与所述基座组件相连，所述连接基板设置在所述第一移动装置上方，所述第二移动装置设置在所述连接基板上方。

优选的，所述第一移动装置包括至少两对第一滑动组件以及驱动所述基座组件和对位支架一并沿Y方向移动的第二驱动装置，所述第一滑动组件包括与基座组件相连的滑块一、与滑块一相配合的并连接在所述连接基板底部的导轨一，所述导轨一包括两个导槽一，所述滑块一设有两个导向块一，滑动时，通过两个导向块一嵌入到导槽一。

优选的，所述连接基板包括连接基板本体以及自连接基板本体的侧部延伸的连接部四；所述第二移动装置包括至少一对设置在连接基板本体上的第二滑动组件和至少两对设置在连接部四上的第三滑动组件以及驱动所述基座组件和对位支架一并沿X方向移动的第二驱动装置，所述第二滑动组件和第三滑动组件呈平行设置，所述第二滑动组件包括至少一个与连接基板本体相连的滑块二和与滑块二相配合的导轨二，所述第三滑动组件包括与连接部四相连的滑块三和与滑块三相配合的导轨三。

优选的，所述第二驱动装置包括驱动器、与驱动器输出端相连的轴体结构、设置在轴体结构上的第一定位装置、推动件、套设在轴体结构上并与所述推动件顶压连接的至少一个转动体二以及套设在轴体结构上并与所述的推动件相连的第二平衡装置和至少两组轴承组件。

优选的，所述轴体结构包括第一轴段、第二轴段和第三轴段以及设置在第一轴段与第二轴段之间的凸台，所述第一轴段上与驱动器输出端相连的一端为外螺纹结构，所述第二轴段为偏心轴结构，所述轴体结构为一体结构；所述驱动器输出端与第一轴段相连，所述第一定位装置套设在第一轴段上，所述转动体二和第二平衡装置套设在第二轴段上。

优选的，所述第一定位装置包括定位座、套设在第一轴段上的限位件和锁紧件，所述定位座套装在所述锁紧件上；所述限位件的横截面为N边形，其中N≥，所述定位座上设有用于容纳所述限位件并与所述限位件形状相适配的置放腔；所述定位座包括与驱动器相连的连接部一、与连接部一相对设置的连接部二以及连接所述连接部一和连接部二的连接部三，所述定位座为一体结构，所述置放腔设置在所述连接部二的外端上。

一种曝光机，包括曝光机主体、设置在曝光机主体内的光源装置以及控制系统，其特征在于：还包括如权利要求-所述的自动对位机构，所述自动对位机构安装在所述的曝光机主体上。

本发明取得如下的有益效果：(1)本发明的对位机构，通过所述的角度调节装置精确调整对位支架相对基座组件的角度，来保证PCB板安装位置的精度，通过直线电机组件来驱动推板结构通过第四滑动组件相对基座组件进行滑动，一侧还与光栅组件相连，通过光栅尺来精确测定数据，来实现驱动对位支架相对基座组件进行转动，直线电机将电能直接转换成直线运动机械能，不需要任何中间转换机构的传动装置，传动刚度高、定位精度高、易调节，取消了由于丝杠等机械机构产生的传动间隙和误差，且避免了启动、变速和换向时因中间传动环节的弹性变形、摩擦磨损和反向间隙造成的运动滞后现象，来实现对对位支架的角度位置的调节，大大提高了调节的精度；(2)本发明的第二驱动装置包括的第一定位装置一端与驱动器连接，且与轴体结构通过紧固件固定连接，消除了驱动器与轴体结构直接连接产生的间隙，使得驱动器在驱动轴体结构转动过程中更平稳，大大提高了调节的精度；(3)与所述推推动件顶压连接的转动体二为多个，即多个点接触，保证了驱动的稳定性，进一步提高调节的精度；(4)套设在轴体结构上的轴承组件，为至少两个轴承一，且两个轴承一的薄边相连，不会产生径向跳动，进一步提高调节的精度。

总之，本发明的对位机构，稳定性好，调节精度高，设有该对位机构的曝光机，曝光更稳定，曝光质量好。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1本发明一种对位机构实施例的结构示意图一；

图2为本发明角度调节装置的剖视图；

图3为本发明推板结构的结构示意图；

图4为本发明滑块四的结构示意图；

图5为本发明导轨四的结构示意图；

图6为本发明第一平衡装置的结构示意图；

图7本发明一种对位机构实施例的结构示意图二；

图8本发明导轨一的结构示意图；

图9为本发明滑块一的结构示意图；

图10为本发明第二驱动装置的结构示意图；

图11为本发明连接基板的结构示意图；

图12为本发明第二驱动装置的剖视图；

图13为本发明第二驱动装置的结构示意图；

图14为本发明Y方向第二平衡装置的结构示意图；

图15为本发明X方向第二平衡装置的结构示意图；

图16为本发明轴体结构的结构示意图；

图17为本发明定位座的结构示意图；

图18为本发明限位件的结构示意图；

图19为为本发明驱动件的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。

如图1-16所示，一种对位机构，能自动实现对PCB板的对位，包括基座组件100以及可转动设置在基座组件100上的对位支架200和调节对位支架200相对基座组件100转动的角度调节装置300，所述角度调节装置300设置在所述基座组件100上，所述角度调节装置300包括推动装置301和用于驱动所述推动装置301平移的第一驱动装置302，所述第一驱动装置302包括直线电机组件1和光栅组件2，所述光栅组件2包括光栅尺21、安装支架22和光栅尺读数头23，所述光栅尺读数头23与推动装置301相连并与推动装置301移动方向平行设置，所述安装支架22与基座组件100相连，所述光栅尺21设置在所述的安装支架22上。

在本实施例中，设定推动装置301沿Y向水平运动，所述推动装置301包括推板结构3、配合推板结构3相对基座组件100滑动的第四滑动组件4、设置在推板结构3一端上的转动体一5，所述推板结构3一侧与直线电机组件1相连，另一侧与光栅组件2相连，如图3所示，所述推板结构3包括推板结构本体31、在所述推板结构本体31的前端上设有的轴一32，所述转动体一5套装在轴一32上并能相对轴一32转动；所述转动体一5的外周面与所述对位支架200一端的端面相接触，由直线电机组件1驱动所述推板结构3前进带动所述转动体一5进行转动时，转动体一5的转动推动对位支架200相对基座组件100进行转动，由于所述转动体一5的外周面与所述对位支架200一端的端面相接触，转动体一5的转动作用力直接作用在对位支架200上给对位支架200一个推压力，所述推压力驱动对位支架200相对基座组件100转动一定的角度，根据情况进行调节，结构简单，通过直线电机组件1来驱动推板结构3通过第四滑动组件4相对基座组件进行滑动，一侧还与光栅组件2相连，通过光栅尺21来精确测定数据，来实现驱动对位支架200相对基座组件100进行转动，直线电机将电能直接转换成直线运动机械能，不需要任何中间转换机构的传动装置，传动刚度高、定位精度高、易调节，取消了由于丝杠等机械机构产生的传动间隙和误差，且避免了启动、变速和换向时因中间传动环节的弹性变形、摩擦磨损和反向间隙造成的运动滞后现象，大大提高定位精度，来实现对对位支架的角度位置的调节，大大提高了调节的精度。

在本实施例中，如图2所示，所述第四滑动组件4包括设置在所述基座组件100上的导轨四41和与导轨四41相配合的滑块四42，如图5所示，所述导轨四41包括上导轨四本体411、下导轨四本体412以及在上导轨四本体411和下导轨四本体412连接后两侧分别形成的导槽四413；如图4所示，所述滑块四42包括滑块四本体421和在滑块四本体421上设有的与导槽四413相配合的导向块四422以及在导向块四422上方设有的腔体423，连接时，导向块四422卡嵌在导槽四413中，且为提高移动的稳定性，上导轨四本体411置于导向块四422上方设有的腔体423中，保证滑动过程中滑块四42与导轨四41配合稳固，进一步保证了调节的精度。

设有的用于平衡推板结构3在前进和回退过程中的稳定性，如图6所示，所述角度调节装置300还包括用于平衡所述对位支架200和推板结构3的第一平衡装置303，所述第一平衡装置303包括分别设置在对位支架200和推板结构3上的支撑柱一3031以及连接所述推板结构3与所述对位支架200的弹性件一3032，本发明的弹性件一3032为处于拉伸状态的具有弹性的连接件，本发明优选拉簧，所述弹性件一3032的一端通过支撑柱一3031与推板结构3相连，另一端通过支撑柱一3031与对位支架200相连。在调节时，推板结构3前进和回退的过程中，弹性件一3032的拉伸长度保持不变，来平衡调节的稳定性好，进一步提高调节的精度。

在本实施例中，如图7-16所示，还能对所述对位支架200的X和Y方向能进行调节，来调节得到PCB板放置位置的精确性，本发明的对位机构还包括驱动所述基座组件100和对位支架200一并沿Y方向移动的第一移动装置400和一并沿X方向移动的第二移动装置500以及连接第一移动装置400和第二移动装置500的连接基板600，所述第一移动装置400与所述基座组件100相连，所述连接基板600设置在所述第一移动装置400上方，所述第二移动装置500设置在所述连接基板600上方。

如图7所示，所述第一移动装置400包括两对第一滑动组件401以及驱动所述基座组件100和对位支架200一并沿Y方向移动的第二驱动装置6，所述第一滑动组件401包括与基座组件100相连的滑块一4011和与滑块一4011相配合的并连接在所述连接基板600底部的导轨一4012，其中本实施例的导轨一4012优选如图8的导轨，所述导轨一4012宽度较大，重心低，结构紧凑，本发明的导轨一4012还有节省空间的好处；所述导轨一4012的两侧设有两个导槽4013，如图9所示，对应所述滑块一4011设有两个导向块4014，滑动时，通过两个导向块4014嵌入到导槽4013中，双边卡紧，如图10所示，且滑块一4011内的钢球的接触角设置呈45°放置，使得滑块一4011上与导轨一4012接触的4个方向为等负荷，因此连接更为紧固，施加预紧力后，实现无间隙、高精度的平滑稳定的直线运动，进一步提高了调节的精度，克服了由于Y方向的第一滑动组件401跨度大，易摇摆的不足。

在本实施例中，如图11所示，所述连接基板600包括连接基板本体601以及自连接基板本体601的侧部延伸的连接部四602；如图7所示，所述第二移动装置500包括一对设置在连接基板本体601上的第二滑动组件501和两对设置在连接部四602上的第三滑动组件502以及驱动所述基座组件100和对位支架200一并沿X方向移动的第二驱动装置6，所述第二滑动组件501和第三滑动组件502呈平行设置，为保证滑动平稳，故将两组第三滑动组件502设置在连接基板本体601的端部，且位于同一侧边；所述第二滑动组件501包括至少一个与连接基板本体601相连的滑块二5011和与滑块二5011相配合的导轨二5012，所述第三滑动组件502包括与连接部四602相连的滑块三5021和与滑块三5021相配合的导轨三5022。本实施例的导轨二5012和导轨三5022优选上述Y方向的导轨一4012结构，同理滑块二5011和滑块三5021优选上述Y方向的滑块一4011结构。

在本实施例中，如图12-18所示，所述第二驱动装置6包括驱动器61、与驱动器61输出端相连的轴体结构62、设置在轴体结构62上的第一定位装置63、推动件67、套设在轴体结构62上并与所述推动件67顶压连接的转动体二64以及套设在轴体结构62上并与所述的推动件67相连的第二平衡装置65和两组轴承组件666，本实施例中转动体二4为两个，保证转动体二4与推动件67作用支架为两个，保证推动件67在运动过程的稳定性，且优选所述的驱动器61为电机，即通过电机驱动轴体结构62的转动，来推动推动件67的运动，实现X方向或Y方向的移动。

如图16所示，所述轴体结构62包括第一轴段621、第二轴段622和第三轴段624以及设置在第一轴段621与第二轴段622之间的凸台623，所述第一轴段621上与驱动器61输出端相连的一端为外螺纹结构，所述第二轴段622为偏心轴结构，所述轴体结构62为一体结构；所述驱动器61输出端与第一轴段621相连，所述第一定位装置63套设在第一轴段621上，所述转动体二64和第二平衡装置65套设在第二轴段622上；所述第一定位装置63包括定位座631、套设在第一轴段621上的限位件633和锁紧件632，所述第一轴段621上与驱动器61输出端相连的一端为外螺纹结构，所述锁紧件632连接在设有外螺纹结构的第一轴段621上，所述定位座631套装在所述锁紧件632上，且与驱动器61相连的一端也套装在设有外螺纹结构的第一轴段621上，设置成外螺纹结构，增大摩擦力，使得锁紧件632连接更为可靠，将径向跳动降至为零，保证了传递力的稳定性，也就提高了可调节的精度。

在本实施例中，如图17所示，所述定位座631包括与驱动器61相连的连接部一6311、与连接部一6311相对设置的连接部二6312以及连接所述连接部一6311和连接部二6312的连接部三6313，所述定位座631为一体结构，并通过中部设有的孔二6314进行连接，还在所述连接部二6312的外端上设置有用于所述限位件633放置的置放腔6315，所述置放腔6315与所述限位件633形状相适配；如图18所示，所述限位件633的横截面为N边形的结构，其中N≥4，在本实施例中，选取N＝4，为四个方向，用于限定转动过程中产生的跳动，保证驱动所述驱动件移动的稳定性，本发明的限位件633中部还设有用于与轴承结构连接的孔一6331，通过该孔一6331安装在第一轴段621上；同时，第三轴段624上也套设该限位件633。

在本发明中，轴承组件66为两对，其中一对轴承组件66套设在第二轴段622上并位于所述限位体与凸台623之间，另一对轴承组件66套设在所述的第三轴段624上，在本实施例中，优选所述轴承组件66包括两个角接触轴承661，如图19所示，一对角接触轴承661的D距离通过限位件633压紧，来压紧成对角接触轴承661的外圈，使得内圈胀开；在两个角接触轴承661的内圈之间垫有垫片662，垫片662优选铜垫片，厚度根据角接触轴承661的型号进行选定，加垫片662后的角接触轴承661的内圈往外胀，即垫片662施加了一个预紧力，来消除一对角接触轴承661组合的轴向和径向的间隙，使得成对的对角接触轴承661不会产生径向跳动，进一步提高调节的精度。

在本实施例中，如图16所示，所述第一轴段621上设有孔三6211，用于机床螺丝的安装，目的是用来顶紧驱动器输出端，防止驱动器输出端的松动；如图13所示，所述锁紧件632上设有至少两个孔二6321，用于机床螺丝的安装，目的是用来顶紧锁紧件632与第一轴段621，防止第一轴段621的松动，在本实施例中，孔三6211与孔二6321在空间上呈90°设置；如图17所示，所述定位座631的连接部三6313上设有的孔一6316为工艺孔，轴体结构62与驱动器相连后，工具如扳手通过该工艺孔来压紧孔三6211上的机床螺丝。

在本实施例中，如图14-15所示，第二平衡装置65包括套设在第二轴段622上的转动件三651、套装在转动件三651上的连接套652、分别设置在连接套652和推动件67上的支撑柱二653以及连接所述驱动件101与所述连接套652的弹性件二654，本发明的弹性件二654为处于拉伸状态的具有弹性的连接件，本发明优选拉簧，所述弹性件二654的一端通过支撑柱二653与推动件67相连，另一端通过支撑柱二653与连接套652相连，在电机正转和反转的过程中，即推动件67前进和回退的过程中，弹性件二654的拉伸长度保持不变，来平衡调节的稳定性好，进一步提高调节的精度。

在本实施例中，所述转动件一、转动件二均优选为轴承。

一种曝光机，包括曝光机主体、设置在曝光机主体内的光源装置以及控制系统和自动对位机构，其中，自动对位机构为上述的具体结构，所述自动对位机构安装在所述的曝光机主体上。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

总之，以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡依本发明申请专利范围所作的均等变化与修饰，皆应属本发明专利的涵盖范围。

Claims (6)

1.一种对位机构，包括基座组件(100)以及可转动设置在基座组件(100)上的对位支架(200)，其特征在于：还包括调节对位支架(200)相对基座组件(100)转动的角度调节装置(300)，所述角度调节装置(300)设置在所述基座组件(100)上，所述角度调节装置(300)包括推动装置(301)和用于驱动所述推动装置(301)平移的第一驱动装置(302)，所述第一驱动装置(302)包括直线电机组件(1)和光栅组件(2)，所述光栅组件(2)包括光栅尺(21)、安装支架(22)和光栅尺读数头(23)，所述光栅尺读数头(23)与推动装置(301)相连并与推动装置(301)移动方向平行设置，所述安装支架(22)与基座组件(100)相连，所述光栅尺(21)设置在所述的安装支架(22)上；

还包括驱动所述基座组件(100)和对位支架(200)一并沿Y方向移动的第一移动装置(400)和一并沿X方向移动的第二移动装置(500)以及连接第一移动装置(400)和第二移动装置(500)的连接基板(600)，所述第一移动装置(400)与所述基座组件(100)相连，所述连接基板(600)设置在所述第一移动装置(400)上方，所述第二移动装置(500)设置在所述连接基板(600)上方；

所述第一移动装置(400)包括至少两对第一滑动组件(401)以及驱动所述基座组件(100)和对位支架(200)一并沿Y方向移动的第二驱动装置(6)，所述第一滑动组件(401)包括与基座组件(100)相连的滑块一(4011)、与滑块一(4011)相配合的并连接在所述连接基板(600)底部的导轨一(4012)，所述导轨一(4012)包括两个导槽一(4013)，所述滑块一(4011)设有两个导向块一(4014)，滑动时，通过两个导向块一(4014)嵌入到导槽一(4013)；

所述连接基板(600)包括连接基板本体(601)以及自连接基板本体(601)的侧部延伸的连接部四(602)；所述第二移动装置(500)包括至少一对设置在连接基板本体(601)上的第二滑动组件(501)和至少两对设置在连接部四(602)上的第三滑动组件(502)以及驱动所述基座组件(100)和对位支架(200)一并沿X方向移动的第二驱动装置(6)，所述第二滑动组件(501)和第三滑动组件(502)呈平行设置，所述第二滑动组件(501)包括至少一个与连接基板本体(601)相连的滑块二(5011)和与滑块二(5011)相配合的导轨二(5012)，所述第三滑动组件(502)包括与连接部四(602)相连的滑块三(5021)和与滑块三(5021)相配合的导轨三(5022)；

所述第二驱动装置(6)包括驱动器(61)、与驱动器(61)输出端相连的轴体结构(62)、设置在轴体结构(62)上的第一定位装置(63)、推动件(67)、套设在轴体结构(62)上并与所述推动件(67)顶压连接的至少一个转动体二(64)以及套设在轴体结构(62)上并与所述的推动件(67)相连的第二平衡装置(65)和至少两组轴承组件(66)；所述轴体结构(62)包括第一轴段(621)、第二轴段(622)和第三轴段(624)以及设置在第一轴段(621)与第二轴段(622)之间的凸台(623)，所述第一轴段(621)上与驱动器(61)输出端相连的一端为外螺纹结构，所述第二轴段(622)为偏心轴结构，所述轴体结构(62)为一体结构；所述驱动器(61)输出端与第一轴段(621)相连，所述第一定位装置(63)套设在第一轴段(621)上，所述转动体二(64)和第二平衡装置(65)套设在第二轴段(622)上。

2.根据权利要求1所述的对位机构，其特征在于：所述推动装置(301)包括推板结构(3)、配合推板结构(3)相对基座组件(100)滑动的第四滑动组件(4)、设置在推板结构(3)一端上的转动体一(5)，所述推板结构(3)一侧与直线电机组件(1)相连，另一侧与光栅组件(2)相连，所述推板结构(3)包括推板结构本体(31)、在所述推板结构本体(31)的前端上设有的轴一(32)，所述转动体一(5)套装在轴一(32)上并能相对轴一(32)转动；所述转动体一(5)的外周面与所述对位支架(200)一端的端面相接触，所述直线电机组件(1)驱动所述推板结构(3)前进带动所述转动体一(5)进行转动时，所述转动体一(5)的外周面与所述对位支架(200)接触时产生推压力，所述推压力作用在所述对位支架(200)上，驱动对位支架(200)相对基座组件(100)进行转动。

3.根据权利要求2所述的对位机构，其特征在于：所述第四滑动组件(4)包括设置在所述基座组件(100)上的导轨四(41)和与导轨四(41)相配合的滑块四(42)，所述导轨四(41)包括上导轨四本体(411)、下导轨四本体(412)以及在上导轨四本体(411)和下导轨四本体(412)连接后两侧分别形成的导槽四(413)，所述滑块四(42)包括滑块四本体(421)和在滑块四本体(421)上设有的与导槽四(413)相配合的导向块四(422)以及在导向块四(422)上方设有的用于容纳上导轨四(41)本体的腔体(423)。

4.根据权利要求2或3所述的对位机构，其特征在于：所述角度调节装置(300)还包括用于平衡所述对位支架(200)和推板结构(3)的第一平衡装置(303)，所述第一平衡装置(303)包括分别设置在对位支架(200)和推板结构(3)上的支撑柱一(3031)以及连接所述推板结构(3)与所述对位支架(200)的弹性件一(3032)，所述弹性件一(3032)的一端通过支撑柱一(3031)与推板结构(3)相连，另一端通过支撑柱一(3031)与对位支架(200)相连。

5.根据权利要求1所述的对位机构，其特征在于：所述第一定位装置(63)包括定位座(631)、套设在第一轴段(621)上的限位件(633)和锁紧件(632)，所述定位座(631)套装在所述锁紧件(632)上；所述限位件(633)的横截面为N边形，其中N≧4，所述定位座(631)上设有用于容纳所述限位件(633)并与所述限位件(633)形状相适配的置放腔(6315)；所述定位座(631)包括与驱动器(61)相连的连接部一(6311)、与连接部一(6311)相对设置的连接部二(6312)以及连接所述连接部一(6311)和连接部二(6312)的连接部三(6313)，所述定位座(631)为一体结构，所述置放腔(6315)设置在所述连接部二(6312)的外端上。

6.一种曝光机，包括曝光机主体、设置在曝光机主体内的光源装置以及控制系统，其特征在于：还包括如权利要求1-5所述的对位机构，所述对位机构安装在所述的曝光机主体上。