CN104742490A - 一种选择性除膜装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种选择性除膜装置，所述的除膜装置包括除膜头、出液装置、除液装置、定位装置和位移装置，所述的除膜头安装在定位装置上，所述的定位装置安装在位移装置上，所述的除膜头包括出液管和除液管，所述出液装置与除膜头的出液管相连，所述除液装置与除膜头的除液管相连，所述的出液管包裹除液管，或者除液管包裹出液管。本发明具有如下技术效果：1）利用该装置可以获得一个非常宽的工艺窗口；2）除膜速度范围增加到5-300mm/sec，除膜速度快达到现有技术的8倍以上；3）除膜效果好，除膜后除膜区域没有残留或者残留非常小，除膜边缘没有堆积或者堆积很小，使其能够真正运用于量产工艺之中。

Description

一种选择性除膜装置

技术领域

本发明涉及一种在涂布工艺中进行选择性除膜或者配合涂布设备实现选择性涂布的选择性除膜装置，属于涂布技术领域。

背景技术

在半导体、太阳能电池、液晶面板、LED照明、OLED显示、OLED照明等领域的生产工艺中存在一些精密涂布工艺，这些涂布工艺不同于一般的整面涂布工艺而是需要进行图案涂布，即涂布出来的薄膜是按照一定图案分布排列的，通常称该类涂布为选择性涂布或者选择性成膜。以OLED量产工艺为例就存在以下一些选择性涂布工艺，例如用狭缝涂布机来进行液态空穴注入层薄膜的涂布，用旋涂设备来进行内光提取层的涂布，用喷涂设备来进行内光提取层的涂布。量产中通常是用大尺寸玻璃例如尺寸为370mmX470mm的基板进行涂布，最后切割成需要的小尺寸灯片，例如100mmX50mm,100mmX100mm等。这就要求前面提到的各种涂布需要进行图案涂布来与最终的灯片尺码相一致案，否则就会对量产过程中其它工序造成影响。例如液态空穴注入层薄膜涂布如果没有图案涂布，那么会对后续封装工序造成影响，影响最终灯片封装的可靠性导致灯片发生漏气。再例如外光提取层薄膜的涂布如果没有图案涂布，就会对后续的裂片工序造成影响，导致无法完成裂片。所以选择性涂布工艺是OLED量产中非常重要且必不可少的工艺。现有的涂布设备和技术都因为各自的局限无法很稳定的实现选择性涂布。本发明就是来解决这个问题，实现稳定的，精准的选择性除膜配合各涂布工艺实现选择性涂布。

现有的技术主要的选择性涂布方案主要有以下几种。第一种用超声喷涂设备在Mask的辅助下实现图案涂布，在超声喷涂之前在基板上提前放置好与相应图案相对应的Mask，不需要成膜的地方利用Mask进行阻挡，最终获得相应图案的薄膜。这种方案最大的缺点就是最终图案薄膜的边缘会发生厚度不均匀，以厚度为1um的薄膜为例，常会造成边缘0.5-5mm区域内的薄膜厚度远大于1um，这在很多精密涂布工艺中是不允许的。

US6548115公开了一种涂布装置和方式，该系统利用在涂布刀头中添加一个特定图案的薄片来部分阻止溶液的流出，最终获得一定图案的薄膜，这是在精密涂布领域常用的另一种方案。这种图案涂布方式最大的缺点就是每一个图案都需要一个特定对应图案的薄片来帮助实现，这使得在大批量生产过程中不能实现多种图案成膜的来回切换，大大限制了其图案涂布的应用功能。而且这种通过刀头中添加薄片的方式只能够很好地实现与刀头运动方向垂直方向的图案成膜，而刀头运动方向的图案还需要通过控制刀头的选择性收刀和落刀来控制，这使得该方向的图案边缘有堆积，边缘成膜厚度较中间更厚。这种方案对成膜材料的粘度非常敏感，对粘度在1-20X10-3Pa.S内的材料的图案控制显得尤为困难，以目标厚度为100nm的薄膜为例，以这种方案实现的图案边缘常在目标位置±2mm左右的范围内的薄膜厚度较目标厚度有±20％的不均匀，这在很多涂布应用中是不允许的。

还有一种图案涂布方案的思路是先对基板进行整面涂布，然后用其它方法将不需要的薄膜除去，最终实现图案涂布。现有一种装置是利用一个液体喷头和一个真空吸管按照一定角度固定，利用机械传动控制其运动轨迹，当其在薄膜上面按照一定轨迹运动时，溶剂从液体喷头喷到薄膜上面将薄膜溶解，溶解后的薄膜跟随溶剂迅速被真空吸管吸走，从而实现可选择性精密除膜的功能。该方案最大的缺点在于这种装置的设计大大限制了其移动速度从而使得除膜速度很慢，通常该方案的除膜速度为10-20mm/sec。除膜装置的工艺宽口很窄，并且除膜后常常会在除膜区域有较大的残留，并且除膜后薄膜的边缘常出现毛边和比较大的堆积，这些缺点大大限制了其在量产中的应用。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的不足之处，提供一种选择性除膜装置，帮助各种精密涂布设备实现选择性涂布或者在各种精密涂布之后利用该选择性除膜装置来进行选择性除膜，最终获得所需图案的薄膜。

本发明的选择性除膜装置，所述的除膜装置包括除膜头、出液装置、除液装置、定位装置和位移装置，所述的除膜头安装在定位装置上，所述的定位装置安装在位移装置上，所述的除膜头包括出液管和除液管，所述出液装置与除膜头的出液管相连，所述除液装置与除膜头的除液管相连，所述的出液管包裹除液管，或者除液管包裹出液管，所述的出液装置用于将除膜液体输送到待加工薄膜表面，所述的除液装置用于将反应后或者溶解后的废液除去，所述的定位装置用于将除膜头和待加工薄膜进行相对定位，所述的位移装置用于控制除膜头或者薄膜相对位置实现选择性除膜。

所述的选择性除膜装置中，

所述的除膜头的数量为一个或者多个。

所述的出液管的数量为一个或者多个。

所述的出液管具有至少1个出液管入口和至少1个出液管出口，所述的出液装置与出液管入口相连。

所述的出液管入口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

所述的出液管出口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

所述的除液管的数量为一个或者多个。

所述的除液管具有至少1个除液管入口和至少1个除液管出口，所述的除液装置与除液管出口相连。

所述的除液管入口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

所述的除液管出口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

所述的出液管具有至少1个出液管入口和至少1个出液管出口，所述的除液管具有至少1个除液管入口和至少1个除液管出口，所述的出液管出口所在的平面和除液管入口所在的平面与薄膜表面的垂直距离差值不大于10mm。

本发明的除膜头，包括出液管和除液管，所述的出液管用于将除膜液体输送到待加工薄膜表面，所述的除液管用于将反应后或者溶解后的废液除去，所述的出液管包裹除液管，或者除液管包裹出液管。

所述的除膜头中，

所述的出液管的数量为一个或者多个。

所述的出液管具有至少1个出液管入口和至少1个出液管出口，所述的出液装置与出液管入口相连。

所述的出液管入口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

所述的出液管出口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

所述的除液管的数量为一个或者多个。

所述的除液管具有至少1个除液管入口和至少1个除液管出口，所述的除液装置与除液管出口相连。

所述的除液管入口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

所述的除液管出口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

所述的出液管具有至少1个出液管入口和至少1个出液管出口，所述的除液管具有至少1个除液管入口和至少1个除液管出口，所述的出液管出口所在的平面和除液管入口所在的平面与薄膜表面的垂直距离差值不大于10mm。

本发明的除膜的方法，包括如下步骤：

1)利用出液装置以一定范围的流量将液体输送至除膜头出液管；

2)液体从除膜头出液管出口流到待加工薄膜表面，将待加工薄膜溶解或者反应；

3)利用除液装置将一定范围的负压施加在除膜头除液管；

4)与待加工薄膜反应或者溶解后的废液从除膜头除液管入口被抽出，即可实现除膜；

5)位移装置控制除膜头安装一定轨迹移动，即可实现选择性除膜；

所述的除膜头的移动速度为：5mm/s-300mm/s；

所述的除膜头出液管中液体流速为：10mL/min-1000mL/min；

所述的除液装置施加的负压为：5kPa-50kPa。

本发明的选择性除膜装置，利用定位装置将除膜头和待加工薄膜进行定位，出液管将液体输送到待加工薄膜表面，液体与待加工薄膜进行反应或者将待加工薄膜溶解，除液管将反应或者溶解后的废液除去，利用位移装置控制除膜头或者薄膜按照指定轨迹运行即可实现选择性除膜。

本发明具有如下技术效果：

1)利用该装置可以获得一个非常宽的工艺窗口；

2)除膜速度范围增加到5-300mm/sec，除膜速度快达到现有技术的8倍以上；

3)除膜效果好，除膜后除膜区域没有残留或者残留非常小，除膜边缘没有堆积或者堆积很小，使其能够真正运用于量产工艺之中。

附图说明

图1是本发明的选择性除膜装置的示意图；

图2是对待加工薄膜除膜之后除膜区域存在的残留的示意图；

图3是对待加工薄膜除膜之后薄膜边缘发生的堆积的截面示意图。

其中，110为除膜头，120为出液装置，130为除液装置，140为定位装置，150为位移装置，210为基板，220为待加工薄膜，230为除液管，230a为除液管入口，230b为除液管出口，240为出液管，240a为出液管入口，240b为出液管出口，310、410为基板，320、420为待加工薄膜，330、440为除膜区域，340为残留薄膜，430为薄膜堆积。

具体实施方式

实施例1

如图1所示，本发明的选择性除膜装置，包括除膜头(110)、出液装置(120)、除液装置(130)、定位装置(140)和位移装置(150)，所述的除膜头(110)安装在定位装置(140)上，所述的定位装置(140)安装在位移装置(150)上。

所述的除膜头(110)包括出液管(240)和除液管(230)，除液管(230)包裹出液管(240)，所述的出液管(240)包括出液管入口(240a)和出液管出口(240b)，所述的除液管(230)包括除液管入口(230a)和除液管出口(230b)，所述的出液装置(120)与出液管入口(240a)相连，所述的除液装置(130)与除液管出口(230b)相连。

所述的出液装置(120)用于将除膜液体输送到待加工薄膜表面，所述的除液装置(130)用于将反应后或者溶解后的废液除去，所述的定位装置(140)用于将除膜头和待加工薄膜进行相对定位，所述的位移装置(150)用于控制除膜头或者薄膜相对位置实现选择性除膜。

出液管(240)入口的截面形状可为圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。出液管出口的截面形状可为圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

除液管(230)入口的截面形状可为圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。除液管出口的截面形状可为圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

出液装置(120)包括液体供给装置和流量控制装置；液体供给装置可以是加压泵、吸液泵、定量补给泵、离心泵、单级泵、多级泵或者其它可以输送流体的泵；流量控制装置是由过滤器、液位计、电磁阀、气动阀、流量计、压力表、流体定量泵、液体流量压力调节阀、液体搅拌装置等通用装置构成

除液装置(130)包括负压产生装置和压力控制装置；负压产生装置可以是吸水泵、吸尘器、负压发生器、真空泵、负压吸引器、负压风机等能够产生负压的装置；压力控制装置由调压阀、电磁阀、气动阀、压力表、质量流量计等各种能实现气压通短和调节的通用元件构成。

定位装置(140)可以是通用的可调节角度和高度的固定支架；

位移装置(150)包括X轴、Y轴、Z轴支架，多轴伺服马达、伺服驱动器。

出液装置(120)通过除膜液体输送通道连接到除膜头的出液管入口(240a)，其作用在于将一定量的除膜液体输送到除膜头；

除液装置(130)通过除膜液体吸出通道连接到除膜头的除液管出口(230b)，其作用是将除膜后废液吸掉；

除膜头(110)安装在定位装置(140)上，定位装置(140)的作用是对除膜头进行定位，根据除膜效果对除膜头的角度进行调整；定位装置(140)安装在位移装置(150)的X轴架上，除膜载体架安装在Y轴架上，X轴架安装于Z轴架上，形成十字交叉，位移装置(150)的作用是通过X轴架、Y轴架和Z轴架三者间相对位置移动达到不同图案的除膜效果；

所述的除膜液输送通道上安装有液体供给定量泵、液体过滤器、电磁阀、气动阀、流量计、压力表、手动阀、液体搅拌等装置来实现对除膜液的流量、压力、浓度、供应通断的控制；

所述的除膜液出液通道上安装有负压泵、手动阀、电磁阀、气动阀、压力计、流量计等，其作用是实现除膜液吸除所需负压流量、压力、负压供应通断的控制)

选择性除膜装置运行时，除膜液体从出液管入口240a流入出液管240，从出液管出口240b输送到待加工薄膜220表面。这里的除膜液体是可以与待加工薄膜溶解或者反应的化学药品。将待加工薄膜220溶解后或者反应后的混合物为除膜废液，除膜废液通过除液管入口230a以一定的负压被吸走。出液管240与除液管230的材料决定于这里的除膜体液和除膜废液，必须保证不与除膜液体和除膜废液发生任何物理化学反应。除膜头和待加工薄膜的相对位移由位移装置控制。

实施例2

实施例2研究了生产节拍对选择性除膜装置的影响。生产节拍是工业生产中一个非常重要的指标，生产节拍值的大小反映了系统当前的生产能力，值越小，生产单件工件所需的时间就越短，生产能力就越强；相反，值越大，生产单件工件所需的时间就越长，生产能力就越差。生产节拍是根据产量的要求进行确定的，当一个生产工艺整条流水线的生产节拍确定了，该工艺流水线的每个工序都必须满足要求。所以对于一个固定的生产节拍就决定了选择性除膜装置的除膜头的出液管出口和除液管入口形状的设计和直径的大小、除膜头的移动速度和除膜头的数量。以10000mmX10mm的除膜区域为例，对除膜头的设计如表1所示。

表1

生产节拍(min)	除膜头除液宽度(mm)	除膜头数量(个)	除膜头移动速度(mm/sec)
				2	2	1	208
2	5	1	167
				2	10	1	83
2	10	2	41
				2	10	4	21
4	10	4	11

第一列列出了两种生产节拍，分别是2min和4min；第二列列出了一个除膜头除液宽度，除膜头的除液宽度由该除膜头的出液管出口和除液管入口的形状决定，出液管出口的形状可以是正方形、长方形、圆形、三角形或者一些不规则图形，同样除液管入口的形状也可以是正方形、长方形、圆形、三角形或者一些不规则图形。出液管出口和除液管入口的形状可以相同也可以不同，对相同的图形可以同心也可以不是同心。以出液管出口和除液管入口为两个同心的正方形为例，该正方形的变成就直接影响除膜头的除液宽度，正方形边长越长则除膜头的除液宽度越长，反之若正方形边长越短则除膜头的除液宽度越短。另外，影响除膜头除液宽度的还有输送至出液管的液体流量和除液管吸收废液的负压大小。一个恰当的液体流量和负压的配合才能使得除膜头具有一个稳定的除液宽度。除膜头出液管出口所在的平面和除液管入口所在的平面与待加工薄膜表面的垂直距离也影响着除膜头除液宽度的稳定性。若定义除膜头出液管出口所在的平面与待加工薄膜表面的垂直距离为H1，除液管入口所在的平面与待加工薄膜表面的垂直距离为H2，则|H1-H2|≤10mm除膜头才会获得一个稳定的除膜宽度。第二列列出了3个除膜头除膜宽度，分别为2mm,5mm,10mm。除膜头的除膜宽度通常是根据待除膜的形状来设定的。若待加工薄膜的除膜区域的图案有很多复杂结构的例如细长的条纹类，多边多角类或者圆弧形等等，则需要较小的除膜头除膜宽度；若待加工薄膜的除膜区域的图案为较规则的图形如正方形，长方形之类则较大的除膜头除膜宽度效率会更高。

第三列为除膜头的数量，第四列为除膜头移动的速度。对一个给定的生产节拍，可以通过控制除膜头的数量和除膜头移动的速度来完成。本发明的选择性除膜装置的除膜头为一个或者更多，当对一定的生产节拍，除膜头的移动速度到达上限的时候，可以通过增加除膜头的数量来完成，通过软件编程可以独立控制每个除膜头的移动轨迹，提高除膜的效率。

实施例3

实施例3研究了残留面积占除膜面积的比例对选择性除膜装置的影响。图2示意性地示出了除膜之后薄膜的图案和除膜区域的残留物。其中310是基板，320是待加工薄膜，330是待加工薄膜的除膜区域，340是待加工薄膜除膜之后残留的薄膜。定义除膜之后残留的薄膜的面积为S1，除膜区域总面积为S0，残留面积占除膜区域总面积的比例P＝S1/S0。不同工艺对P会有不同的要求，部分工艺对p的要求不高，p<50％即可，但是很多工艺对p的要求很高，例如OLED量产工艺中很多湿法涂布进行选择性除膜之后要求p<5％，这是因为OLED量产工艺中的封装工艺对基板的要求很高，如果在封装前基板上残留的薄膜过多，那么很容易给器件外部的水汽形成一个个通道，影响封装效果从而导致最终制备的OLED器件为不良品。

P的高低直接影响了选择性除膜装置的设计，若对p要求很高，就必须要求除膜头的移动速度相对较小。现有的除膜技术中，很难做到在p值很小的同时具有较高的速度。本发明的选择性除膜装置则克服了该缺点，在保证p值很小的同时可以获得很高的除膜速度。P值很小还要求选择性除膜装置中所用的液体能够与待加工薄膜进行充分的溶解或者化学反应。通常为了获得更好的溶解或者化学反应效果需要对选择性除膜装置增加一些辅助装置。例如增加液体温度控制装置，很多化学反应需要一个合适的温度才能比较充分，或许对于溶解，通常较高的温度能够溶解更充分。

实施例4

本实施例研究了除膜后边缘堆积程度对选择性除膜装置的影响。图3示意性地示出了触摸之后薄膜的边缘堆积的截面图。其中410是基板，420是待加工薄膜，430是薄膜除膜后边缘的堆积，堆积的高度为h，440是已除去薄膜。在很多涂布工艺中对该参数h的有很高的要求。以OLED量产工艺中的内光提层的涂布工艺为例，通常除膜后要求边缘没有堆积，因为如果边缘有堆积就很容易造成该OLED器件在成膜有机材料和阴极材料的时候造成影响效应导致阴极很阳极直接接触或阴极和阳极中间的有机薄膜很薄的情况发生，最终导致该OLED器件造成短路不亮或漏电严重等情况的发生。所以薄膜边缘的堆积高度h的要求就决定了选择性除膜装置的设计。除膜头出液管中液体的流量加上除膜头的移动速度决定了液体溶解待加工薄膜的溶解时间或液体与待加工薄膜反应的反应时间，而给除膜头除液管加的负压的大小就决定了除液管中废液的流量。除膜后薄膜边缘的堆积高度h很小就要求有尽可能快的除膜头移动速度来减少液体停留时间，同时要求出液管液体流量和除液管给予的负压很好的配合，当液体将溶液溶解或液体与薄膜形成化学反应的同时立刻将废液除去。当以上提到的三个参数得到很好的配合后就可以获得很小的薄膜堆积高度h，甚至是h＝0。

实施例5

实施例5研究了对A薄膜进行选择性除膜设计的一个选择性除膜装置。该A薄膜的厚度为50nm，薄膜厚度的不均匀性<4％。要求的选择性图案为平行与基板两边的20条细长条纹纵横交错组成，每个细长条纹具有一样的宽度为2mm，20条细长条纹加起来的总长度为6000mm。该工艺的选择性薄膜要求除膜后除膜区域的残留面积占除膜区域总面积的比例p<5％。除膜后薄膜边缘堆积高度h<50um。要求的生产节拍为2分钟。

对以上要求进行分析，因其除膜图案为细长条图案，且长条短边为2mm，设计选择性除膜装置的除膜头的除膜宽度必须≤2mm，为了提高效率，最好的除膜宽度即为2mm。如实施例1中提到的，通过控制除膜头出液管出口的形状和除液管入口的形状即可轻松获得2mm的除膜宽度。研究PEDOT薄膜的主要成分来选择选择性除膜装置所选用的液体和是否需要温控系统等辅助单元，针对PEDOT薄膜的主要成分，发现液体可以选用水、酒精、异丙醇、叔丁醇或者他们的混合物，该液体可以在很短的时间内将PEDOT薄膜溶解掉。针对2分钟的生产节拍，根据除膜宽度和除膜图案的总长度来计算除膜头数量和除膜头的移动速度的范围如表2所示。当除膜头的数量为1时，除膜头移动速度最小为50mm/sec；除膜头的数量为2时，除膜头移动速度最小为25mm/sec；除膜头数量为4时，除膜头移动速度最小为13mm/sec。本发明的选择性除膜装置最大的优势就是具有很宽的工艺窗口，具有很高的温度性。经过实验验证，发现当除膜头移动速度在20-160mm/sec的范围之内，除膜后的残留面积占比p都小于5％，薄膜边缘堆积高度h都小于50um，所以，最终确定该选择性除膜装置的设定如下：除膜头数量为1，除膜头移动速度为60mm/sec，除膜头除液宽度为2mm。

生产节拍(min)	除膜区域总长度(mm)	除膜头数量(个)	除膜头移动速度(mm/sec)
				2	6000	1	≥50
2	6000	2	≥25
				2	6000	4	≥13

实施例6

实施例6研究了对另一种有机薄膜B的选择性除膜进行的选择性除膜装置的设计。该有机薄膜B的厚度为1um，厚度不均匀性<4％。要求的选择性图案为8个等同的圆环组成，其中该圆环的内环直径为100mm，外环直径为106mm。该工艺的选择性除膜要求除膜后除膜区域的残留面积占除膜区域总面积的比例p<10％。除膜后薄膜边缘堆积高度h≤50um。要求的生产节拍为2分钟。

对以上要求进行分析，圆环的宽度为3mm，所以除膜宽度定为3mm，除膜头的出液管出口和除液管入口根据该宽度进行设定。经计算，总的除膜长度为2587mm，生产节拍为2min，所以如果选择除膜头的数量为1，那么除膜头的移动速度最小为22mm/sec。对该除膜装置所选择的液体进行分析，发现需要选择PH<5的酸性溶液才能很好的将薄膜进行充分反应，并且要求溶液温度控制在30±5℃。这就要求除膜头的出液管和除液管所用的材料必须能够耐酸性腐蚀。对与温度控制可以给选择性除膜装置增加一个温控系统，来维持恒定的温度。经过分析，最终设计了一个耐酸性腐蚀的具有温度控制的选择性除膜装置，除膜头的数量为1，除膜头的移动速度为40mm/sec，最终的除膜效果满足要求，残留面积占除膜区域总面积的比例p<10％，除膜后薄膜边缘堆积高度h≤50um。

Claims (22)

1.一种选择性除膜装置，其特征在于，所述的除膜装置包括除膜头、出液装置、除液装置、定位装置和位移装置，所述的除膜头安装在定位装置上，所述的定位装置安装在位移装置上，所述的除膜头包括出液管和除液管，所述出液装置与除膜头的出液管相连，所述除液装置与除膜头的除液管相连，所述的出液管包裹除液管，或者除液管包裹出液管，所述的出液装置用于将除膜液体输送到待加工薄膜表面，所述的除液装置用于将反应后或者溶解后的废液除去，所述的定位装置用于将除膜头和待加工薄膜进行相对定位，所述的位移装置用于控制除膜头或者薄膜相对位置实现选择性除膜。

2.根据权利要求1所述的选择性除膜装置，其特征在于,所述的除膜头的数量为一个或者多个。

3.根据权利要求1所述的选择性除膜装置，其特征在于,所述的出液管的数量为一个或者多个。

4.根据权利要求1所述的选择性除膜装置，其特征在于,所述的出液管具有至少1个出液管入口和至少1个出液管出口，所述的出液装置与出液管入口相连。

5.根据权利要求4所述的选择性除膜装置，其特征在于,所述的出液管入口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

6.根据权利要求4所述的选择性除膜装置，其特征在于,所述的出液管出口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

7.根据权利要求1所述的选择性除膜装置，其特征在于,所述的除液管的数量为一个或者多个。

8.根据权利要求1所述的选择性除膜装置，其特征在于,所述的除液管具有至少1个除液管入口和至少1个除液管出口，所述的除液装置与除液管出口相连。

9.根据权利要求8所述的选择性除膜装置，其特征在于,所述的除液管入口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

10.根据权利要求8所述的选择性除膜装置，其特征在于,所述的除液管出口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

11.根据权利要求1所述的选择性除膜装置，其特征在于,所述的出液管具有至少1个出液管入口和至少1个出液管出口，所述的除液管具有至少1个除液管入口和至少1个除液管出口，所述的出液管出口所在的平面和除液管入口所在的平面与薄膜表面的垂直距离差值不大于10mm。

12.一种除膜头，其特征在于，所述的除膜头包括出液管和除液管，所述的出液管包裹除液管，或者除液管包裹出液管，所述的出液管用于将除膜液体输送到待加工薄膜表面，所述的除液管用于将反应后或者溶解后的废液除去。

13.根据权利要求12所述的除膜头，其特征在于,所述的出液管的数量为一个或者多个。

14.根据权利要求12所述的除膜头，其特征在于,所述的出液管具有至少1个出液管入口和至少1个出液管出口，所述的出液装置与出液管入口相连。

15.根据权利要求14所述的除膜头，其特征在于,所述的出液管入口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

16.根据权利要求14所述的除膜头，其特征在于,所述的出液管出口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

17.根据权利要求12所述的除膜头，其特征在于,所述的除液管的数量为一个或者多个。

18.根据权利要求12所述的除膜头，其特征在于,所述的除液管具有至少1个除液管入口和至少1个除液管出口，所述的除液装置与除液管出口相连。

19.根据权利要求18所述的除膜头，其特征在于,所述的除液管入口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

20.根据权利要求18所述的除膜头，其特征在于,所述的除液管出口的截面形状选自圆形、椭圆、矩形、平行四边形、三角形、梯形或者不规则图形。

21.根据权利要求12所述的除膜头，其特征在于,所述的出液管具有至少1个出液管入口和至少1个出液管出口，所述的除液管具有至少1个除液管入口和至少1个除液管出口，所述的出液管出口所在的平面和除液管入口所在的平面与薄膜表面的垂直距离差值不大于10mm。

22.使用如权利要求1-11中任意一种选择性除膜装置或使用如权利要求12-21中任意一种除膜头进行除膜的方法，其特征在于，所述的除膜方法包括如下步骤：

1）利用出液装置以一定范围的流量将液体输送至除膜头出液管；

2）液体从除膜头出液管出口流到待加工薄膜表面，将待加工薄膜溶解或者反应；

3）利用除液装置将一定范围的负压施加在除膜头除液管；

4）与待加工薄膜反应或者溶解后的废液从除膜头除液管入口被抽出，即可实现除膜；

5）位移装置控制除膜头安装一定轨迹移动，即可实现选择性除膜；

所述的除膜头的移动速度为：5mm/s-300mm/s；

所述的除膜头出液管中液体流速为：10mL/min-1000mL/min；

所述的除液装置施加的负压为：5kPa-50kPa。