CN104716070A - 尺寸检测装置及基板装载装置 - Google Patents
尺寸检测装置及基板装载装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104716070A CN104716070A CN201510158872.5A CN201510158872A CN104716070A CN 104716070 A CN104716070 A CN 104716070A CN 201510158872 A CN201510158872 A CN 201510158872A CN 104716070 A CN104716070 A CN 104716070A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pillar
- detecting unit
- component
- laser
- along
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67288—Monitoring of warpage, curvature, damage, defects or the like
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
本发明的提供一种尺寸检测装置及具有该尺寸检测装置的基板装载装置,所述尺寸检测装置包括:用于沿第一方向移动至第一预定位置上,检测第一部件的当前位置,并在第一部件的当前位置未处于与第一预定位置对应的第三预定位置时,发出第一信号的第一检测单元;用于沿第一方向移动至第二预定位置上,检测第二部件的当前位置,并在第二部件的当前位置未处于与第二预定位置对应的第四预定位置时,发出第二信号的第二检测单元;用于移动第一检测单元和第二检测单元的移动单元;以及,用于在接收到第一信号和/或第二信号时,进行报警的报警单元。该尺寸检测装置能够对基板装载装置的尺寸进行检测,以防止由于操作人员失误所造成的损失。
Description
技术领域
本发明涉及一种尺寸检测装置,尤其涉及一种用于对显示面板、PDP或半导体制造行业装载基板时所用的基板装载装置进行尺寸检测的尺寸检测装置及具有该尺寸检测装置的基板装载装置。
背景技术
在TFT-LCD(Thin Film Transistor—Liquid Crystal Display,液晶显示器)制造过程中,需要通过基板装载装置(Cassette)来装载液晶屏或基板。图1所示为现有的基板装载装置的结构示意图。如图1所示,基板装载装置包括:一具有容置空间的框架结构10以及设置在该框架结构10内的多个支柱20,其中,所述支柱20有多个,且所述支柱20可在该框架结构10内进行水平移动,每一个支柱20上下分布有多个支撑杆23(Slot Pin)。
在装载不同尺寸的液晶屏或基板时,通过移动支柱,使得相邻两支柱之间的相对距离与待装置的液晶屏或基板的尺寸适配,并通过相邻两支柱上伸出的多个支撑杆将液晶屏或基板分层放置。针对不同尺寸的液晶屏或基板,基板装载装置需要修改成对应的尺寸,即,需要移动相邻两支柱的位置,以在相邻两支柱之间放置液晶屏或基板。
目前基板装载装置的尺寸修改全部依靠人员手动修改,而没有专用的检测设备,在修改尺寸完成后,由操作人员确认并投入使用。但每日的基板装载装置的尺寸修改次数比较多,并且没有专用的检测设备来检测修改后的基板装载装置的尺寸,极易出现尺寸修改错误,导致机械手在向基板装载装置取放液晶屏或基板时,发生碰撞,而导致液晶屏或基板损伤,或者导致机械手损伤,从而造成损失。
发明内容
本发明的目的在于提供一种尺寸检测装置及具有该尺寸检测装置的基板装载装置,能够对基板装载装置的尺寸进行检测,以防止由于操作人员失误所造成的损失。
本发明所提供的技术方案如下:
一种尺寸检测装置,用于检测被测件中第一部件和第二部件是否处于预设位置;所述尺寸检测装置包括:
用于沿第一方向移动至第一预定位置上,检测所述第一部件的当前位置,并在所述第一部件的当前位置未处于与所述第一预定位置对应的第三预定位置时,发出第一信号的第一检测单元;
用于沿第一方向移动至第二预定位置上,检测所述第二部件的当前位置,并在所述第二部件的当前位置未处于与所述第二预定位置对应的第四预定位置时,发出第二信号的第二检测单元;
用于移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的移动单元;
以及,用于在接收到所述第一信号和/或所述第二信号时,进行报警的报警单元。
进一步的,所述第一检测单元包括:
用于设置于所述第一部件的一侧,发射平行激光的第一激光发射器,其中所述第一激光发射器发射的平行激光所形成的平面与所述第一方向相垂直;
以及,用于设置于所述第一部件的另一侧,接收由所述第一激光发射器发射的平行激光,并在接收到的激光光量小于预定激光光量时,发送所述第一信号的第一激光接收器。
进一步的,所述第二检测单元包括:
用于设置于所述第二部件的一侧,发射平行激光的第二激光发射器,其中所述第二激光发射器发射的平行激光所形成的平面与所述第一方向相垂直;
以及,用于设置于所述第二部件的一侧,接收由所述第二激光发射器发射的平行激光,并在所接收到的激光光量小于预定激光光量时,发送所述第二信号的第二激光接收器。
进一步的,所述移动单元包括:用于在所述第一方向上移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的第一移动机构。
进一步的,所述第一移动机构包括:
用于固定于被测件上的固定板;
用于安装所述第一检测单元的第一连接杆;
用于安装所述第二检测单元的第二连接杆;
设置于所述固定板上,并沿所述第一方向延伸的导轨;
设置于所述导轨上,且能够沿所述导轨移动的第一滑块和第二滑块,其中
所述第一滑块与所述第一连接杆连接,用于带动所述第一连接杆移动,
所述第二滑块与所述第二连接杆连接,用于带动所述第二连接杆移动;
以及,用于驱动所述第一滑块和所述第二滑块沿所述导轨移动的驱动结构。
进一步的,所述驱动结构包括:
沿所述第一方向设置的第一丝杆,所述第一丝杆与所述第一滑块配合;
沿所述第一方向设置的第二丝杆,所述第二丝杆与所述第二滑块配合;
用于驱动所述第一丝杆的第一驱动电机;
以及,用于驱动所述第二丝杆的第二驱动电机。
进一步的,所述第一部件和所述第二部件均为沿第二方向延伸的柱状结构,所述第二方向垂直于所述第一方向;
所述移动单元还包括:用于在所述第二方向上移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的第二移动机构。
进一步的,所述第二移动机构包括:
用于驱动所述第一检测单元在所述第二方向上移动的第一气缸;
以及用于驱动所述第二检测单元在所述第二方向上移动的第二气缸。
进一步的,所述尺寸检测装置还包括用于控制所述移动单元的控制单元;
所述控制单元包括:
存储模块,用于存储所述第一检测单元和所述第二检测单元的预定位置信息;
控制模块,用于根据所述存储模块所存储的预定位置信息,控制所述移动单元将所述第一检测单元移动至所述第一预定位置,和/或,控制所述移动单元将所述第二检测单元移动至所述第二预定位置。
进一步的,所述被测件为用于装载液晶屏或基板的基板装载装置,
所述基板装载装置包括:
沿第二方向延伸的第一支柱和第二支柱;
其中,所述第一支柱和所述第二支柱能够在该框架结构内沿所述第一方向移动,且所述第一支柱和所述第二支柱上沿第二方向分布有用于支撑液晶屏或基板的多个支撑杆;
其中所述第一部件为所述第一支柱,所述第二部件为所述第二支柱。
一种基板装载装置,包括一装置主体,所述装置主体包括:
沿第二方向延伸的第一支柱和第二支柱;
所述第一支柱和所述第二支柱能够在该框架结构内沿所述第一方向移动,且所述第一支柱和所述第二支柱上沿第二方向分布有用于支撑液晶屏或基板的多个支撑杆;
以及,如上所述的尺寸检测装置,其中所述第一部件为所述第一支柱,所述第二部件为所述第二支柱。
本发明所带来的有益效果如下:
本发明所提供的尺寸检测装置,可以用于检测一被测件中两部件是否位于预定位置上,从而检测两部件之间的相对距离是否满足预设距离,其在用于检测基板装载装置的尺寸(即基板装载装置中两支柱之间的距离)时,可以对基板装载装置中两支柱的位置进行检测,从而可在基板装载装置使用前,对由操作人员手动修改后的基板装载装置的尺寸进行检测,若操作人员手动修改后的基板承载装置的尺寸有误,则可发出警报进行错误提示,以此有效防止因基板承载装置的尺寸错误而导致的液晶屏或机械手撞坏,减少不必要的产品损失。
在本发明所提供的进一步优选方案中,该尺寸检测装置还可以在用于检测基板承载装置的尺寸时,避免因基板承载装置的支柱上的支撑杆缺失、变形等外部条件而导致的检测误差。
此外,在本发明所提供的进一步优选方案中,该尺寸检测装置还可以实现快速切换,对应多种不同尺寸的液晶屏或基板而对基板装载装置进行检测,通过高精度自动检测,达到有效、快速地防止由于人员操作所导致的失误,从而防止撞屏带来的产品损伤和机械手损伤。
附图说明
图1表示现有的基板装载装置的结构示意图;
图2表示本发明的尺寸检测装置用于检测基板装载装置的尺寸时的主视图;
图3表示图2的侧视图;
图4表示本发明的尺寸检测装置在检测基板装载装置的尺寸时的立体结构示意图;
图5表示本发明的尺寸检测装置在检测基板装载装置的尺寸完成后处于原点位置时的立体结构示意图;
图6表示第一检测单元的检测第一支柱未处于第三预定位置上时的原理示意图;
图7表示第一检测单元的检测第一支柱处于第三预定位置上时的原理示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
本发明提供的尺寸检测装置,可以用于检测被测件中第一部件和第二部件是否处于预设位置上,从而检测被测件中第一部件和第二部件在第一方向上的相对距离是否满足预设距离。
本发明所提供的尺寸检测装置包括:
用于沿第一方向移动至第一预定位置上,检测所述第一部件的当前位置,并在所述第一部件的当前位置未处于与所述第一预定位置对应的第三预定位置时,发出第一信号的第一检测单元;
用于沿第一方向移动至第二预定位置上,检测所述第二部件的当前位置,并在所述第二部件的当前位置未处于与所述第二预定位置对应的第四预定位置时,发出第二信号的第二检测单元;
用于移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的移动单元;以及
用于在接收到所述第一信号和/或所述第二信号时,进行报警的报警单元。
本发明所提供的尺寸检测装置,通过沿第一方向移动第一检测单元至第一预定位置、移动第二检测单元至第二预定位置上,使得第一检测单元和第二检测单元之间在第一方向上的相对距离为预设距离,再通过第一检测单元检测第一部件的当前位置是否正确(如:检测所述第一部件的当前位置是否与该第一检测单元正对),通过第二检测单元检测第二部件的当前位置是否正确(如:检测所述第二部件的当前位置是否与该第二检测单元正对),并当检测到第一部件和第二部件当前位置错误时,进行报警,以提醒操作人员更改第一部件和第二部件的位置,直至第一部件和第二部件处于正确位置上,从而达到防止被测件的第一部件和第二部件位置错误的目的。
以下以本发明的尺寸检测装置用于检测基板装载装置的尺寸为例,来对本发明进行进一步的说明。应当理解的是,本发明所提供的尺寸检测装置也可以用于其它被测件的尺寸检测。
如图2至5所示,传统的用于装载基板或液晶屏的基板装载装置包括:
一框架结构10;以及沿与第一方向F1垂直的第二方向F2延伸的第一支柱21和第二支柱22;
其中,所述第一支柱21和所述第二支柱22能够在所述框架结构10内沿所述第一方向F1移动,且在所述第一支柱21和所述第二支柱22上沿第二方向F2上分别分布有用于支撑液晶屏或基板的多个支撑杆23。
其中,对应于不同尺寸的液晶屏或基板1,由操作人员手动在第一方向F1上移动第一支柱21和第二支柱22的位置(即修改该基板装载装置的尺寸)。然而,这种手动修改方式易出现尺寸修改错误,会导致液晶屏或基板1和机械手2撞坏的问题,本发明的尺寸检测装置就是在基板装载装置使用前,对由操作人员手动修改后的基板装载装置的尺寸进行检测,若操作人员手动修改后的基板承载装置的尺寸有误,则可发出警报进行错误提示,以此有效避免因基板承载装置的尺寸错误而导致的液晶屏或机械手撞坏,减少不必要的产品损失。
本发明所提供的尺寸检测装置在用于检测基板装载装置的尺寸时:
首先,操作人员在第一方向上手动移动第一支柱21和第二支柱22,以修改基板装载装置的尺寸;
然后,通过移动单元将第一检测单元和第二检测单元从原点位置(图5所示)分别移动至与当前型号的液晶屏或基板1的尺寸所对应的预定位置上(图2至4所示);
然后,通过第一检测单元检测第一支柱21的当前位置是否正确(如:第一检测单元检测与第一支柱21在与第一方向F1垂直的第三方向F3上是否正对),通过第二检测单元检测第二支柱22的当前位置是否正确(如:第二检测单元检测与第二支柱22在与第一方向F1垂直的第三方向F3上是否正对),并当检测到第一支柱21和第二支柱22位置错误时,通过报警单元进行报警;
当报警单元进行报警时,由操作人员再次移动第一支柱21和第二支柱22的位置,以修改基板装载装置的尺寸,直至报警单元不再报警为止;
最后,利用移动单元将第一检测单元和第二检测单元沿第一方向F1移动至原点位置(如图5所示),以不影响机械手2与基板装载装置之间取放液晶屏或基板1。
在本发明所提供的实施例中,优选的,如图2至7所示,所述第一检测单元包括:用于设置于所述第一部件的一侧,发射平行激光的第一激光发射器101,其中所述第一激光发射器101发射的平行激光所形成的平面与所述第一方向F1相垂直;以及,用于设置于所述第一部件的另一侧,接收由所述第一激光发射器101发射的平行激光,并在接收到的激光光量小于预定激光光量时,发送所述第一信号的第一激光接收器101。
采用上述方案,所述第一检测单元采用激光传感器来实现对第一支柱21的位置检测,具体地,如图2至7所示,第一激光发射器101和第一激光接收器101分别设置于基板装载装置的第一支柱21的两侧,通过第一激光发射器101发射一平行激光,且该平行激光所形成的平面垂直于第一方向F1,如此,
当第一支柱21未处于与该第一激光发射器101所对应的第三预定位置上时(即,第一支柱21未处于不遮挡第一激光发射器101发射的平行激光的位置时),如图6所示,第一支柱21上的支撑杆23即会遮光住第一激光发射器101所发射的部分激光,使得第一激光接收器101所接收的激光光量小于预定激光光量,从而发送第一信号给报警单元进行报警;
而当第一支柱21处于第三预定位置上时(即,第一支柱21处于不遮挡第一激光发射器101发射的平行激光的位置时),如图7所示,第一支柱21上的支撑杆23则不会遮光住第一激光发射器101所发射的激光,使得第一激光接收器101所接收的激光光量等于预定激光光量,从而不会向报警单元发送第一信号。
同样地,如图4至5所示,优选的,所述第二检测单元包括:
用于设置于所述第二部件的一侧,发射平行激光的第二激光发射器201,其中所述第二激光发射器201发射的平行激光所形成的平面与所述第一方向F1相垂直;以及,用于设置于所述第二部件的一侧,接收由所述第二激光发射器201发射的平行激光,并在所接收到的激光光量小于预定激光光量时,发送所述第二信号的第二激光接收器。
采用上述方案,所述第二检测单元也可以采用激光传感器来实现对第二支柱22的位置检测,具体地,第二激光发射器201和第二激光接收器分别设置于基板装载装置的第二支柱22的两侧,通过第二激光发射器201发射一平行激光,且该平行激光所形成的平面垂直于第一方向F1,如此,
当第二支柱22未处于与该第二激光发射器201所对应的第四预定位置上时(即,第二支柱22未处于不遮挡第二激光发射器201发射的平行激光的位置时),第二支柱22上的支撑杆23即会遮光住第二激光发射器201所发射的部分激光,使得第二激光接收器所接收的激光光量小于预定激光光量,从而发送第二信号给报警单元进行报警;
而当第二支柱22处于第四预定位置上时(即,第二支柱22处于不遮挡第二激光发射器201发射的平行激光的位置时),第二支柱22上的支撑杆23则不会遮光住第二激光发射器201所发射的激光,使得第二激光接收器所接收的激光光量等于预定激光光量,从而不会向报警单元发送第二信号。
在上述方案中,所述第一激光发射器101、所述第一激光接收器101以及所述第二激光发射器201、所述第二激光接收器均优选为光透过型激光检测传感器,可以选用型号有:基恩士IB系列IB-30;并且,在上述方案中,所述第一检测单元和第二检测单元采用激光传感器来进行位置检测,根据激光传感器发射的平行激光特点,只要基板装载装置的尺寸稍有偏移,就能通过光透过量的改变来检测并报警,检测精度高,且由于激光传感器发射的为多波长激光光束,不会因外部条件而造成误检测,稳定性好。
应当理解的是,在本发明的其他实施例中,所述第一检测单元和所述第二检测单元还可以采用其他位置传感器,在此仅提供一种第一检测单元和第二检测单元的优选结构,但并不是对第一检测单元和第二检测单元的具体实现方式进行局限。
此外,在本发明所提供的实施例中,优选的,所述移动单元包括:用于在所述第一方向F1上移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的第一移动机构。通过所述第一移动机构在第一方向F1上移动第一检测单元和第二检测单元,可以使得第一检测单元和第二检测单元针对不同型号的液晶屏或基板而移动至对应的不同预定位置上,来对基板装载装置的尺寸进行检测。
在本发明所提供的实施例中,优选的,如图2至图5所示,所述第一移动机构包括:
用于固定于被测件上的固定板401;
用于安装所述第一检测单元的第一连接杆402;
用于安装所述第二检测单元的第二连接杆403;
设置于所述固定板401上,并沿所述第一方向F1延伸的导轨404;
设置于所述导轨404上,且能够沿所述导轨404移动的第一滑块405和第二滑块406,其中所述第一滑块405与所述第一连接杆402连接,用于带动所述第一连接杆402移动,所述第二滑块406与所述第二连接杆403连接,用于带动所述第二连接杆403移动;
以及,用于驱动所述第一滑块405和所述第二滑块406沿所述导轨404移动的驱动结构。
采用上述方案,固定板401可以固定在基板装载装置的框架结构10上,第一激光发射器101和第一激光接收器101可以通过第一连接杆402分别设置在第一支柱21的两侧,第二激光发射器201和第二激光接收器可以通过第二连接杆403分别设置在第二支柱22的两侧,通过驱动结构驱动第一滑块405在导轨404上沿第一方向F1移动,可带动第一连接杆402沿第一方向F1移动,直至第一激光发射器101和第一激光接收器101移动至第一预定位置上,通过驱动结构驱动第二滑块406在导轨404上沿第一方向F1移动,可带动第二连接杆403沿第一方向F1移动,直至第二激光发射器201和第二激光接收器移动至第二预定位置。
应当理解的是,在本发明的其他实施例中,所述第一移动机构的具体实现方式可以有多种方式,在此仅提供一种第一移动机构的优选装配方式,但并不是对此进行局限。
此外,在本发明所提供的实施例中,优选的,如图2至图5所示,所述驱动结构包括:沿所述第一方向F1设置的第一丝杆407,所述第一丝杆407与所述第一滑块405配合;沿所述第一方向F1设置的第二丝杆408,所述第二丝杆408与所述第二滑块406配合;用于驱动所述第一丝杆407的第一驱动电机;以及,用于驱动所述第二丝杆408的第二驱动电机。
上述方案中,第一驱动电机和第二驱动电机可以为伺服电机,第一丝杆407和第二丝杆408之间可通过联轴器连接,通过伺服电机和丝杆的配合,来移动第一检测单元和第二检测单元,使得移动精度更为准确,而实现对第一检测单元和第二检测单元的精确定位。
应当理解的是,在本发明的其他实施例中,所述驱动结构还可以采用其他结构,例如:采用气缸进行驱动等,在此不再一一列举。
此外,如图2至7所示,基板装载装置中第一支柱21(即第一部件)和第二支柱22(即第二部件)均为沿垂直于所述第一方向F1的第二方向F2延伸的柱状结构。当第一支柱21或第二支柱22上某一位置点上的支撑杆23缺失或变形时,若第一激光发射器101或第二激光发射器201所发射的激光正好通过该缺失或变形的支撑杆23时,则会造成检测误差。
因此,为了防止由于第一支柱21和第二支柱22上某一位置点的支撑杆23缺失或变形而导致的检测误差,在本发明所提供的实施例中,优选的,所述移动单元还包括:用于在所述第二方向F2上移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的第二移动机构。
通过设置第二移动机构可以在沿第一支柱21和第二支柱22的延伸方向(即第二方向F2)上移动第一检测单元和第二检测单元,从而可以在第二方向F2上从至少两个位置来对基板装载装置的尺寸进行检测,确保无检测误差。
需要说明的是,在本发明的其他实施例中,也可以直接在第一连接杆402上沿所述第二方向F2上设置至少两个第一检测单元,在第二连接杆403上沿所述第二方向F2上设置至少两个第二检测单元,来实现在第二方向F2上从至少两个位置来对基板装载装置的尺寸进行检测。
此外,在本发明所提供的实施例中,优选的,如图5所示,所述第二移动机构包括:用于驱动所述第一检测单元在所述第二方向F2上移动的第一气缸501;以及用于驱动所述第二检测单元在所述第二方向F2上移动的第二气缸502。
上述方案中,可通过气缸来驱动第一检测单元和第二检测单元在第二方向上移动,并且,可以在第一连接杆和第二连接杆上设置限位结构,来确保在第二方向上移动时,第一检测单元的第一激光发射器与第一激光接收器位置对应,第二检测单元的第二激光发射器与第二激光接收器位置对应。
需要说明的是,在本发明的其他实施例中,所述第二移动机构还可以采用其他结构实现,例如:采用伺服电机与丝杆配合;在此不再一一列举。
此外,在本发明所提供的实施例中,进一步优选的,所述尺寸检测装置还包括用于控制所述移动单元的控制单元。其中所述控制单元包括:
存储模块,用于存储所述第一检测单元和所述第二检测单元的预定位置信息;以及,控制模块,用于根据所述存储模块所存储的预定位置信息,控制所述移动单元将所述第一检测单元移动至所述第一预定位置,和/或,控制所述移动单元将所述第二检测单元移动至所述第二预定位置。
采用上述方案,在利用该尺寸检测装置对基板装载装置进行检测之前,可以先将与各型号液晶屏或基板尺寸所对应的所述第一检测单元和所述第二检测单元的预定位置预先设定好,并进行存储;然后,在生产线上不同型号液晶屏或基板进行切换时,可以在修改好对应的基板装载装置的尺寸之后,通过控制单元采用外部输入命令等方式快速切换当前的液晶屏或基板所对应的第一检测单元和第二检测单元的预定位置,以检测在装载当前型号液晶屏或基板时由人工手动修改后的基板装载装置的尺寸是否正确,从而实现快速切换,对应多种不同尺寸的尺寸检测装置进行检测,通过高精度自动检测,达到有效、快速地防止由于人员操作所导致的失误,从而防止撞屏带来的产品损伤和机械手损伤。
以下说明本发明优选实施例中所提供的尺寸检测装置用于检测基板装载装置的尺寸时的检测流程:
首先,操作人员手动移动第一支柱21和第二支柱22,以修改基板装载装置的尺寸;
然后,通过伺服电机分别驱动第一丝杆407、第二丝杆408,而将第一激光发射器101、第一激光接收器102以及第二激光发射器201、第二激光接收器分别从原点位置(图5所示)沿第一方向F1分别移动至与当前型号的液晶屏或基板的尺寸所对应的预定位置上(图4所示),通过第一激光发射器101、第一激光接收器102检测第一支柱21的当前位置是否正确,通过第二激光发射器201、第二激光接收器检测第二支柱22的当前位置是否正确;
然后,通过第一气缸和第二气缸将第一激光发射器101、第一激光接收器102以及第二激光发射器201、第二激光接收器沿第二方向F2分别移动至另一位置上,并利用第一激光发射器101、第一激光接收器102检测第一支柱21的当前位置是否正确,通过第二激光发射器201、第二激光接收器检测第二支柱22的当前位置是否正确;
当检测到第一支柱21和第二支柱22的位置错误时,通过报警单元进行报警,当报警单元进行报警时,由操作人员再次移动第一支柱21和第二支柱22的位置,以修改基板装载装置的尺寸,直至报警单元不再报警;
最后,在检测完成后,利用伺服电机驱动第一丝杆和第二丝杆,将第一激光发射器101、第一激光接收器102以及第二激光发射器201、第二激光接收器沿第一方向F1移动至如图5所示的原点位置,以不影响机械手2与基板装载装置之间取放液晶屏或基板。
需要说明的是,如图1和图2所示,传统的基板装载装置可以有四列支柱,其中对应于大尺寸的液晶屏或基板,可以采用中间的两个支柱为一组,来支撑盛放液晶屏或基板,此时,所述尺寸检测装置用于检测中间的两个支柱的位置即可;而对应于小尺寸的液晶屏或基板,可以同一侧相邻的两个支柱为一组,来支撑盛放液晶屏或基板,此时,所述尺寸检测装置用于分别检测同一组中两个支柱的位置即可。
此外,本发明的还一个目的是提供一种具有上述尺寸检测装置的基板装载装置,如图2至5所示,该基板装载装置包括一用于承载液晶屏或基板的装置主体,该装置主体即为现有技术中的基板装载装置,包括:
沿第二方向F2延伸的第一支柱21和第二支柱22;
所述第一支柱21和所述第二支柱22能够在该框架结构10内沿所述第一方向F1移动,且所述第一支柱21和所述第二支柱22上沿第二方向F2分布有用于支撑液晶屏或基板1的多个支撑杆23;以及,本发明实施例所提供的尺寸检测装置,其中所述第一部件为所述第一支柱21,所述第二部件为所述第二支柱22。
本发明所提供的具有上述尺寸检测装置的基板装载装置,可以对基板装载装置中两支柱的位置进行检测,从而可在基板装载装置使用前,对由操作人员手动修改后的基板装载装置的尺寸进行检测,若操作人员手动修改后的基板承载装置的尺寸有误,则可发出警报进行错误提示,以此有效防止因基板承载装置的尺寸错误而导致的液晶屏或机械手撞坏,减少不必要的产品损失。
以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (11)
1.一种尺寸检测装置,用于检测被测件中第一部件和第二部件是否处于预设位置;其特征在于,所述尺寸检测装置包括:
用于沿第一方向移动至第一预定位置上,检测所述第一部件的当前位置,并在所述第一部件的当前位置未处于与所述第一预定位置对应的第三预定位置时,发出第一信号的第一检测单元;
用于沿第一方向移动至第二预定位置上,检测所述第二部件的当前位置,并在所述第二部件的当前位置未处于与所述第二预定位置对应的第四预定位置时,发出第二信号的第二检测单元;
用于移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的移动单元;
以及,用于在接收到所述第一信号和/或所述第二信号时,进行报警的报警单元。
2.根据权利要求1所述的尺寸检测装置,其特征在于,
所述第一检测单元包括:
用于设置于所述第一部件的一侧,发射平行激光的第一激光发射器,其中所述第一激光发射器发射的平行激光所形成的平面与所述第一方向相垂直;
以及,用于设置于所述第一部件的另一侧,接收由所述第一激光发射器发射的平行激光,并在接收到的激光光量小于预定激光光量时,发送所述第一信号的第一激光接收器。
3.根据权利要求1所述的尺寸检测装置,其特征在于,
所述第二检测单元包括:
用于设置于所述第二部件的一侧,发射平行激光的第二激光发射器,其中所述第二激光发射器发射的平行激光所形成的平面与所述第一方向相垂直;
以及,用于设置于所述第二部件的一侧,接收由所述第二激光发射器发射的平行激光,并在所接收到的激光光量小于预定激光光量时,发送所述第二信号的第二激光接收器。
4.根据权利要求1所述的尺寸检测装置,其特征在于,
所述移动单元包括:用于在所述第一方向上移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的第一移动机构。
5.根据权利要求4所述的尺寸检测装置,其特征在于,
所述第一移动机构包括:
用于固定于被测件上的固定板;
用于安装所述第一检测单元的第一连接杆;
用于安装所述第二检测单元的第二连接杆;
设置于所述固定板上,并沿所述第一方向延伸的导轨;
设置于所述导轨上,且能够沿所述导轨移动的第一滑块和第二滑块,其中
所述第一滑块与所述第一连接杆连接,用于带动所述第一连接杆移动,
所述第二滑块与所述第二连接杆连接,用于带动所述第二连接杆移动;
以及,用于驱动所述第一滑块和所述第二滑块沿所述导轨移动的驱动结构。
6.根据权利要求5所述的尺寸检测装置,其特征在于,
所述驱动结构包括:
沿所述第一方向设置的第一丝杆,所述第一丝杆与所述第一滑块配合;
沿所述第一方向设置的第二丝杆,所述第二丝杆与所述第二滑块配合;
用于驱动所述第一丝杆的第一驱动电机;
以及,用于驱动所述第二丝杆的第二驱动电机。
7.根据权利要求4所述的尺寸检测装置,其特征在于,
所述第一部件和所述第二部件均为沿第二方向延伸的柱状结构,所述第二方向垂直于所述第一方向;
所述移动单元还包括:用于在所述第二方向上移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的第二移动机构。
8.根据权利要求7所述的尺寸检测装置,其特征在于,
所述第二移动机构包括:
用于驱动所述第一检测单元在所述第二方向上移动的第一气缸;
以及用于驱动所述第二检测单元在所述第二方向上移动的第二气缸。
9.根据权利要求1所述的尺寸检测装置,其特征在于,
所述尺寸检测装置还包括用于控制所述移动单元的控制单元;
所述控制单元包括:
存储模块,用于存储所述第一检测单元和所述第二检测单元的预定位置信息;
控制模块,用于根据所述存储模块所存储的预定位置信息,控制所述移动单元将所述第一检测单元移动至所述第一预定位置,和/或,控制所述移动单元将所述第二检测单元移动至所述第二预定位置。
10.根据权利要求1至9任一项所述的尺寸检测装置,其特征在于,
所述被测件为用于装载液晶屏或基板的基板装载装置,
所述基板装载装置包括:
沿第二方向延伸的第一支柱和第二支柱;
其中,所述第一支柱和所述第二支柱能够沿所述第一方向移动,且所述第一支柱和所述第二支柱上沿第二方向分布有用于支撑液晶屏或基板的多个支撑杆;
其中所述第一部件为所述第一支柱,所述第二部件为所述第二支柱。
11.一种基板装载装置,包括一装置主体,所述装置主体包括:
沿第二方向延伸的第一支柱和第二支柱;
所述第一支柱和所述第二支柱能够沿所述第一方向移动,且所述第一支柱和所述第二支柱上沿第二方向分布有用于支撑液晶屏或基板的多个支撑杆;
其特征在于,所述基板装载装置还包括:
如权利要求1至10任一项所述的尺寸检测装置,其中所述第一部件为所述第一支柱,所述第二部件为所述第二支柱。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510158872.5A CN104716070B (zh) | 2015-04-03 | 2015-04-03 | 尺寸检测装置及基板装载装置 |
US15/086,926 US9659830B2 (en) | 2015-04-03 | 2016-03-31 | Dimension detection device and cassette |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510158872.5A CN104716070B (zh) | 2015-04-03 | 2015-04-03 | 尺寸检测装置及基板装载装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN104716070A true CN104716070A (zh) | 2015-06-17 |
CN104716070B CN104716070B (zh) | 2017-12-26 |
Family
ID=53415270
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510158872.5A Expired - Fee Related CN104716070B (zh) | 2015-04-03 | 2015-04-03 | 尺寸检测装置及基板装载装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9659830B2 (zh) |
CN (1) | CN104716070B (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106986187A (zh) * | 2017-05-19 | 2017-07-28 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种传送设备 |
CN112362004A (zh) * | 2020-11-05 | 2021-02-12 | 惠科股份有限公司 | 卡匣的检测装置及检测方法,基板加工生产线 |
CN113948435A (zh) * | 2021-11-05 | 2022-01-18 | 新阳硅密(上海)半导体技术有限公司 | 晶圆翻转机构的保护装置及其保护方法 |
CN114485406A (zh) * | 2022-02-17 | 2022-05-13 | 宁波科达精工科技股份有限公司 | 一种零件尺寸测量装置及测量方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108010855B (zh) * | 2016-10-31 | 2020-04-14 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 用于检测基板上的标记的装置、设备和方法 |
CN117781905B (zh) * | 2024-01-02 | 2024-06-21 | 上海交通大学 | 一种适用于螺纹副传动的滚柱直径误差测量装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005158809A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プローバ装置、並びにウエハ検出方法、ウエハ位置測定方法及びカセット位置補正方法 |
US20130068727A1 (en) * | 2010-06-01 | 2013-03-21 | Shogo Okita | Plasma processing apparatus and plasma processing method |
CN103515219A (zh) * | 2012-06-26 | 2014-01-15 | 三星钻石工业股份有限公司 | 基板的加工装置 |
CN104282605A (zh) * | 2013-07-08 | 2015-01-14 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 工艺腔室传片位置调试方法、装置及系统 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4602163A (en) * | 1981-05-11 | 1986-07-22 | Pryor Timothy R | Electro-optical systems for control of robots, manipulator arms and co-ordinate measuring machines |
DE4040794A1 (de) * | 1990-12-17 | 1992-06-25 | Ems Technik Gmbh | Verfahren und lagegeber zur lagebestimmung eines positionierkoerpers relativ zu einem bezugskoerper |
DE10313038B4 (de) * | 2003-03-24 | 2005-02-17 | Klingelnberg Gmbh | Vorrichtung zur Erfassung der Lage eines Tastelements in einem Mehrkoordinatenmessgerät |
DE10313036B3 (de) * | 2003-03-24 | 2004-08-19 | Klingelnberg Gmbh | Vorrichtung zum Erfassen der räumlichen Lage eines in einer Koordinatenachse verfahrbaren Schlittens |
DE102006023292B4 (de) * | 2006-05-18 | 2008-02-21 | Carl Mahr Holding Gmbh | Messvorrichtung für schnelle Messungen |
-
2015
- 2015-04-03 CN CN201510158872.5A patent/CN104716070B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2016
- 2016-03-31 US US15/086,926 patent/US9659830B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005158809A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プローバ装置、並びにウエハ検出方法、ウエハ位置測定方法及びカセット位置補正方法 |
US20130068727A1 (en) * | 2010-06-01 | 2013-03-21 | Shogo Okita | Plasma processing apparatus and plasma processing method |
CN103515219A (zh) * | 2012-06-26 | 2014-01-15 | 三星钻石工业股份有限公司 | 基板的加工装置 |
CN104282605A (zh) * | 2013-07-08 | 2015-01-14 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 工艺腔室传片位置调试方法、装置及系统 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106986187A (zh) * | 2017-05-19 | 2017-07-28 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种传送设备 |
CN106986187B (zh) * | 2017-05-19 | 2019-08-13 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种传送设备 |
CN112362004A (zh) * | 2020-11-05 | 2021-02-12 | 惠科股份有限公司 | 卡匣的检测装置及检测方法,基板加工生产线 |
CN113948435A (zh) * | 2021-11-05 | 2022-01-18 | 新阳硅密(上海)半导体技术有限公司 | 晶圆翻转机构的保护装置及其保护方法 |
CN114485406A (zh) * | 2022-02-17 | 2022-05-13 | 宁波科达精工科技股份有限公司 | 一种零件尺寸测量装置及测量方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160290787A1 (en) | 2016-10-06 |
US9659830B2 (en) | 2017-05-23 |
CN104716070B (zh) | 2017-12-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104716070A (zh) | 尺寸检测装置及基板装载装置 | |
CN105807212B (zh) | 电路板测试装置及电路板测试方法 | |
CN106125354B (zh) | 一种板类产品加工光学对位方法 | |
WO2008117907A1 (en) | Vision inspection system and method for inspecting workpiece using the same | |
CN103231367A (zh) | 一种单轴运动控制实训装置及上下料方法 | |
CN104266661A (zh) | 堆垛机测距仪校准方法 | |
CN101762759A (zh) | 平板显示器测试装置 | |
CN102078846B (zh) | 分配器设备及其控制方法 | |
CN109030508B (zh) | 一种插头检测设备 | |
TWI241934B (en) | Apparatus and method for inspecting and repairing circuit defect | |
CN203269138U (zh) | 一种试纸输送装置及尿液分析仪 | |
CN112197801A (zh) | 机器人保险杠测试装置及测试设备 | |
CN103698106A (zh) | 用于半导体激光器的检测系统 | |
CN201681052U (zh) | 异物检查装置的检测平台结构 | |
CN109032875B (zh) | 一种触控性能测试装置 | |
CN207742120U (zh) | 产品外观检测装置 | |
CN110328159A (zh) | 一种电气检测系统及方法 | |
CN104808360A (zh) | 一种液晶显示面板的检测安装装置 | |
CN105445979A (zh) | 一种点灯治具及点灯方法 | |
CN203177948U (zh) | 克组砝码自动测量系统 | |
CN103523555A (zh) | 一种基板反转装置 | |
CN104690736B (zh) | 机械手臂及其检测系统和检测方法 | |
CN103353457A (zh) | 基板检测装置与方法 | |
CN210587855U (zh) | 一种标牌定位装置 | |
CN203470265U (zh) | 涂布系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20171226 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |