CN104699020A - 系统自动预检方法以及可自动预检的系统 - Google Patents
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Abstract
本发明揭示了一种系统自动预检方法，包括：根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库；提出属性变动请求，所述属性变动请求包含需变动的属性数据；将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对，并发出判断信息。本发明还揭示了一种应用该方法的可自动预检的系统，包括数据库模块、接收模块、分析模块。本发明的系统自动预检方法在工程师提出所述属性变动请求，将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对，对所述属性数据进行筛选，能够对系统的工序的潜在问题提供预检，并发出判断信息，可以给出工程师提供建议，从而避免错误的属性变动请求，降低风险。
Description
技术领域
本发明涉及半导体工厂自动化技术领域，特别是涉及一种系统自动预检方法以及可自动预检的系统。
背景技术
半导体制造业是一个高科技行业，也是一个高投资的行业。半导体制造工厂(Fab)为了实现其运营目标，提高生产力，其生产控制活动的自动化程度越来越高。为了提高Fab的自动化程度，目前，很多Fab引入制造执行系统(MES)，以控制和跟踪不同批次(lot)的工序。MES会跟踪Fab中资料的状态(例如，工具、存储设备、运输设备等的状态)，每当对lot完成一处理步骤(如光刻工艺、刻蚀工艺、线宽量测、膜厚量测等)时，将lot的状态通知MES，并且MES根据通常的Fab特有的一组操作规定确定lot的下一步工序。
但是，在现有技术中，MES的报警系统不够完善，当工程师对MES中某一lot的属性修改出现错误时，MES无法检测该错误，从而存在潜在危害。以MESSign Off(传签系统)为例，MES Sign Off主要用于建立工序，例如，lot需要经过的工艺工序(Process)、量测工序(Edc)以及机台(Equipment)等。当工程师提出不正确的Process、Edc、Equipment的属性变动请求(例如，属性的新建或修改)时，MES Sign Off无法给出预警，从而使得变动的工序具有潜在问题，可能会影响到线上的产品
因此，如何提供一种系统自动预检方法以及可自动预检的系统，能够对系统的工序的潜在问题提供预检，已成为本领域技术人员需要解决的问题。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种系统自动预检方法以及可自动预检的系统，能够对系统的工序的潜在问题提供预检，降低风险。
为解决上述技术问题，本发明提供一种系统自动预检方法，包括：
根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库；
提出属性变动请求，所述属性变动请求包含需变动的属性数据；
将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对，并发出判断信息。
进一步的，在所述系统自动预检方法中，所述数据库根据所述属性数据的种类进行分类，将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对的步骤包括：
根据所述需变动的属性数据的种类，与同一种类的所述历史的属性数据进行比对。
进一步的，在所述系统自动预检方法中，每一种类的属性数据均包括若干子属性，根据所述需变动的属性数据的种类，与同一种类的所述历史的属性数据进行比对的步骤包括：
将所述需变动的属性数据的子属性与所述历史的属性数据的子属性依次进行比对，找出与所述需变动的属性数据最相关的所述历史的属性数据；
其中，所述判断信息包括：所述需变动的属性数据与最相关的所述历史的属性数据中不同的内容。
进一步的，在所述系统自动预检方法中，所述系统自动预检方法还包括：检索一预设时间段内所述属性数据的变化次数，当所述变化次数超出一预设次数后，发出警报。
进一步的，在所述系统自动预检方法中，所述属性数据包括工艺工序属性数据、测量属性数据和机台属性数据。
根据本发明的另一面，本发明还提供一种可自动预检的系统，包括：
数据库模块，根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库；
接收模块，用于接收属性变动请求，并输出属性变动请求信息，所述属性变动请求信息包含需变动的属性数据；
分析模块，分别与所述接收模块和数据库模块相连，所述分析模块接收所述属性变动请求信息，并将所述需变动的属性数据与所述数据库中的属性数据进行比对，并发出判断信息。
进一步的，在所述可自动预检的系统中，所述数据库根据所述属性数据的种类进行分类，所述分析模块根据所述需变动的属性数据的种类，与所述数据库中的同一种类的属性数据进行比对。
进一步的，在所述可自动预检的系统中，每一种类的属性数据均包括若干子属性，所述分析模块将所述需变动的属性数据的子属性与所述数据库中的属性数据的子属性依次进行比对，找出与所述需变动的属性数据最相关的所述数据库中的属性数据，所述判断信息包括：所述需变动的属性数据与最相关的所述数据库中的属性数据中不同的内容。
进一步的，在所述可自动预检的系统中，所述系统还包括一检索模块，所述数据库模块还记录所述数据库中属性数据的变化，所述检索模块与所述数据库模块相连，所述检索模块检索一预设时间段内所述属性数据的变化次数，当所述变化次数超出一预设次数后，所述系统发出警报。
进一步的，在所述可自动预检的系统中，所述属性数据包括工艺工序属性数据、测量属性数据和机台属性数据。
与现有技术相比，本发明提供的系统自动预检方法以及可自动预检的系统具有以下优点：
在本发明提供的系统自动预检方法以及可自动预检的系统中，根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库，将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对，并发出判断信息，与现有技术相比，在工程师提出所述属性变动请求，将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对，对所述属性数据进行筛选，能够对系统的工序的潜在问题提供预检，并发出判断信息，可以给出工程师提供建议，从而避免错误的属性变动请求，降低风险。
附图说明
图1为本发明一实施例中系统自动预检方法的工序图；
图2为本发明一实施例中可自动预检的系统的示意图。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的系统自动预检方法以及可自动预检的系统进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
本发明的核心思想在于，提供一种系统自动预检方法，包括以下步骤：：
步骤S11，根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库；
步骤S12，提出属性变动请求，所述属性变动请求包含需变动的属性数据；
步骤S13，将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对，并发出判断信息。
进一步，结合上述系统自动预检方法，本发明还提供了一种可自动预检的系统，包括：数据库模块，根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库；接收模块，用于接收属性变动请求，并输出属性变动请求信息，所述属性变动请求信息包含需变动的属性数据；分析模块，分别与所述接收模块和数据库模块相连，所述分析模块接收所述属性变动请求信息，并将所述需变动的属性数据与所述数据库中的属性数据进行比对，并发出判断信息。
以下结合图1和图2具体说明本实施例中的系统自动预检方法以及可自动预检的系统。其中，图1为本发明一实施例中系统自动预检方法的工序图，图2为本发明一实施例中可自动预检的系统的示意图。在本实施例中，所述系统为MES Sign Off。
首先，进行步骤S11，根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库，如图1所示。
由于在本实施例中，所述可自动预检的系统中会保留有历史的属性数据(已经建立的工序中的相关信息)，所述系统的数据库模块101根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库。较佳的，所述数据库根据所述属性数据的种类进行分类，例如，在本实施例中，按种类分，所述属性数据包括工艺工序(Process)属性数据、测量(Edc)属性数据和机台(Equipment)属性数据。较佳的，每一种类的属性数据均包括若干子属性，例如，所述Process属性数据可以包括以下子属性：Process type(工艺工序类型)、Tech ID(技术名称)、FECP NO(工程技术改变工序号)、Product Body(产品内容)、Stage(站点)、WorkArea(工作区域)等；所述Edc属性数据可以包括以下子属性：Edc type(测量类型)、Tech ID(技术名称)、FECPNO(工程技术改变工序号)、EDC Plan(测量计划)、OCAP(异常管制计划)、MEASSPEC(图表管制数据)等；所述Equipment属性数据可以包括以下子属性：Equipment type(机台类型)、Tech ID(技术名称)、FECP NO(工程技术改变工序号)、Contamination Level(污染等级)、EQ group(机台组别)、Eqp type(设备类型)等，如表1所示，表1为本实施例中的所述数据库。但是，所述数据库并不限于上述分类方法，只要是合理的分类方法，有助于数据的检索与分析，亦在本发明的思想范围之内。
表1
然后，进行步骤S12，提出属性变动请求，所述属性变动请求包含需变动的属性数据。
在本实施例中，接收模块102用于接收属性变动请求，并输出属性变动请求信息，所述属性变动请求信息包含需变动的属性数据。所述需变动的属性数据亦包括工艺工序(Process)属性数据、测量(Edc)属性数据和机台(Equipment)属性数据等信息，所述需变动的属性数据与历史的属性数据的分类方式相同，但是具体的数据可能会有不同，此为本领域的公知常识，在此不作赘述。
然后，进行步骤S13，将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对，并发出判断信息。
在本实施例中，分析模块103分别与所述接收模块102和数据库模块101相连，所述分析模块103接收所述属性变动请求信息，并将所述需变动的属性数据与所述数据库中的属性数据进行比对，并发出判断信息。从而，在工程师提出所述属性变动请求，将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对，对所述属性数据进行筛选，能够对系统的工序的潜在问题提供预检，并发出判断信息，可以给出工程师提供建议，从而避免错误的属性变动请求，降低风险。
较佳的，在本实施例中，所述分析模块103根据所述需变动的属性数据的种类，与所述数据库中的同一种类的属性数据进行比对。具体的，所述分析模块将所述需变动的属性数据的子属性与所述数据库中的属性数据的子属性依次进行比对，找出与所述需变动的属性数据最相关的所述数据库中的属性数据，其中，所述判断信息包括：所述需变动的属性数据与最相关的所述数据库中的属性数据中不同的内容。
例如，当工程师所提出的所述属性变动请求为新建flow(流程)里设定的recipe(程式)时，所述属性变动请求中属性数据的类型为工艺工序(Process)属性数据，则，所述分析模块103将所述属性变动请求中的Process属性数据与所述数据库中的Process属性数据进行对比，并根据所述子属性进行筛选，选出最相关的一组Process属性数据(即所包含的所述子属性最相近)。在本实施例中，所述属性变动请求中的Process属性数据与所述数据库中的某一组Process属性数据相比：Process type(工艺工序类型)相同，Tech ID(技术名称)相同，FECP NO(工程技术改变工序号)相同，Product Body(产品内容)相同，Stage(站点)相似，Work Area(工作区域)相同，则所述某一组Process属性数据为最相关的一组Process属性数据，对比所述属性变动请求中的Process属性数据与某一组Process属性数据，发现所述属性变动请求中的Process属性数据中的recipe为A，而所述某一组Process属性数据中的recipe为B，则所述分析模块103发出所述判断信息，提示工程师recipe是否正确，从而避免错误的属性变动请求，降低风险。
较佳的，在本实施例中，所述系统还包括一检索模块104，所述数据库模块101还记录所述数据库中属性数据的变化，所述检索模块104与所述数据库模块101相连，所述检索模块104检索一预设时间段内所述属性数据的变化次数，当所述变化次数超出一预设次数后，所述系统发出警报，从而发现并解决潜在问题。
例如，所述检索模块104检索到一个月内，某一机台的Contamination Level改过4次，超出了预设次数2次，则所述系统发出警报，给工程师提示，提醒工程师检测该某一机台的状态是否正常，从而发现并解决机台的潜在问题。其中，所述预设时间段并不限于为一个月，所述预设次数并不限于为2次，具体根据实际情况进行设定。
本实施例的所述可自动预检的系统还可以包括警报模块105等必要模块，此为本领域的公知常识，在此不作赘述，其中所述警报模块105用于将所述系统的警报提示给工程师。本实施例中的所述系统并不限于为MES Sign Off，只要是需要进行建立或修改数据的制造执行系统，亦在本发明的思想范围之内。
综上所述，本发明提供一种系统自动预检方法，包括：根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库；提出属性变动请求，所述属性变动请求包含需变动的属性数据；将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对，并发出判断信息。与现有技术相比，本发明具有以下优点：
在本发明提供的系统自动预检方法以及可自动预检的系统中，在工程师提出所述属性变动请求，将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对，对所述属性数据进行筛选，能够对系统的工序的潜在问题提供预检，并发出判断信息，可以给出工程师提供建议，从而避免错误的属性变动请求，降低风险。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种系统自动预检方法，包括：
根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库；
提出属性变动请求，所述属性变动请求包含需变动的属性数据；
将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对，并发出判断信息。
2.如权利要求1所述的系统自动预检方法，其特征在于，所述数据库根据所述属性数据的种类进行分类，将所述需变动的属性数据与所述历史的属性数据进行比对的步骤包括：
根据所述需变动的属性数据的种类，与同一种类的所述历史的属性数据进行比对。
3.如权利要求2所述的系统自动预检方法，其特征在于，每一种类的属性数据均包括若干子属性，根据所述需变动的属性数据的种类，与同一种类的所述历史的属性数据进行比对的步骤包括：
将所述需变动的属性数据的子属性与所述历史的属性数据的子属性依次进行比对，找出与所述需变动的属性数据最相关的所述历史的属性数据；
其中，所述判断信息包括：所述需变动的属性数据与最相关的所述历史的属性数据中不同的内容。
4.如权利要求1-3中任意一项所述的系统自动预检方法，其特征在于，所述系统自动预检方法还包括：检索一预设时间段内所述属性数据的变化次数，当所述变化次数超出一预设次数后，发出警报。
5.如权利要求1所述的系统自动预检方法，其特征在于，所述属性数据包括工艺工序属性数据、测量属性数据和机台属性数据。
6.一种可自动预检的系统，包括：
数据库模块，根据所述系统的历史的属性数据建立一数据库；
接收模块，用于接收属性变动请求，并输出属性变动请求信息，所述属性变动请求信息包含需变动的属性数据；
分析模块，分别与所述接收模块和数据库模块相连，所述分析模块接收所述属性变动请求信息，并将所述需变动的属性数据与所述数据库中的属性数据进行比对，并发出判断信息。
7.如权利要求6所述的可自动预检的系统，其特征在于，所述数据库根据所述属性数据的种类进行分类，所述分析模块根据所述需变动的属性数据的种类，与所述数据库中的同一种类的属性数据进行比对。
8.如权利要求7所述的可自动预检的系统，其特征在于，每一种类的属性数据均包括若干子属性，所述分析模块将所述需变动的属性数据的子属性与所述数据库中的属性数据的子属性依次进行比对，找出与所述需变动的属性数据最相关的所述数据库中的属性数据，所述判断信息包括：所述需变动的属性数据与最相关的所述数据库中的属性数据中不同的内容。
9.如权利要求6-8中任意一项所述的可自动预检的系统，其特征在于，所述系统还包括一检索模块，所述数据库模块还记录所述数据库中属性数据的变化，所述检索模块与所述数据库模块相连，所述检索模块检索一预设时间段内所述属性数据的变化次数，当所述变化次数超出一预设次数后，所述系统发出警报。
10.如权利要求6所述的可自动预检的系统，其特征在于，所述属性数据包括工艺工序属性数据、测量属性数据和机台属性数据。
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20150610 |