CN104690648A - 一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子 - Google Patents

一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子 Download PDF

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张宇
王力
石明
曲涛
李翔
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Tianjin Zhonghuan Semiconductor Joint Stock Co Ltd
Tianjin Zhonghuan Advanced Material Technology Co Ltd
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    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
    • B24B53/017—Devices or means for dressing, cleaning or otherwise conditioning lapping tools

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

本发明提供一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子，包括圆盘状的刷体，所述刷体的顶面带有若干凸起或凹陷，所述刷体的底面分布有刷毛，所述刷毛呈环形分布，所述刷体的材质为聚氯乙烯，所述刷毛的材质为尼龙。本发明的有益效果是：由于采用上述技术方案，保持了抛光垫的洁净，保持了抛光速率和抛光质量，也提高了抛光垫的使用寿命。由此可见，本方案的使用提高了产品的合格率和生产效率，同时减低了能耗，节约了成本，提高了效益。

Description

一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子
技术领域
本发明涉及一种刷子，尤其是涉及一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子。
背景技术
硅片进行有蜡抛光后，需用用刷子对抛光垫进行刷洗，以防止抛光液在抛光垫上长时间滞留而形成结晶，而结晶会对硅片产生损伤，降低抛光质量。另外，对抛光垫进行刷洗有助于其表面结构的回复，延长了抛光垫的使用寿命，也保证了硅片抛光效果的一致性。现有的刷子是设备自带的一小型刷子，每次抛光完成后会自动对抛光垫进行刷洗，但其不能彻底清除抛光垫表面空隙中残余的抛光液和细微的结晶，不利于抛光垫表面结构的回复。另外，由于自带刷子尺寸较小，刷洗过程中使得抛光垫受力不均，这会对抛光垫的表面状态产生一定影响。
发明内容
本发明的目的是提供一种结构简单、提高抛光质量的有蜡抛光的抛光垫专用刷子。
本发明的技术方案是：一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子，包括圆盘状的刷体，所述刷体的顶面带有若干凸起或凹陷，所述刷体的底面分布有刷毛，所述刷毛呈环形分布。
优选地，所述刷体的材质为聚氯乙烯，所述刷毛的材质为尼龙。
优选地，所述刷体的直径为48cm，厚度为3cm，所述刷毛的长度为1.5cm。
本发明具有的优点和积极效果是：
由于采用上述技术方案，保持了抛光垫的洁净，保持了抛光速率和抛光质量，也提高了抛光垫的使用寿命。由此可见，本方案的使用提高了产品的合格率和生产效率，同时减低了能耗，节约了成本，提高了效益。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明的仰视图；
图3是本发明的俯视图。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施方式对本发明作进一步说明。
如图1至图3所示，本发明包括圆盘状的刷体1，所述刷体1的顶面带有若干凹陷，所述刷体1的底面分布有刷毛2，所述刷毛2呈环形分布。
所述刷体1的材质为聚氯乙烯，所述刷毛2的材质为尼龙。
所述刷体1的直径为48cm，厚度为3cm，所述刷毛2的长度为1.5cm。
使用时，将本发明放置在待清洁的抛光垫上，将机械臂与本发明的顶面相连接（可以通过吸附的方式连接），带动本发明以一定的运动轨迹运动，对旋转的抛光垫进行清洗。本发明对抛光垫上的抛光液和结晶清洁得更为彻底，而且有助于抛光垫表面绒孔结构的回复，有助于延长抛光垫的使用寿命和抛光质量的提高。
实验一：选择200片相同的6寸硅片进行试验，晶向<111>，拉晶方式：FZ，掺杂元素：P，厚度：630---632μm。下表为使用本发明前后检测项的数值。
实验二：选择200片相同的5寸硅片进行实验，晶向<100>，拉晶方式：CZ，掺杂元素：B，厚度：525---530μm。下表为使用本发明前后检测项的数值。
由表中数据可以看出，抛光速率的提高增加了效率，降低了单位时间的能耗，而雾值、颗粒值和划道片数的降低则提高了产品的合格率，这些都有助于成本的降低。
以上实施例对本发明进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。

Claims (3)

1.一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子，其特征在于：包括圆盘状的刷体（1），所述刷体（1）的顶面带有若干凸起或凹陷，所述刷体（1）的底面分布有刷毛（2），所述刷毛（2）呈环形分布。
2.根据权利要求1所述的有蜡抛光的抛光垫专用刷子，其特征在于：所述刷体（1）的材质为聚氯乙烯，所述刷毛（2）的材质为尼龙。
3.根据权利要求1或2所述的有蜡抛光的抛光垫专用刷子，其特征在于：所述刷体（1）的直径为48cm，厚度为3cm，所述刷毛（2）的长度为1.5cm。
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