CN104655019A - 关键尺寸测量方法和系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种关键尺寸测量方法和系统，其中的关键尺寸测量系统包括第一设备和第二设备，所述第一设备用于依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至所述第二设备；所述第二设备用于接收并存储来自所述第一设备的数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量。基于上述方案，本发明可以解决现有技术中不能正常匹配特征图片时设备暂停运行会导致设备稼动率严重下降的问题。与不能正常匹配特征图片时设备暂停运行的现有技术相比，本发明可以提高关键尺寸测量的设备运行效率，提升设备稼动率。

Description

关键尺寸测量方法和系统

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种关键尺寸测量方法和系统。

背景技术

在TFT-LCD(Thin Film Transistor，薄膜晶体管；Liquid CrystalDisplay，液晶显示器)制造领域，关键尺寸(Critical Dimension，一般是指100um以下的图形线宽或间隔，为表示图形位置之尺寸值)的监控测量十分重要，其尺寸大小的控制将直接影响整个显示装置的性能。现有技术中，关键尺寸的监控测量主要通过将实际拍摄照片与预存的特征图片进行匹配来实现。然而在现有的监控测量设备中，对于每一块待测基板的传送定位、照片拍摄、匹配特征图片、关键尺寸测量都需要按照次序一一执行，一旦发生不能正常匹配特征图片而无法进行测量的情况，设备就只能等待操作人员手动测量并进行确认后才能继续下一块待测基板的测量，严重影响了设备的稼动率。

发明内容

针对现有技术中的缺陷，本发明提供一种关键尺寸测量方法和系统，可以解决现有技术中不能正常匹配特征图片时设备暂停运行会导致设备稼动率严重下降的问题。

第一方面，本发明提供了一种关键尺寸测量系统，包括第一设备和第二设备，

所述第一设备用于依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至所述第二设备；

所述第二设备用于接收并存储来自所述第一设备的数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量。

可选地，所述第一设备包括：

定位单元，用于将待测基板移动至预设拍摄位置；

拍摄单元，用于对处于所述预设拍摄位置的待测基板进行拍摄；

生成单元，用于根据所述拍摄单元得到的拍摄结果生成包括该摄结果以及与该拍摄结果对应的基板标识的数据包；

发送单元，用于将所述生成单元得到的数据包发送至所述第二设备。

可选地，所述定位单元进一步用于在所述拍摄单元完成对一块待测基板的拍摄后立刻将下一块待测基板移动至所述预设拍摄位置。

可选地，所述第二设备包括：

接收单元，用于接收来自所述第一设备的数据包；

存储单元，用于将所述接收单元得到的数据包中的所述拍摄结果及所述基板标识对应地进行存储；

测量单元，用于根据来自所述存储单元的所述拍摄结果进行关键尺寸的测量；

所述存储单元还用于将所述测量单元得到的测量结果对应于所述基板标识进行存储。

可选地，所述第二设备还包括：

生成单元，用于在所述测量单元不能正常进行关键尺寸的测量时根据对应的拍摄结果及基板标识生成故障报告，并控制所述测量单元继续进行下一个待测基板的关键尺寸的测量。

第二方面，本发明还提供了一种关键尺寸测量方法，包括：

第一设备依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至第二设备；

第二设备接收并存储所述数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量。

可选地，所述第一设备依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至第二设备，包括：

第一设备将待测基板移动至预设拍摄位置；

第一设备对处于所述预设拍摄位置的待测基板进行拍摄；

第一设备根据拍摄结果生成包括该摄结果以及与该拍摄结果对应的基板标识的数据包；

第一设备将所述数据包发送至所述第二设备。

可选地，第一设备在完成对一块待测基板的拍摄后，立刻将下一块待测基板移动至所述预设拍摄位置。

可选地，所述第二设备接收并存储所述数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量，包括：

第二设备接收来自所述第一设备的数据包；

第二设备将所述数据包中的所述拍摄结果及所述基板标识对应地进行存储；

第二设备根据存储的所述拍摄结果进行关键尺寸的测量；

第二设备测量结果对应于所述基板标识进行存储。

可选地，所述第二设备根据存储的所述拍摄结果进行关键尺寸的测量，包括：

在不能正常进行关键尺寸的测量时，根据对应的拍摄结果及基板标识生成故障报告；

继续进行下一个待测基板的关键尺寸的测量。

由上述技术方案可知，本发明中的第一设备主要进行图片拍摄，并将拍摄结果发送给第二设备，第二设备则主要根据拍摄结果进行关键尺寸的测量。从而在第二设备不能正常匹配特征图片时并不会影响第一设备的正常工作，因而可以解决现有技术中不能正常匹配特征图片时设备暂停运行会导致设备稼动率严重下降的问题。与不能正常匹配特征图片时设备暂停运行的现有技术相比，本发明可以提高关键尺寸测量的设备运行效率，提升设备稼动率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明一个实施例中一种关键尺寸测量系统的结构框图；

图2是本发明一个实施例中一种第一设备的结构框图；

图3是本发明一个实施例中一种第二设备的结构框图；

图4是本发明一个实施例中一种关键尺寸测量方法的步骤流程示意图；

图5是本发明一个实施例中一种第一设备的工作步骤流程示意图；

图6是本发明一个实施例中一种第二设备的工作步骤流程示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1是本发明一个实施例中一种关键尺寸测量系统的结构框图。参见图1，该系统包括第一设备11和第二设备12，其中：

上述第一设备11用于依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至上述第二设备12；

上述第二设备12用于接收并存储来自上述第一设备11的数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量。

应理解的是，上述第一设备11与上述第二设备12之间存在必要的通信手段，以使第一设备11可以将数据包发送给第二设备12，并使得第二设备12可以接收来自第一设备11的数据包，具体的通信手段可以是总线通信、串口通信、以太网通信等等，本发明对此不做限制。

还应理解的是，上述待测基板指的是需要进行关键尺寸测量的基板，其中的关键尺寸主要指的是基板上100um以下的图形线宽或间隔，具体为表示图形形状和位置的尺寸值。本发明实施例主要采用图像测量的方式，在本发明的一个实施例中，关键尺寸的测量主要通过下述流程进行：第一设备11进行特定设置下的图像采集(拍摄)；第二设备12以对应的标尺在图像上进行测量。

还应理解的是，本发明实施例中，第一设备11可以不间断地对每一块待测基板进行拍摄，拍摄结果与对应的待测基板标识可以加入至数据包中，并发送给第二设备12以进行后续的测量处理。

由此可知，本发明实施例中，第二设备12对图像进行的测量与第一设备11对待测基板的拍摄是相对独立的，从而在第二设备12不能正常匹配特征图片时，并不会影响第一设备11的正常工作，因而可以解决现有技术中不能正常匹配特征图片时设备暂停运行会导致设备稼动率严重下降的问题。与不能正常匹配特征图片时设备暂停运行的现有技术相比，本发明实施例可以提高关键尺寸测量的设备运行效率，提升设备稼动率。

图2是本发明一个实施例中一种第一设备的结构框图。在上述实施例的基础之上，上述第一设备11可以包括如图2所示的下述结构：

定位单元11a，用于将待测基板移动至预设拍摄位置；

拍摄单元11b，用于对处于上述预设拍摄位置的待测基板进行拍摄；

生成单元11c，用于根据上述拍摄单元11b得到的拍摄结果生成包括该摄结果以及与该拍摄结果对应的基板标识的数据包；

发送单元11d，用于将上述生成单元11c得到的数据包发送至上述第二设备。

举例来说，上述定位单元11a可以包括基台、导轨、吸盘、传送带等组件，以使待测基板可以移动并固定至上述预设拍摄位置处，该预设拍摄位置是预先根据所需要的拍摄角度、拍摄距离等参数进行设定的特定位置，并在设置上与拍摄单元11b相互对应。拍摄单元11b可以包括光学镜头、光源、图像传感器(Charge-coupled Device，CCD)等组件，以完成在上述预设拍摄位置处的待测基板的拍摄。上述生成单元11c与上述发送单元11d可以通过逻辑运算器或者其组合实现，并可以是现有计算机装置或通信装置中的部件。

基于上述结构，第一设备11中的每一单元均可以在没有人工干预的情况下自动运行，有利于提高测量效率。并且，基于上述设置，第一设备11可以完成对待测基板的移动定位、拍摄、数据包生成以及数据包发送等任务，并且对于多块待测基板的处理可以不间断地进行，保障设备运行效率，提升设备稼动率。

进一步地，上述定位单元11a可以进一步用于在所述拍摄单元11b完成对一块待测基板的拍摄后立刻将下一块待测基板移动至所述预设拍摄位置。基于该设置，本发明实施例在完成对一个待测基板的拍摄后立即进行下一个待测基板的拍摄，可有效提升设备节拍时间。

图3是本发明一个实施例中一种第二设备的结构框图。在上述实施例的基础之上，上述第二设备12可以包括如图3所示的下述结构：

接收单元12a，用于接收来自上述第一设备的数据包；

存储单元12b，用于将上述接收单元12a得到的数据包中的上述拍摄结果及上述基板标识对应地进行存储；

测量单元12c，用于根据来自上述存储单元12b的上述拍摄结果进行关键尺寸的测量；

上述存储单元12b还用于将上述测量单元12c得到的测量结果对应于上述基板标识进行存储。

举例来说，上述接收单元12a可以与上述发送单元11d对应设置，并可以作为现有通信装置中的一对收发部件。上述存储单元12b可以包括存储器、处理器等组件，以完成上述拍摄结果、上述基板标识以及上述测量结果的对应存储。上述测量单元12c可以具体参照现有的图像处理装置来进行设置，例如可以在已知比例标尺的情况下通过测量像素点之间的距离得到实际基板上的某个关键尺寸。基于此结构，第二设备中的每一单元均可以在没有人工干预的情况下不间断地自动运行，有利于提高测量效率。

进一步地，上述第二设备12还可以包括附图中未示出的下述结构：

生成单元12d，用于在上述测量单元不能正常进行关键尺寸的测量时根据对应的拍摄结果及基板标识生成故障报告，并控制上述测量单元继续进行下一个待测基板的关键尺寸的测量。

由此，第二设备12可以在后台进行测量工作，遇到由无法正确测量需要人工确认的测试点，可以生成故障报告转由人工处理(当然也并不一定需要人工在第二设备12上进行处理，还可以转由其他设备来进行处理)，从而可以在无法正常测量时不影响对其他待测基板的测量，提高测量效率。

基于同样的发明构思，本发明实施例提供一种关键尺寸测量方法。图4是本发明一个实施例中一种关键尺寸测量方法的步骤流程示意图。参见图4，该方法包括：

步骤401：第一设备依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至第二设备；

步骤402：第二设备接收并存储所述数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量。

应理解的是，上述第一设备与上述第二设备之间存在必要的通信手段，以使第一设备可以将数据包发送给第二设备，并使得第二设备可以接收来自第一设备的数据包，具体的通信手段可以是总线通信、串口通信、以太网通信等等，本发明对此不做限制。

还应理解的是，上述待测基板指的是需要进行关键尺寸测量的基板，其中的关键尺寸主要指的是基板上100um以下的图形线宽或间隔，具体为表示图形形状和位置的尺寸值。本发明实施例主要采用图像测量的方式，在本发明的一个实施例中，关键尺寸的测量主要通过下述流程进行：第一设备进行特定设置下的图像采集(拍摄)；第二设备以对应的标尺在图像上进行测量。

还应理解的是，本发明实施例中，第一设备可以不间断地对每一块待测基板进行拍摄，拍摄结果与对应的待测基板标识可以加入至数据包中，并发送给第二设备以进行后续的测量处理。

还应理解的是，本发明实施例中的步骤402并不一定在步骤401执行完成后才可以执行，在步骤402中第二设备接收到任意一块待测基板的拍摄结果时，就可以开始进行对应的测量，而无需等待所有的待测基板拍摄完成。

由此可知，本发明实施例中，第二设备对图像进行的测量与第一设备对待测基板的拍摄是相对独立的，从而在第二设备不能正常匹配特征图片时，并不会影响第一设备的正常工作，因而可以解决现有技术中不能正常匹配特征图片时设备暂停运行会导致设备稼动率严重下降的问题。与不能正常匹配特征图片时设备暂停运行的现有技术相比，本发明实施例可以提高关键尺寸测量的设备运行效率，提升设备稼动率。

图5是本发明一个实施例中一种第一设备的工作步骤流程示意图。在上述方案的基础之上，上述步骤401：第一设备依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至第二设备，可以具体包括如图5所示的下述步骤：

步骤401a：第一设备将待测基板移动至预设拍摄位置；

步骤401b：第一设备对处于上述预设拍摄位置的待测基板进行拍摄；

步骤401c：第一设备根据拍摄结果生成包括该摄结果以及与该拍摄结果对应的基板标识的数据包；

步骤401d：第一设备将上述数据包发送至上述第二设备。

其中，上述步骤401a至步骤401d可以视为对一块待测基板的处理流程，也可以视为对多块待测基板的处理流程，类似于上述步骤401和步骤402，上述步骤401a至步骤401d并不需要按顺序一一执行。

基于上述步骤流程，第一设备可以在没有人工干预的情况下自动运行，有利于提高测量效率。并且，基于上述步骤流程，第一设备可以完成对待测基板的移动定位、拍摄、数据包生成以及数据包发送等任务，并且对于多块待测基板的处理可以不间断地进行，保障设备运行效率，提升设备稼动率。

进一步地，第一设备可以在完成对一块待测基板的拍摄后，立刻将下一块待测基板移动至上述预设拍摄位置。基于该设置，本发明实施例在完成对一个待测基板的拍摄后立即进行下一个待测基板的拍摄，可有效提升设备节拍时间。

图6是本发明一个实施例中一种第二设备的工作步骤流程示意图。在上述任一方案的基础之上，上述步骤402：第二设备接收并存储上述数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量，可以具体包括如图6所示的下述步骤：

步骤402a：第二设备接收来自上述第一设备的数据包；

步骤402b：第二设备将上述数据包中的上述拍摄结果及上述基板标识对应地进行存储；

步骤402c：第二设备根据存储的上述拍摄结果进行关键尺寸的测量；

步骤402d：第二设备测量结果对应于上述基板标识进行存储。

其中，上述步骤402a至步骤402d可以视为对一块待测基板的处理流程，也可以视为对多块待测基板的处理流程，类似于上述步骤401a至步骤401d，上述步骤402a至步骤402d并不需要按顺序一一执行。

基于上述步骤流程，第二设备中的每一单元均可以在没有人工干预的情况下不间断地自动运行，有利于提高测量效率。

进一步地，上述步骤402c：第二设备根据存储的上述拍摄结果进行关键尺寸的测量，可以具体包括附图中未示出的下述步骤：

步骤402c1：在不能正常进行关键尺寸的测量时，根据对应的拍摄结果及基板标识生成故障报告；

步骤402c2：继续进行下一个待测基板的关键尺寸的测量。

基于此，第二设备可以在后台进行测量工作，遇到由无法正确测量需要人工确认的测试点，可以生成故障报告转由人工处理(当然也并不一定需要人工在第二设备上进行处理，还可以转由其他设备来进行处理)，从而可以在无法正常测量时不影响对其他待测基板的测量，提高测量效率。

在本发明的描述中需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种关键尺寸测量系统，其特征在于，

包括第一设备和第二设备，

所述第一设备用于依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至所述第二设备；

所述第二设备用于接收并存储来自所述第一设备的数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一设备包括：

定位单元，用于将待测基板移动至预设拍摄位置；

拍摄单元，用于对处于所述预设拍摄位置的待测基板进行拍摄；

生成单元，用于根据所述拍摄单元得到的拍摄结果生成包括该摄结果以及与该拍摄结果对应的基板标识的数据包；

发送单元，用于将所述生成单元得到的数据包发送至所述第二设备。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述定位单元进一步用于在所述拍摄单元完成对一块待测基板的拍摄后立刻将下一块待测基板移动至所述预设拍摄位置。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的系统，其特征在于，所述第二设备包括：

接收单元，用于接收来自所述第一设备的数据包；

存储单元，用于将所述接收单元得到的数据包中的所述拍摄结果及所述基板标识对应地进行存储；

测量单元，用于根据来自所述存储单元的所述拍摄结果进行关键尺寸的测量；

所述存储单元还用于将所述测量单元得到的测量结果对应于所述基板标识进行存储。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述第二设备还包括：

生成单元，用于在所述测量单元不能正常进行关键尺寸的测量时根据对应的拍摄结果及基板标识生成故障报告，并控制所述测量单元继续进行下一个待测基板的关键尺寸的测量。

6.一种关键尺寸测量方法，其特征在于，包括：

第一设备依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至第二设备；

第二设备接收并存储所述数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述第一设备依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至第二设备，包括：

第一设备将待测基板移动至预设拍摄位置；

第一设备对处于所述预设拍摄位置的待测基板进行拍摄；

第一设备根据拍摄结果生成包括该摄结果以及与该拍摄结果对应的基板标识的数据包；

第一设备将所述数据包发送至所述第二设备。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，第一设备在完成对一块待测基板的拍摄后，立刻将下一块待测基板移动至所述预设拍摄位置。

9.根据权利要求6至8中任意一项所述的方法，其特征在于，所述第二设备接收并存储所述数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量，包括：

第二设备接收来自所述第一设备的数据包；

第二设备将所述数据包中的所述拍摄结果及所述基板标识对应地进行存储；

第二设备根据存储的所述拍摄结果进行关键尺寸的测量；

第二设备测量结果对应于所述基板标识进行存储。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述第二设备根据存储的所述拍摄结果进行关键尺寸的测量，包括：

在不能正常进行关键尺寸的测量时，根据对应的拍摄结果及基板标识生成故障报告；

继续进行下一个待测基板的关键尺寸的测量。