CN104646249B - 静电涂敷方法与静电涂敷装置 - Google Patents

Abstract

本发明实现一种边缘的直线性好，图案宽度均匀的涂敷。在该静电涂敷方法中，施加电位差，在喷嘴前端形成向涂敷对象物侧延伸的液体聚集部，并且使配置与喷嘴中的针的前端向液体聚集部突出，使液体聚集部的前端与涂敷对象物接触，将装入喷嘴的液体涂敷在涂敷对象物。

Description

静电涂敷方法与静电涂敷装置

技术领域

本发明涉及一种通过电力来从喷嘴前端将各种液体拉细，在基材上形成微细的图案的静电涂敷方法。

背景技术

以往，作为形成微少的液滴，从而在基板上涂敷微细的图案的方法，已知有例如专利文献1所述那样，利用静电吸引的方法。

图12表示专利文献1的方法。

该方法是将喷嘴2配置为与涂敷对象物4的表面对置，从电源部30向涂敷对象物4与喷嘴2之间施加脉冲电压，通过静电力来将喷嘴前端3的液体1向涂敷对象物4侧吸引，从而将液滴31下滴到涂敷对象物4。

专利文献2虽然不是向涂敷对象物进行涂敷，但也已知利用针，将具有均匀的颗粒直径的微小液滴排出到溶液中的方法。在专利文献2中没有使用专利文献1那样的静电力。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-038911号公报

专利文献2：日本特开2006-320795号公报

发明要解决的课题

利用专利文献2的技术来将附着在针的前端的溶液涂敷到涂敷对象物的情况如下。

如图13(a)所示，被配置在喷嘴2内的针32如图13(b)所示，下降到前端从喷嘴前端3突出为止。此时，成为在针32的前端，少量附着有喷嘴2内的液体1的液滴33的状态。然后，如图13(c)所示，使针32下降到前端附着的液滴33与涂敷对象物4接触为止。由此，能够将附着在针32的前端的液滴33涂敷在涂敷对象物4。

但是，在作为现有方法的图12以及被考虑的图13所示的方法中，在通过将微细的直线图案涂敷在涂敷对象物4的表面来形成的情况下，存在其涂敷结果的边缘的直线性不好，不能够实现图案宽度均匀的涂敷的问题。

图14中表示该情况下的涂敷状态。

图14(a)表示刚刚连续地涂敷了微少液滴之后的状态。在图14(b)中表示该被涂敷的液滴的干燥结束了的状态。这样，虽然在涂敷后的干燥阶段进行相邻的液滴彼此的矫直(1eveling)，但是由于作为液滴涂敷的痕迹残留，因此难以得到边缘的直线性。这是由于排出的微少液滴的表面积较宽，在从喷嘴2排出并到达涂敷对象物4之前干燥被促进，因此到达涂敷对象物4后的矫正比较困难。

由此，为了实现边缘的直线性好，图案宽度均匀的涂敷，认为优选不连结液滴，而在不使液滴间断的情况下连续地进行涂敷。

因此，考虑利用通过静电力来进行液滴吸引的原理，并如图15所示那样在喷嘴2的前端形成液体聚集部34，将液体1连续地涂敷在涂敷对象物4的表面，但在进行基于液体聚集部34的连续的涂敷时，由于随着由静电力引起的液体聚集部34的伸缩的涂敷的起始端结束端形成需要时间，因此存在节拍时间增加，并且涂敷状态容易混乱的问题。

图16(a)～(d)表示在进行基于液体聚集8的液体1的连续涂敷的情况下的涂敷起始端处的液体聚集部34的形成状态。

图16(a)表示向装入了液体1的喷嘴2施加电压前的状态。

接下来，若向喷嘴2与涂敷对象物4之间施加电压，则如图16(b)(c)所示，通过静电力，液体聚集部34向涂敷对象物4侧延伸，如图16(c)所示，经过到达涂敷对象物4前的不稳定的液体聚集部34的状态，最终如图16(d)所示，液体聚集部34到达涂敷对象物4。

在这种基于静电力的吸引中，由于从图16(c)的不稳定状态移至图16(d)的稳定状态需要时间，因此用于涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4开始相对移动的定时控制非常困难，并且会产生液体聚集部34到达涂敷对象物4的位置与期待的位置不同的情况。其结果，存在如图17(a)所示，将所需量以上的量的液体1涂敷在涂敷起始端，线宽产生加粗35，或者相反地，如图17(b)所示，液体1的涂敷量不足，产生间断36的问题。

图18(a)～(d)表示涂敷结束端处的液体聚集部34的缩小状态。

这样，相对于向装入了液体1的喷嘴2的电压施加停止前(图18(a))，在电压施加刚刚停止后(图18(b))，也由于液体聚集部34保持的残留电荷的影响，不立刻从涂敷对象物4断开，而经过不稳定地保持的状态，最终液体聚集部34如图18(c)(d)所示那样被断开。

在这种基于静电力的吸引中，由于在停止了电压的施加后，图18(b)的不稳定状态也持续，因此用于结束涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4停止相对移动的定时控制非常困难，会产生液体聚集部34从涂敷对象物4断开的位置与期待的位置不同的情况。其结果，存在如图19(a)所示，将所需量以上的液体1涂敷在涂敷结束端，线宽产生加粗35，或者相反地，如图19(b)所示，液体1的涂敷量不足，产生间断36的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能实现起始端结束端的形成不需时间，且形状不混乱，边缘的直线性好，图案宽度均匀的涂敷的静电涂敷方法。

解决课题的手段

本发明的静电涂敷方法的特征在于，将收容有液体的喷嘴的喷嘴前端配置为与涂敷对象物对置，在涂敷时向所述液体与所述涂敷对象物之间施加电位差，在所述喷嘴前端形成向所述涂敷对象物侧延伸的液体聚集部，并且在所述涂敷时，使被配置于所述喷嘴中的针的前端向所述液体聚集部突出，使所述液体聚集部的前端与所述涂敷对象物接触。

本发明的静电涂敷装置通过向喷嘴内的液体与涂敷对象物之间施加电位差，从而将所述液体从所述喷嘴引出，并涂敷在涂敷对象物，具有：电源部，其向所述液体与所述涂敷对象物之间施加规定的电压；针，其能够在所述喷嘴中上下运动；针驱动部，其上下驱动所述针；和控制部，其在涂敷时，对所述电源部进行控制，使得在所述喷嘴前端形成向所述涂敷对象物侧延伸的所述液体的液体聚集部，并且运行所述针驱动部，使得所述针的前端向所述液体聚集部突出，使所述液体聚集部的前端与所述涂敷对象物接触。

发明效果

根据本发明的静电涂敷方法，施加电位差，在喷嘴前端形成向涂敷对象物侧延伸的液体聚集部，并且使配置于喷嘴中的针的前端向液体聚集部突出，由于使液体聚集部的前端与涂敷对象物接触，因此能够提高喷嘴前端的液体聚集部的响应性，能够防止涂敷的起始端结束端处的混乱，并且能够实现节拍时间的缩短。进一步地，由于能够连续地涂敷液体，因此能够精密地形成直线性好的图案。

附图说明

图1是本发明的实施方式中的静电涂敷装置的示意图。

图2(a)～(c)是该实施方式中的涂敷起始端处的涂敷流程图。

图3(a)～(c)是该实施方式中的涂敷结束端处的涂敷流程图。

图4是该实施方式中的静电涂敷装置的喷嘴前端在条件1的情况下的放大截面图。

图5是表示条件1下的针(needle)的接触角θ1～θ3的放大图。

图6是本发明的条件1～条件8的涂敷结果的说明图。

图7是该实施方式中的静电涂敷装置的喷嘴前端在条件3的情况下的放大截面图。

图8是表示条件3下的针的接触角θ4、θ5的放大图。

图9是该实施方式中的静电涂敷装置的喷嘴前端在条件5的情况下的放大截面图。

图10是该实施方式中的静电涂敷装置的喷嘴前端在条件7的情况下的放大截面图。

图11是表示条件7的情况下的针的接触角θ6、θ7的放大图。

图12是基于利用脉冲电压的静电吸引的专利文献1的说明图。

图13(a)～(c)以专利文献2为参考的情况下的涂敷流程图。

图14(a)(b)是以图13的涂敷流程来涂敷的情况下的问题点的说明图。

图15是基于专利文献1的由于静电力而拉长了的液体聚集部进行的连续涂敷状态的图。

图16(a)～(d)基于专利文献1的液体聚集部实现的涂敷起始端处的液体聚集部形成状态的图。

图17(a)(b)是基于专利文献1的涂敷起始端处的涂敷不良的俯视图。

图18(a)～(d)是基于专利文献1的涂敷结束端处的液体聚集部形成状态的图。

图19(a)(b)是基于专利文献1的涂敷结束端处的涂敷不良的俯视图。

符号说明：

1 液体

2 喷嘴

3 喷嘴前端

4 涂敷对象物

5 电源部

6 针

7 液体提供部

8 电极板

9 喷嘴驱动部

10 针驱动部

11 工作台

12 工作台驱动部

13 控制部

14 喷嘴前端的液体聚集部

15 喷嘴前端处的喷嘴内径

16 纳米Ag墨液

17 喷嘴前端处的针直径

18 喷嘴前端面

19 针前端面

20 针侧面

21 喷嘴前端面处的喷嘴内壁与针侧面的间隙

22 比喷嘴前端面更突出的针的侧面处的接触角θ4的区域

23 比喷嘴前端面更突出的针的侧面处的接触角θ5的区域

24 针锥形部

25 针锥形部的侧面部处的喷嘴侧的接触角θ6的区域

26 针锥形部的侧面部处的前端侧的接触角θ7的区域

具体实施方式

下面，基于实施方式的静电涂敷装置，来对本发明的静电涂敷方法进行说明。

图1～图3表示实现本发明的静电涂敷方法的静电涂敷装置。

在图1中，静电涂敷装置如下构成。

装入了液体1的喷嘴2被配置为将喷嘴前端3与涂敷对象物4对置。在液体1与涂敷对象物4之间，由电源部5施加电压。在喷嘴2的内部，配置有上下能够移动的针6。从液体提供部7向喷嘴2的内部提供液体1。

另外，在使用由绝缘材料形成的喷嘴2的情况下，由于不能经由喷嘴2来施加电压，因此设置与喷嘴2的内部的液体1接触的电极板8，经由电极板8来从电源部5施加电压。在通过导电材料来形成喷嘴2的情况下，由于能够经由喷嘴2来施加电压，因此可以没有电极板8。

喷嘴2通过喷嘴驱动部9而被保持，被进行相对于涂敷对象物4的上下位置的移动控制。

针6通过针驱动部10而被保持，被控制上下位置。

工作台11吸附保持涂敷对象物4，并且在涂敷时通过使涂敷对象物4在水平方向上移动的工作台驱动部12而被进行位置控制。

在涂敷对象物4与收容在喷嘴2中的液体1之间，由电源部5施加电压。喷嘴驱动部9、针驱动部10、工作台驱动部12通过控制部13而被控制运转。

另外，虽然为了在涂敷时使喷嘴2与涂敷对象物4在水平方向上相对移动而设置了工作台驱动部12，但也能够设置使喷嘴2在水平方向上移动的喷嘴水平驱动部(未图示)与工作台驱动部12中的至少一个，来使喷嘴2与涂敷对象物4在涂敷时在水平方向上相对移动。

图2(a)～(c)表示涂敷起始端处的涂敷流程图。图2(a)表示涂敷起始端处的电压施加前，图2(b)表示涂敷起始端处的电压刚刚施加后，图2(c)表示涂敷起始端处的液体到达涂敷对象物时。图3(a)表示涂敷结束端处的稳态涂敷时，图3(b)表示涂敷结束端处的针上升途中，图3(c)表示涂敷结束端处的针移动结束时。

基于该涂敷流程来进行说明。

在图2(a)中，在工作台11上承载涂敷对象物4，将喷嘴2与涂敷开始位置对位。此时，针6的前端按照比喷嘴前端3更位于喷嘴2的内部的方式而被针驱动部10进行位置控制。

接下来，按照喷嘴前端3与涂敷对象物4之间的间隙成为所希望的距离的方式，通过喷嘴驱动部9来控制喷嘴2的高度。

在图2(b)与图2(c)中，通过电源部5，向液体1与涂敷对象物4之间施加电压，并通过针驱动部10，来使针6向涂敷对象物4侧下降，直到到达前端比喷嘴前端3更靠近涂敷对象物4侧的所希望的位置为止。

由此，液体1由于静电力而被向涂敷对象物4侧吸引，并且随着针6的下降，可能将喷嘴前端3处的液体聚集部14的中央部选择性地向涂敷对象物4侧延伸，能够大幅度地缩短液体聚集部14向涂敷对象物4侧延伸的过程中处于到达涂敷对象物4前的不稳定状态的时间。

其结果，能够使用于涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4开始相对移动的定时控制变得容易，并且液体聚集部14到达涂敷对象物4的位置能够如期待那样命中。由此，得到即使在涂敷起始端，也能够在不产生线宽加粗或者间断的情况下，实现精密的涂敷这样的效果。此外，由于能够缩短起始端处的涂敷所需要的时间，因此得到能够实现生产节拍的缩短这样的效果。

然后，在被拉细的液体聚集部14到达涂敷对象物4之后，在所希望的定时使喷嘴2与涂敷对象物4在水平方向上相对移动，进行涂敷。

通过利用事先的实验来预先确认这个情况下的喷嘴2与涂敷对象物4开始相对移动的定时，从而能够容易地再现稳定的涂敷。这是因如下所述而带来的效果：通过针6的下降，来将喷嘴前端3处的液体聚集部14的中央部选择性地向涂敷对象物4侧延伸，从而能够大幅度地缩短液体聚集部14向涂敷对象物4侧延伸的过程中处于到达涂敷对象物4前的不稳定状态的时间。

从稳态状态下涂敷的图3(a)的状态，在涂敷结束端位置，如图3(b)(c)所示，在所希望的定时停止由电源部5向液体1与涂敷对象物4之间施加的电压，并且使针6向喷嘴2侧上升，直到到达前端比喷嘴前端3更靠内侧的所希望的位置。

这样随着针6上升，能够将喷嘴前端3处的液体聚集部14的中央部选择性地拉回到喷嘴2侧，即使在刚刚停止电压施加后，也由于液体聚集部14保持的残留电荷的影响而不从涂敷对象物4断开，能够大幅度地缩短被不稳定地保持的时间。其结果，能够使用于结束涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4停止相对移动的定时控制变得容易，并且液体聚集部14从涂敷对象物4断开的位置如期待那样。

由此，得到即使在涂敷结束端，也能够在不产生线宽加粗或间断的情况下，实现精密的涂敷这样的效果。此外，由于能够缩短结束端处的涂敷所需要的时间，因此得到能够实现生产节拍的缩短这样的效果。

通过利用事先的实验来预先确认这个情况下停止电源部5并使针6上升的定时，从而能够容易地再现稳定的涂敷。这是因如下所述而带来的效果：通过针6的上升，将喷嘴前端3处的液体聚集部14的中央部选择性地向喷嘴2侧拉回，即使在刚刚停止电压施加后也由于液体聚集部14保持的残留电荷的影响而不从涂敷对象物4断开，从而能够大幅度地缩短被不稳定地保持的时间。

综上所述，根据本发明，通过针6的上下动作，能够提高喷嘴前端的液体聚集部的响应性，能够防止涂敷的起始端结束端处的混乱，并能够实现节拍时间的缩短。进一步地，由于能够连续地涂敷液体，因此能够精密地形成直线性好的图案。

基于条件1～条件8，来对上述的静电涂敷装置进行详细说明。

-条件1-

使用图1所示的静电涂敷装置来实施了微细的直线图案的涂敷。条件1的详细内容如下。

这里，喷嘴2是玻璃制的，如图4所示，使用了前端内径15为200μm的喷嘴。液体1使用了中心颗粒直径为200nm的纳米Ag墨液16。使用了该纳米Ag墨液的固体部分浓度为80wt％、墨液的粘度为1500mPa·s的墨液。针6是钨制的，使用了直径17为50μm恒定的圆棒。涂敷对象物4使用了厚度为1.7mm的玻璃基板。将喷嘴前端面18与涂敷对象物4的距离设为400μm。如图5所示，将喷嘴前端面18处的纳米Ag墨液16的接触角θ1设为20°，将针侧面16处的纳米Ag墨液16的接触角θ2设为15°，将针前端19处的纳米Ag墨液16的接触角θ3设为15°。

在非涂敷时，将针前端面19保持在从喷嘴前端面18向喷嘴2的内部500μm的位置，在涂敷时，将针前端面19保持在从喷嘴前端面18向涂敷对象物4侧200μm的位置。这里，喷嘴前端面18处的喷嘴2的内壁与针侧面20之间的间隙21为75μm，是比针6的直径17的50μm大的值。此外，针6的移动速度为15mm/s，电源部5施加1.5kV的直流电压。此时将喷嘴2侧设为+。

在涂敷起始端，与施加电压同时开始针6的下降，从电压施加起100ms后，开始喷嘴2与涂敷对象物4的相对移动(速度50mm/s)。在涂敷结束端，在到达涂敷结束位置的100ms前，停止电压施加，并且开始针6的上升。此时的上升速度为15mm/s。

这样形成30根线宽8μm、涂敷厚度0.5μm、涂敷长度100mm的涂敷，并对从涂敷端起20mm的范围内的涂敷起始端与涂敷结束端的状态进行了评价。在图6中表示其结果。

另外，图6的起始端/结束端的线宽的评价指标是，若全部样本都进入8μm±3％的范围则为○，若存在即使只有一个位置没有进入范围的样本则为×。关于间断，若全部样本都没有间断则为○，即使只有一个位置产生间断则为×。关于起始端结束端的涂敷位置精度，若全部样本中相对于期待的位置的位置偏移量都为100μm以内则为○，即使只有一个位置产生超过100μm的偏移则为×。关于起始端/结束端的线宽，

若全部样本都进入8μm±2.8％的范围则为○○

若全部样本都进入8μm±2.5％的范围则为○○○

若全部样本都进入8μm±2.3％的范围则为○○○○

若全部样本都进入8μm±2.0％的范围则为○○○○○。

结合图6来表示后面所说明的条件2～条件8以及比较例1也以与条件1相同的基准来进行评价的结果。

-比较例1-

作为比较例1，是通过图15所示的现有方法的伴随着仅基于静电力的液体聚集部的伸缩的方法来进行涂敷。

该比较例1的喷嘴2使用了玻璃制的、喷嘴前端的内径为200μm的喷嘴。作为液体1，使用了中心颗粒直径200nm的纳米Ag墨液。使用了该纳米Ag墨液的固体部分浓度为80wt％、墨液的粘度为1500mPa·s的墨液。涂敷对象物4使用了厚度1.7mm的玻璃基板。将喷嘴前端面与涂敷对象物4的距离设为400μm。喷嘴前端面处的纳米Ag墨液的接触角θ1为20°。电源部5施加1.5kV的直流电压(喷嘴侧为+)。在涂敷起始端，在电压施加起100ms后开始喷嘴2与涂敷对象物4的相对移动(速度50mm/s)。在涂敷结束端，在到达涂敷结束位置的100ms前停止电压施加。

在基于现有方法的比较例1的静电涂敷中，相对于电压施加前，从刚刚电压施加后起，由于静电力，液体聚集部14向涂敷对象物4侧延伸，到达涂敷对象物4前的液体聚集部14经过不稳定状态，液体聚集部14最终到达涂敷对象物4。在基于现有的静电力的吸引中，由于液体聚集部14从到达涂敷对象物4前的不稳定状态转变到稳定状态需要时间，因此用于涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4开始相对移动的定时控制非常难，并且会产生液体聚集部14到达涂敷对象物4的位置与期待的位置不同的情况。其结果，会产生在涂敷起始端涂敷所需量以上的量，线宽产生加粗，或者相反地，涂敷量不足并间断的问题。

在涂敷结束端，即使在刚刚停止电压施加后，由于液体聚集部14保持的残留电荷的影响，不立刻从涂敷对象物4断开，经过被不稳定保持的状态，液体聚集部14最终被断开。这样在现有的基于静电力的吸引中，由于在停止电压施加后也持续不稳定状态，因此用于结束涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4停止相对移动的定时控制非常难，并且会产生液体聚集部14与涂敷对象物4断开的位置与期待的位置不同的情况。其结果，会产生在涂敷结束端涂敷所需量以上的量，线宽产生加粗，或者相反地，涂敷量不足并间断地连接的问题。

与此相对地，在条件1中，随着在涂敷起始端针6下降，能够将喷嘴前端的液体聚集部14的中央部选择性地向涂敷对象物4侧延伸，能够大幅度地缩短液体聚集部14向涂敷对象物4侧延伸的过程中处于到达涂敷对象物4前的不稳定状态的时间。其结果，用于涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4开始相对移动的定时控制变得容易，并且液体聚集部14到达涂敷对象物4的位置能够如期待那样命中。由此，即使在涂敷起始端，也能够在不产生线宽的加粗或间断的情况下，实现精密的涂敷。

此外，由于能够缩短起始端处的涂敷所需要的时间，因此能够实现生产节拍的缩短。

此外，通过喷嘴前端面18处的纳米Ag墨液16的接触角θ1比针侧面20的接触角θ2以及针前端面19的接触角θ3大，从而能够防止由于静电力以及针6的下降，导致从喷嘴2被拉出的液体聚集部14润染到喷嘴前端面18，能够将液体聚集部14保持在针前端面19。其结果，能够实现液体聚集部14的伸缩的高速化，并且能够实现液体聚集部14不间断且稳定的连续涂敷。

此外，在涂敷结束端随着针6上升，能够将喷嘴前端处的液体聚集部14的中央部选择性地向喷嘴侧拉回，即使在刚刚停止电压施加后，由于液体聚集部14保持的残留电荷的影响，不从涂敷对象物4断开，能够大幅度地缩短被不稳定地保持的时间。其结果，用于结束涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4停止相对移动的定时控制变得容易，并且液体聚集部14从涂敷对象物4断开的位置如期待那样。由此，即使在涂敷结束端，也能够在不产生线宽的加粗或者间断的情况下，实现精密的涂敷。此外，由于能够缩短结束端处的涂敷所需要的时间，因此能够实现生产节拍的缩短。

-条件2-

在条件1中θ1＝20°、θ2＝15°、θ3＝15°，但在本条件2中，变更为θ3＝10°，其它与条件1相同。此外，在图6中表示使用与条件1同样的指标的涂敷起始端结束端的状态的评价结果。

在条件2中，由于θ1＞θ2＞θ3，针前端面19的接触角最低，因此针前端面19处的液体聚集部14的伸缩速度与条件1的情况相比，能够实现高速化，能够实现液体聚集部14不间断且稳定的连续涂敷。

此外，由于针前端面19的接触角最低，因此在涂敷结束端，与条件1相比，能够提高液体聚集部14从针前端面19断开时的响应性。其结果，用于结束涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4停止相对移动的定时控制变得容易，并且液体聚集部14从涂敷对象物4断开的位置如期待那样。由此，即使在涂敷结束端，也能够在不产生线宽的加粗或者间断的情况下，实现精密的涂敷。此外，由于能够缩短结束端处的涂敷所需要的时间，因此能够实现生产节拍的缩短。

-条件3-

在条件2中，针6位于喷嘴2的内部的部分也如图4所示，突出到喷嘴2的外部的部分相对于针侧面20的纳米Ag墨液16的接触角也是相同的15°，而在本条件3中，如图7与图8所示，在涂敷时比喷嘴前端面18更向涂敷对象物4侧突出的针6的侧面的接触角具有不同的2个区域22、23。喷嘴侧的区域22的接触角θ4为15°，针6的前端侧的区域23的接触角θ5为13°。其它条件是与条件2同样的内容。图6中表示使用了与条件1同样的指标的涂敷起始端结束端的状态的评价结果。

在本条件3中，由于针前端面19的接触角最低，因此与条件1相比，能够提高将液体聚集部14保持在针前端面19的效果。并且，在涂敷时比喷嘴前端面18更向涂敷对象物4侧突出的针6侧面部，通过使喷嘴侧的区域22的接触角θ4在针6的前端侧的区域23的接触角θ5以上，从而与条件2的情况相比，能够提高将纳米Ag墨液16保持在喷嘴前端的效果。其结果，能够实现液体聚集部14的伸缩的高速化，并且能够实现液体聚集部14不间断且稳定的连续涂敷。

此外，由于针前端面19的接触角最低，因此与条件1相比，由于能够提高将液体聚集部14保持在针前端面19的效果，因此提高在涂敷结束端将液体聚集部14断开时的响应性。

并且，通过在涂敷时比喷嘴前端面18更向涂敷对象物4侧突出的针侧面部的喷嘴侧的区域22，使喷嘴侧的区域22的接触角θ4在前端侧的区域23的接触角θ5以上，从而与条件2的情况相比，能够提高将纳米Ag墨液16保持在针前端面19的效果。其结果，用于结束涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4停止相对移动的定时控制变得容易，并且液体聚集部14从涂敷对象物4断开的位置也如期待那样。由此，即使在涂敷结束端，也能够在不产生线宽的加粗或者间断的情况下，实现精密的涂敷。此外，由于能够缩短结束端处的涂敷所需要的时间，因此能够实现生产节拍的缩短。

虽然在本条件3中，θ2＝θ4，但通过使θ2＞θ4，与θ2＝θ4的情况相比，能够实现从喷嘴内部到形成于喷嘴前端的液体聚集部14的稳定的液体提供。其结果，能够实现液体聚集部14不间断且稳定的连续涂敷。

-条件4-

在条件3中，针6是θ4＝15°、θ5＝13°、θ3＝10°，且θ5＞θ3，但在本条件4中，设定为θ5＝θ3。其它的条件与条件3相同。

这里，在液体涂敷时比喷嘴前端面18更向涂敷对象物4侧突出的针侧面部的喷嘴侧的区域22的接触角θ4为15°，针6的前端侧的区域23的接触角θ5是比接触角θ4小的10°。此外，图6中表示使用了与条件1同样的指标的涂敷起始端结束端的状态的评价结果。

在本条件4的静电涂敷中，由于针前端面19的接触角最低，因此与条件1相比，能够提高将液体聚集部14保持在针前端面19的效果。并且，通过使在涂敷时比喷嘴前端面18更向涂敷对象物4侧突出的针侧面部的前端侧的区域23的接触角θ5与针前端面的接触角θ3相等，从而与条件3相比，能够提高将纳米Ag墨液16保持在喷嘴前端的效果。其结果，能够实现液体聚集部14的伸缩的高速化，并且能够实现液体聚集部14不间断且稳定的连续涂敷。

此外，在涂敷结束端，由于针前端面19的接触角最低，因此与条件1相比，由于能够提高将液体聚集部14保持在针前端面19的效果，因此能够提高在断开液体聚集部14时的响应性。并且，通过使在涂敷时比喷嘴前端面15更向涂敷对象物4侧突出的针侧面部的前端侧的区域23的接触角θ5与针前端面的接触角θ3相等，从而与条件3相比，能够提高将纳米Ag墨液16保持在喷嘴前端的效果。其结果，用于结束涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4停止相对移动的定时控制变得容易，并且液体聚集部14从涂敷对象物4断开的位置也如期待那样。由此，即使在涂敷结束端，也能够在不产生线宽的加粗或者间断的情况下，实现精密的涂敷。此外，由于能够缩短结束端处的涂敷所需要的时间，因此能够实现生产节拍的缩短。

-条件5-

上述各个条件的针6使用了到前端为止的直径恒定的圆棒，但在本条件5中，如图9所示，在针6的前端部形成为锥形形状这一方面与上述各个条件的情况不同。

在本条件5的针6的前端部，在从针前端起20mm的范围内，形成针直径为50μm到25μm的针锥形部24。图6中表示使用了与条件1同样的指标的涂敷起始端结束端的状态的评价结果。

在本条件5中，由于设置有针锥形部24，因此与条件1的情况相比，能够抑制喷嘴前端处的纳米Ag墨液16的流动阻力增加，在涂敷时能够进行从喷嘴内部到形成于喷嘴前端的液体聚集部14的稳定的液体提供。其结果，能够实现液体聚集部14的伸缩的高速化，并且能够实现液体聚集部14不间断且稳定的连续涂敷。

此外，由于设置有针锥形部24，因此在涂敷结束端，与条件1的情况相比，能够抑制喷嘴前端处的纳米Ag墨液16的流动阻力增加，通过按照在非涂敷时，针锥形部24的开始位置P1位于比喷嘴2的前端更内部侧的方式，利用控制部13来运行针驱动部10，从而能够提高将液体聚集部14断开时的响应性。其结果，用于结束涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4停止相对移动的定时控制变得容易，并且液体聚集部14从涂敷对象物4断开的位置也如期待那样。由此，即使在涂敷结束端，也能够在不产生线宽的加粗或者间断的情况下，实现精密的涂敷。此外，由于能够缩短结束端处的涂敷所需要的时间，因此能够实现生产节拍的缩短。

-条件6-

在条件5中，针6的侧面部的纳米Ag墨液的接触角θ2＝15°，针前端面19的纳米Ag墨液的接触角θ3＝15°，但在本条件6中，将针前端面19的接触角θ3设为10°。其它条件与条件5相同。此外，图6中表示使用了与条件1同样的指标的涂敷起始端结束端的状态的评价结果。

在本条件6中，由于针前端面19的接触角最低，因此与条件5的情况相比，能够提高将液体聚集部14保持在针前端面19的效果。其结果，能够实现液体聚集部14的伸缩的高速化，并且能够是实现液体聚集部14不间断且稳定的连续涂敷。

此外，由于针前端面19的接触角最低，因此与条件5的情况相比，在涂敷结束端，由于能够提高将液体聚集部14保持在针前端面19的效果，因此能够提高将液体聚集部14断开时的响应性。其结果，用于结束涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4停止相对移动的定时控制变得容易，并且液体聚集部14从涂敷对象物4断开的位置也如期待那样。由此，即使在涂敷结束端，也能够在不产生线宽的加粗或者间断的情况下，实现精密的涂敷。此外，由于能够缩短结束端处的涂敷所需要的时间，因此能够实现生产节拍的缩短。

-条件7-

在条件5与条件6中，针锥形部24的纳米Ag墨液的接触角是单一的，但在本条件7中，仅在以下方面有所不同：如图10所示，在液体涂敷时比喷嘴前端面18更向涂敷对象物4侧突出的针6的侧面部，形成了纳米Ag墨液的接触角不同的区域25、26。其它条件与条件6相同。

这里，如图11所示，喷嘴侧的区域25的接触角θ6＝15°，针前端侧的区域26的接触角θ7＝13°。图6表示使用了与条件1同样的指标的涂敷起始端结束端的状态的评价结果。

在该条件7中，由于针前端面19的接触角最低，因此与条件5的情况相比，能够提高将液体聚集部14保持在针前端的效果。并且，在涂敷时比喷嘴前端面18更向涂敷对象物4侧突出的针锥形部24，通过使喷嘴侧的区域25的接触角θ6在前端侧的区域26的接触角θ7以上，从而与条件6的情况相比，能够提高将纳米Ag墨液16保持在针前端面19的效果。其结果，能够实现液体聚集部14的伸缩的高速化，并且能够实现液体聚集部14不间断且稳定的连续涂敷。

此外，由于针前端面19的接触角最低，因此在涂敷结束端，与条件5的情况相比较，由于能够提高将液体聚集部14保持在针前端面19的效果，因此能够提高将液体聚集部14断开时的响应性。并且，在涂敷时比喷嘴前端面15更向涂敷对象物4侧突出的针锥形部24，通过使喷嘴侧的区域25的接触角θ6在前端侧的区域26的接触角θ7以上，从而与条件6的情况相比，能够提高将纳米Ag墨液16保持在针前端面19的效果。其结果，用于结束涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4停止相对移动的定时控制变得容易，并且液体聚集部14从涂敷对象物4断开的位置也如期待那样。由此，即使在涂敷结束端，也能够在不产生线宽的加粗或者间断的情况下，实现精密的涂敷。此外，由于能够缩短结束端处的涂敷所需要的时间，因此能够实现生产节拍的缩短。

-条件8-

在条件7中，θ6＝15°、θ7＝13°，但在本条件8中，θ6＝15°、θ7＝10°。其它条件与条件7相同。此外，图6中表示使用了与条件1同样的指标的涂敷起始端结束端的状态的评价结果。

在本条件8中，由于针前端面19的接触角最低，因此与条件5相比，能够提高将液体聚集部14保持在针前端的效果。并且，通过使在涂敷时比喷嘴前端面18更向涂敷对象物4侧突出的针锥形部的前端侧的区域26的接触角θ7与针前端面19的接触角θ3相等，从而与条件7的情况相比，能够提高将纳米Ag墨液16保持在喷嘴前端的效果。其结果，能够实现液体聚集部14的伸缩的高速化，并且能够实现液体聚集部14不间断且稳定的连续涂敷。

此外，由于针前端面19的接触角最低，因此在涂敷结束端，与条件5的情况相比，能够提高将液体聚集部14保持在针前端的效果。并且，通过使在涂敷时比喷嘴前端面18更向涂敷对象物4侧突出的针锥形部24的前端侧的区域26的接触角θ7与针前端面19的接触角θ3相等，从而与条件7的情况相比，能够提高将纳米Ag墨液16保持在喷嘴前端的效果。其结果，用于结束涂敷的喷嘴2与涂敷对象物4停止相对移动的定时控制变得容易，并且液体聚集部14从涂敷对象物4断开的位置也如期待那样。由此，即使在涂敷结束端，也能够在不产生线宽的加粗或者间断的情况下，实现精密的涂敷。此外，由于能够缩短结束端处的涂敷所需要的时间，因此能够实现生产节拍的缩短。

产业上的可利用性

本发明由于能够高速并且连续、精密地形成直线性好的图案，因此能够适用于生产例如，有机EL、等离子显示器、液晶显示器、触摸面板、电路基板、半导体、太阳能电池、锂2次电池等设备的印刷制造工序。

Claims (7)

1.一种静电涂敷方法，其中，

将收容有液体的喷嘴的喷嘴前端配置为与涂敷对象物对置，在涂敷时向所述液体与所述涂敷对象物之间施加电位差，在所述喷嘴前端形成向所述涂敷对象物侧延伸的液体聚集部，并且在所述涂敷时，使被配置于所述喷嘴中的针的前端向所述液体聚集部突出，使所述液体聚集部的前端与所述涂敷对象物接触，使所述涂敷对象物与所述喷嘴相对移动，将所述液体连续地涂敷到所述涂敷对象物，在涂敷结束时，使电位差小于所述涂敷时的电位差，并且使所述针的前端后退到比所述喷嘴前端更靠所述喷嘴内侧的所希望的位置。

2.一种静电涂敷装置，其通过向喷嘴内的液体与涂敷对象物之间施加电位差，从而将所述液体从所述喷嘴引出，并涂敷在涂敷对象物，所述静电涂敷装置具有：

电源部，其向所述液体与所述涂敷对象物之间施加规定的电压；

针，其能够在所述喷嘴中上下运动；

针驱动部，其上下驱动所述针；和

控制部，其在涂敷时，控制所述电源部，使得在所述喷嘴前端形成向所述涂敷对象物侧延伸的所述液体的液体聚集部，并且运行所述针驱动部，使得所述针的前端向所述液体聚集部突出，使所述液体聚集部的前端与所述涂敷对象物接触，使所述涂敷对象物与所述喷嘴相对移动，将所述液体连续地涂敷到所述涂敷对象物，在涂敷结束时，使电位差小于所述涂敷时的电位差，并且使所述针的前端后退到比所述喷嘴前端更靠所述喷嘴内侧的所希望的位置。

3.根据权利要求2所述的静电涂敷装置，其中，

所述针具有随着朝向前端而变细的锥形部。

4.根据权利要求3所述的静电涂敷装置，其中，

将所述控制部构成为：在所述液体的非涂敷时，运行所述针驱动部，使得所述针的所述锥形部的开始位置位于比所述喷嘴的前端更靠内部侧。

5.根据权利要求3所述的静电涂敷装置，其中，

在将所述喷嘴的前端的端面处的所述液体的接触角设为θ1，将所述针的侧面处的所述液体的接触角设为θ2，将所述针的前端处的所述液体的接触角设为θ3时，θ1＞θ2并且θ1＞θ3。

6.根据权利要求5所述的静电涂敷装置，其中，

在所述液体的涂敷时比所述喷嘴的前端更向所述涂敷对象物侧突出的部分，在比所述针的侧面的所述液体的接触角为θ2的区域更靠近所述针的前端侧，具有所述液体的接触角为θ4的区域，θ2≥θ4。

7.根据权利要求2～6中任一项所述的静电涂敷装置，其中，

在所述液体的涂敷时的所述喷嘴的前端，所述喷嘴的内壁与所述针的外壁之间的间隙比所述针的直径大。