CN104614953A - 一种显影液分类回收处理装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于半导体制造中溶液分类回收处理的技术领域，具体地说是一种显影液分类回收处理装置及方法。包括三通药液阀、显影溶剂收集罐、主排废管、显影液排放管及DI水排放管，其中三通药液阀和显影溶剂收集罐设置于显影单元的下方、并三通药液阀通过主排废管与显影单元连接，所述三通药液阀通过显影液排放管和DI水排放管分别与显影溶剂收集罐和排废口连接。本发明可以使显影液与DI水分类回收降低成本，有利于厂务处理排出废液，增进环保。

Description

一种显影液分类回收处理装置及方法

技术领域

本发明属于半导体制造中溶液分类回收处理的技术领域，具体地说是一种显影液分类回收处理装置及方法。

背景技术

在半导体制造中，光阻涂布在晶圆上，经过光刻后图形需要显影来获取图形，但是实现显影之后将会产生显影液废液，同时在显影过程中还需要DI水(去离子水)进行定影及清洗。现有的显影系统是显影废液与DI水经由一根排放管道排放到厂务系统中，这使得两种液体混合在一起，不但增加了厂务处理废液的成本，也增加了DI水的回收成本。同时有些显影液是可以经过回收重新配比重复使用的，如果直接排放会浪费掉，不能起到循环利用的效果，不仅浪费了资源，而且非常不环保。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的在于提供一种显影液分类回收处理装置及方法。该装置及方法可有效地分离显影液与DI水及显影液回收，节约资源降低制造成本。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种显影液分类回收处理装置，包括三通药液阀、显影溶剂收集罐、主排废管、显影液排放管及DI水排放管，其中三通药液阀和显影溶剂收集罐设置于显影单元的下方、并三通药液阀通过主排废管与显影单元连接，所述三通药液阀通过显影液排放管和DI水排放管分别与显影溶剂收集罐和排废口连接。

所述主排废管上设有光纤对射传感器A，用于检测主排废管中液体。所述显影溶剂收集罐上设有光纤对射传感器B，用于检测显影溶剂收集罐中的显影液液位。所述三通药液阀位于显影溶剂收集罐的上方。

一种显影液分类回收处理方法，所述三通药液阀根据系统的工作状态进行工位切换，分别使主排废管与显影液排放管联通，处于显影液排放工位；或者使主排废管与DI水排放管联通，处于DI水排放工位。

显影过程中喷洒显影液时，所述三通药液阀位于显影液排放工位；喷洒DI水时，三通药液阀位于DI水排放工位，待光纤对射传感器A检测到主排废管中无液体时，三通药液阀自动切换至显影液排放工位。所述光纤对射传感器B检测到显影溶剂收集罐中液体到达限位时对系统进行提示。

本发明的优点与积极效果为：

1.采用本发明的溶液分类回收处理装置，可将显影液和DI水分类回收，既降低了成本，又非常环保。

2.本发明的显影溶剂收集罐，使可重复利用的显影液回收，待重新配比后重复使用，可节约资源，降低制造成本。

附图说明

图1为本发明处于整个显影系统的示意图；

图2为本发明处于显影液排放工位时的结构示意图；

图3为本发明处于DI水排放工位时的结构示意图。

其中：1为显影单元，2为三通药液阀，3显影溶剂收集罐，4为光纤对射传感器A，5为光纤对射传感器B，6为主排废管，7为显影液排放管，8为DI水排放管，M为显影液，N为去离子水。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详细描述。

如图1所示，本发明一种显影液分类回收处理装置，包括三通药液阀2、显影溶剂收集罐3、主排废管6、显影液排放管7及DI水排放管8，其中三通药液阀2和显影溶剂收集罐3设置于显影单元1的下方、并三通药液阀2位于显影溶剂收集罐3的上方。三通药液阀2通过主排废管6与显影单元1连接，所述三通药液阀2通过显影液排放管7和DI水排放管8分别与显影溶剂收集罐3和排废口连接。

所述主排废管6的末端设有光纤对射传感器A4，用于检测主排废管6中液体是否排放干净。所述显影溶剂收集罐3上设有光纤对射传感器B4，用于检测显影溶剂收集罐3中的显影液液位。

一种显影液分类回收处理方法，所述三通药液阀2根据系统的工作状态进行工位切换，分别使主排废管6与显影液排放管7联通，处于显影液排放工位；或者使主排废管6与DI水排放管8联通，处于DI水排放工位。

如图2所示，当显影单元1喷出显影液过程时，三通药液阀2位于显影液排放工位，即主排废管6通过三通药液阀2与显影液排放管7联通，使显影液通过显影液排放管7流入显影溶剂收集罐3中进行回收。

如图3所示，当显影单元1喷出DI水时，三通药液阀2位于DI水排放工位，即主排废管6通过三通药液阀2切换至与DI水排放管8联通，使DI水由排废口排出，待光纤对射传感器A4检测到主排废管6中无液体时，三通药液阀2自动切换至显影液排放工位，以便下次显影进行，这样可有效避免显影液被稀释。在生产过程中，如光纤对射传感器B5检测到液面过高，对系统进行提示，可方便显影溶剂收集罐3进行回收清理，防止显影溶剂溢出。

Claims (7)

1.一种显影液分类回收处理装置，其特征在于：包括三通药液阀(2)、显影溶剂收集罐(3)、主排废管(6)、显影液排放管(7)及DI水排放管(8)，其中三通药液阀(2)和显影溶剂收集罐(3)设置于显影单元(1)的下方、并三通药液阀(2)通过主排废管(6)与显影单元(1)连接，所述三通药液阀(2)通过显影液排放管(7)和DI水排放管(8)分别与显影溶剂收集罐(3)和排废口连接。

2.按权利要求1所述的显影液分类回收处理装置，其特征在于：所述主排废管(6)上设有光纤对射传感器A(4)，用于检测主排废管(6)中液体。

3.按权利要求1所述的显影液分类回收处理装置，其特征在于：所述显影溶剂收集罐(3)上设有光纤对射传感器B(4)，用于检测显影溶剂收集罐(3)中的显影液液位。

4.按权利要求1所述的显影液分类回收处理装置，其特征在于：所述三通药液阀(2)位于显影溶剂收集罐(3)的上方。

5.一种按权利要求1-4任一项所述装置的显影液分类回收处理方法，其特征在于：所述三通药液阀(2)根据系统的工作状态进行工位切换，分别使主排废管(6)与显影液排放管(7)联通，处于显影液排放工位；或者使主排废管(6)与DI水排放管(8)联通，处于DI水排放工位。

6.按权利要求5所述的方法，其特征在于：显影过程中喷洒显影液时，所述三通药液阀(2)位于显影液排放工位；喷洒DI水时，三通药液阀(2)位于DI水排放工位，待光纤对射传感器A(4)检测到主排废管(6)中无液体时，三通药液阀(2)自动切换至显影液排放工位。

7.按权利要求5所述的方法，其特征在于：所述光纤对射传感器B(4)检测到显影溶剂收集罐(3)中液体到达限位时对系统进行提示。