CN104593721B - 一种蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法及其获得的掩膜板 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法及其获得的掩膜板。该方法包括：在掩膜板上制作图案区，所述图案区由蒸镀用开口组成；在所述掩膜板上的图案区至少两侧形成多个虚拟开口，相邻虚拟开口之间形成连接桥；将所述掩膜板张网固定到掩膜板框架上；检测所述掩膜板上的图案区蒸镀用开口的位置精度，若所述蒸镀用开口的位置精度偏差超出阈值，则切断对应该蒸镀用开口的虚拟开口之间的连接桥。本发明通过在图案区两侧设置虚拟开口，在检测到掩膜板上的图案区蒸镀用开口的位置精度偏差超出阈值时，切断对应位置处的虚拟开口之间的连接桥，从而消除应力，使蒸镀用开口的位置偏差保持在允许的范围内。

Description

一种蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法及其获得的掩膜板
技术领域
本发明涉及有机发光二极管显示器制造技术，具体地说，是一种蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法，以及利用该张网方法所获得的掩膜板。
背景技术
有机发光显示器件（OLED）是主动发光器件。相比现在的主流平板显示技术薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD ) , OLED具有高对比度、广视角、低功耗、体积更薄等优点，有望成为继LCD之后的下一代平板显示技术，是目前平板显示技术中受到关注最多的技术之一。
OLED作为自发光的显示器件，为了提高显示器的色域、对比度及亮度效率，往往采用独立的RGB发光层实现彩色显示。蒸镀独立RGB发光层时需要使用fine metal mask（精密金属掩膜板）。为了保持像素的开口率，对mask pattern（掩膜板图案）的位置精度要求越来越高。目前，fine metal mask pattern位置精度一般控制在±4μm以内。然而，参见图1所示，由于张网时应力的存在，会使得开口发生扭曲变形，影响了腌膜板图案的精度。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法，可以消除应力造成的扭曲变形，提高腌膜板图案的精度，进而提高RGB子像素的开口率。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法，包括：
在掩膜板上制作图案区，所述图案区由蒸镀用开口组成；
在所述掩膜板上的图案区至少两侧形成多个虚拟开口，相邻虚拟开口之间形成连接桥；
将所述掩膜板张网固定到掩膜板框架上；
检测所述掩膜板上的图案区蒸镀用开口的位置精度，若所述蒸镀用开口的位置精度偏差超出阈值，则切断对应该蒸镀用开口的虚拟开口之间的连接桥。
进一步地，所述蒸镀用开口呈长条形，所述虚拟开口设置于所述蒸镀用开口宽度方向上的两侧。
进一步地，所述蒸镀用开口呈长条形，所述虚拟开口设置于所述蒸镀用开口长度方向上的两侧。
进一步地，所述图案区四周均设置有所述虚拟开口。
进一步地，所述虚拟开口有多行，多行虚拟开口平行排列。
进一步地，将位置精度偏差超出阈值的蒸镀用开口对应的相邻行的虚拟开口之间的全部连接桥或部分连接桥切断。
进一步地，采用激光开孔设备将虚拟开口之间的连接桥切断。
进一步地，所述阈值为±4μm。
本发明还提供一种利用上述的张网方法所获得的掩膜板。
本发明的蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法及其获得的掩膜板，通过在图案区两侧设置虚拟开口，在检测到掩膜板上的图案区蒸镀用开口的位置精度偏差超出阈值时，切断对应位置处的虚拟开口之间的连接桥，从而消除应力，使蒸镀用开口的位置偏差保持在允许的范围内。
附图说明
图1为现有技术中掩膜板所存在的扭曲变形的示意图。
图2为本发明的蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法的流程图。
图3为根据本发明的张网方法所获得掩膜板的结构示意图。
图4为图3中A处的局部放大图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
如图2所示，并同时参考图3和图4，本发明的蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法，包括：
步骤1：在掩膜板1上制作图案区2，所述图案区2由蒸镀用开口3组成；
步骤2：在所述掩膜板1上的图案区2两侧形成多个虚拟开口4，相邻虚拟开口4之间形成连接桥5；
步骤3：将所述掩膜板1张网固定到掩膜板框架（图中未示出）上；
步骤4：检测所述掩膜板上的图案区蒸镀用开口的位置精度，若所述蒸镀用开口的位置精度偏差（即开口偏离其应在位置的距离）超出阈值，则切断对应该蒸镀用开口的虚拟开口之间的连接桥。阈值一般可取值为±4μm。
其中，蒸镀用开口3呈长条形，而虚拟开口4可以设置于蒸镀用开口3宽度方向上的两侧，也可以设置于所述蒸镀用开口3长度方向上的两侧，还可以在图案区2四周均设置虚拟开口4。虚拟开口4分别有多行和多列，多行虚拟开口4平行排列，虚拟开口4整体上呈矩阵排列。
作为本发明的一个具体的实施例，如图3和图4所示，在本实施例中，在掩膜板上图案区的两侧分别形成有三行虚拟开口，每行虚拟开口由多个虚拟开口组成，各虚拟开口之间形成矩阵排列。在其它实施例中，可以形成更多行的虚拟开口，以实现更为精确的调整。
在利用图3和图4所示的掩膜板蒸镀像素时，先将掩膜板张网固定到掩膜板框架上，然后检测掩膜板上图案区的各开口的位置精度，当检测到掩膜板1上的图案区2蒸镀用开口3的位置精度偏差超出阈值时，根据测量结果和偏差位置计算偏差发生时产生的拉力方向。根据拉力方向，切断对应位置处的相邻行的虚拟开口4之间的连接桥5，以利用虚拟开口4来吸收应力，使变形发生在虚拟开口4处，从而保证图案区2的蒸镀用开口3的位置精度。
根据图案区2蒸镀用开口3的位置精度偏差的大小，可以选择切断全部连接桥5，也可以只切断部分连接桥5。例如图4中a处对应的蒸镀用开口3的位置精度偏差较大，所以a处切断了三行虚拟开口4之间的全部连接桥5；而在b处和c处，由于对应的蒸镀用开口3的位置精度偏差较小，故只需要切断一处连接桥5即可。另外，根据需要，也可以如图4所示切断相邻列的虚拟开口4之间的全部连接桥5。本发明可以对某一单元进调整，从而精确修正各位置的变形量，更能提高腌膜板图案的精度，进而提高RGB子像素的开口率。
在上述实施例中，只在图案区的两侧（本实施例定义为Y方向上的两侧）设置了虚拟开口，因此可以消除Y方向上的应力，也即消除图案区的开口在Y方向上的偏差。在其它实施例中，尤其是在 Slot式掩膜板中，图案区的开口在X方向上也可能会发生位置偏差，因此也可以在图案区的X方向上的两侧也设置虚拟开口，以在图案区的开口在X方向上发生位置偏差时，通过切断X方向上两侧的虚拟开口之间的连接桥来消除图案区的开口在X方向上的位置偏差。
优选地，切断连接桥的步骤可以由激光开孔设备完成。将对图案区开口的测量结果和偏差位置输入计算机，计算偏差发生时产生的拉力方向。根据拉力方向，将激光开孔设备的激光头对准需要切断的连接桥发射激光，利用激光的能量将连接桥熔断。当然，除激光开孔设备外，其它任何可以精确切断相应连接桥的设备和方法均可以应用于本发明。
以上所述实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例，本发明的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换，均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围以权利要求书为准。

Claims (7)

1.一种蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法，其特征在于，包括：
在掩膜板上制作图案区，所述图案区由蒸镀用开口组成；
在所述掩膜板上的图案区至少两侧形成多个虚拟开口，相邻虚拟开口之间形成连接桥；
将所述掩膜板张网固定到掩膜板框架上；
检测所述掩膜板上的图案区蒸镀用开口的位置精度，若所述蒸镀用开口的位置精度偏差超出阈值，则切断对应该蒸镀用开口的虚拟开口之间的连接桥；
其中，所述虚拟开口分别有多行和多列，多行虚拟开口平行排列；将位置精度偏差超出阈值的蒸镀用开口对应的相邻行或相邻列的虚拟开口之间的全部连接桥或部分连接桥切断。
2.根据权利要求1所述的蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法，其特征在于，所述蒸镀用开口呈长条形，所述虚拟开口设置于所述蒸镀用开口宽度方向上的两侧。
3.根据权利要求1所述的蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法，其特征在于，所述蒸镀用开口呈长条形，所述虚拟开口设置于所述蒸镀用开口长度方向上的两侧。
4.根据权利要求1所述的蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法，其特征在于，所述图案区四周均设置有所述虚拟开口。
5.根据权利要求1所述的蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法，其特征在于，采用激光开孔设备将虚拟开口之间的连接桥切断。
6.根据权利要求1所述的蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法，其特征在于，所述阈值为±4μm。
7.一种利用权利要求1~6中任意一项所述的张网方法所获得的掩膜板。
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