CN104549797A - 一种带清洗部件的液体喷洒装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及晶片涂胶显影工艺中的晶元表面喷洒液体的装置，具体地说是一种带清洗部件的液体喷洒装置。包括喷嘴和清洗部件，其中喷嘴包括喷嘴底件和喷嘴上盖，其中喷嘴底件的上表面上沿长度方向设有液体均布槽，所述喷嘴上盖设置于喷嘴底件的上方，喷嘴上盖与所述液体均布槽相对应的一侧向下延伸、并与喷嘴底件的侧壁之间留有用于形成水幕的缝隙，所述喷嘴上盖上设有与喷嘴底件上的液体均布槽连通的液体进口，液体由液体进口进入液体均布槽、并由缝隙流出形成水幕；所述喷嘴喷洒完液体后，将喷嘴放置于清洗部件上，通过清洗部件进行清洗。本发明可以在显影工艺中喷洒均匀的液体，可以有效的保证显影工艺效果。

Description

一种带清洗部件的液体喷洒装置
技术领域
本发明涉及晶片涂胶显影工艺中的晶元表面喷洒液体的装置，具体地说是一种带清洗部件的液体喷洒装置。
背景技术
目前，在在半导体晶片上或它的涂层上形成保护膜以及晶片曝光后的显影工艺中对晶圆表面进行液体喷洒主要包括供液管直喷、通过喷嘴形成水帘或者水幕喷洒这几种方式进行。通过水幕式喷洒可以有效的将液体均匀的喷洒在晶圆表面，但喷嘴形成均匀水幕较为困难，且喷嘴在喷洒液体时需距离晶圆表面0.5-3mm，喷嘴在喷洒液体时晶圆表面的杂质可能会附着在喷嘴上，从而对喷嘴造成污染。
发明内容
针对上述问题，本发明的目的在于提供一种带清洗部件的液体喷洒装置。该装置在显影工艺中喷洒均匀的液体，可以有效的保证显影工艺效果。
为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
一种带清洗部件的液体喷洒装置，包括喷嘴和清洗部件，其中喷嘴包括喷嘴底件和喷嘴上盖，其中喷嘴底件的上表面上沿长度方向设有液体均布槽，所述喷嘴上盖设置于喷嘴底件的上方，喷嘴上盖与所述液体均布槽相对应的一侧向下延伸、并与喷嘴底件的侧壁之间留有用于形成水幕的缝隙，所述喷嘴上盖上设有与喷嘴底件上的液体均布槽连通的液体进口，液体由液体进口进入液体均布槽、并由缝隙流出形成水幕；所述喷嘴喷洒完液体后，将喷嘴放置于清洗部件上，通过清洗部件进行清洗。
所述喷嘴底件上的液体均布槽包括过渡槽和斜坡，所述过渡槽和斜坡均沿长度方向设置于喷嘴底件的上表面上，所述过渡槽和斜坡之间沿长度方向设有低于喷嘴底件上表面的排气凸起。
所述喷嘴上设有保温装置。所述保温装置包括恒温水管道I、恒温水管道II及喷嘴连接块，其中恒温水管道I和恒温水管道II分别沿长度方向设置于喷嘴上盖和喷嘴底件的内部，所述喷嘴连接块连接于喷嘴的端部、并将恒温水管道I和恒温水管道II连通。
所述清洗部件的上表面沿长度方向设有两排孔，所述两排孔分别为喷液孔和排液孔，所述清洗部件内部沿长度方向设有两条分别与喷液孔和排液孔连通的通道I和通道II，所述清洗部件的底部设有分别与通道I和通道II连通的清洗用液体进口和清洗用液体出口。
所述清洗部件的上表面设有凹槽，所述喷液孔和排液孔均设置于所述凹槽内。所述清洗用液体出口与真空管连接。
本发明还包括固定调节装置，所述固定调节装置包括水平调节固定块、喷嘴调节块、喷嘴固定块及调节螺丝，其中喷嘴调节块连接于喷嘴的端部，所述喷嘴固定块转动连接在喷嘴的端部一侧，所述水平调节固定块连接于喷嘴固定块上，所述调节螺丝螺纹连接在水平调节固定块上、并下端与喷嘴调节块抵接，所述喷嘴固定块与显影装置连接，通过旋转调节螺丝使喷嘴转动，从而实现喷嘴的水平调节。所述喷嘴固定块上设有喷嘴绕轴，所述喷嘴的端部转动安装在喷嘴绕轴上。
本发明的优点及有益效果是：
1.本发明中的喷嘴可以在显影工艺中喷洒均匀的液体，可以有效的保证显影工艺效果。
2.本发明中的清洗部件可以及时对喷嘴进行清洗，使喷嘴保持洁净。
附图说明
图1为本发明中喷嘴的立体示意图之一；
图2为本发明中喷嘴的立体示意图之二；
图3为本发明中喷嘴的纵剖结构示意图；
图4为本发明中喷嘴形成水幕的示意图；
图5为本发明中喷嘴内恒温水管道的结构示意图；
图6为本发明中清洗装置的立体示意图之一；
图7为本发明中清洗装置的立体示意图之二；
图8为本发明的纵剖结构示意图。
其中：1为喷嘴底件，2为喷嘴连接块，3为水平调节固定块，4为喷嘴调节块，5为清洗部件，6为喷嘴上盖，7为喷嘴固定块，8为液体进口，9为恒温水管道I，10为恒温水管道II，11为过渡槽，12为斜坡，13为缝隙，14为喷嘴补液管路，15为水幕，16为清洗用液体出口，17为清洗用液体出口，18为通道I，19为通道II，20为调节螺丝，21为喷嘴绕轴，M为恒温水。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详细描述。
如图1-5所示，本发明包括喷嘴和清洗部件5，其中喷嘴包括喷嘴底件1、喷嘴上盖6和保温装置，其中喷嘴底件1的上表面上沿长度方向设有液体均布槽，所述喷嘴上盖6设置于喷嘴底件1的上方，喷嘴上盖6与所述液体均布槽相对应的一侧向下延伸、并与喷嘴底件1的侧壁之间留有用于形成水幕的缝隙13，所述喷嘴上盖6上设有与喷嘴底件1上的液体均布槽连通的液体进口8，液体进口8与喷嘴补液管路14连接。液体由液体进口8进入喷嘴内部液体均布槽、并由缝隙13流出形成水幕；所述喷嘴喷洒完液体后，将喷嘴放置于清洗部件5上，通过清洗部件5进行清洗。
所述喷嘴底件1上的液体均布槽包括过渡槽11和斜坡12，所述过渡槽11和斜坡12均沿长度方向设置于喷嘴底件1的上表面上，所述过渡槽11和斜坡12之间沿长度方向设有低于喷嘴底件1上表面的排气凸起。
所述喷嘴上设有保温装置，所述保温装置包括恒温水管道I 9、恒温水管道II 10及喷嘴连接块2，其中恒温水管道I 9和恒温水管道II 10分别沿长度方向设置于喷嘴上盖6和喷嘴底件1的内部，所述喷嘴连接块2连接于喷嘴的端部、并将恒温水管道I 9和恒温水管道II 10连通。
如图6-8所示，所述清洗部件5的上表面沿长度方向设有两排孔，所述两排孔分别为喷液孔和排液孔，所述清洗部件5的内部沿长度方向设有两条分别与喷液孔和排液孔连通的通道I 18和通道II 19，所述清洗部件5的底部设有分别与通道I 18和通道II 19连通的清洗用液体进口16和清洗用液体出口17。
所述清洗部件5的上表面设有凹槽，所述喷液孔和排液孔均设置于所述凹槽内。清洗部件5上的凹槽与喷嘴出液处组成一密闭空间，可以防止清洗用的液体飞溅。所述清洗用液体出口17与真空管连接。
本发明还包括固定调节装置，所述固定调节装置包括水平调节固定块3、喷嘴调节块4、喷嘴固定块7及调节螺丝20，其中喷嘴调节块4连接于喷嘴的端部，所述喷嘴固定块7上设有喷嘴绕轴21，所述喷嘴的端部转动安装在喷嘴绕轴21上。所述水平调节固定块3连接于喷嘴固定块7上，所述调节螺丝20螺纹连接在水平调节固定块3上、并下端与喷嘴调节块4抵接。所述喷嘴固定块7与显影装置连接，通过旋转调节螺丝20来推动喷嘴调节块4，使喷嘴绕喷嘴绕轴21转动，从而实现喷嘴的水平调整。
所述喷嘴实现水幕式液体喷洒，将液体均匀的喷洒在晶元表面，喷嘴出液口距离晶元在0.5-3mm之间。
本发明的工作原理是：
液体通过液体进口8进入喷嘴内部的过渡槽11内，液体充满过渡槽11后经过排气凸起进入斜坡12上。由于液体在过渡槽11内是充满后流出的，这样从喷嘴补液管路14进入喷嘴内部的液体便可均匀的分布开。液体经过斜坡12时可以起到缓冲的作用，防止液体流速过快影响分布均匀性。最终液体经过缝隙13流出喷嘴，这样就形成均匀水幕，如图4所示。所述喷嘴底件1和喷嘴上盖6上均有恒温水通道。恒温水M通过喷嘴上盖6内的恒温水通道I 9进入，然后通过喷嘴连接块3进入喷嘴底件1的恒温水通道II 10，然后排出。此过程是为了确保喷嘴工作时始终温度恒定，减少温度对喷嘴喷洒的液体的影响，恒温水M在喷嘴内部路径如图5所示。当喷嘴喷洒液体后，喷嘴放置在清洗部件5上，进行喷嘴清洗。当清洗用液体进入清洗部件5时，液体由一排喷液孔喷射到喷嘴上，从而实现对喷嘴的清洗，防止喷嘴被污染。此时清洗用液体出口17与真空管路连接，这样可以迅速将清洗用液体排出。喷嘴清洗完毕后，清洗用液体出口17与真空管路继续保持连接，这样可以将喷嘴表面残余的液体吸走，实现吹干功能。

Claims (9)

1.一种带清洗部件的液体喷洒装置，其特征在于：包括喷嘴和清洗部件(5)，其中喷嘴包括喷嘴底件(1)和喷嘴上盖(6)，其中喷嘴底件(1)的上表面上沿长度方向设有液体均布槽，所述喷嘴上盖(6)设置于喷嘴底件(1)的上方，喷嘴上盖(6)与所述液体均布槽相对应的一侧向下延伸、并与喷嘴底件(1)的侧壁之间留有用于形成水幕的缝隙(13)，所述喷嘴上盖(6)上设有与喷嘴底件(1)上的液体均布槽连通的液体进口(8)，液体由液体进口(8)进入液体均布槽、并由缝隙(13)流出形成水幕；所述喷嘴喷洒完液体后，将喷嘴放置于清洗部件(5)上，通过清洗部件(5)进行清洗。
2.按权利要求1所述的带清洗部件的液体喷洒装置，其特征在于：所述喷嘴底件(1)上的液体均布槽包括过渡槽(11)和斜坡(12)，所述过渡槽(11)和斜坡(12)均沿长度方向设置于喷嘴底件(1)的上表面上，所述过渡槽(11)和斜坡(12)之间沿长度方向设有低于喷嘴底件(1)上表面的排气凸起。
3.按权利要求1所述的带清洗部件的液体喷洒装置，其特征在于：所述喷嘴上设有保温装置。
4.按权利要求3所述的带清洗部件的液体喷洒装置，其特征在于：所述保温装置包括恒温水管道I(9)、恒温水管道II(10)及喷嘴连接块(2)，其中恒温水管道I(9)和恒温水管道II(10)分别沿长度方向设置于喷嘴上盖(6)和喷嘴底件(1)的内部，所述喷嘴连接块(2)连接于喷嘴的端部、并将恒温水管道I(9)和恒温水管道II(10)连通。
5.按权利要求1所述的带清洗部件的液体喷洒装置，其特征在于：所述清洗部件(5)的上表面沿长度方向设有两排孔，所述两排孔分别为喷液孔和排液孔，所述清洗部件(5)内部沿长度方向设有两条分别与喷液孔和排液孔连通的通道I(18)和通道II(19)，所述清洗部件(5)的底部设有分别与通道I(18)和通道II(19)连通的清洗用液体进口(16)和清洗用液体出口(17)。
6.按权利要求5所述的带清洗部件的液体喷洒装置，其特征在于：所述清洗部件(5)的上表面设有凹槽，所述喷液孔和排液孔均设置于所述凹槽内。
7.按权利要求5所述的带清洗部件的液体喷洒装置，其特征在于：所述清洗用液体出口(17)与真空管连接。
8.按权利要求1所述的带清洗部件的液体喷洒装置，其特征在于：还包括固定调节装置，所述固定调节装置包括水平调节固定块(3)、喷嘴调节块(4)、喷嘴固定块(7)及调节螺丝(20)，其中喷嘴调节块(4)连接于喷嘴的端部，所述喷嘴固定块(7)转动连接在喷嘴的端部一侧，所述水平调节固定块(3)连接于喷嘴固定块(7)上，所述调节螺丝(20)螺纹连接在水平调节固定块(3)上、并下端与喷嘴调节块(4)抵接，所述喷嘴固定块(7)与显影装置连接，通过旋转调节螺丝(20)使喷嘴转动，从而实现喷嘴的水平调节。
9.按权利要求8所述的带清洗部件的液体喷洒装置，其特征在于：所述喷嘴固定块(7)上设有喷嘴绕轴(21)，所述喷嘴的端部转动安装在喷嘴绕轴(21)上。
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