CN104451588A - 大口径透镜镀膜夹具旋转盘 - Google Patents
大口径透镜镀膜夹具旋转盘 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104451588A CN104451588A CN201410620573.4A CN201410620573A CN104451588A CN 104451588 A CN104451588 A CN 104451588A CN 201410620573 A CN201410620573 A CN 201410620573A CN 104451588 A CN104451588 A CN 104451588A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- round shape
- handwheel
- base
- spacing ring
- screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Eyeglasses (AREA)
Abstract
一种大口径透镜镀膜夹具旋转盘,包括固定部分和旋转部分,所述的固定部分包括底座、内六角圆柱头螺钉、圆筒形底座、环形基座和聚四氟乙烯垫块;所述的旋转部分包括圆筒形手轮、两个以上的旋转扶手、若干个钢珠、大托盘、限位环和尖端顶紧螺钉。本发明是安装透镜与镀膜夹具的便捷工具,可保证大口径透镜镀膜夹具与透镜在装片过程中的平稳性、安全性以及良好的同心度,确保镀膜的成功率。该夹具旋转盘适用于各类需要保证同心度,均匀性接触或者平稳抬升的安装装置。
Description
技术领域
本发明涉及机械、真空和镀膜等多个领域,涉及薄膜制备技术,特别是一种真空、高温镀膜条件下大口径透镜镀膜夹具旋转盘。
背景技术
对于小曲率半径大口径透镜样品的镀膜,若只采用普通的装片以及夹持方式,镀膜元件在真空、高温镀膜过程中可能因为安装的不均匀,同心度不佳或者略微倾斜,夹具在高速转动和高温热膨胀的双重影响下导致镀膜元件发生崩边、磨边及微裂纹现象,影响透镜的使用性能。这种传统的装夹方式所造成的损害是不能忍受的,如何改进和改善镀膜样品的安装方式是困扰使用者的一个问题。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种用于真空、高温镀膜的大口径透镜镀膜夹具旋转盘,该夹具旋转盘是安装透镜与镀膜夹具的便捷工具,可保证大口径透镜镀膜夹具与透镜在装片过程中的平稳性、安全性以及良好的同心度,确保镀膜的成功率。该夹具旋转盘适用于各类需要保证同心度,均匀性接触或者平稳抬升的安装装置,避免因人为直接安装所造成倾斜,偏差或不同心现象。
本发明的技术解决方案如下:
一种大口径透镜镀膜夹具旋转盘,其特点在于包括固定部分和旋转部分,所述的固定部分包括底座、内六角圆柱头螺钉、圆筒形底座、环形基座和聚四氟乙烯垫块,所述的圆筒形底座固定在所述的底座上,所述的环形基座嵌设在所述的圆筒形底座顶端的环形内台阶上,在所述的圆筒形底座顶端和所述的环形基座的周边上均匀地设置多个聚四氟乙烯垫块;所述的旋转部分包括圆筒形手轮、两个以上的旋转扶手、若干个钢珠、大托盘、限位环和尖端顶紧螺钉,所述的圆筒形手轮的内螺纹旋套在所述的圆筒形底座的外螺纹上,所述的两个以上的旋转扶手固定在所述的圆筒形手轮的外壁上,该圆筒形手轮的顶面具有环形凹槽,所述的大托盘的底面具有与所述的圆筒形手轮的顶面的环形凹槽相对应的环形凹槽;在所述的圆筒形手轮的顶面的环形凹槽和所述的大托盘底面的环形凹槽之间均匀地分布所述的若干个钢珠,所述的限位环有外螺纹,与所述的圆筒形手轮顶端内内侧的内螺纹匹配连接,连接后用尖端顶紧螺钉通过限位环上的螺纹孔和圆筒形手轮内侧的螺纹孔中把限位环与圆筒形手轮固定,固定后的限位环的上部分和大托盘接触,下部分和圆筒形手轮手轮接触,所述的大托盘和限位环内设置圆环形夹具。
本发明的技术效果:
本发明是为小曲率半径大口径透镜在真空、高温条件下的镀膜夹具提供了一种方便、快捷,安全有效的放置透镜的装置和方法。放上所需要保持同心度的夹具和样品后,只需操作该装置的旋转扶手,通过缓慢平稳的抬升大托盘,从而到达夹具缓慢靠近透镜,最后达到实现把透镜放置到夹具上的效果,最终保证了夹具与透镜样品的同心度和平稳性,提供了安全可靠的装夹方式以及到达了严格的装夹要求,为成功镀膜奠定了坚实的基础。
附图说明
图1是本发明小曲率半径大口径透镜镀膜夹具旋转盘剖视图。
图2是本发明小曲率半径大口径透镜镀膜夹具旋转盘等轴视图。
图3是本发明小曲率半径大口径透镜镀膜夹具旋转盘俯视图。
图4是本发明小曲率半径大口径透镜镀膜夹具旋转盘剖视图。
图5是本发明小曲率半径大口径透镜镀膜夹具旋转盘剖视图。此图包含托盘和夹具盘。
图6是本发明小曲率半径大口径透镜镀膜夹具旋转盘部分剖视图。
图7是本发明小曲率半径大口径透镜镀膜夹具旋转盘剖视图。此图包括夹具与透镜完全脱离聚四氟乙烯垫块。
图8是小曲率大口径透镜镀膜夹具9的部分剖视图
图9是小曲率大口径透镜镀膜夹具示意图。
图中:1-底座、2-圆筒形底座、3-手轮、4-旋转扶手、5-钢珠、6-大托盘、7-限位环、8-M3尖端顶紧螺钉、9-小曲率大口径镀膜夹具,包括9-1-环形垫圈、9-2-托盘、9-3-夹具盘、9-4-侧挡块、9-5-调节螺母,9-6-压簧、9-7-盖板、9-8-特制M6螺丝、9-9-压板、9-10-蝶簧和9-11-M3螺丝。10-透镜、11-聚四氟乙烯垫块、12-M3内六角圆柱头螺钉和13-环形基座。
具体实施方式
下面结合实例和附图对本发明作进一步说明,但不应以此限制发明的保护范围。
请参阅图1至图9,不同阶段的装置效果图与部分剖视图。由图可见,本发明大口径透镜镀膜夹具旋转盘,包括固定部分和旋转部分,所述的固定部分包括底座1、内六角圆柱头螺钉12、圆筒形底座2、环形基座13和聚四氟乙烯垫块11,所述的圆筒形底座2固定在所述的底座1上,所述的环形基座13嵌设在所述的圆筒形底座2顶端的环形内台阶上,在所述的圆筒形底座2顶端和所述的环形基座13的周边上设置所述的聚四氟乙烯垫块11;所述的旋转部分包括圆筒形手轮3、两个以上的旋转扶手4、若干个钢珠5、大托盘6、限位环7和尖端顶紧螺钉8,所述的圆筒形手轮3的内螺纹旋套在所述的圆筒形底座2的外螺纹上,所述的两个以上的旋转扶手4固定在所述的圆筒形手轮3的外壁上,该圆筒形手轮3的顶面具有环形凹槽,所述的大托盘6的底面具有与所述的圆筒形手轮3的顶面的环形凹槽相对应的环形凹槽;在所述的圆筒形手轮3的顶面的环形凹槽和所述的大托盘6底面的环形凹槽之间均匀地分布所述的若干个钢珠5,所述的限位环7有外螺纹与所述的圆筒形手轮3顶端内侧的内螺纹匹配连接,连接后用尖端顶紧螺钉8通过限位环7上的螺纹孔和圆筒形手轮3内侧的螺纹孔中把限位环7与圆筒形手轮3固定,固定后的限位环7的上部分和大托盘6接触,下部分和圆筒形手轮3手轮接触,所述的大托盘6和限位环7内设置圆环形夹具9。
实施例
将底座1与圆筒形底座2使用4个M3圆柱头螺钉13穿过底座上相对应的沉孔,再把螺钉拧到相对应的4个均匀分布M3螺孔中,到达底座1与圆筒形底座2连接。安装时应先把圆筒形底座2翻过来使有螺孔的一面朝上,才能保证底座1与圆筒形底座2的成功连接,安装后再把底座1放置在最下面,最后的效果是底座与安装平台直接接触。
再将手轮3的内螺纹旋套在所述的圆筒形底座2上的外螺纹上,同时把4个旋转扶手4通过手轮3上相对应的4个M6螺纹孔拧到手轮3上,然后操作旋转扶手4把手轮3旋至最底部。再把钢珠5(共140粒)均匀地放置在手轮3顶面的凹槽内,把大托盘6安装到手轮3上,大托盘6的凹槽向下使钢柱5完全嵌入到大托盘6凹槽内。然后把限位环7通过自身的外螺纹与手轮3的内螺纹连接起来,最后通过限位环7的4个M3螺纹孔,用4个M3尖端顶紧螺钉8顶住手轮3,到达限位环7固定在手轮3和大托盘6上的效果,起到限位作用。把环形基座13通过M6螺钉安装在圆筒形底座2的上端内侧台阶上,安装好后,再把6个聚四氟乙烯垫块11通过M6螺钉分别布均安装到环形基座13上所对于的螺孔中。事先把大口径透镜镀膜夹具9中的托盘9-2和夹具盘9-3通过M6螺钉连接后,侧挡块9-4、压簧9-6和调节螺母9-5依次安装放入夹具盘9-3侧面处,只需使夹具盘9-3内侧空隙处穿过聚四氟乙烯垫块11安置于大托盘6上即可。然后把环形垫圈9-1放置在聚四氟乙烯垫块11内侧的小台阶上,再戴上硅胶手套轻轻把透镜10小心安放落于圆形环形垫圈9-1上。然后缓慢操作4个旋转扶手4,通过螺纹配合作用使手轮3缓慢上升。因为大托盘6放置在手轮3上,和托盘9-2连接的夹具盘9-3又放置在大托盘6,在大托盘缓慢上升的时候托盘9-2变随之上升。而此时放置于环形垫圈9-1上的透镜10在托盘9-2的上方距离夹具还有一段距离,所以在手轮3缓慢上升后,托盘9-2缓慢上升最后慢慢接近透镜10。因为与托盘9-2连接的内侧有小台阶,台阶上有一圈能放置环形垫圈的凹槽,最后达到在聚四氟乙烯垫块11内侧台阶上的环形垫圈9-1与透镜10共同落到托盘9-2的内侧台阶上,并且环形垫圈落进台阶的凹槽内,起到把透镜装夹到夹具9-2上的效果。此时还需再继续操作旋转扶手,手轮3,大托盘6,托盘9-2,夹具盘9-2,那么环形垫圈9-1和透镜10继续缓慢抬升,环形垫圈9-1与透镜10完全脱离聚四氟乙烯垫块11一段距离后,松动调节螺母9-5使侧挡块9-4通过压簧9-6的弹力顶住透镜10的侧面边缘。把碟簧9-10凹面对叠,4对一串用M3螺丝9-11穿过压板9-9的螺纹孔安装到盖板9-7,再把盖板9-7放到夹具盘9-3上,盖板9-7上的孔和夹具盘9-7上的M6螺纹孔相对应,再把特制M6螺丝9-8拧进去,操作完成后直接拿走整个小曲率大口径镀膜夹具即可进行下一步镀膜操作。整个安装过程保证了大口径透镜与夹具的同心度,不会出现倾斜或偏心现象,能够有效的保证真空室中镀膜的成功率。
Claims (1)
1.一种大口径透镜镀膜夹具旋转盘,其特征在于包括固定部分和旋转部分,所述的固定部分包括底座(1)、内六角圆柱头螺钉(12)、圆筒形底座(2)、环形基座(13)和多个聚四氟乙烯垫块(11),所述的圆筒形底座(2)固定在所述的底座(1)上,所述的环形基座(13)嵌设在所述的圆筒形底座(2)顶端的环形内台阶上,在所述的圆筒形底座(2)顶端和所述的环形基座(13)的周边上设置所述的多个聚四氟乙烯垫块(11);所述的旋转部分包括圆筒形手轮(3)、两个以上的旋转扶手(4)、若干个钢珠(5)、大托盘(6)、限位环(7)和尖端顶紧螺钉(8),所述的圆筒形手轮(3)的内螺纹旋套在所述的圆筒形底座(2)的外螺纹上,所述的两个以上的旋转扶手(4)固定在所述的圆筒形手轮(3)的外壁上,该圆筒形手轮(3)的顶面具有环形凹槽,所述的大托盘(6)的底面具有与所述的圆筒形手轮(3)的顶面的环形凹槽相对应的环形凹槽;在所述的圆筒形手轮(3)的顶面的环形凹槽和所述的大托盘(6)底面的环形凹槽之间均匀地分布所述的若干个钢珠(5),所述的限位环(7)有外螺纹与所述的圆筒形手轮(3)顶端内内侧的内螺纹匹配连接,连接后用尖端顶紧螺钉(8)通过限位环(7)上的螺纹孔和圆筒形手轮(3)内侧的螺纹孔中把限位环(7)与圆筒形手轮(3)固定,固定后的限位环(7)的上部分和大托盘(6)接触,下部分和圆筒形手轮(3)手轮接触,所述的大托盘(6)和限位环(7)内设置圆环形夹具(9)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410620573.4A CN104451588B (zh) | 2014-11-06 | 2014-11-06 | 大口径透镜镀膜夹具旋转盘 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410620573.4A CN104451588B (zh) | 2014-11-06 | 2014-11-06 | 大口径透镜镀膜夹具旋转盘 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN104451588A true CN104451588A (zh) | 2015-03-25 |
CN104451588B CN104451588B (zh) | 2017-03-15 |
Family
ID=52898323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201410620573.4A Active CN104451588B (zh) | 2014-11-06 | 2014-11-06 | 大口径透镜镀膜夹具旋转盘 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN104451588B (zh) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104887299A (zh) * | 2015-06-23 | 2015-09-09 | 苏州市瑞晟医疗器械有限公司 | 一种冲击波骨科治疗机的波源装置 |
CN106565105A (zh) * | 2016-11-04 | 2017-04-19 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具 |
CN107916409A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-04-17 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种零件切换装置以及蒸镀系统 |
CN109989799A (zh) * | 2017-12-29 | 2019-07-09 | 天津哈那科技有限公司 | 一种汽车机油冷却器 |
CN113853274A (zh) * | 2019-01-30 | 2021-12-28 | 卡尔蔡司光学国际有限公司 | 用于将光学镜片引入到转动装置中的设备和方法 |
CN114434361A (zh) * | 2022-02-23 | 2022-05-06 | 安徽光智科技有限公司 | 整流罩凸面镀膜工装 |
CN114473912A (zh) * | 2022-02-23 | 2022-05-13 | 安徽光智科技有限公司 | 整流罩凹面镀膜工装 |
CN114714111A (zh) * | 2021-01-05 | 2022-07-08 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种封泵器阀板的加工装置和方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN202726677U (zh) * | 2012-07-12 | 2013-02-13 | 南阳中一光学装备有限公司 | 一种大口径透镜的夹持装置 |
-
2014
- 2014-11-06 CN CN201410620573.4A patent/CN104451588B/zh active Active
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104887299A (zh) * | 2015-06-23 | 2015-09-09 | 苏州市瑞晟医疗器械有限公司 | 一种冲击波骨科治疗机的波源装置 |
CN106565105A (zh) * | 2016-11-04 | 2017-04-19 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具 |
CN106565105B (zh) * | 2016-11-04 | 2019-04-19 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具 |
CN107916409A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-04-17 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种零件切换装置以及蒸镀系统 |
CN107916409B (zh) * | 2017-11-27 | 2019-11-26 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种零件切换装置以及蒸镀系统 |
CN109989799A (zh) * | 2017-12-29 | 2019-07-09 | 天津哈那科技有限公司 | 一种汽车机油冷却器 |
CN113853274A (zh) * | 2019-01-30 | 2021-12-28 | 卡尔蔡司光学国际有限公司 | 用于将光学镜片引入到转动装置中的设备和方法 |
CN113853274B (zh) * | 2019-01-30 | 2023-10-24 | 卡尔蔡司光学国际有限公司 | 用于将光学镜片引入到转动装置中的设备和方法 |
CN114714111A (zh) * | 2021-01-05 | 2022-07-08 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种封泵器阀板的加工装置和方法 |
CN114714111B (zh) * | 2021-01-05 | 2023-11-07 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种封泵器阀板的加工装置和方法 |
CN114434361A (zh) * | 2022-02-23 | 2022-05-06 | 安徽光智科技有限公司 | 整流罩凸面镀膜工装 |
CN114473912A (zh) * | 2022-02-23 | 2022-05-13 | 安徽光智科技有限公司 | 整流罩凹面镀膜工装 |
CN114434361B (zh) * | 2022-02-23 | 2023-12-05 | 安徽光智科技有限公司 | 整流罩凸面镀膜工装 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104451588B (zh) | 2017-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104451588A (zh) | 大口径透镜镀膜夹具旋转盘 | |
US20160339528A1 (en) | Pneumatic-Type Precision Annular Workpiece Inner Positioning Surface Clamping Device | |
CN103794532B (zh) | 找位夹具和位置调整方法 | |
US10195704B2 (en) | Lift pin for substrate processing | |
CN204599977U (zh) | 一种多功能转台 | |
CN105818009A (zh) | 一种更换方便的五金加工用夹紧装置 | |
US9248536B2 (en) | Turntable | |
CN111326438A (zh) | 调平装置及反应腔室 | |
CN202789979U (zh) | 一种自沉螺栓锁紧装置 | |
CN105665768B (zh) | 一种快速涨紧工件的工装 | |
CN103996643A (zh) | 立柱式陶瓷环定位用销 | |
CN106050940A (zh) | 一种轴承安装扣和一种轴承组件 | |
CN209998758U (zh) | 自适应定心机床地脚 | |
CN210090180U (zh) | 一种顶破试验夹具 | |
CN110223900B (zh) | 一种利用体视显微镜对中扫描电镜钨灯丝的操作方法 | |
CN105632972B (zh) | 反应腔室 | |
TW201912344A (zh) | 組合電子裝置的分度盤 | |
CN210732123U (zh) | 一种等离子体cvd晶圆加热器用表面修磨装置 | |
CN110757135A (zh) | 拆装工装 | |
CN213136502U (zh) | 一种高度可调节的定位夹具 | |
JP6570074B2 (ja) | チャック機構 | |
CN220548115U (zh) | 一种静电吸盘部件陶瓷面的打磨浸泡双用治具 | |
CN220902562U (zh) | 一种自定心夹紧装置 | |
CN205228415U (zh) | 一种砧铁调平装置 | |
CN215968442U (zh) | 一种传感器磁环装配夹具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |