CN104363692A - 一种新型精密调谐升降基台 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种新型精密调谐升降基台，精密调谐升降基台与反应腔体构成微波等离子反应腔，所述反应腔体底部固定在主基台上，位于所述主基台上套设有同轴间隙配合的大调谐基台和小调谐基台，其中所述小调谐基台位于反应腔体的中轴线上，所述大调谐基台与主基台间隙配合，本发明的一种新型精密调谐升降基台，带有两个调谐基台，并作密封处理，其次能够对微波等离子体反应腔进行精密调谐，使腔体内获得稳定的微波等离子放电，为微波等离子体反应腔内稳定的物理化学反应提供保障，最后不仅可以精密且快速地完成微波等离子体反应腔的调谐，从而获得能够稳定工作的微波等离子体，且结构简单，操作简便。
Description
技术领域
本发明涉及微波等离子体反应腔内的谐振装置，尤其涉及一种新型精密调谐升降基台。
背景技术
微波等离子体反应腔通过升降基台进行调谐，反应腔内的微波等离子体依靠谐振电磁场的激发进行工作。如果微波等离子体反应腔缺少精密的调谐，整个微波系统中的能量将失谐，不仅会使微波功率不能有效馈入微波等离子体反应腔，而且会造成微波等离子体放电不稳定，甚至熄灭。目前，公知的升降基台仅有一个调谐基台，或者升降基台没有调谐作用。
发明内容
本发明的目的是解决上述提出的问题，提供一种能够快速完成等离子体反应腔调谐的一种新型精密调谐升降基台。
本发明的目的是以如下方式实现的：一种新型精密调谐升降基台，精密调谐升降基台与反应腔体构成微波等离子反应腔，所述反应腔体底部固定在主基台上，位于所述主基台上套设有同轴间隙配合的大调谐基台和小调谐基台，其中所述小调谐基台位于反应腔体的中轴线上，所述大调谐基台与主基台间隙配合。
更进一步的优化方案是，上述的一种新型精密调谐升降基台，所述大调谐基台底端通过法兰盘与大波纹管和小波纹管密封连接。
更进一步的优化方案是，上述的一种新型精密调谐升降基台，所述小调谐基台底端与小波纹管一端通过法兰盘密封连接。
更进一步的优化方案是，上述的一种新型精密调谐升降基台，所述小调谐基台的直径尺寸要求范围在30-75毫米，所述大调谐基台的直径尺寸要求范围在80-120毫米。
更进一步的优化方案是，上述的一种新型精密调谐升降基台，所述大调谐基台和小调谐基台的调谐长度范围分别是90毫米和155毫米。
更进一步的优化方案是，上述的一种新型精密调谐升降基台，所述主基台与反应腔体焊接。
更进一步的优化方案是，上述的一种新型精密调谐升降基台，所述反应腔体端部连接将微波传送到反应腔体内的模式转换器，所述模式转换器横向开口一端连接短路活塞，其横向开口另一端连接销钉调节器。
本发明的优点：本发明的一种新型精密调谐升降基台，带有两个调谐基台，并作密封处理。其次能够对微波等离子体反应腔进行精密调谐，使腔体内获得稳定的微波等离子放电，为微波等离子体反应腔内稳定的物理化学反应提供保障。最后不仅可以精密且快速地完成微波等离子体反应腔的调谐，从而获得能够稳定工作的微波等离子体，且结构简单，操作简便。
附图说明
为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式：
见图1所示，一种新型精密调谐升降基台，精密调谐升降基台与反应腔体1构成微波等离子反应腔，所述反应腔体1底部固定在主基台2上，位于所述主基台2上套设有同轴间隙配合的大调谐基台3和小调谐基台4，其中所述小调谐基台4位于反应腔体1的中轴线上，所述大调谐基台3与主基台2间隙配合。所述大调谐基台3底端通过法兰盘与大波纹管6和小波纹管5密封连接。所述小调谐基台4底端与小波纹管5一端通过法兰盘密封连接。所述小调谐基台4的直径尺寸要求范围在30-75毫米，所述大调谐基台3的直径尺寸要求范围在80-120毫米。所述大调谐基台3和小调谐基台4的调谐长度范围分别是90毫米和155毫米。所述主基台2与反应腔体1焊接。所述反应腔体1端部连接将微波传送到反应腔体1内的模式转换器7，所述模式转换器7横向开口一端连接短路活塞8，其横向开口另一端连接销钉调节器9。
在图1所示实施例中，反应腔体1与箱体11通过螺栓固定连接，基片10位于小调谐基台4上，大调谐基台3与主基台2之间大部分采用间隙配合，大调谐基台3和小调谐基台4之间采用间隙配合，同时大调谐基台3的一端、小波纹管5的一端和大波纹管6一端通过法兰盘密封连接，小调谐基台4的一端与小波纹管5的另一端通过法兰盘密封连接。主基台2与反应腔体1之间焊接连接。工作时，主基台2的一端与大波纹管6的另一端通过法兰盘密封连接。在大波纹管6和小波纹管5的伸缩缓冲作用下升降基台可以平稳地进行升降，实现对微波等离子体反应腔的精密调谐。
反应腔体1直径180毫米，高220毫米，材质是304不锈钢；大调谐基台3和小调谐基台4的直径分别为100毫米和50毫米，高度分别为350毫米和510毫米，大调谐基台3材质是304不锈钢，小调谐基台4材质是304不锈钢；主基台2内径是100毫米，高度为48毫米，材质是304不锈钢；大波纹管6壁厚0.25毫米，型号是ISO80FXC180，材质是304不锈钢；小波纹管5壁厚0.2毫米，型号是KF40FXC100，材质是304不锈钢。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种新型精密调谐升降基台，其特征在于：精密调谐升降基台与反应腔体(1)构成微波等离子反应腔，其中所述反应腔体(1)底部固定在主基台(2)上，位于所述主基台(2)上套设有同轴间隙配合的大调谐基台(3)和小调谐基台(4)，其中所述小调谐基台(4)位于反应腔体(1)的中轴线上，所述大调谐基台(3)与主基台(2)间隙配合。
2.根据权利要求1所述的一种新型精密调谐升降基台，其特征在于：所述大调谐基台(3)底端通过法兰盘与大波纹管(6)和小波纹管(5)密封连接。
3.根据权利要求2所述的一种新型精密调谐升降基台，其特征在于：所述小调谐基台(4)底端与小波纹管(5)一端通过法兰盘密封连接。
4.根据权利要求3所述的一种新型精密调谐升降基台，其特征在于：所述小调谐基台(4)的直径尺寸要求范围在30-75毫米，所述大调谐基台(3)的直径尺寸要求范围在80-120毫米。
5.根据权利要求4所述的一种新型精密调谐升降基台，其特征在于：所述大调谐基台(3)和小调谐基台(4)的调谐长度范围分别是90毫米和155毫米。
6.根据权利要求3所述的一种新型精密调谐升降基台，其特征在于：所述主基台(2)与反应腔体(1)焊接。
7.根据权利要求1或6所述的一种新型精密调谐升降基台，其特征在于：所述反应腔体(1)端部连接将微波传送到反应腔体(1)内的模式转换器(7)，所述模式转换器(7)横向开口一端连接短路活塞(8)，其横向开口另一端连接 销钉调节器(9)。
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