CN104316022A - 改进的紧凑型精密激光三角测距仪 - Google Patents

改进的紧凑型精密激光三角测距仪 Download PDF

Info

Publication number
CN104316022A
CN104316022A CN201410609357.XA CN201410609357A CN104316022A CN 104316022 A CN104316022 A CN 104316022A CN 201410609357 A CN201410609357 A CN 201410609357A CN 104316022 A CN104316022 A CN 104316022A
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
imaging
light
light intensity
mirror
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201410609357.XA
Other languages
English (en)
Inventor
尚修鑫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou PTC Optical Instrument Co Ltd
Original Assignee
Suzhou PTC Optical Instrument Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou PTC Optical Instrument Co Ltd filed Critical Suzhou PTC Optical Instrument Co Ltd
Priority to CN201410609357.XA priority Critical patent/CN104316022A/zh
Publication of CN104316022A publication Critical patent/CN104316022A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C3/00Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
    • G01C3/10Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders using a parallactic triangle with variable angles and a base of fixed length in the observation station, e.g. in the instrument
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C3/00Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
    • G01C3/02Details

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Abstract

本发明公开了一种改进的紧凑型精密激光三角测距仪,所述仪器本体内的激光束经过汇聚镜片和激光反射镜反射后,倾斜汇聚到设于仪器本体外的样品表面,样品表面的反射光经过成像反射镜的反射后形成与准直激光束平行的成像光束入射到成像镜片组,最后成像光束投射在图像传感器上,和传统激光三角仪相比有效减小了仪器尺寸,使该激光三角仪适合狭小测量空间的要求,同时在光路中增加光强衰减片,其作用是对激光束强度进行适当衰减,以适应图像传感器探测,具体放置位置不限,由于采用二氧化硅基片表面蒸镀金属膜,这种光强衰减片的具有良好的光衰减效果。

Description

改进的紧凑型精密激光三角测距仪
  
技术领域
本发明涉及一种位移测量仪器,特别涉及一种改进的紧凑型精密激光三角测距仪。 
背景技术
激光三角测距方法是光电检测技术的一种,由于该方法具有结构简单、测量速度快、实时处理能力强、使用灵活方便等优点在距离、位移、高度以及三维形貌等检测中有着广泛的应用。 
激光三角测距仪一般由激光二极管、激光束汇聚镜片、成像镜组和探测器组成,其特点是激光束汇聚光路与成像探测光路之间有一夹角。当物体表面的位置发生改变时,其所成的像在探测器上也发生相应的位移。通过像移和实际位移之间的关系式,真实的物体位移可以由对像移的检测和计算得到。 
随着近些年工厂自动化的发展需求,激光三角法在测量范围、测量精度和测量频率等技术指标上都有非常大的提升,由此适应了生产自动化应用中对测量精度、测量速度等更苛刻的要求。但是,由于该技术特点是激光束汇聚光路与成像探测光路之间有一夹角,限制了该仪器的小型化发展,特别是需要用多个激光三角仪对小尺寸样品进行多点测量的应用。 
  
发明内容
为了弥补以上不足,本发明提供了一种改进的紧凑型精密激光三角测距仪,该改进的紧凑型精密激光三角测距仪同传统激光三角仪相比,有效地缩小了外形尺度。 
本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是:一种改进的紧凑型精密激光三角测距仪,包括仪器本体,所述仪器本体内设有激光二极管准直模块、激光束汇聚镜片、成像镜片组和图像传感器,还包括激光反射镜和成像反射镜,所述激光二极管准直模块发射准直激光束,该激光束经过汇聚镜片和激光反射镜反射后,倾斜汇聚到设于仪器本体外的样品表面,样品表面的反射光经过成像反射镜的反射后形成与准直激光束平行的成像光束入射到成像镜片组,最后成像光束投射在图像传感器上,和传统激光三角仪相比有效减小了仪器尺寸。所述激光光路中设有光强衰减片,所述光强衰减片设于激光光路中任一位置, 
作为本发明的进一步改进,所述金属膜为铝膜、铜膜或铬膜中的一种。
作为本发明的进一步改进,所述仪器本体位于样品和激光反射镜、成像反射镜之间的光路上设有一探测窗口,所述探测窗口对准直激光束波长高透,对其他激光波长高反射,可有效阻挡外界杂光对测量干扰和灰尘进入仪器内部。 
作为本发明的进一步改进,所述成像镜片组后设有一孔径光阑, 用于限制成像光束宽度,使该激光三角仪适用于测量漫反射样品。 
本发明的有益效果是:本发明通过在光路中引入激光反射镜和成像反射镜,使得激光发射光路和成像光路平行,和传统激光三角仪相比有效减小了仪器尺寸,使该激光三角仪适合狭小测量空间的要求,同时在光路中增加光强衰减片,其作用是对激光束强度进行适当衰减,以适应图像传感器探测,具体放置位置不限,由于采用二氧化硅基片表面蒸镀金属膜,这种光强衰减片的具有良好的光衰减效果。 
  
附图说明
图1为本发明结构示意图; 
图中标示:1-激光二极管准直模块;2-激光束汇聚镜片;3-激光反射镜;4-成像反射镜;5-成像镜片组;6-图像传感器;7-光强衰减片;8-探测窗口;9-样品;10-孔径光阑;11-准直激光束;12-成像光束,13-仪器本体。
  
具体实施方式
为了加深对本发明的理解,下面将结合实施例和附图对本发明作进一步详述,该实施例仅用于解释本发明,并不构成对本发明保护范围的限定。 
图1示出了本发明一种改进的紧凑型精密激光三角测距仪的一种实施方式,包括仪器本体13,所述仪器本体13内设有激光二极管准直模块1、激光束汇聚镜片2、成像镜片组5和图像传感器6,还包括激光反射镜3和成像反射镜4,所述激光二极管准直模块1发射准直激光束11,该激光束经过激光束汇聚镜片2和激光反射镜3反射后,倾斜汇聚到设于仪器本体外的样品9表面,样品9表面的反射光经过成像反射镜4的反射后形成与准直激光束11平行的成像光束12入射到成像镜片组5,最后成像光束12投射在图像传感器6上,当样品9的表面相对激光三角仪前后移动时,成像光束12投射到图像传感器上的位置也相应的变化,该图像传感器将记录到的成像光束位置变化图像传送到计算机,由计算机最终计算得出样品位移。 
所述激光光路中设有光强衰减片7,所述光强衰减片7设于激光光路中任一位置,其作用是对激光束强度进行适当衰减,以适应图像传感器探测,具体放置位置不限。所述光强衰减片7为一二氧化硅基片,所述二氧化硅基片表面蒸镀金属膜。所述金属膜为铝膜、铜膜或铬膜中的一种。 
所述仪器本体位于样品9和激光反射镜3、成像反射镜4之间的光路上设有一探测窗口8,所述探测窗口8对准直激光束11波长高透,对其他激光波长高反射,可有效阻挡外界杂光对测量干扰和灰尘进入仪器内部。 
所述成像镜片组后设有一孔径光阑10, 用于限制成像光束宽度,使该激光三角仪适用于测量漫反射样品。 
  

Claims (4)

1.一种改进的紧凑型精密激光三角测距仪,包括仪器本体(13),所述仪器本体(13)内设有激光二极管准直模块(1)、激光束汇聚镜片(2)、成像镜片组(5)和图像传感器(6),其特征在于:还包括激光反射镜(3)和成像反射镜(4),所述激光二极管准直模块(1)发射准直激光束(11),该激光束经过激光束汇聚镜片(2)和激光反射镜(3)反射后,倾斜汇聚到设于仪器本体外的样品(9)表面,样品(9)表面的反射光经过成像反射镜(4)的反射后形成与准直激光束(11)平行的成像光束(12)入射到成像镜片组(5),最后成像光束(12)投射在图像传感器(6)上所述激光光路中设有光强衰减片(7),所述光强衰减片(7)设于激光光路中任一位置,所述光强衰减片(7)为一二氧化硅基片,所述二氧化硅基片表面蒸镀金属膜。
2.根据权利要求1所述的改进的紧凑型精密激光三角测距仪,其特征在于:所述金属膜为铝膜、铜膜或铬膜中的一种。
3.根据权利要求1所述的改进的紧凑型精密激光三角测距仪,其特征在于:所述仪器本体(13)位于样品(9)和激光反射镜(3)、成像反射镜(4)之间的光路上设有一探测窗口(8),所述探测窗口(8)对准直激光束(11)波长高透,对其他激光波长高反射。
4.根据权利要求1所述的改进的紧凑型精密激光三角测距仪,其特征在于:所述成像镜片组(5)后设有一孔径光阑(10), 用于限制成像光束宽度,使该激光三角仪适用于测量漫反射样品。
CN201410609357.XA 2014-11-04 2014-11-04 改进的紧凑型精密激光三角测距仪 Pending CN104316022A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410609357.XA CN104316022A (zh) 2014-11-04 2014-11-04 改进的紧凑型精密激光三角测距仪

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410609357.XA CN104316022A (zh) 2014-11-04 2014-11-04 改进的紧凑型精密激光三角测距仪

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN104316022A true CN104316022A (zh) 2015-01-28

Family

ID=52371288

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410609357.XA Pending CN104316022A (zh) 2014-11-04 2014-11-04 改进的紧凑型精密激光三角测距仪

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104316022A (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107727077A (zh) * 2017-10-12 2018-02-23 国家海洋局北海环境监测中心 一种绿潮定量观测装置和方法
CN109031243A (zh) * 2018-08-15 2018-12-18 北京大汉正源科技有限公司 一种激光雷达发射装置及发射方法
CN111830525A (zh) * 2020-07-28 2020-10-27 广东博智林机器人有限公司 一种激光三角测距系统
WO2022161123A1 (zh) * 2021-01-29 2022-08-04 上海睿钰生物科技有限公司 激光测距方法、对焦方法、激光测距系统、对焦系统及自动对焦分析装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0566114A (ja) * 1991-09-06 1993-03-19 Hitachi Ltd 透明物体の厚み測定装置
CN1280307A (zh) * 2000-06-29 2001-01-17 上海交通大学 激光光强衰减方法
CN2699313Y (zh) * 2004-02-12 2005-05-11 王樂安 激光测距仪
CN103528528A (zh) * 2013-10-18 2014-01-22 苏州精创光学仪器有限公司 紧凑型精密激光三角测距仪
CN203551814U (zh) * 2013-11-29 2014-04-16 哈尔滨理工大学 金属镀膜的二氧化硅玻璃光衰减片

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0566114A (ja) * 1991-09-06 1993-03-19 Hitachi Ltd 透明物体の厚み測定装置
CN1280307A (zh) * 2000-06-29 2001-01-17 上海交通大学 激光光强衰减方法
CN2699313Y (zh) * 2004-02-12 2005-05-11 王樂安 激光测距仪
CN103528528A (zh) * 2013-10-18 2014-01-22 苏州精创光学仪器有限公司 紧凑型精密激光三角测距仪
CN203551814U (zh) * 2013-11-29 2014-04-16 哈尔滨理工大学 金属镀膜的二氧化硅玻璃光衰减片

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107727077A (zh) * 2017-10-12 2018-02-23 国家海洋局北海环境监测中心 一种绿潮定量观测装置和方法
CN107727077B (zh) * 2017-10-12 2020-05-12 国家海洋局北海环境监测中心 一种绿潮定量观测装置和方法
CN109031243A (zh) * 2018-08-15 2018-12-18 北京大汉正源科技有限公司 一种激光雷达发射装置及发射方法
CN111830525A (zh) * 2020-07-28 2020-10-27 广东博智林机器人有限公司 一种激光三角测距系统
CN111830525B (zh) * 2020-07-28 2023-04-07 广东博智林机器人有限公司 一种激光三角测距系统
WO2022161123A1 (zh) * 2021-01-29 2022-08-04 上海睿钰生物科技有限公司 激光测距方法、对焦方法、激光测距系统、对焦系统及自动对焦分析装置
US12092482B2 (en) 2021-01-29 2024-09-17 Shanghai Ruiyu Biotech Co., Ltd. Methods and systems for laser distance measuring, fousing methods and systems, and devices for auto-focusing analysis

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103791860B (zh) 基于视觉检测技术的微小角度测量装置及方法
CN110553605B (zh) 一种激光雷达偏转角误差的测量系统及方法
CN103983214B (zh) 一种利用无衍射光测量导轨四自由度运动误差的装置
CN103528528A (zh) 紧凑型精密激光三角测距仪
CN110470231B (zh) 一种透明物体厚度激光测量方法和系统
CN108444410B (zh) 会聚激光发射光轴与跟踪视轴平行度测量装置及方法
CN104316022A (zh) 改进的紧凑型精密激光三角测距仪
CN103940348A (zh) 一种工作台运动误差多自由度检测的装置及方法
CN205562431U (zh) 具有自动对焦功能的晶圆检测设备
CN106989676B (zh) 一种超高速运动目标外形尺寸光电在线测试系统及方法
CN101922932B (zh) 一种角锥棱镜坐标测量误差的补偿装置
CN112946673B (zh) 一种激光测距方法、对焦方法、激光测距系统及对焦系统
JP2015169491A (ja) 変位検出装置および変位検出方法
CN103363951A (zh) 三角法距离测量系统和方法
CN105676229A (zh) 一种适用于低量程的激光测距结构
CN103925890B (zh) 一种基于光束畸变的三维角度测量系统
CN105444729B (zh) 一种光学远距离测量的方法
CN105674934B (zh) 一种用于含有中空主镜的折反系统光学间隔的测定方法
CN109798883B (zh) 一种高精度二维平移台垂直度检测方法及装置
CN101776758B (zh) 一种测定两个目标点之间距离的测距仪
CN109579744A (zh) 基于光栅的跟随式三维光电自准直方法与装置
CN108469531A (zh) 基于多普勒效应的双重修正式测速传感器及标定与测量方法
CN203518946U (zh) 紧凑型精密激光三角测距仪
CN114858097A (zh) 激光雷达转镜夹角测量方法及测量装置
CN105783859B (zh) 一种三轴运动平台的高精度控制方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20150128