CN205562431U - 具有自动对焦功能的晶圆检测设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及自动对焦晶圆检测设备，此设备中，在显微镜物镜和管镜中间安装分光棱镜，自动对焦光源从外围射出激光，经分光棱镜反射通过物镜聚焦在晶圆上，晶圆的反射光线返回到物镜后，分为两部分，一部分光束经分光棱镜和管镜成像在相机，另一部分光经分光棱镜反射到自动对焦探测器，通过参数设定及内部机构换算，精密移动平台根据结果上下移动，实现自动对焦，同时在相机中，会得到清晰的图像。本实用新型通过自动对焦，可解决透明或不透明板上的线条或图像检测问题，并且可解决不同厚度的基板的焦面的自动调节。对焦时间短，精度高，客观有效的提高检测精度和速度。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体行业的晶圆检测技术领域，主要涉及在晶圆、掩膜板、PCB板、光学玻璃等透明或不透明衬底的图形或线条的检测。
背景技术
晶圆检测设备是半导体装备行业中重要的精密检测测量设备。常用的对焦方法是人为查找和被动对焦。人为查找具有主观性并不方便快捷。被动对焦采用图像处理技术，极不方便，其响应时间长，对焦精度低。
本实用新型采用主动对焦方式，方法简单，对焦速度快，对焦的图像清晰明了，客观简单有效。
发明内容
本实用新型是提供一种具有自动对焦功能的晶圆检测设备，能够进行快速对焦，提高检测设备的处理速度。
本实用新型的技术方案是：
一种具有自动对焦功能的晶圆检测设备，包括显微镜、对焦系统和精密移动平台。显微镜包括照明显微镜主体、光源、管镜、物镜、相机；对焦系统包括对焦光源、分光棱镜和探测器。
显微镜物镜和管镜中间安装分光棱镜，自动对焦光源从外围射出激光，经分光棱镜反射通过物镜聚焦在晶圆上，晶圆的反射光线返回到物镜后，分为两部分，一部分光束经分光棱镜和管镜成像在相机，另一部分光经分光棱镜反射到自动对焦探测器，通过参数设定及内部机构换算，精密移动平台根据结果上下移动，实现自动对焦，同时在相机中，会得到清晰的图像。
上述的显微镜的物镜和管镜为无限远光学成像系统。上述的精密位移平台可实现上下移动。
上述的分光棱镜为可见光半透半反型。上述的自动对焦光源和探测器在同一部件上。
本实用新型的优点是：
具有自动对焦功能的晶圆检测设备方法简单，对焦速度快，对焦的图像清晰明了，客观简单有效。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图
具体实施方式
下面结合附图，通过实施例对本实用新型作进一步地说明：
如图1所示，一种具有自动对焦功能的晶圆检测设备，包括显微镜、对焦系统和精密移动平台7。显微镜包括显微镜主体8、照明光源9、管镜3、物镜4、相机5；对焦系统包括对焦光源1、分光棱镜2和探测器1’。
显微镜物镜4和管镜3中间安装分光棱镜2，自动对焦光源1从外围射出激光，经分光棱镜2反射通过物镜4聚焦在晶圆6上，晶圆6的反射光线返回到物镜4后，分为两部分，一部分光束经分光棱镜2和管镜3成像在相机5，另一部分光经分光棱镜2反射到自动对焦探测器1’，通过参数设定及内部机构换算，精密移动平台7根据结果上下移动，实现自动对焦，同时在相机中，会得到清晰的图像。
在本实用新型中，管镜5和物镜4组成无限远成像系统，无限远校正光学系统中，由标本通过物镜的光线不在物镜成像，而是作为无限远的平行光束进入成像透镜，由成像透镜形成中间像。改变物镜与管镜的间隔，添加分光镜或者棱镜和滤光片等，不会影响原有的成像质量。
在本实用新型中，精密移动平台7需能实现Z轴上下移动，在实际晶圆检测过程中，平台需实现XYZ三轴联动。
在本实用新型中，显微镜的光源9为汞灯，波段为可见光区域，分光棱镜2为普通的分光棱镜，实用性强。
在本实用新型中，显微镜主体8提供稳定的结构，支撑设备的平衡和稳定。
本实用新型的有效技术效果是，通过自动对焦，可解决透明或不透明板上的线条或图像检测问题，，并且可解决不同厚度的基板的焦面的自动调节。相比较传统的对焦方式，本实用新型的对焦方式，对焦时间短，精度高，客观有效的提高了检测精度和速度。
Claims (5)
1.一种具有自动对焦功能的晶圆检测设备，其特征在于：包括显微镜、对焦系统和精密移动平台；
所述显微镜包括照明光源、管镜、物镜、相机；
所述对焦系统包括对焦光源、分光棱镜和探测器；
其特征在于：显微镜物镜和管镜中间安装分光棱镜，自动对焦光源从外围射出激光，经分光棱镜反射通过物镜聚焦在晶圆上，晶圆的反射光线返回到物镜后，分为两部分，一部分光束经分光棱镜和管镜成像在相机，另一部分光经分光棱镜反射到自动对焦探测器，通过参数设定及内部机构换算，精密移动平台根据结果上下移动，实现自动对焦，同时在相机中，会得到清晰的图像。
2.根据权利要求1所述的具有自动对焦功能的晶圆检测设备，其特征在于显微镜的物镜和管镜为无限远光学成像系统。
3.根据权利要求1所述的具有自动对焦功能的晶圆检测设备，其特征在于精密位移平台可实现上下移动。
4.根据权利要求1所述的具有自动对焦功能的晶圆检测设备，其特征在于分光棱镜为可见光半透半反型。
5.根据权利要求1所述的具有自动对焦功能的晶圆检测设备，其特征在于自动对焦光源和探测器在同一部件上。
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| CN201521042389.2U CN205562431U (zh) | 2015-12-15 | 2015-12-15 | 具有自动对焦功能的晶圆检测设备 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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