CN104302950A - 致动器及具有该致动器的精密机械 - Google Patents

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Abstract

在本发明的致动器中，两条导轨（2）在驱动带（1）的宽度方向两侧排列配置。沿着两条导轨（2）往复运动的两个滑动件（3），隔开规定的间隔被固定在连接板（4）上。驱动带（1）被固定在连接板（4）的两个滑动件（3）之间。驱动带（1）和两个滑动件（3）的接合部位仅是连接板（4）的固定有两个滑动件的部分之间的部分。

Description

致动器及具有该致动器的精密机械
技术领域
本发明涉及致动器，该致动器具有通过带驱动沿着导轨往复运动的滑动件。
背景技术
过去，在高精度的制造装置、检查装置、输送装置等中，基于旋转马达的带驱动采用滑动件沿着导轨往复运动的致动器。构成该致动器的滑动件具有相对于导轨的轴承。关于这种致动器的现有示例，可以举出专利文献1和2记载的致动器。
专利文献1和2记载的致动器具有沿着不同的导轨移动的主轴承（固定搭载物的滑动件）和反轴承（滑动件）。这些轴承具有与各导轨之间形成静压空气轴承的静压垫。在专利文献1和2中记载了通过使主轴承和反轴承（counter bearing）向相反方向移动，能够抑制在加速时或者减速时等产生的主轴承的反作用力，实现对振动的抑制。
在专利文献1记载的致动器的一例中，截面为圆形的导轨和反导轨（counter guiderail）被排列配置，在具有向下延伸的旋转轴的带轮之间架设的环形带，使用板片状的固定件被分别固定在主轴承和反轴承上。
在专利文献1记载的致动器的另一例中，致动器具有两个主轴承和一个反轴承，两个主轴承隔开规定的间隔被保持在外壳上，外壳在主轴承之间具有凹部，在面对该凹部的位置配置反轴承。环形带使用板片状的固定件分别固定在主轴承用的外壳的凹部内和反轴承的面对所述凹部的位置。
在专利文献2记载的致动器中，主轴承用的导轨具有凹状的截面形状（导轨的截面呈“コ”形状），环形带配置在导轨的凹部内。
在作为实施方式被记载于专利文献2的致动器的示例中，以中央低一台阶的方式弯折的固定件的两端被固定于主轴承的左右的顶板上。并且，一对反轴承配置在主轴承的各顶板的上方，与主轴承用相同的固定件的两端被固定在两个反轴承上。并且，环形带被固定在两个固定件的中央部（比两端低、且被配置在导轨的凹部与左右的反轴承之间的部分）。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2001－248703号公报
专利文献2：日本特开2008－101642号公报
发明概要
发明要解决的问题
在专利文献1和2记载的致动器中，如前面所述，驱动带与滑动件（主轴承和反轴承）及导轨接近，驱动带和滑动件的接合部位有两处。因此，在专利文献1和2记载的致动器中，在驱动带的维护（更换和更换后的校准调整等）的作业性方面还有改善的余地。
本发明的课题是，在具有通过带驱动沿着导轨往复运动的滑动件的致动器中，改善驱动带的维护的作业性。
用于解决问题的技术方案
为了解决上述课题，本发明的一个方式的致动器具有以下要素（1）～（4），并且满足下述的要件（5）。
（1）被架设在驱动带轮与从动带轮之间的驱动带。
（2）在所述驱动带的宽度方向两侧排列配置的两条导轨。
（3）通过所述驱动带的驱动沿着所述各导轨往复运动的两个滑动件。
（4）连接板，所述两个滑动件隔开规定的间隔固定于该连接板，所述驱动带被固定在所述两个滑动件之间。
（5）所述驱动带配置在所述两个滑动件的重心位置或者其附近，所述驱动带与所述滑动件的接合部位仅是所述连接板的固定有两个滑动件的部分之间的部分。
即，本发明的一个方式的致动器是具有所述要素（1）～（4）的致动器，其特征在于，满足所述要件（5）。
根据本方式的致动器，驱动带与滑动件及导轨被排列配置，所述驱动带与滑动件的接合部位仅是连接板的固定有两个滑动件的部分之间的部分，因而通过从连接板卸下驱动带，即可容易进行驱动带的更换。
另外，被更换安装的驱动带的校准调整能够从连接板的相反侧进行。因此，与驱动带和滑动件的接合部位有两处的致动器相比，驱动带的维护的作业性得到改善。
本方式的致动器具有覆盖所述驱动带的罩，所述罩能够从所述连接板的相反侧进行装卸。
优选的是，在本方式的致动器中，所述导轨具有凹状的截面形状，所述滑动件具有与所述导轨之间形成静压空气轴承的静压垫。
本发明的一个方式的致动器能够适合用作精密机械（精密加工机械、精密检查装置、精密扫描装置、半导体器件制造装置、扁平面板显示器制造装置等）的直线引导致动器。
发明效果
根据本发明的致动器，与过去的致动器相比，能够改善驱动带的维护的作业性。
附图说明
图1是表示实施方式的致动器的俯视图。
图2是沿图1的A-A线的剖视图。
图3是沿图1的B-B线的剖视图。
具体实施方式
下面，说明本发明的实施方式，但本发明不限于该实施方式。
该实施方式的致动器如图1～3所示，由环状的驱动带1、两个导轨2、两个滑动件3、连接板4、从动带轮51、驱动带轮52、和对驱动带轮52进行旋转驱动的马达6构成。驱动带1被架设在从动带轮51和驱动带轮52之间。导轨2由底板部22和相面对的一对侧部部件21构成，并具有上侧敞开的凹状的截面形状。
滑动件3如图3所示由上板31、底板32和一对侧板33、34构成，上板31配置在导轨2的上侧，底板32配置在导轨2的底板部22的下侧，一对侧板33、34配置在导轨2的各侧部部件21的外侧。并且，在上板31的下表面的两端侧（与导轨2的各侧部部件21的上表面相面对的位置）、底板32的上表面的两端侧（与导轨2的各侧部部件21的上表面相面对的位置）、以及一对侧板33、34的内表面的上部和下部，分别配置有由多孔质石墨形成的静压垫31a～34a。在这些静压垫31a～34a和导轨2的各侧部部件21之间形成有静压空气轴承。
另外，用于固定驱动带1的固定件41利用螺栓42（参照图1）被固定在连接板4的宽度方向中心。固定件41具有被固定于连接板4的基端部41a、和具有供驱动带1进入的凹部的承受部41b，它们的宽度方向两端利用从承受部41b侧插入的螺栓43（参照图3）进行固定。两个滑动件3的上板31利用螺栓41（参照图1）固定在连接板4的隔着固定件41的两侧。
该致动器以搭载物71和平衡重72被固定在通过连接板4而接合起来的两个滑动件3的宽度方向外侧的方式来使用。驱动带1的中心C1位于连接搭载物71的重心C71和平衡重72的重心C72的线L上。因此，驱动带1被配置在两个滑动件3的重心位置。并且，驱动带1与滑动件3的接合部位仅是连接板4的固定有两个滑动件3的部分之间的部分。
在该实施方式的致动器中，在驱动带轮52通过马达6的驱动而旋转时，驱动带1进行驱动，由从动带轮51进行引导。由此，驱动带1的驱动力通过连接板4传递给两个滑动件3，两个滑动件3一起沿着各导轨2往复运动。
根据该实施方式的致动器，通过从连接板4的固定件41卸下驱动带1，即可容易进行驱动带1的更换。并且，被更换安装在固定件41上的驱动带1的校准调整，能够在将螺栓43松动的状态下从连接板41的相反侧进行。因此，与驱动带和滑动件的接合部位有两处的致动器相比，驱动带的维护的作业性得到改善。
另外，驱动带1被配置在两个滑动件3的重心位置，因而滑动件3针对快速的加速及减速的耐性提高。
另外，利用能够从连接板4的相反侧进行装卸的罩8覆盖驱动带1。通过用罩8覆盖驱动带1，能够减少由驱动带1的磨损粉末引起的起灰。
标号说明
1驱动带；2导轨；21侧部部件；22底板部；3滑动件；31滑动件的上板；32滑动件的底板；33、34滑动件的侧板；31a～34a滑动件的静压垫；4连接板；41固定件；51从动带轮；52驱动带轮；6马达；71搭载物；72平衡重；8罩。

Claims (4)

1.一种致动器，该致动器具有：
驱动带，其被架设在驱动带轮与从动带轮之间；
两条导轨，它们排列配置在所述驱动带的宽度方向两侧；
两个滑动件，它们通过所述驱动带的驱动沿着各所述导轨往复运动；以及
连接板，所述两个滑动件隔开规定的间隔固定于该连接板，所述驱动带被固定在所述两个滑动件之间，
所述驱动带配置在所述两个滑动件的重心位置或者其附近，
所述驱动带与所述滑动件的接合部位仅是所述连接板的固定有两个滑动件的部分之间的部分。
2.根据权利要求1所述的致动器，其中，所述致动器具有覆盖所述驱动带的罩，所述罩能够从所述连接板的相反侧进行装卸。
3.根据权利要求1所述的致动器，其中，
所述导轨具有凹状的截面形状，
所述滑动件具有与所述导轨之间形成静压空气轴承的静压垫。
4.一种精密机械，该精密机械具有权利要求1～3中任意一项所述的致动器作为直线引导致动器。
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