CN104281747A - 一种精细掩膜板张网过程分析方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种精细掩膜板张网过程分析方法，该分析方法基于ANSYS软件的仿真功能，通过建立精细掩膜板的有限元模型和金属框架的有限元模型，以寻找到合适的用于拉伸精细掩膜板的拉力以及使每一条精细掩膜板焊接在金属框架前对应施加在金属框架上真实对抗力，该分析过程无需进行实物测试，从而可有效避免精细掩膜板的损坏，进而有效的节约了测试成本。

Description

一种精细掩膜板张网过程分析方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种精细掩膜板张网过程分析方法。

背景技术

在制备电致发光器件时，需要将电致发光器件中的各层材料通过蒸镀工艺蒸镀到阵列基板上，而且在蒸镀过程中，需要使用到相应的精细掩膜板。

然而，由于蒸镀的过程中会产生高温，此时精细掩膜板会发生热膨胀，从而导致精细掩膜板在重力的作用下产生下垂现象，精细掩膜板的几何形状发生变化，进而造成蒸镀材料不能到被蒸镀到指定位置。

图1为多条精细掩膜板与金属框架焊接时的示意图，如图1所示，为解决上述技术问题，现有技术中通过将多个条状的精细掩膜板2与一个金属框架1进行焊接，然后再一起应用于蒸镀工艺。具体地，先用适当的力拉伸精细掩膜板2，然后在金属框架1上施加合适的对抗力使金属框架1变形，最后将拉伸的高精细金属掩膜板2焊接在被施加了对抗力的框架上，利用金属框架1因变形而产生的恢复力通过焊接点3绷紧精细掩膜板2，从而使得精细掩膜板2在蒸镀过程中不会下垂。

目前，为寻找到合适的用于拉伸精细掩膜板的拉力以及使金属框架产生形变的对抗力，一般会通过实物测试。然而，在进行实物测试中，由于精细掩膜板开口精细、厚度较薄，因此极其容易被损坏，同时该精细掩膜板的制备成本较高，从而直接造成了实物测试过程中的整体成本的上升。

发明内容

本发明提供的一种精细掩膜板张网过程分析方法，用于解决现有技术中在进行精细掩膜板张网过程分析时，采用实物测试而导致测试成本的较高的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供一种精细掩膜板张网过程分析方法，包括：

建立精细掩膜板的有限元模型；

根据所述精细掩膜板的有限元模型得到所述精细掩膜板处于最佳形变量L1时施加在所述精细掩膜板的两个施力端的最佳拉伸力F1；

建立用于固定N条所述精细掩膜板的金属框架的有限元模型；

根据所述最佳拉伸力F1和所述金属框架的有限元模型得到在将每一条所述精细掩膜板焊接在所述金属框架之前施加在所述金属框架的两个焊接侧的真实对抗力。

可选地，所述根据所述精细掩膜板的有限元模型得到所述精细掩膜板处于最佳形变量L1时施加在所述精细掩膜板的两个施力端的最佳拉伸力F1的步骤包括：

根据所述精细掩膜板的有限元模型仿真出当施加在所述精细掩膜板的两个施力端为测试拉伸力F2时所述精细掩膜板产生的测试拉伸形变量L2；

根据所述测试拉伸力F2和所述测试拉伸形变量L2计算出所述精细掩膜板处于最佳形变量L1时施加在所述精细掩膜板的两个施力端的所述最佳拉伸力F1，其中

可选地，所述真实对抗力包括左侧对抗力LCF、中间对抗力CCF和右侧对抗力RCF，其中所述中间对抗力CCF作用于所述金属框架的所述焊接侧的中点位置，所述左侧对抗力LCF和所述右侧对抗力RCF分别作用于所述焊接侧的四分之一点的位置；

所述根据所述最佳拉伸力和所述金属框架的有限元模型得到在将每一条所述精细掩膜板固定在所述金属框架之前施加在所述金属框架的两个焊接侧的真实对抗力的步骤包括：

根据所述金属框架的有限元模型仿真出当所述金属框架上的各焊接点均施加了所述最佳拉伸力F1时所述金属框架产生的最大形变量Lmax；

根据所述金属框架的有限元模型得到仅对所述金属框架的两个焊接侧的中点施加参考对抗力CF且使得所述金属框架处于所述最大形变量Lmax时所述参考对抗力CF；

根据所述参考对抗力CF得到一组当所述第一条所述精细掩膜板焊接在所述金属框架之前施加在金属框架上的左侧对抗力LCF_1、中间对抗力CCF_1和右侧对抗力RCF_1，其中所述参考对抗力CF、所述左侧对抗力LCF_1、所述中间对抗力CCF_1和所述右侧对抗力RCF_1满足：

$\left\{\begin{array}{c}\mathrm{LCF}\_1\≤\mathrm{CF}\\ \mathrm{CCF}\_1\≤\mathrm{CF}\\ \mathrm{RCF}\_1\≤\mathrm{CF}\\ \mathrm{LCF}\_1=\mathrm{RCF}\_1\\ \mathrm{LCF}\_1+\mathrm{CCF}\_1+\mathrm{RCCF}\_1\≥\mathrm{CF}\\ 3*\mathrm{LCF}\_1\≤\mathrm{CCF}\_1\≤4*\mathrm{LCF}\_1\end{array}\right.$

根据所述左侧对抗力LCF_1、所述中间对抗力CCF_1、所述右侧对抗力RCF_1和所述金属框架的有限元模型以仿真出余下N-1条所述精细掩膜板中每一条所述精细掩膜板焊接在所述金属框架之前施加在所述金属框架上的左侧对抗力、中间对抗力和右侧对抗力。

可选地，所述根据所述左侧对抗力LCF_1、所述中间对抗力CCF_1、所述右侧对抗力RCF_1和所述金属框架的有限元模型以仿真出余下N-1条所述精细掩膜板中每一条所述精细掩膜板焊接在所述金属框架之前施加在所述金属框架上的左侧对抗力、中间对抗力和右侧对抗力的步骤包括：

在所述金属框架的有限元模型中，维持第i-1条所述精细掩膜板焊接在所述金属框架之前施加在所述金属框架上的左侧对抗力LCF_i-1、中间对抗力CCF_i-1、右侧对抗力RCF_i-1和对应前i-2条所述精细掩膜板的焊接点上施加的所述最佳拉伸力F1，并在所述金属框架上对应第i-1条所述精细掩膜板的焊接点上均施加所述最佳拉伸力F1；

将所述左侧对抗力LCF_i-1、所述中间对抗力CCF_i-1和所述右侧对抗力RCF_i-1中的至少一个对抗力进行减小，直至所述金属框架有限元模型处于所述最大形变量Lmax，以获得对应第i条所述精细掩膜板焊接在所述金属框架之前施加在所述金属框架上的左侧对抗力LCF_i、中间对抗力CCF_i和右侧对抗力RCF_i，其中2≤i≤N。

可选地，在执行所述将所述左侧对抗力LCF_i-1、所述中间对抗力CCF_i-1和所述右侧对抗力RCF_i-1中的至少一个对抗力进行减小的步骤的过程中，先减小所述中间对抗力CCF_i-1，再减小所述左侧对抗力LCF_i-1和/或所述右侧对抗力RCF_i-1。

可选地，所述根据所述金属框架的有限元模型得到仅对所述金属框架的两个焊接侧的中点施加参考对抗力CF且使得所述金属框架处于所述最大形变量Lmax时所述参考对抗力CF的步骤包括：

根据所述金属框架的有限元模型仿真出仅对所述金属框架的两个焊接侧的中点施加测试对抗力TCF时所述金属框架产生的测试压缩形变量TL；

根据所述测试对抗力TCF和所述测试压缩形变量TL计算出所述金属框架处于最大形变量Lmax时施加在所述金属框架的两个焊接侧的中点的所述参考对抗力CF，其中

可选地，所述精细掩膜板的有限元模型为所述述精细掩膜板的四分之一模型。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供了一种精细掩膜板张网过程分析方法，该分析方法基于ANSYS软件的仿真功能，通过建立精细掩膜板的有限元模型和金属框架的有限元模型，以寻找到合适的用于拉伸精细掩膜板的拉力以及使每一条精细掩膜板焊接在金属框架前对应施加在金属框架上真

实对抗力，该分析过程无需进行实物测试，从而可有效避免精细掩膜

板的损坏，进而有效的节约了测试成本。

附图说明

图1为多条精细掩膜板与金属框架焊接时的示意图；

图2为本发明实施例提供的精细掩膜板张网过程分析方法的流程图；

图3为本发明实施例中对应步骤1021的原理图；

图4为本发明实施例中对应步骤1041的原理图；

图5为本发明实施例中对应步骤10421的原理图；

图6为本发明实施例中对应步骤1043的原理图；

图7为仿真第二条精细掩膜板焊接在金属框架之前金属框架的有限元模型的受力示意图；

图8为仿真第三条精细掩膜板焊接在金属框架之前金属框架的有限元模型的受力示意图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的一种精细掩膜板张网过程分析方法进行详细描述。

图2为本发明实施例提供的精细掩膜板张网过程分析方法的流程图，如图2所示，该分析方法包括：

步骤101：建立精细掩膜板的有限元模型。

在步骤101中，根据精细掩膜板的规格尺寸编写相应APDL命令流，并在ANSYS软件中运行该APDL命令流，以建立精细掩膜板的有限元模型。具体地，基于精细掩膜板对称性以及ANSYS系统的计算速度，可通过ANSYS软件中的前处理模块建立精细掩膜板的四分一模型，并进行网格划分处理，以及施加相应的边界条件。

步骤102：根据精细掩膜板的有限元模型得到精细掩膜板处于最佳形变量L1时施加在精细掩膜板的两个施力端的最佳拉伸力F1。

步骤102包括：

步骤1021：根据精细掩膜板的有限元模型仿真出当施加在精细掩膜板的两个施力端为测试拉伸力F2时精细掩膜板产生的测试拉伸形变量L2。

图3为本发明实施例中对应步骤1021的原理图，如图3所示，在步骤1021中，首先对精细掩膜板2的有限元模型施加测试拉伸力F2，并经过ANSYS软件中的求解器进行计算。然后待仿真过程完成，从ANSYS软件的后处理模块中获取精细掩膜板2的有限元模型产生的测试拉伸形变量L2。

步骤1022：根据测试拉伸力F2和测试拉伸形变量L2计算出精细掩膜板处于最佳形变量L1时施加在精细掩膜板的两个施力端的最佳拉伸力F1，其中

在步骤1022中，先通过预先的实验测试可得知在蒸镀工艺中精细掩膜板的所产生形变量为最佳形变量L1。然后基于精细掩膜板的弹性模量不变的原理，可得出：基于该等式可计算出 $F1=\frac{F2*L1}{L2}.$

步骤103：建立用于固定N条精细掩膜板的金属框架的有限元模型。

在步骤103中，根据金属框架的规格尺寸编写相应APDL命令流，并在ANSYS软件中运行该APDL命令流，以建立金属框架的有限元模型，并进行网格划分处理，以及施加相应的边界条件。

步骤104：根据最佳拉伸力F1和金属框架的有限元模型得到在将每一条精细掩膜板焊接在金属框架之前施加在金属框架的两个焊接侧的真实对抗力。

步骤104包括：

步骤1041：根据金属框架的有限元模型仿真出当金属框架上的各焊接点均施加了最佳拉伸力F1时金属框架产生的最大形变量Lmax。

图4为本发明实施例中对应步骤1041的原理图，如图4所示，在步骤1041中，首先在金属框架1的有限元模型中向对应的各焊接点3的位置均施加最佳拉伸力F1，并经过ANSYS软件中的求解器进行计算。然后待仿真过程完成，从ANSYS软件的后处理模块中获取金属框架1的有限元模型产生的最大形变量Lmax。需要说明的是，该过程用于仿真N条精细掩膜板全部焊接在金属框架时，金属框架所产生的形变。

步骤1042：根据金属框架的有限元模型得到仅对金属框架的两个焊接侧的中点施加参考对抗力CF且使得金属框架处于最大形变量Lmax时参考对抗力CF。

可选地，步骤1042包括：

步骤10421：根据金属框架的有限元模型仿真出仅对金属框架的两个焊接侧的中点施加测试对抗力TCF时金属框架产生的测试压缩形变量TL；

图5为本发明实施例中对应步骤10421的原理图，如图5所示，在步骤10421中，仿真仅对金属框架1的有限元模型的两个焊接侧的中点施加测试对抗力TCF时，金属框架1有限元模型产生的测试压缩形变量TL。其中，获取测试压缩形变量TL的仿真过程与上述获取最大形变量Lmax的仿真过程类似，此处不再赘述。

步骤10422：根据测试对抗力TCF和测试压缩形变量TL计算出金属框架处于最大形变量Lmax时施加在金属框架的两个焊接侧的中点的参考对抗力CF，其中

在步骤10422中，基于金属框架的弹性模量不变，可得出： $\frac{\mathrm{CF}}{\mathrm{OL}\max }=\frac{\mathrm{TCF}}{\mathrm{TL}},$ 基于该等式可计算出 $\mathrm{CF}=\frac{\mathrm{TLTCF}*L\max }{\mathrm{TL}}.$

步骤1043：根据参考对抗力CF得到一组当第一条精细掩膜板焊接在金属框架之前施加在金属框架上的左侧对抗力LCF_1、中间对抗力CCF_1和右侧对抗力RCF_1，其中参考对抗力CF、左侧对抗力LCF_1、中间对抗力CCF_1和右侧对抗力RCF_1满足：

$\left\{\begin{array}{c}\mathrm{LCF}\_1\≤\mathrm{CF}\\ \mathrm{CCF}\_1\≤\mathrm{CF}\\ \mathrm{RCF}\_1\≤\mathrm{CF}\\ \mathrm{LCF}\_1=\mathrm{RCF}\_1\\ \mathrm{LCF}\_1+\mathrm{CCF}\_1+\mathrm{RCCF}\_1\≥\mathrm{CF}\\ 3*\mathrm{LCF}\_1\≤\mathrm{CCF}\_1\≤4*\mathrm{LCF}\_1\end{array}\right.$

图6为本发明实施例中对应步骤1043的原理图，如图6所示，由于目前的张网设备为了保证金属框架变形均匀性，将施加在金属框架1焊接侧的中点一个力，改成分别施加在焊接侧上三个点的三个力(即真实对抗力)，这三个力分别为左侧对抗力LCF、中间对抗力CCF和右侧对抗力RCF，其中中间对抗力CCF作用于金属框架1的焊接侧的中点位置，左侧对抗力LCF和右侧对抗力RCF分别作用于金属框架1的焊接侧的四分之一点的位置。

在本实施例中，其中参考对抗力CF、左侧对抗力LCF_1、中间对抗力CCF_1和右侧对抗力RCF_1满足：

左侧对抗力LCF_1、中间对抗力CCF_1和右侧对抗力RCF_1均小于参考对抗力CF，即LCF_1≤CF，CCF_1≤CF，RCF_1≤CF。

此外，为保证金属框架1受力的均衡，在将第一条精细掩膜板焊接在金属框架1之前，左侧对抗力LCF_1等于右侧对抗力RCF_1，即LCF_1＝RCF_1。

同时，左侧对抗力LCF_1、中间对抗力CCF_1以及右侧对抗力RCF_1三者之和大于参考对抗力CF，即LCF_1+CCF_1+RCF_1≥CF。

最后，中间对抗力CCF_1为左侧对抗力LCF_1(或右侧对抗力RCF_1)的三至四倍，即3*LCF_1≤CCF_1≤4*LCF_1。

在满足上述全部条件后，可根据参考对抗力CF得到无数组求解，在本实施例中，只需从该无数组求解中任意找出一组解即可用于进行仿真。

通过上述步骤1041和步骤1042可以仿真出第一条精细掩膜板焊接在金属框架1之前一组施加在金属框架1上的左侧对抗力LCF_1、中间对抗力CCF_1和右侧对抗力RCF_1。

步骤1044：根据左侧对抗力LCF_1、中间对抗力CCF_1、右侧对抗力RCF_1和金属框架的有限元模型以仿真出余下N-1条精细掩膜板中每一条精细掩膜板焊接在金属框架之前施加在金属框架上的左侧对抗力、中间对抗力和右侧对抗力。

步骤1044包括：

步骤10441：在金属框架的有限元模型中，维持第i-1条精细掩膜板焊接在金属框架之前施加在金属框架上的左侧对抗力LCF_i-1、中间对抗力CCF_i-1、右侧对抗力RCF_i-1和对应前i-2条精细掩膜板的焊接点上施加的最佳拉伸力F1，并在金属框架上对应第i-1条精细掩膜板的焊接点上均施加最佳拉伸力F1。

步骤10442：将左侧对抗力LCF_i-1、中间对抗力CCF_i-1和右侧对抗力RCF_i-1中的至少一个对抗力进行减小，直至金属框架有限元模型处于最大形变量Lmax，以获得对应第i条精细掩膜板焊接在金属框架之前施加在金属框架上的左侧对抗力LCF_i、中间对抗力CCF_i和右侧对抗力RCF_i，其中2≤i≤N。

下面将结合附图，以仿真出第二条以及第三条精细掩膜板焊接在金属框架之前施加在金属框架上的左侧对抗力、中间对抗力和右侧对抗力为例对步骤10441和步骤10442进行详细描述。

图7为仿真第二条精细掩膜板焊接在金属框架之前金属框架的有限元模型的受力示意图，如图7所示，首先，在金属框架1的有限元模型中，维持第一条精细掩膜板焊接在金属框架1之前施加在金属框架1上的左侧对抗力LCF_1、中间对抗力CCF_1、右侧对抗力RCF_1，并在金属框架1上对应第一条精细掩膜板的焊接点3上均施加最佳拉伸力F1(以仿真第一条精细掩膜板已经焊接在金属框架上)。此时金属框架1的有限元模型产生的形变量必然大于最大形变量Lmax。然后，将左侧对抗力LCF_1、中间对抗力CCF_1、右侧对抗力RCF_1中至少一个对抗力进行减小，直至金属框架1有限元模型恢复至最大形变量Lmax，此时可以通过ANSYS软件获知当前三个对抗力分别为左侧对抗力LCF_2、中间对抗力CCF_2、右侧对抗力RCF_2，即仿真出对应第二条精细掩膜板焊接在金属框架1之前施加在金属框架1上的左侧对抗力LCF_2、中间对抗力CCF_2和右侧对抗力RCF_2。

仿真第二条精细掩膜板焊接在金属框架1之前施加在金属框架1上的左侧对抗力、中间对抗力和右侧对抗力的过程结束。

图8为仿真第三条精细掩膜板焊接在金属框架之前金属框架的有限元模型的受力示意图，如图8所示，首先，在金属框架1的有限元模型中，维持第二条精细掩膜板焊接在金属框架1之前施加在金属框架1上的左侧对抗力LCF_2、中间对抗力CCF_2、右侧对抗力RCF_2和维持对应第一条精细掩膜板的焊接点3上施加的最佳拉伸力F1(以仿真第一条精细掩膜板已经焊接在金属框架上)，并在金属框架1上对应第二条精细掩膜板的焊接点3上均施加最佳拉伸力F1(以仿真第二条精细掩膜板已经焊接在金属框架上)。此时金属框架1的有限元模型产生的形变量必然大于最大形变量Lmax。然后，将左侧对抗力LCF_2、中间对抗力CCF_2、右侧对抗力RCF_2中至少一个对抗力进行减小，直至金属框架1有限元模型恢复至最大形变量Lmax，此时可以通过ANSYS软件获知当前三个对抗力分别为左侧对抗力LCF_3、中间对抗力CCF_3、右侧对抗力RCF_3，即仿真出对应第三条精细掩膜板焊接在金属框架1之前施加在金属框架1上的左侧对抗力LCF_3、中间对抗力CCF_3和右侧对抗力RCF_3。

仿真第三条精细掩膜板焊接在金属框架1之前施加在金属框架1上的左侧对抗力、中间对抗力和右侧对抗力的过程结束。

重复上述的仿真过程，直至获得对应第N条精细掩膜板焊接在金属框架1之前施加在金属框架1上的左侧对抗力LCF_N、中间对抗力CCF_N和右侧对抗力RCF_N。

需要说明的是，在上述仿真过程中，逐条的“焊接”精细掩膜板时，往往是采用由金属框架1的中间向两侧的方向对称焊接。因此，在仿真余下N-1条精细掩膜板中每一条精细掩膜板焊接在金属框架1之前施加在金属框架1上的左侧对抗力、中间对抗力和右侧对抗力的过程中，往往先将中间对抗力CCF进行减小，然后再将左侧对抗力LCF和/或右侧对抗力RCF进行减小。在将金属框架1的有限元模型中向对应的各焊接点3的位置均施加最佳拉伸力F1后(仿真N条精细掩膜板均焊接在金属框架上)，且左侧对抗力、中间对抗力和右侧对抗力均为0,此时中间对金属框架1的有限元模型处于最大形变量Lmax。整个仿真过程结束，通过上述仿真过程可以得到N组不同的真实对抗力(包括：左侧对抗力、中间对抗力和右侧对抗力)。

为更好的呈现连续的张网过程，可将精细掩膜板的有限元模型、金属框架的有限元模型以及利用上述步骤104获得的每一条精细掩膜板焊接在金属框架前施加在金属框架上真实对抗力通过APDL命令流输入至ANSYS软件中，以仿真每一条精细掩膜板的焊接过程。

本发明实施例提供了一种精细掩膜板张网过程分析方法，该方法基于ANSYS软件的仿真功能，通过建立精细掩膜板的有限元模型和金属框架的有限元模型，以寻找到合适的用于拉伸精细掩膜板的拉力以及使每一条精细掩膜板焊接在金属框架前对应施加在金属框架上真实对抗力，该分析过程无需进行实物测试，从而可有效避免精细掩膜板的损坏，进而有效的节约了测试成本。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种精细掩膜板张网过程分析方法，其特征在于，包括：

建立精细掩膜板的有限元模型；

根据所述精细掩膜板的有限元模型得到所述精细掩膜板处于最佳形变量L1时施加在所述精细掩膜板的两个施力端的最佳拉伸力F1；

建立用于固定N条所述精细掩膜板的金属框架的有限元模型；

根据所述最佳拉伸力F1和所述金属框架的有限元模型得到在将每一条所述精细掩膜板焊接在所述金属框架之前施加在所述金属框架的两个焊接侧的真实对抗力。

2.根据权利要求1所述的精细掩膜板张网过程分析方法，其特征在于，所述根据所述精细掩膜板的有限元模型得到所述精细掩膜板处于最佳形变量L1时施加在所述精细掩膜板的两个施力端的最佳拉伸力F1的步骤包括：

根据所述精细掩膜板的有限元模型仿真出当施加在所述精细掩膜板的两个施力端为测试拉伸力F2时所述精细掩膜板产生的测试拉伸形变量L2；

根据所述测试拉伸力F2和所述测试拉伸形变量L2计算出所述精细掩膜板处于最佳形变量L1时施加在所述精细掩膜板的两个施力端的所述最佳拉伸力F1，其中

3.根据权利要求1所述的精细掩膜板张网过程分析方法，其特征在于，所述真实对抗力包括左侧对抗力LCF、中间对抗力CCF和右侧对抗力RCF，其中所述中间对抗力CCF作用于所述金属框架的所述焊接侧的中点位置，所述左侧对抗力LCF和所述右侧对抗力RCF分别作用于所述焊接侧的四分之一点的位置；

所述根据所述最佳拉伸力和所述金属框架的有限元模型得到在将每一条所述精细掩膜板固定在所述金属框架之前施加在所述金属框架的两个焊接侧的真实对抗力的步骤包括：

根据所述金属框架的有限元模型仿真出当所述金属框架上的各焊接点均施加了所述最佳拉伸力F1时所述金属框架产生的最大形变量Lmax；

根据所述金属框架的有限元模型得到仅对所述金属框架的两个焊接侧的中点施加参考对抗力CF且使得所述金属框架处于所述最大形变量Lmax时所述参考对抗力CF；

根据所述参考对抗力CF得到一组当所述第一条所述精细掩膜板焊接在所述金属框架之前施加在金属框架上的左侧对抗力LCF_1、中间对抗力CCF_1和右侧对抗力RCF_1，其中所述参考对抗力CF、所述左侧对抗力LCF_1、所述中间对抗力CCF_1和所述右侧对抗力RCF_1满足：

$\left\{\begin{array}{c}\mathrm{LCF}\_1\≤\mathrm{CF}\\ \mathrm{CCF}\_1\≤\mathrm{CF}\\ \mathrm{RCF}\_1\≤\mathrm{CF}\\ \mathrm{LCF}\_1=\mathrm{RCF}\_1\\ \mathrm{LCF}\_1+\mathrm{CCF}\_1+\mathrm{RCF}\_1\≥\mathrm{CF}\\ 3*\mathrm{LCF}\_1\≤\mathrm{CCF}\_1\≤4*\mathrm{LCF}\_1\end{array}\right.$

根据所述左侧对抗力LCF_1、所述中间对抗力CCF_1、所述右侧对抗力RCF_1和所述金属框架的有限元模型以仿真出余下N-1条所述精细掩膜板中每一条所述精细掩膜板焊接在所述金属框架之前施加在所述金属框架上的左侧对抗力、中间对抗力和右侧对抗力。

4.根据权利要求3所述的精细掩膜板张网过程分析方法，其特征在于，所述根据所述左侧对抗力LCF_1、所述中间对抗力CCF_1、所述右侧对抗力RCF_1和所述金属框架的有限元模型以仿真出余下N-1条所述精细掩膜板中每一条所述精细掩膜板焊接在所述金属框架之前施加在所述金属框架上的左侧对抗力、中间对抗力和右侧对抗力的步骤包括：

在所述金属框架的有限元模型中，维持第i-1条所述精细掩膜板焊接在所述金属框架之前施加在所述金属框架上的左侧对抗力LCF_i-1、中间对抗力CCF_i-1、右侧对抗力RCF_i-1和对应前i-2条所述精细掩膜板的焊接点上施加的所述最佳拉伸力F1，并在所述金属框架上对应第i-1条所述精细掩膜板的焊接点上均施加所述最佳拉伸力F1；

将所述左侧对抗力LCF_i-1、所述中间对抗力CCF_i-1和所述右侧对抗力RCF_i-1中的至少一个对抗力进行减小，直至所述金属框架有限元模型处于所述最大形变量Lmax，以获得对应第i条所述精细掩膜板焊接在所述金属框架之前施加在所述金属框架上的左侧对抗力LCF_i、中间对抗力CCF_i和右侧对抗力RCF_i，其中2≤i≤N。

5.根据权利要求4所述的精细掩膜板张网过程分析方法，其特征在于，在执行所述将所述左侧对抗力LCF_i-1、所述中间对抗力CCF_i-1和所述右侧对抗力RCF_i-1中的至少一个对抗力进行减小的步骤的过程中，先减小所述中间对抗力CCF_i-1，再减小所述左侧对抗力LCF_i-1和/或所述右侧对抗力RCF_i-1。

6.根据权利要求3所述的精细掩膜板张网过程分析方法，其特征在于，所述根据所述金属框架的有限元模型得到仅对所述金属框架的两个焊接侧的中点施加参考对抗力CF且使得所述金属框架处于所述最大形变量Lmax时所述参考对抗力CF的步骤包括：

根据所述金属框架的有限元模型仿真出仅对所述金属框架的两个焊接侧的中点施加测试对抗力TCF时所述金属框架产生的测试压缩形变量TL；

根据所述测试对抗力TCF和所述测试压缩形变量TL计算出所述金属框架处于最大形变量Lmax时施加在所述金属框架的两个焊接侧的中点的所述参考对抗力CF，其中

7.根据权利要求1所述的精细掩膜板张网过程分析方法，其特征在于，所述精细掩膜板的有限元模型为所述述精细掩膜板的四分之一模型。