CN104280942A - 一种掩模板 - Google Patents

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    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13394—Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers regularly patterned on the cell subtrate, e.g. walls, pillars

Abstract

本发明提供一种掩模板，用于辅助对形成在玻璃基板上的厚度不同的隔垫物膜层进行曝光，以形成隔垫物的图形，包括掩模基板，掩模基板上设置有渐变透光结构，渐变透光结构能使形成在玻璃基板上的隔垫物的高度相同。该掩模板通过设置渐变透光结构，有效改善了对应隔垫物膜层厚度较薄区域的隔垫物高度偏低的情况，从而提高了玻璃基板上隔垫物高度的均一性，进而使该形成有隔垫物的玻璃基板与其他玻璃基板对盒后形成的液晶显示面板的用于容置液晶的间隙变得均一，不会再出现局部发黑或者局部气泡等的不良品质问题，改善了液晶显示面板的品质。

Description

一种掩模板
技术领域
本发明涉及液晶显示器制造技术领域，具体地，涉及一种掩模板。
背景技术
在液晶显示器的彩膜基板(Color Filter)/阵列基板(TFT基板)的制造工艺中，隔垫物(Photo Spacer)作为阵列基板(TFT基板)与彩膜基板(CF)之间间隙(Gap)的支撑物，其在由阵列基板和彩膜基板对盒而成的显示面板面内的均一性分布对液晶显示器的品质有着至关重要的影响。
隔垫物的制作工艺主要是通过涂布->曝光->显影->后烘的工艺来完成的，其中在涂布工艺中，首先会在完成其他各膜层制备的玻璃基板上涂布一层用于形成隔垫物的隔垫物膜层2。由于现有的彩膜基板/阵列基板通常在靠近其四周边缘区域的膜层设置较少。例如：彩膜基板在靠近其四周边缘区域仅设置有黑矩阵6，而在其中心区域除了设置有黑矩阵6，还设置有像素层7等其他膜层，这使得彩膜基板靠近四周边缘区域的膜厚偏低。因此在隔垫物膜层2涂布完成后，靠近彩膜基板的四周边缘区域的膜厚依然偏低。而现有的掩模板8上用于形成隔垫物4的图形9大小形状都是一样的(如图1所示)。
上述两方面原因会直接导致经过曝光显影形成的位于彩膜基板四周边缘区域的隔垫物4比位于彩膜基板中心区域的隔垫物4的高度偏低(如图2所示)，从而造成显示面板四周边缘区域的间隙与中心区域的间隙不均一，进而导致了如液晶显示面板四周发黑或者液晶显示面板四周边缘出现气泡(Bubble)等的不良品质问题，严重影响液晶显示器的显示质量。
发明内容
本发明针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种掩模板。该掩模板能够有效改善对应隔垫物膜层厚度较薄区域的隔垫物高度偏低的情况，从而提高了玻璃基板上隔垫物高度的均一性，进而使该形成有隔垫物的玻璃基板与其他玻璃基板对盒后形成的液晶显示面板的用于容置液晶的间隙变得均一，不会再出现局部发黑或者局部气泡等的不良品质问题，改善了液晶显示面板的品质。
本发明提供一种掩模板，用于辅助对形成在玻璃基板上的厚度不同的隔垫物膜层进行曝光，以形成隔垫物的图形，包括掩模基板，所述掩模基板上设置有渐变透光结构，所述渐变透光结构能使形成在所述玻璃基板上的隔垫物的高度相同。
优选地，所述渐变透光结构包括多个透光面积不同的透光图形，所述透光图形用于形成所述隔垫物的图形；
所述掩模基板划分为第一区域、第二区域和第三区域，所述第一区域为所述掩模基板的四周边缘区域，所述第三区域为所述掩模基板的中心区域，所述第二区域为所述第一区域和所述第三区域之间的区域；所述隔垫物膜层的对应所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的膜层厚度依次增大；
分布在所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的所述透光图形的透光面积依次减小。
优选地，所述隔垫物膜层的对应所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的膜层厚度依次线性增大；
分布在所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的所述透光图形的透光面积依次线性减小。
优选地，所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域内均分别分布有多个所述透光图形；沿从所述第一区域至所述第三区域的方向，所述隔垫物膜层的对应所述第一区域的膜层厚度依次线性增大；所述隔垫物膜层的对应所述第二区域的膜层厚度依次线性增大；所述隔垫物膜层的对应所述第三区域的膜层厚度相同；
分布在所述第一区域内的多个所述透光图形的透光面积依次线性减小；分布在所述第二区域内的多个所述透光图形的透光面积依次线性减小；分布在所述第三区域内的多个所述透光图形的透光面积相同。
优选地，所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域内均分别分布有多个所述透光图形；沿从所述第一区域至所述第三区域的方向，所述隔垫物膜层的对应所述第一区域的膜层厚度相同；所述隔垫物膜层的对应所述第二区域的膜层厚度相同；所述隔垫物膜层的对应所述第三区域的膜层厚度相同；
分布在所述第一区域内的多个所述透光图形的透光面积相同；分布在所述第二区域内的多个所述透光图形的透光面积相同；分布在所述第三区域内的多个所述透光图形的透光面积相同。
优选地，所述透光图形为开设在所述掩模基板中的通孔的垂直于入光方向的横截面的图形，或者，所述透光图形为设置在所述掩模基板上的透光率相同的透光体的垂直于入光方向的横截面的图形。
优选地，所述渐变透光结构包括多个透光率不同的透光图形，所述透光图形用于形成所述隔垫物的图形；
所述掩模基板划分为第一区域、第二区域和第三区域，所述第一区域为所述掩模基板的四周边缘区域，所述第三区域为所述掩模基板的中心区域，所述第二区域为所述第一区域和所述第三区域之间的区域；所述隔垫物膜层的对应所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的膜层厚度依次增大；
分布在所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的所述透光图形的透光率依次减小。
优选地，所述隔垫物膜层的对应所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的膜层厚度依次线性增大；
分布在所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的所述透光图形的透光率依次线性减小。
优选地，所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域内均分别分布有多个所述透光图形；沿从所述第一区域至所述第三区域的方向，所述隔垫物膜层的对应所述第一区域的膜层厚度依次线性增大；所述隔垫物膜层的对应所述第二区域的膜层厚度依次线性增大；所述隔垫物膜层的对应所述第三区域的膜层厚度相同；
分布在所述第一区域内的多个所述透光图形的透光率依次线性减小；分布在所述第二区域内的多个所述透光图形的透光率依次线性减小；分布在所述第三区域内的多个所述透光图形的透光率相同。
优选地，所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域内均分别分布有多个所述透光图形；沿从所述第一区域至所述第三区域的方向，所述隔垫物膜层的对应所述第一区域的膜层厚度相同；所述隔垫物膜层的对应所述第二区域的膜层厚度相同；所述隔垫物膜层的对应所述第三区域的膜层厚度相同；
分布在所述第一区域内的多个所述透光图形的透光率相同；分布在所述第二区域内的多个所述透光图形的透光率相同；分布在所述第三区域内的多个所述透光图形的透光率相同。
优选地，所述透光图形为设置在所述掩模基板上的透光体的垂直于入光方向的横截面的图形。
优选地，所述透光图形的形状为圆形、三角形、正五边形或正六边形。
本发明的有益效果：本发明所提供的掩模板，通过设置渐变透光结构，使形成在玻璃基板上的隔垫物的高度相同，这有效改善了对应隔垫物膜层厚度较薄区域的隔垫物高度偏低的情况，从而提高了玻璃基板上隔垫物高度的均一性，进而使该形成有隔垫物的玻璃基板与其他玻璃基板对盒后形成的液晶显示面板的用于容置液晶的间隙变得均一，不会再出现局部发黑或者局部气泡等的不良品质问题，改善了液晶显示面板的品质。
附图说明
图1为现有技术中掩模板的结构俯视图；
图2为利用图1中的掩模板曝光形成的隔垫物的高度示意图；
图3为本发明实施例1中掩模板的结构俯视图；
图4为利用图3中的掩模板曝光形成的隔垫物的高度示意图；
图5为本发明实施例2中掩模板的结构俯视图；
图6为本发明实施例3中掩模板的结构俯视图；
图7为本发明实施例4中掩模板的结构俯视图。
其中的附图标记说明：
1.玻璃基板；2.隔垫物膜层；3.掩模基板；31.第一区域；32.第二区域；33.第三区域；4.隔垫物；5.透光图形；6.黑矩阵；7.像素层；8.掩模板；9.用于形成隔垫物的图形。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明所提供的一种掩模板作进一步详细描述。
实施例1：
本实施例提供一种掩模板，如图3和图4所示，用于辅助对形成在玻璃基板1上的厚度不同的隔垫物膜层2进行曝光，以形成隔垫物的图形，包括掩模基板3，掩模基板3上设置有渐变透光结构，渐变透光结构能使形成在玻璃基板1上的隔垫物4的高度相同。
渐变透光结构的设置，使形成在玻璃基板1上的隔垫物4的高度相同，这有效改善了对应形成在玻璃基板1上隔垫物膜层2厚度较薄区域的隔垫物4高度偏低的情况，从而提高了玻璃基板1上隔垫物4高度的均一性，进而使该形成有隔垫物的玻璃基板1与其他玻璃基板对盒后形成的液晶显示面板的用于容置液晶的间隙变得均一，不会再出现局部发黑或者局部气泡等的不良品质问题，改善了液晶显示面板的品质。
其中，渐变透光结构包括多个透光面积不同的透光图形5，透光图形5用于形成隔垫物4的图形。掩模基板3划分为第一区域31、第二区域32和第三区域33，第一区域31为掩模基板3的四周边缘区域，第三区域33为掩模基板3的中心区域，第二区域32为第一区域31和第三区域33之间的区域；隔垫物膜层2的对应第一区域31、第二区域32和第三区域33的膜层厚度依次增大。分布在第一区域31、第二区域32和第三区域33的透光图形5的透光面积依次减小。
由于对应隔垫物膜层2厚度较小区域的透光图形5的面积较大，所以透过对应隔垫物膜层2厚度较小区域的透光图形5的曝光光线较多，隔垫物膜层2具有负性光刻胶的性质，经过较多曝光光线照射的隔垫物膜层2部分会发生较大的光化学反应，被曝光区域经过显影后被保留部分相应较多，所以形成的隔垫物4高度增大；同样道理，对应隔垫物膜层2厚度较大区域的透光图形5的面积较小，因此透过对应隔垫物膜层2厚度较大区域的透光图形5的曝光光线较少，隔垫物膜层2具有负性光刻胶的性质，经过较少曝光光线照射的隔垫物膜层2部分会发生较小的光化学反应，被曝光区域经过显影后被保留部分相应较少，因此形成的隔垫物4高度相应减小；这样，最终使得对应第一区域31、第二区域32和第三区域33的厚度不同的隔垫物膜层2形成的隔垫物4的高度相同，从而提高了整个玻璃基板1上隔垫物4高度的均一性。
本实施例中，隔垫物膜层2的对应第一区域31、第二区域32和第三区域33的膜层厚度依次线性增大。分布在第一区域31、第二区域32和第三区域33的透光图形5的透光面积依次线性减小。如此根据对应第一区域31、第二区域32和第三区域33的隔垫物膜层2的膜层厚度确定分布在各个区域的透光图形5的面积大小，能够很好地控制最终形成的隔垫物4的高度相同，从而提高整个玻璃基板1上隔垫物4高度的均一性。
本实施例中，第一区域31、第二区域32和第三区域33内均分别分布有多个透光图形5；沿从第一区域31至第三区域33的方向，隔垫物膜层2的对应第一区域31的膜层厚度依次线性增大；隔垫物膜层2的对应第二区域32的膜层厚度依次线性增大；隔垫物膜层2的对应第三区域33的膜层厚度相同；分布在第一区域31内的多个透光图形5的透光面积依次线性减小；分布在第二区域32内的多个透光图形5的透光面积依次线性减小；分布在第三区域33内的多个透光图形5的透光面积相同。如此设置，能够对形成在玻璃基板1上对应各个区域的多个隔垫物4的高度进行精确控制，从而进一步提高最终形成的隔垫物4高度的均一性。
本实施例中，透光图形5为开设在掩模基板3中的通孔的垂直于入光方向的横截面的图形，该通孔能使曝光光线通过。
需要说明的是，透光图形5也可以是设置在掩模基板3上的透光率相同的透光体的垂直于入光方向的横截面的图形，该透光体如透明玻璃或半透明玻璃等。
另外需要说明的是，本实施例中的隔垫物膜层只能采用具有负性光刻胶性质的材料才能解决隔垫物膜层2厚度较薄区域的隔垫物4高度偏低的问题，因为只有经过曝光光线照射的隔垫物膜层2部分经过显影后保留下来才能起到使最终形成的隔垫物4的高度发生变化的作用。
本实施例中，透光图形5的形状为圆形、三角形、正五边形或正六边形。这使得最终形成的隔垫物4的形状为圆锥台状、三棱锥台状、正五棱锥台状或正六棱锥台状。当然，透光图形5的形状也不仅仅局限于上述形状，也可以是其他的形状，只要确保最终形成的隔垫物4能够对对盒的两玻璃基板进行很好的支撑即可。
实施例2：
本实施例提供一种掩模板，与实施例1不同的是，如图5所示，第一区域31、第二区域32和第三区域33内均分别分布有多个透光图形5；沿从第一区域31至第三区域33的方向，隔垫物膜层的对应第一区域31的膜层厚度相同；隔垫物膜层的对应第二区域32的膜层厚度相同；隔垫物膜层的对应第三区域33的膜层厚度相同；分布在第一区域31内的多个透光图形5的透光面积相同；分布在第二区域32内的多个透光图形5的透光面积相同；分布在第三区域33内的多个透光图形5的透光面积相同。
本实施例中掩模板的其他结构与实施例1中相同，此处不再赘述。
按照上述设置，由对应第一区域31的隔垫物膜层形成的隔垫物的高度相同，由对应第二区域32的隔垫物膜层形成的隔垫物的高度相同，由对应第三区域33的隔垫物膜层形成的隔垫物的高度相同。同时，由于隔垫物膜层的对应第一区域31、第二区域32和第三区域33的膜层厚度依次线性增大；分布在第一区域31、第二区域32和第三区域33的透光图形5的透光面积依次线性减小，所以最终形成在整个玻璃基板上的隔垫物的高度相同。
相比于实施例1，本实施例中按照上述设置的透光图形5对形成在玻璃基板对应各个区域的多个隔垫物的高度的控制精确度稍低一些，但同样能控制最终形成的隔垫物的高度相同，从而提高整个玻璃基板上的隔垫物高度的均一性。
实施例3：
本实施例提供一种掩模板，与实施例1-2不同的是，如图6所示，渐变透光结构包括多个透光率不同的透光图形5，透光图形5用于形成隔垫物的图形；掩模基板3划分为第一区域31、第二区域32和第三区域33，第一区域31为掩模基板的四周边缘区域，第三区域33为掩模基板的中心区域，第二区域32为第一区域31和第三区域33之间的区域；隔垫物膜层的对应第一区域31、第二区域32和第三区域33的膜层厚度依次增大；分布在第一区域31、第二区域32和第三区域33的透光图形5的透光率依次减小。
透光率指透过透光图形5的光通量与入射至透光图形5的光通量的百分比。由于对应隔垫物膜层厚度较小区域的透光图形5的透光率较大，所以透过对应隔垫物膜层厚度较小区域的透光图形5的曝光光线的光量较大，隔垫物膜层具有负性光刻胶的性质，经过较大光量的曝光光线照射的隔垫物膜层部分会发生较大的光化学反应，被曝光区域经过显影后被保留部分相应较多，所以形成的隔垫物高度增大；同样道理，对应隔垫物膜层厚度较大区域的透光图形5的透过率较小，因此透过对应隔垫物膜层厚度较大区域的透光图形5的曝光光线的光量较小，隔垫物膜层具有负性光刻胶的性质，经过较小光量的曝光光线照射的隔垫物膜层部分会发生较小的光化学反应，被曝光区域经过显影后被保留部分相应较少，因此形成的隔垫物高度相应减小；这样，最终使得对应第一区域31、第二区域32和第三区域33的厚度不同的隔垫物膜层形成的隔垫物的高度相同，从而提高了整个玻璃基板上隔垫物高度的均一性。
本实施例中，隔垫物膜层的对应第一区域31、第二区域32和第三区域33的膜层厚度依次线性增大；分布在第一区域31、第二区域32和第三区域33的透光图形5的透光率依次线性减小。如此根据对应第一区域31、第二区域32和第三区域33的隔垫物膜层的膜层厚度确定分布在各个区域的透光图形5的透光率大小，能够很好地控制最终形成的隔垫物的高度相同，从而提高整个玻璃基板上隔垫物高度的均一性。
本实施例中，第一区域31、第二区域32和第三区域33内均分别分布有多个透光图形5；沿从第一区域31至第三区域33的方向，隔垫物膜层的对应第一区域31的膜层厚度依次线性增大；隔垫物膜层的对应第二区域32的膜层厚度依次线性增大；隔垫物膜层的对应第三区域33的膜层厚度相同；分布在第一区域31内的多个透光图形5的透光率依次线性减小；分布在第二区域32内的多个透光图形5的透光率依次线性减小；分布在第三区域33内的多个透光图形5的透光率相同。如此设置，能够对形成在玻璃基板对应各个区域的多个隔垫物的高度进行精确控制，从而进一步提高最终形成的隔垫物高度的均一性。
本实施例中，透光图形5为设置在掩模基板3上的透光体的垂直于入光方向的横截面的图形，该透光体如透光率不同的膜层，这些透光率不同的膜层可以贴设在玻璃材质的掩模基板3上。
需要说明的是，本实施例中的透光图形5的面积相同。如此设置，使最终形成的隔垫物的高度更容易控制。当然，本实施例中透光图形5的面积也可以不同，只要确保在综合考虑透光图形5的面积和透光率的情况下，使最终形成在玻璃基板上的隔垫物的高度相同即可。
本实施例中掩模板的透光图形5的形状和隔垫物膜层的材质与实施例1-2任意一个中相同，此处不再赘述。
实施例4：
本实施例提供一种掩模板，与实施例3不同的是，如图7所示，第一区域31、第二区域32和第三区域33内均分别分布有多个透光图形5；沿从第一区域31至第三区域33的方向，隔垫物膜层的对应第一区域31的膜层厚度相同；隔垫物膜层的对应第二区域32的膜层厚度相同；隔垫物膜层的对应第三区域33的膜层厚度相同；分布在第一区域31内的多个透光图形5的透光率相同；分布在第二区域32内的多个透光图形5的透光率相同；分布在第三区域33内的多个透光图形5的透光率相同。
本实施例中掩模板的其他结构与实施例3中相同，此处不再赘述。
按照上述设置，由对应第一区域31的隔垫物膜层形成的隔垫物的高度相同，由对应第二区域32的隔垫物膜层形成的隔垫物的高度相同，由对应第三区域33的隔垫物膜层形成的隔垫物的高度相同。同时，由于隔垫物膜层的对应第一区域31、第二区域32和第三区域33的膜层厚度依次线性增大；分布在第一区域31、第二区域32和第三区域33的透光图形5的透光率依次线性减小，所以最终形成在整个玻璃基板上的隔垫物的高度相同。
相比于实施例3，本实施例中按照上述设置的透光图形5对形成在玻璃基板对应各个区域的多个隔垫物的高度的控制精确度稍低一些，但同样能控制最终形成的隔垫物的高度相同，从而提高了整个玻璃基板上的隔垫物高度的均一性。
实施例1-4的有益效果：实施例1-4中所提供的掩模板，通过设置渐变透光结构，使形成在玻璃基板上的隔垫物的高度相同，这有效改善了对应隔垫物膜层厚度较薄区域的隔垫物高度偏低的情况，从而提高了玻璃基板上隔垫物高度的均一性，进而使该形成有隔垫物的玻璃基板与其他玻璃基板对盒后形成的液晶显示面板的用于容置液晶的间隙变得均一，不会再出现局部发黑或者局部气泡等的不良品质问题，改善了液晶显示面板的品质。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (12)

1.一种掩模板，用于辅助对形成在玻璃基板上的厚度不同的隔垫物膜层进行曝光，以形成隔垫物的图形，包括掩模基板，其特征在于，所述掩模基板上设置有渐变透光结构，所述渐变透光结构能使形成在所述玻璃基板上的隔垫物的高度相同。
2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述渐变透光结构包括多个透光面积不同的透光图形，所述透光图形用于形成所述隔垫物的图形；
所述掩模基板划分为第一区域、第二区域和第三区域，所述第一区域为所述掩模基板的四周边缘区域，所述第三区域为所述掩模基板的中心区域，所述第二区域为所述第一区域和所述第三区域之间的区域；所述隔垫物膜层的对应所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的膜层厚度依次增大；
分布在所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的所述透光图形的透光面积依次减小。
3.根据权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述隔垫物膜层的对应所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的膜层厚度依次线性增大；
分布在所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的所述透光图形的透光面积依次线性减小。
4.根据权利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域内均分别分布有多个所述透光图形；沿从所述第一区域至所述第三区域的方向，所述隔垫物膜层的对应所述第一区域的膜层厚度依次线性增大；所述隔垫物膜层的对应所述第二区域的膜层厚度依次线性增大；所述隔垫物膜层的对应所述第三区域的膜层厚度相同；
分布在所述第一区域内的多个所述透光图形的透光面积依次线性减小；分布在所述第二区域内的多个所述透光图形的透光面积依次线性减小；分布在所述第三区域内的多个所述透光图形的透光面积相同。
5.根据权利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域内均分别分布有多个所述透光图形；沿从所述第一区域至所述第三区域的方向，所述隔垫物膜层的对应所述第一区域的膜层厚度相同；所述隔垫物膜层的对应所述第二区域的膜层厚度相同；所述隔垫物膜层的对应所述第三区域的膜层厚度相同；
分布在所述第一区域内的多个所述透光图形的透光面积相同；分布在所述第二区域内的多个所述透光图形的透光面积相同；分布在所述第三区域内的多个所述透光图形的透光面积相同。
6.根据权利要求2-5任意一项所述的掩模板，其特征在于，所述透光图形为开设在所述掩模基板中的通孔的垂直于入光方向的横截面的图形，或者，所述透光图形为设置在所述掩模基板上的透光率相同的透光体的垂直于入光方向的横截面的图形。
7.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述渐变透光结构包括多个透光率不同的透光图形，所述透光图形用于形成所述隔垫物的图形；
所述掩模基板划分为第一区域、第二区域和第三区域，所述第一区域为所述掩模基板的四周边缘区域，所述第三区域为所述掩模基板的中心区域，所述第二区域为所述第一区域和所述第三区域之间的区域；所述隔垫物膜层的对应所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的膜层厚度依次增大；
分布在所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的所述透光图形的透光率依次减小。
8.根据权利要求7所述的掩模板，其特征在于，所述隔垫物膜层的对应所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的膜层厚度依次线性增大；
分布在所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域的所述透光图形的透光率依次线性减小。
9.根据权利要求8所述的掩模板，其特征在于，所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域内均分别分布有多个所述透光图形；沿从所述第一区域至所述第三区域的方向，所述隔垫物膜层的对应所述第一区域的膜层厚度依次线性增大；所述隔垫物膜层的对应所述第二区域的膜层厚度依次线性增大；所述隔垫物膜层的对应所述第三区域的膜层厚度相同；
分布在所述第一区域内的多个所述透光图形的透光率依次线性减小；分布在所述第二区域内的多个所述透光图形的透光率依次线性减小；分布在所述第三区域内的多个所述透光图形的透光率相同。
10.根据权利要求8所述的掩模板，其特征在于，所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域内均分别分布有多个所述透光图形；沿从所述第一区域至所述第三区域的方向，所述隔垫物膜层的对应所述第一区域的膜层厚度相同；所述隔垫物膜层的对应所述第二区域的膜层厚度相同；所述隔垫物膜层的对应所述第三区域的膜层厚度相同；
分布在所述第一区域内的多个所述透光图形的透光率相同；分布在所述第二区域内的多个所述透光图形的透光率相同；分布在所述第三区域内的多个所述透光图形的透光率相同。
11.根据权利要求7-10任意一项所述的掩模板，其特征在于，所述透光图形为设置在所述掩模基板上的透光体的垂直于入光方向的横截面的图形。
12.根据权利要求2-5和7-10中任意一项所述的掩模板，其特征在于，所述透光图形的形状为圆形、三角形、正五边形或正六边形。
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