CN104280156A - 镀镍层内应力长度变化测量法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种快速简便的镀镍层内应力长度变化测量法，本发明提供的镀镍层内应力测量方法，能够快速有效地测量出镀镍层内应力，其方法操作简单，设计合理，流程简便，涉及的设备简易，测量精度高。

Description

镀镍层内应力长度变化测量法

 

技术领域

本发明涉及一种应力测量方法，特别涉及一种镀镍层内应力长度变化测量法。

背景技术

镀镍是电镀工业中最重要的镀种之一，已被广泛应用于机械、电子、航空、航天、国防等领域。特别是近年来镀镍在特种加工和微/纳米制造等高新技术领域的应用,使其用途更加广泛。在电镀过程中,由于金属的结晶有一定变形或有异相渗入，会产生一定内应力，这种现象在镀镍过程中尤为明显。电镀层的内应力可分为两类:一类是使镀层本身体积有膨胀趋势的应力,称为压应力；另一类是使镀层体积有收缩趋势的应力,称为拉应力。电镀过程中,拉应力过大会使镀层开裂;而压应力过大会引起镀层起泡,从而导致镀层的失效。在微/纳米制造中,不平衡的拉应力或压应力很容易引起加工部件发生变形,从而使制造过程失败。因此，深入了解镀层内应力产生的原因、内应力的表征手段及其调控方法对电镀生产具有重要实际意义。

 

发明内容

为了克服上述缺陷，本发明提供了一种快速简便的镀镍层内应力长度变化测量法。

本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种镀镍层内应力长度变化测量法，在薄片阴极的两个面上同时电沉积,薄片阴极虽不弯曲,但长度会发生变化，当镀层产生拉应力时,试片就缩短；当镀层产生压应力时,试片就伸长，把薄片阴极夹在固定夹具上,一端固定,一端自由,在自由端装有长度传感器,用以测量长度的变化值。其计算公式为：

                                                  

式中:σ为镀层内应力,E为薄片阴极的弹性模量,d为镀层厚度,t为薄片阴极的厚度,ΔL和L分别为薄片阴极长度变化量和长度。

本发明的有益效果是： 本发明提供的镀镍层内应力测量方法，能够快速有效地测量出镀镍层内应力，其方法操作简单，设计合理，流程简便，涉及的设备简易，测量精度高。

 

具体实施方式

为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。

本发明一种镀镍层内应力长度变化测量法的一种实施方式，在薄片阴极的两个面上同时电沉积,薄片阴极虽不弯曲,但长度会发生变化，当镀层产生拉应力时,试片就缩短；当镀层产生压应力时,试片就伸长，把薄片阴极夹在固定夹具上,一端固定,一端自由,在自由端装有长度传感器,用以测量长度的变化值。其计算公式为：

 

式中:σ为镀层内应力,E为薄片阴极的弹性模量,d为镀层厚度,t为薄片阴极的厚度,ΔL和L分别为薄片阴极长度变化量和长度。

Claims (1)

1.一种镀镍层内应力长度变化测量法，其特征在于：在薄片阴极的两个面上同时电沉积,薄片阴极虽不弯曲,但长度会发生变化，当镀层产生拉应力时,试片就缩短；当镀层产生压应力时,试片就伸长，把薄片阴极夹在固定夹具上,一端固定,一端自由,在自由端装有长度传感器,用以测量长度的变化值，其计算公式为：

                                                 

式中:σ为镀层内应力,E为薄片阴极的弹性模量,d为镀层厚度,t为薄片阴极的厚度,ΔL和L分别为薄片阴极长度变化量和长度。