CN104124134B - 复合膜层的刻蚀方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种复合膜层的刻蚀方法，包括如下步骤：提供沉积有复合膜层的器件，所述复合膜层由第一多晶硅层、二氧化硅层和第二多晶硅层依次层叠形成且所述第二多晶硅层与所述器件直接接触；对所述第一多晶硅层进行表面预处理；在所述第一多晶硅层上涂覆光阻，接着对所述第一多晶硅层进行主刻蚀，接着对所述第一多晶硅层进行过刻蚀；对所述二氧化硅层进行主刻蚀，接着对所述二氧化硅层进行过刻蚀；对所述第二多晶硅层进行主刻蚀，接着对所述第二多晶硅层进行过刻蚀。这种复合膜层的刻蚀方法依次对第一多晶硅层、二氧化硅层和第二多晶硅层进行刻蚀，一次光刻后进行三次刻蚀，只需要使用一台多晶刻蚀机台，产能较高。

Description

复合膜层的刻蚀方法
技术领域
本发明涉及半导体制造加工领域，尤其涉及一种复合膜层的刻蚀方法。
背景技术
目前，微电子技术已经进入超大规模集成电路和系统集成时代，微电子技术已经成为信息时代的标志和基础。
在微电子技术中，一块集成电路芯片的制造完成，需要经过集成电路设计、掩模板制造、原始材料制造、芯片加工、封装、测试等工序。其中，对半导体硅片进行刻蚀形成工艺沟槽的技术，显得尤为关键。
刻蚀（Etch）是半导体制造工艺、微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤，是与光刻相联系的图形化（pattern）处理的一种主要工艺。
结合图1，器件200表面依次沉积第二多晶层30、二氧化硅层20和第一多晶层10三层结构，第二多晶层30、二氧化硅层20和第一多晶层10组成复合膜层，位于第一多晶层10上方的是刻蚀用的光阻40。在某些特殊工艺中需要使用具有第二多晶层30、二氧化硅层20和第一多晶层10三层结构的复合膜层结构的条作为悬臂梁或者其他结构部分。因此，需要将由第二多晶层30、二氧化硅层20和第一多晶层10组成的复合膜层刻蚀出来。
传统的复合膜层的刻蚀方法是在生长完第二多晶层30、二氧化硅层20和第一多晶层10三层膜层后涂胶、曝光、显影，接着使用三台设备进行刻蚀，即一层光刻后进行三次刻蚀。然而，这种方法使用机台的数量较多，导致产能低下。
发明内容
基于此，有必要提供一种下产能较高的复合膜层的刻蚀方法。
一种复合膜层的刻蚀方法，包括如下步骤：
提供沉积有复合膜层的器件，所述复合膜层由第一多晶硅层、二氧化硅层和第二多晶硅层依次层叠形成且所述第二多晶硅层与所述器件直接接触；
对所述第一多晶硅层进行表面预处理；
在所述第一多晶硅层上涂覆光阻，接着在第一工艺气体氛围下对所述第一多晶硅层进行主刻蚀，接着对所述第一多晶硅层进行过刻蚀；
在第二工艺气体氛围下，对所述二氧化硅层进行主刻蚀，接着对所述二氧化硅层进行过刻蚀；
在所述第一工艺气体氛围下，对所述第二多晶硅层进行主刻蚀，接着对所述第二多晶硅层进行过刻蚀。
在一个实施例中，所述第一工艺气体氛围为HBr、Cl2和O2的混合气氛，所述HBr、Cl2和O2的混合气氛中HBr、Cl2和O2的摩尔比范围为1:1.6～3:0.01～0.05。
在一个实施例中，所述第二工艺气体氛围为CF4和CHF3的混合气氛，所述CF4和CHF3的混合气氛中CF4和CHF3的摩尔比范围为3～5:4。
在一个实施例中，对所述第一多晶硅层进行过刻蚀的操作中，过刻蚀量为40%～50%。
在一个实施例中，对所述二氧化硅层进行过刻蚀的操作中，过刻蚀量为30%～60%。
在一个实施例中，对所述第二多晶硅层进行过刻蚀的操作中，过刻蚀量为30%～40%。
在一个实施例中，对所述复合膜层进行表面预处理的操作通过Cl2腐蚀完成。
在一个实施例中，对所述第一多晶硅层进行主刻蚀的操作还包括：完成主刻蚀后进行刻蚀终点检测的操作。
在一个实施例中，所述复合膜层的刻蚀方法通过多晶刻蚀机台实现。
在一个实施例中，所述多晶刻蚀机台的功率为600W～900W。
这种复合膜层的刻蚀方法依次对第一多晶硅层、二氧化硅层和第二多晶硅层进行刻蚀，一次光刻后进行三次刻蚀，只需要使用一台多晶刻蚀机台，相对于传统的复合膜层的刻蚀方法，降低复合膜层刻蚀所需要的人力成本和制造成本，产能较高。
附图说明
图1为一实施方式的沉积有复合膜层的器件的示意图；
图2为一实施方式的复合膜层的刻蚀方法的流程图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。
一般情况而言，多晶硅层在大部分区域被刻蚀干净后，常通过监控设备确认是否刻蚀干净，但实际上会存在监控漏洞，也即是会存在少量未被刻蚀干净的区域，而对于在已经刻蚀时间或者刻蚀量的基础上增加的刻蚀部分称为过刻蚀量。
如图2所示的一实施方式复合膜层的刻蚀方法，包括如下步骤：
S10、提供沉积有复合膜层的器件200。
结合图1，复合膜层由第一多晶硅层10、二氧化硅层20和第二多晶硅层30依次层叠形成，并且第二多晶硅层30与器件200直接接触。
第一多晶硅层10、二氧化硅层20和第二多晶硅层30的具体厚度一般根据实际需要确定，可以理解的是，其厚度范围只要满足本领域技术人员的理解，皆可以。
S20、对第一多晶硅层10进行表面预处理。
第一多晶硅层10由于直接与空气接触，往往会由于氧化产生很薄的一层SiO2，一般可以通过Cl2腐蚀去除，通过选择合适的Cl2的浓度和腐蚀时间，完成表面预处理的操作。
本实施方式中，表面预处理的操作通过多晶刻蚀机台实现。多晶刻蚀机台的功率可以为600W～900W。Cl2的浓度只要大于多晶刻蚀机台所限制的最低浓度且低于多晶刻蚀机台所限制的最高浓度。具体的腐蚀时间则需要根据Cl2的浓度确定。一般而言，Cl2的浓度较高时，腐蚀时间较短；而Cl2的浓度较低时，腐蚀时间较长。
S30、在第一多晶硅层10上涂覆光阻40，然后在第一工艺气体氛围下，对第一多晶硅层10进行主刻蚀，接着对第一多晶硅层10进行过刻蚀。
光阻40选择本领域常用材料即可，在本发明中并没有太多限定。
在对第一多晶硅层10进行主刻蚀前，需要对刻蚀气氛进行稳定，一般缓慢通入第一工艺气体直至达到要求。
第一工艺气体氛围一般选择HBr、Cl2和O2的混合气氛。HBr、Cl2和O2的混合气氛中HBr、Cl2和O2的摩尔比范围为1:1.6～3:0.01～0.05。
S30中，主刻蚀完成后还需要进行刻蚀终点检测，从而确认第一多晶硅层10刻蚀干净。
S30中，过刻蚀量可以为40%～50%，从而保证第一多晶硅层10刻蚀干净，并且不对二氧化硅层20造成影响。一般通过调节刻蚀时间来调节过刻蚀量。
本实施方式中，第一多晶硅层10的主刻蚀和过刻蚀的操作通过多晶刻蚀机台实现。多晶刻蚀机台的功率可以为600W～900W。
S40、在第二工艺气体氛围下，对二氧化硅层20进行主刻蚀，接着对二氧化硅层20进行过刻蚀。
在对二氧化硅层20进行主刻蚀前，需要对刻蚀气氛进行稳定，一般缓慢通入第二工艺气体并排除第一工艺气体，直至达到要求。
第二工艺气体氛围一般选择CF4和CHF3的混合气氛。CF4和CHF3的混合气氛中CF4和CHF3的摩尔比范围为3～5:4。
S40中，主刻蚀完成后还需要进行刻蚀终点检测，从而确认二氧化硅层20刻蚀干净。
S40中，过刻蚀量可以为30%～60%，从而保证二氧化硅层20刻蚀干净，并且不对第二多晶硅层30造成影响。一般通过调节刻蚀时间来调节过刻蚀量。
本实施方式中，二氧化硅层20的主刻蚀和过刻蚀的操作通过多晶刻蚀机台实现。多晶刻蚀机台的功率可以为600W～900W。采用多晶刻蚀机台对二氧化硅层20进行主刻蚀和过刻蚀时，一般采用定时刻蚀，并且选择刻蚀速率较低且对第二多晶硅层30选择较高的刻蚀菜单（该菜单对第二多晶硅层30的刻蚀量很小），第二多晶硅层30。
需要指出的是，对二氧化硅层20进行刻蚀的时候，不需要提前进行表面预处理，也不需要再次涂覆光阻。
S50、在所述第一工艺气体氛围下，对第二多晶硅层30进行主刻蚀，接着对第二多晶硅层30进行过刻蚀。
在对第二多晶硅层30进行主刻蚀前，需要对刻蚀气氛进行稳定，一般缓慢通入第一工艺气体并排除第二工艺气体，直至达到要求。
第二工艺气体氛围如S30所示。
S50中，主刻蚀完成后还需要进行刻蚀终点检测，从而确认第二多晶硅层30刻蚀干净。
S50中，过刻蚀量可以为30%～40%，从而保证第二多晶硅层30刻蚀干净，并且不对器件200造成影响。一般通过调节刻蚀时间来调节过刻蚀量。
本实施方式中，第二多晶硅层30的主刻蚀和过刻蚀的操作通过多晶刻蚀机台实现。多晶刻蚀机台的功率可以为600W～900W。
需要指出的是，对第二多晶硅层30进行刻蚀的时候，不需要提前进行表面预处理，也不需要再次涂覆光阻。
这种复合膜层的刻蚀方法依次对第一多晶硅层10、二氧化硅层20和第二多晶硅层30进行刻蚀，一次光刻后进行三次刻蚀，只需要使用一台多晶刻蚀机台，相对于传统的复合膜层的刻蚀方法，降低复合膜层刻蚀所需要的人力成本和制造成本，产能较高。
此外，传统的刻蚀复合膜层的刻蚀方法在刻蚀时针对不同的材质（多晶硅和二氧化硅），需要使用两种机台使得刻蚀形貌受两种不同机台状况的影响导致刻蚀形貌难以保证和监控。而这种复合膜层的刻蚀方法仅需要使用一种多晶刻蚀机台，有利于刻蚀形貌的保证和监控。
最后，由于第一多晶硅层10和第二多晶硅层30刻蚀过程极其相似，采用三次刻蚀容易导致第一多晶硅层10和第二多晶硅层30的混淆，增加操作人员误操作的风险。而这种复合膜层的刻蚀方法仅需要使用一种多晶刻蚀机台，能够减少刻蚀操作人员误操作的风险。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种复合膜层的刻蚀方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供沉积有复合膜层的器件，所述复合膜层由第一多晶硅层、二氧化硅层和第二多晶硅层依次层叠形成且所述第二多晶硅层与所述器件直接接触；
对所述第一多晶硅层进行表面预处理；
在所述第一多晶硅层上涂覆光阻，接着在第一工艺气体氛围下对所述第一多晶硅层进行主刻蚀，接着对所述第一多晶硅层进行过刻蚀；
在第二工艺气体氛围下，对所述二氧化硅层进行主刻蚀，接着对所述二氧化硅层进行过刻蚀；
在所述第一工艺气体氛围下，对所述第二多晶硅层进行主刻蚀，接着对所述第二多晶硅层进行过刻蚀；所述第一工艺气体氛围为HBr、Cl2和O2的混合气氛，所述HBr、Cl2和O2的混合气氛中HBr、Cl2和O2的摩尔比范围为1:1.6～3:0.01～0.05；
所述第二工艺气体氛围为CF4和CHF3的混合气氛，所述CF4和CHF3的混合气氛中CF4和CHF3的摩尔比范围为3～5:4。
2.根据权利要求1所述的复合膜层的刻蚀方法，其特征在于，对所述第一多晶硅层进行过刻蚀的操作中，过刻蚀量为40％～50％。
3.根据权利要求1所述的复合膜层的刻蚀方法，其特征在于，对所述二氧化硅层进行过刻蚀的操作中，过刻蚀量为30％～60％。
4.根据权利要求1所述的复合膜层的刻蚀方法，其特征在于，对所述第二多晶硅层进行过刻蚀的操作中，过刻蚀量为30％～40％。
5.根据权利要求1所述的复合膜层的刻蚀方法，其特征在于，对所述复合膜层进行表面预处理的操作通过Cl2腐蚀完成。
6.根据权利要求1所述的复合膜层的刻蚀方法，其特征在于，对所述第一多晶硅层进行主刻蚀的操作还包括：完成主刻蚀后进行刻蚀终点检测的操作。
7.根据权利要求1～6中任意一项所述的复合膜层的刻蚀方法，其特征在于，所述复合膜层的刻蚀方法通过多晶刻蚀机台实现。
8.根据权利要求7所述的复合膜层的刻蚀方法，其特征在于，所述多晶刻蚀机台的功率为600W～900W。
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