CN104110392A - 霍尔维克泵级的定子元件及制造方法和带该泵级的真空泵 - Google Patents

Abstract

霍尔维克泵级的定子元件及制造方法和带该泵级的真空泵。本发明涉及用于霍尔维克泵级的具有实质上圆柱套形状的基础形状的定子元件或者涉及用于霍尔维克泵级的具有实质上圆柱套形状的基础形状的定子元件的一套部件，其中所述定子元件或该套部件包括被彼此分开的多个定子部件，多个定子部件被装配以形成定子元件或可以被装配以形成定子元件。本发明还涉及一种具有霍尔维克泵级的真空泵和制造用于霍尔维克泵级的定子元件或制造用于霍尔维克泵级的定子元件的一套部件的方法。

Description

霍尔维克泵级的定子元件及制造方法和带该泵级的真空泵

本发明涉及一种用于霍尔维克泵级（Holweck pump stage）的定子元件、具有霍尔维克泵级的真空泵和制造用于霍尔维克泵级的定子元件的方法。

真空泵被用在各种技术领域中，比如举个例子，用在半导体工艺技术中以便以要被排空的体积产生相应工艺过程所需要的真空。用在真空泵中的重要的泵机构是霍尔维克泵机构，霍尔维克泵机构在分子流领域是特别有效的并被称为分子泵机构。霍尔维克泵级被用在例如涡轮分子泵中，涡轮分子泵除了一个或多个涡轮分子泵级还包括在涡轮分子泵级下游连接的一个或多个霍尔维克泵级。霍尔维克泵级可以彼此串行或并行泵送。

霍尔维克泵级通常包括实质上圆柱套形状（cylinder jacket shape）的定子元件和同样实质上圆柱套形状的转子元件，其中定子元件的套表面和转子元件的套表面形成提供泵活性（pump activity）的泵级的表面以及被彼此相对布置，同时形成称为霍尔维克间隙的狭窄间隙。一般说来，在轴向方向延伸的多个螺旋壁板（helical web）和布置在壁板之间的且同样在轴向方向螺旋延伸的槽在定子元件的套表面中形成。转子元件的相对布置的套表面可以例如是光滑的。霍尔维克泵级的泵效应是基于要被传送的气体分子在槽中通过转子元件的旋转移动向前驱动并从而在轴向方向被传送的事实，其中在槽间形成的壁板密封了槽并防止或减少气体分子向泵送方向相反的流出或回流。

因为尽可能小的霍尔维克间隙的间隙尺寸对高泵送效率是尤其必要的，定子元件应该被以高精度制造并在紧密的生产容差内。因为霍尔维克泵级的定子元件另外直接地与传送的气体连通且被暴露到高热和机械负荷，定子元件的材料应被选择使得真空污染被阻止，确保足够的真空紧密性以及定子元件承受热和机械负荷。为了满足这个需求，用于霍尔维克泵级的定子元件通常从实心圆柱体或从由真空可兼容的金属构成的空心圆柱体轧出，这是与非常高的时间和成本效力关联的。

本发明的一个目的是提供一种满足技术真空需求且可以以减少的时间效力和成本效力制造的用于霍尔维克泵级的定子元件，并提供一种制造用于可以以减少的时间效力和成本效力实施的霍尔维克泵的定子元件的方法。

该目的通过具有权利要求1的特征的定子元件或用于定子元件的一套部件满足。

具有实质上圆柱套形状的基础形状的用于霍尔维克泵级的定子元件或用于具有实质上圆柱套形状的基础形状的用于霍尔维克泵级的定子元件的一套部件包括被装配或可以被装配以形成定子元件的多个相互独立的定子部件。

因此，定子元件或基体没有在多个部件中形成，而是包括可以被装配以形成定子元件的多个个体定子部件。

在本发明的框架中可以意识到的是，单个定子部件的制造比单一部件定子元件的制造可能简单得多，因为与单一部件制造关联的问题，比如由于圆柱套形状、进入的缺乏和不适宜的加工角度导致的倒扣（undercut），被避免，且代替的是具有不成问题的形状的定子部件被制造。例如，定子部件可以被简单地和廉价地制造，如下面描述的，通过模制而没有实质上更难制作或被任何倒扣阻碍的定子部件的脱模。

从属权利要求中、说明书中和附图中描述了本发明的有利的实施方式。

根据一种有利的实施方式，定子元件的外套表面和内套表面分别地形成提供泵活性且具有在轴向方向上螺旋地延伸的多个壁板和布置在壁板间并在轴向方向上螺旋地延伸的槽的表面，其中定子部件的每一个形成提供泵活性的表面的区域或形成提供泵活性的多个表面的区域。壁板和槽因而形成霍尔维克螺纹（Holweck thread），螺旋形状还被理解成仅形成螺旋线的局部旋转的形状。原则上定子元件在称为套表面中的一个或在两个套表面处可以具有这种提供泵活性的表面。提供泵活性的每一个表面可以形成霍尔维克泵级，其中套表面提供相对于定子元件旋转的和同样实质上圆柱套形状的转子元件的泵活性。

当提供泵活性且具有多个槽和壁板的表面被在定子元件的至少内套表面处形成时，本发明的优点可以被特别看出，因为在这种情况时相应的定子元件的单一部件制造特别复杂和/或昂贵。

各个定子部件可以被装配以形成定子元件且在这方面可以实质上是盘状。至少一个定子部件或每一个定子部件可以在这方面形成定子元件的实质上圆柱套形状的基础形状的段。至少一个定子部件或每一个定子部件优选地具有形成定子元件的外套表面的一部分的外侧和形成定子元件的内套表面的一部分的内侧。

每一个定子部件可以在形成了定子元件的各自外或内套表面的一部分的外侧和/或内侧处具有上面描述的螺旋壁板和在螺旋壁板或其至少段之间延伸的螺旋槽中的一个或多个。

根据一种实施方式，至少一个定子部件且特别是每一个定子部件仅覆盖定子元件的相对于定子元件的纵向轴线界定的外周角的部分区域。定子元件可以在这个方面被定子部件分成在外周方向上彼此跟随的多个角度段或片段。各个定子部件的闭合的几何形状从而被避免，以此其制造被简化且例如，在通过模制的制造上，确保了定子部件的简化的脱模能力。从定子部件装配的定子元件优选具有共360度的外周角，即定子元件可以被形成为关于其纵向轴线环状闭合的并可以覆盖相对于其纵向轴线界定的全部角度范围。至少一个定子部件或每一个定子部件可以在定子元件的全部纵向范围上关于定子元件的纵向轴线方向延伸。

至少一个定子部件且尤其是每一个定子部件优选覆盖定子元件的相对于定子元件的纵向轴线界定的外周角的至多180度且优选小于180度的范围。更简单的制造能力和尤其定子部件的更容易的脱模能力可以从而在它们的制造上被实现，因为有小于180度的角，模制定子部件的将阻止脱模或使其实质上更难的倒扣被避免。

定子元件优选被两个相互邻近的定子部件平行于定子元件的纵向轴线和/或倾斜于定子元件的纵向轴线地分开。在这个方面，两个邻近定子部件可以具有相互相对布置的和相互面向的分界表面，该分界表面在定子元件的纵向方向上延伸通过定子元件，且实际上至少区域性地平行和/或倾斜于定子元件的纵向轴线。从而使其能从相对小数量的定子部件建立定子元件，每一个定子部件仅覆盖定子元件的外周角的一部分区域。

进一步的实施方式提供了提供泵活性的定子元件的表面被两个相互邻近的定子部件平行于定子元件的纵向轴线和/或倾斜于定子元件的纵向轴线地分开。在这个方面，两个邻近的定子部件具有相互相对布置的和相互面向的分界表面，其在定子元件的纵向轴线方向上延伸通过提供泵活性的定子元件的表面且其界定了提供泵活性的表面的至少区域性地平行于和/或倾斜于定子元件的纵向轴线延伸的分界线。

提供泵活性的定子元件的表面的至少一个段优选被两个相互邻近的定子部件沿槽或沿提供泵活性的表面的壁板分开，且特别是至少大致平行于槽或壁板。提供泵活性的表面的被邻近的定子部件界定的分界线因此沿壁板或沿槽且特别是实质上平行于壁板或槽延伸。各个定子部件的制造从而被简化，因为要被在每个定子部件中形成的壁板和槽或壁板段和槽段的数量保持很少。槽的至少一个纵向段的槽底部可以例如完全地通过一个定子部件形成，且接壤槽的纵向段的壁板段可以完全通过邻近的定子部件形成，使得定子元件被沿着槽的底部的边缘分开。在这种实施方式中，定子部件相对于它们的希望位置的相对位置的轻微偏差不会导致会损害泵作用的槽和壁板段相对于彼此的偏移。

根据一种有利实施方式，至少一个定子元件且特别是每一个定子部件被形成使得与定子部件相同的多个定子部件可以被装配以形成定子元件。从而使得定子元件的制造更容易，因为没有不同的定子元件必须被制造，更确切地说定子元件可以由相同的定子部件装配。相应地定子元件优选包括至少两个实质上相同的定子部件且特别是可以完全地包括实质上相同的定子部件。

根据一种可以从接下来的关于制造过程的描述看出优点的实施方式，至少一个定子部件且特别是每一个定子部件通过模制制造或可以通过模制制造。模制表示特别简单和便宜的过程，使用该过程满足技术真空需求的定子元件或定子部件可以被制造。

根据一种进一步的实施方式，至少一个定子部件且特别是每一个定子部件由塑料制造或可以至少部分地且特别是完全由塑料制造。进一步的实施方式提供了至少一个定子部件且特别是每一个定子部件通过吹塑或通过三维打印制造或可以通过吹塑或通过三维打印制造。

定子部件的壁板的形状优选被适配使得定子部件不具有任何例如当定子部件通过模制制造时将阻止定子部件的脱模或将使其实质上更难的倒扣。

至少一个定子部件或每一个定子部件可以原则上包括金属，特别是至少部分地和特别是完全地，满足相应的技术真空需求的可塑形金属。

原则上，定子元件可以被分成任意想要数量的定子部件。例如，可以提供恰好两个定子部件，两个定子部件可以每一个实质上以半壳的形式被设计并可以被装配以形成定子元件。然而，当装配时产生定子元件的三个、四个、五个、六个或更多个定子部件也可以被制造。

在本说明书的框架中，定子部件可以被装配以形成定子元件的事实被理解使得定子部件可以相对于彼此定位，使得它们形成具有描述的形状的定子元件。定子部件可以被以这个方面配置使得它们相互地保持它们的在装配状态中的希望的相对定位。为了这个目的，定子部件可以具有在装配的定子元件中彼此接触且彼此支撑的相互互补表面。装配的定子元件可以在这个方面形成自支撑机械结构。定子部件还可以被配置使得当它们被插入到真空泵以用于形成定子元件时，在它们的希望的相对定位中它们相对于彼此是固定的并因而与真空泵一起形成自支撑结构。

定子部件可以原则上以不连接到彼此的个体部件存在或可以被固定连接到彼此，特别是粘合地结合到彼此，和特别是具有材料连续性，用于形成定子元件。“相互分开”的定子部件在固定连接的情况下要被理解为按照个体部件被制造或可以被制造并可以被随后连接到彼此的定子部件。

实质上圆柱套形状的基础形状是具有优选实质上旋转对称的内轮廓和/或外轮廓的任何期望的套形状。基础形状可以在这个方面通过直圆柱套形状或也可以通过截头锥套形状形成，即通过在其纵向轴线方向上会聚或发散的圆柱套的形状形成。

本发明的另一个主题是制造具有实质上圆柱套形状的基础形状的用于霍尔维克泵级的定子元件或制造具有实质上圆柱套形状的基础形状的用于霍尔维克泵级的定子元件的一套部件的方法。该方法包括多个定子部件被彼此分开制造，定子部件能被装配以形成定子元件或以形成用于定子元件的基体。方法优选用于依照本发明和依照上面描述的定子元件或一套部件的制作。关于定子元件和关于该套部件和关于其制造描述的有利的实施方式和优点表示相应的有利的实施方式和方法的优点。

方法的有利的进一步发展提供了用于定子部件的初始各自的基体被制造以用于制造至少一个定子部件且特别是用于制造每一个定子部件，其中基体随后被后加工以形成定子部件。基体在这个方面可以通过主模制过程（primary molding process）制造和/或基体可以通过成型过程被后加工以形成定子部件。定子元件可以被以此方式具有足够可靠的几何精度和用小的效力来制造。如下面描述的，特别是模制、吹塑和三维打印（3D打印）可以被视为主模制过程。原则上，至少一个定子部件也可以完全通过主模制过程而没有后加工来制造。

定子部件可以作为个体部件被提供或可以被固定地连接到彼此，特别是粘合地结合到彼此，特别是具有材料连续性，以形成定子元件。

用于定子元件或用于定子部件的基体要被理解成可以被进一步处理以形成定子元件或定子部件的本体。用于定子元件的基体优选是实质上圆柱套形状。如果在下面提到了定子元件或定子元件自身的制造或定子部件或定子部件自身的制造，则在可适用且没有其它说明的情况下，对应的说明以对应的方式与用于定子元件或用于定子部件的基体或用于基体自身的制造有关。

如果首先用于定子部件的基体被在主模制过程中制造，这个基体优选具有形成用于定子元件的实质上圆柱套形状的基体的外套表面的一部分的外侧和/或具有形成用于定子元件的实质上圆柱套形状的基体的内套表面的一部分的内侧。用于定子部件的基体的外侧和/或内侧可以在这个方面已经具有与初步的壁板或壁板段和布置在其间的槽或槽段一起的压型，初步的壁板或壁板段和布置在其间的槽或槽段通过后加工成型以形成最终的壁板或壁板段和布置在其间的槽或槽段。后加工可以例如包括定子部件的基体的初步的壁板或壁板段的形状的适形。后加工还可以用于将定子元件的外或内套表面的被各自定子部件预界定的外直径和/或内直径甚至更精确地带到预界定的值，并从而使霍尔维克泵级的狭窄间隙尺寸能被需要用于高泵送效率。为了这个目的，例如现有初步的壁板或壁板段可以通过材料移除过程被后加工，特别是切割过程，以实现各自希望的外直径或内直径。这个后加工可以例如包括用于定子部件的基体的最终车削（turning）。

定子部件的壁板的形状被优选适配使得定子部件不具有任何例如当定子部件或基体通过模制制造时将阻止定子部件或用于定子部件的基体的脱模或将使其更难的倒扣。然后，完成的定子元件可以或者具有这种可选择地与已知壁板形状不同的壁板形状或者壁板形状可以被随后如上面描述地修改。

根据有利的实施方式，至少一个定子部件的制造且特别是每一个定子部件的制造包括定子部件或用于定子的基体被通过模制制造。因此从上面描述的意义来说，模制表示可能的主模制过程。模制允许定子部件的时间效率的和成本效率的大量生产，以此定子元件的制造需要的时间效力和成本效力实质上被减少了。在这个方面，通过定子元件分成多个定子部件，使得在模制后定子部件简单脱模成为可能，因为与圆柱套形状的定子元件的基础形状关联的变形问题被避免。如上面描述的，至少一个定子部件或每一个定子部件可以具有实质上没有倒扣的几何结构以允许制造的定子部件的无问题的脱模。

另一种实施方式提供了至少一个定子部件且特别是每一个定子部件被至少部分地且特别是完全地由塑料制造。在本发明的框架中要意识到，塑料表示适用于定子元件的材料，其满足技术真空需求且同时能以最小的代价获得且可以比常规材料更容易地处理。通过定子元件分成多个定子部件，定子部件的制造在这个方面又被方便了。

根据一种实施方式，至少一个定子部件的制造且特别是每一个定子部件的制造包括定子部件或用于定子部件的基体通过吹塑或通过三维打印被制造。因此从前面的描述的意义上说，吹塑或三维打印表示可能的主模制过程。这个方法特别适合于制造具有期望形状的优选至少部分地和特别是完全包括塑料的定子部件。在本发明的框架中要意识到，吹塑和三维打印适合于提供具有满足现有技术真空需求的足够几何精度的定子部件。

本发明的另一个主题是制造用于霍尔维克泵级的定子元件或制造用于霍尔维克泵级的（包括多个定子部件的）定子元件的一套部件的方法，该方法包括定子元件或至少一个定子部件或用于定子元件或用于定子部件的基体通过模制被制造。在本发明的框架中要意识到，通过可以以减少的时间效力和成本效力执行的这种制造方法，定子元件或定子部件或基体可以被以在霍尔维克泵级中使用所需要的技术真空属性来制造。

定子元件的外套表面和/或内套表面优选分别地形成提供泵活性和具有霍尔维克螺纹即具有在轴向方向上螺旋延伸的多个壁板和布置在壁板之间并在轴向方向上螺旋延伸的槽的表面。该方法可以包括用于定子元件或用于定子元件的定子部件的基体首先通过模制被制造，所述基体随后被后加工以用于形成定子元件或定子部件，特别是通过成型过程。用于通过模制制造的定子元件的基体优选具有实质上圆柱套形状的基础形状。基体在其内侧和/或外侧处还可以已经具有一个或多个初步的壁板和/或槽。然后，后加工可以包括被基体预界定的定子元件的壁板形状的适形和/或外直径的适形和/或内直径的适形。

本发明的又一个主题是用于制造用于霍尔维克泵级的定子元件或用于制造用于霍尔维克泵级的（包括多个定子部件的）定子元件的一套部件的方法，该方法包括定子元件或至少一个定子部件或用于定子元件或用于定子部件的基体被至少部分和特别是全部由塑料制造。在本发明的框架中要意识到，定子元件可以由塑料制造，塑料可以便宜地得到且可以被容易地和便宜地处理，所述定子元件具有用于在霍尔维克泵级中使用所需要的技术真空属性。定子元件的外套表面和/或内套表面在这个方面优选形成提供泵活性和具有霍尔维克螺纹即具有在轴向方向螺旋延伸的多个壁板和在壁板之间布置并在轴向方向上螺纹延伸的槽的各自的表面。

本发明的另一个主题是制造用于霍尔维克泵级的定子元件或制造用于霍尔维克泵级的（包括多个定子部件的）定子元件的一套部件的方法，该方法包括定子元件或至少一个定子部件或用于定子元件或用于定子部件的基体通过吹塑或三维打印被制造。在本发明的框架中要意识到，定子元件或定子部件可以通过吹塑或通过三维打印制造，这可以被以小的效力和/或成本实现，所述定子元件或定子部件具有用于在霍尔维克泵级中使用所需要的技术真空要求。定子元件或定子部件在这个方面优选至少部分地且特别是全部包括塑料。定子元件的外套表面和/或内套表面优选分别形成提供泵活性并具有霍尔维克螺纹即具有在轴向方向螺旋延伸的多个壁板和在壁板之间布置并在轴向方向上螺纹延伸的槽的表面。

此外，本发明的一个主题是用于霍尔维克泵级的定子元件和/或用于霍尔维克泵级的定子元件的一套部件，其中定子元件或该套部件通过依照上面描述的方法被制造或可被制造。这种定子元件满足用于在霍尔维克泵级中使用存在的技术真空需求并可以同时被以小的时间效力和成本效力制造。依照本发明，上面描述的与制造方法有关的定子元件或该套部件的有利的实施方式和优点表示根据本发明的定子元件或该套部件的相应的有利的实施方式和优点。

此外，本发明的一个主题是具有至少一个霍尔维克泵级的真空泵，其包括至少一个根据本描述的定子元件。上面关于定子元件描述的有利的实施方式和其在真空泵中的使用表示真空泵在相应使用上的优点和有利的实施方式。定子元件可以与至少一个转子元件一起形成真空泵的至少一个霍尔维克泵级。在这个方面，定子元件的提供泵活性的表面或转子元件的提供泵活性的表面可以彼此相对并可以通过这个表面界定径向的霍尔维克间隙。真空泵可以特别地被配置成涡轮分子泵，涡轮分子泵包括一个或多个涡轮分子泵级，一个或多个涡轮分子泵级可以特别被布置在一个或多个霍尔维克泵级上游且可以在工艺流动方面与它们串联连接。霍尔维克泵级可以在这个方面原则上彼此并行或串行泵送。用于真空泵的制造的时间效力和成本效力通过根据本发明的定子元件的使用实质上被减少。

接下来参考有利的实施方式和附图以例子的方式，描述本发明。其中示出了：

图1是依照本发明的一种实施方式的在透视图中的定子元件；和

图2是依照本发明的另一种实施方式的在透视图中的定子元件。

参考数字列表

12、12'、12''      定子部件

14、14'、14''      壁板段、壁板

16                 槽

18、20、22         分界表面

24                 纵向轴线

图1示出了根据本发明的一种实施方式的在装配状态中的定子元件。定子元件具有实质上圆柱套形状的基础形状并包括将定子元件分成三个角度段的三个单独的定子部件12、12'、12''。各个定子部件12、12'、12''之间的分界表面被图1中的参考数字18、20、22标记且实质上平行于定子元件的纵向轴线24延伸，使得每一个定子部件12、12'、12''形成具有从其平伸侧看实质上矩形轮廓形状的圆柱套片段。

每一个定子部件12、12'、12''在其外侧处和也在其内侧处包括各自的多个壁板段14、14'、14''，所述壁板段一起形成在纵向轴线24的方向上螺旋延伸的壁板，所述壁板段被布置在定子元件的内套表面处和外套表面处，且在纵向轴线24的方向上分别地螺旋延伸的槽16形成在壁板段之间。壁板和槽16在这个方面上每一个在定子元件的内套表面处和外套表面处形成霍尔维克螺纹，这适合于与相对于各自的套表面旋转并形成为霍尔维克圆柱的转子元件一起形成霍尔维克泵级，其中转子元件尤其能具有提供泵活性的光滑表面。由于定子元件的分段，其制造被大量简化，因为各个定子部件12、12'、12''可以被制造，例如，通过实质上没有倒扣地进行模制并因而可以容易脱模。

图2示出了根据本发明的另一种实施方式的定子元件，该定子元件实质上对应于图1中示出的定子元件，并仅通过定子元件分割成定子部件12、12'、12''的几何形状区别。定子元件被三个定子部件12、12'、12''横向于纵向轴线24分开，使得每一个定子部件12、12'、12''形成具有从其平伸侧看实质上菱形轮廓形状的圆柱套片段。分界表面18、20、22每一个沿着布置在定子元件的外套表面处的槽16的底部的边缘延伸，使得各自的槽底部和各自的邻近壁板14、14'、14''不被在外套表面处的分界表面18、20、22打断。

Claims (17)

1.一种用于霍尔维克泵级的定子元件，所述定子元件具有实质上圆柱套形状的基础形状，或者用于霍尔维克泵级的定子元件的一套部件，所述定子元件具有实质上圆柱套形状的基础形状，其中所述定子元件或该一套部件包括被装配以形成所述定子元件或能够被装配以形成所述定子元件的多个相互独立的定子部件（12、12'、12''）。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：

所述定子元件的外套表面和/或内套表面各自形成提供泵活性且具有在轴向方向上螺旋延伸的多个壁板（14、14'、14''）且具有槽（16）的表面，所述槽（16）布置在所述壁板（14、14'、14''）之间并在轴向方向上螺旋延伸，其中所述定子部件（12、12'、12''）的每一个形成提供泵活性的所述表面的区域或形成提供泵活性的多个表面的区域。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：

至少一个定子部件（12、12'、12''）且特别是每一个定子部件（12、12'、12''）仅覆盖所述定子元件的相对于所述定子元件的纵向轴线（24）界定的外周角的一部分区域。

4.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于：

至少一个定子部件（12、12'、12''）且特别是每一个定子部件（12、12'、12''）覆盖所述定子元件的相对于所述定子元件的纵向轴线（24）界定的外周角的至多180度且优选小于180度的范围。

5.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于：

所述定子元件被两个相互邻近的定子部件（12、12'、12''）平行于所述定子元件的纵向轴线（24）和/或倾斜于所述定子元件的纵向轴线（24）地分开。

6.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于：

提供泵活性的所述定子元件的表面的至少一个段被两个相互邻近的定子部件（12、12'、12''）沿着提供泵活性的表面的槽（16）或沿着提供泵活性的表面的壁板（14、14'、14''）且特别是至少大致与所述槽（16）平行或平行于所述壁板（14、14'、14''）地分开。

7.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于：

至少一个定子部件（12、12'、12''）且特别是每一个定子部件（12、12'、12''）被配置使得与所述定子部件（12、12'、12''）相同的多个定子部件（12、12'、12''）能够被装配以形成所述定子元件。

8.一种制造用于霍尔维克泵级的定子元件的方法，所述定子元件具有实质上圆柱套形状的基础形状，或者一种制造用于霍尔维克泵级的定子元件的一套部件的方法，所述定子元件具有实质上圆柱套形状的基础形状，其中所述定子元件或该一套部件优选被按照前述权利要求中任一项配置，所述方法包括多个定子部件（12、12'、12''）被彼此分开地制造，其中所述定子部件（12、12'、12''）被装配以形成所述定子元件或形成用于所述定子元件的基体。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于：

用于所述定子部件（12、12'、12''）的基体首先被分别制造，特别是通过主模制过程，以用于制造至少一个定子部件（12、12'、12''）和特别是用于制造每一个定子部件（12、12'、12''），其中所述基体随后被后加工，特别是通过成型工艺，以形成所述定子部件（12、12'、12''）。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于：

至少一个定子部件（12、12'、12''）的制造且特别是每一个定子部件（12、12'、12''）的制造包括通过模制来制造所述定子部件（12、12'、12''）或用于所述定子部件（12、12'、12''）的基体。

11.根据权利要求8至10中任一项所述的方法，其特征在于：

至少一个定子部件（12、12'、12''）且特别是每一个定子部件（12、12'、12''）至少部分地且特别是全部由塑料制造。

12.根据权利要求8至11中任一项所述的方法，其特征在于：

至少一个定子部件（12、12'、12''）的制造且特别是每一个定子部件（12、12'、12''）的制造包括通过吹塑或通过三维打印来制造所述定子部件（12、12'、12''）或用于所述定子部件（12、12'、12''）的基体。

13.一种制造用于霍尔维克泵级的定子元件或制造用于霍尔维克泵级的定子元件的一套部件的方法，所述定子元件包括多个定子部件（12、12'、12''），其中所述定子元件或该一套部件优选被按照权利要求1至7中任一项配置，所述方法包括通过模制来制造所述定子元件或至少一个定子部件（12、12'、12''）或用于所述定子元件或用于所述定子部件（12、12'、12''）的基体。

14.一种制造用于霍尔维克泵级的定子元件或制造用于霍尔维克泵级的定子元件的一套部件的方法，所述定子元件包括多个定子部件（12、12'、12''），其中所述定子元件或所述一套部件优选被按照权利要求1至7中任一项配置，所述方法包括所述定子元件或至少一个定子部件（12、12'、12''）或用于所述定子元件或用于所述定子部件（12、12'、12''）的基体至少部分地且特别是全部由塑料制造。

15.一种制造用于霍尔维克泵级的定子元件或制造用于霍尔维克泵级的定子元件的一套部件的方法，所述定子元件包括多个定子部件（12、12'、12''），其中所述定子元件或所述一套部件优选被按照权利要求1至7中任一项配置，所述方法包括通过吹塑或通过三维打印来制造所述定子元件或至少一个定子部件（12、12'、12''）或用于所述定子元件或用于所述定子部件（12、12'、12''）的基体。

16.一种用于霍尔维克泵级的定子元件或用于霍尔维克泵级的定子元件的一套部件，其中所述定子元件或所述一套部件通过按照权利要求8至15中任一项所述的方法被制造或能够通过按照权利要求8至15中任一项所述的方法被制造。

17.一种真空泵，特别是涡轮分子泵，具有包括根据权利要求1至7中任一项或根据权利要求16所述的至少一个定子元件的至少一个霍尔维克泵级。