CN104106114A - 光拾取装置用物镜的制造方法、物镜及物镜的检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够以低成本制造可精度良好地组装于光拾取装置的物镜的制造方法、物镜及物镜的检查方法。使检测光(DL)从检测装置(SS)朝向物镜(OL)的第二平坦面(L2)射出。由于所述检测光(DL)从第二平坦面(L2)反射而再次回到检测装置(SS)，所以其被CCD的摄像面等接收。此时，如果反射光返回摄像面的规定位置，则可知第二平坦面(L2)与光拾取装置的光轴平行。由于在第二平坦面(L2)不形成防反射层，所以来自第二平坦面(L2)的反射光的强度增大，能够进行精度良好的检测。

Description

光拾取装置用物镜的制造方法、物镜及物镜的检查方法

技术领域

本发明涉及一种光拾取装置用物镜的制造方法、物镜及物镜的检查方法。

背景技术

近年来，在光拾取装置中，作为用于使记录在光盘中的信息再生、向光盘记录信息的光源而使用的激光光源的波长逐渐变短，例如，蓝紫色半导体激光等波长在380～420nm的激光光源正在实用化。如果使用这些蓝紫色激光光源，则在使用与DVD(数字化视频光盘)具有相同数值孔径(NA)的物镜的情况下，对于直径12cm的光盘，能够记录15～20GB的信息，在物镜的数值孔径NA提高到0.8左右的情况下，对于直径12cm的光盘，能够记录23～25GB的信息。

作为使用上述数值孔径NA0.8以上的物镜的光盘的例子，以BD(蓝光光盘)为例进行说明。由于因光盘的倾斜(偏斜)引发的慧差增大，所以在BD中，与DVD的情况相比更薄地设计保护基板(相对于DVD的0.6mm，BD的设计为0.1mm)，降低由偏斜引起的慧差量。

但是，即使以这种方式使BD的保护基板厚度变薄，在将数值孔径NA0.8以上的物镜安装于光拾取装置时，如果其光轴倾斜，则可能不能忽视由此产生的慧差。因此，如专利文献1所示，对处于物镜的光学面的周围的平坦面照射激光，通过接收其反射光，一边检测出物镜的姿态一边将其安装于光拾取装置，从而能够精度良好地进行组合，从而抑制慧差。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2005-10307号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，为了提高用作光拾取装置的光源的半导体激光的光利用效率，通常在物镜的光学面实施有防止设计波长的光束反射的防反射层。但是，如果该防反射层附着于设置在光学面周围的平坦面，则会存在从平坦面反射的物镜的倾斜检查用激光的反射光强度降低的问题。更具体地说，例如，在防反射层的设计波长在400nm附近时，如果检查用激光的波长也在400nm附近，则检查用激光几乎全部通过附着有防反射层的平坦面，反射光的强度显著降低，检查变得困难。对此，通过使用其他波长的激光能够消除所述缺陷，但是用于检查的激光受到限制，存在制造成本增加的问题。另外，在互换用光拾取装置中，除BD用物镜之外，还使用对例如650nm前后的光束进行聚光的DVD用物镜，在这种情况下，如果使用650nm前后的波长的检查用激光来代替400nm前后波长的检查用激光，虽然能够有效地进行BD用物镜的检查，但是由于安装于相同光拾取装置的DVD用物镜的检查变得困难，因此不得不准备两种不同的激光用于检查，存在制造成本进一步增大的问题。

在以上述方式限定检查用激光的波长的条件下，如果防反射层附着在设置于光学面的周围的平面部，则在镀覆层的设计波长与检查用激光的波长一致时反射强度变小，难以准确地检测出物镜的倾斜状态的可能性变大。对此，在专利文献1中，提出了在平面部不实施镀覆层的建议，但是无论采用何种方法来不实施镀覆层，在专利文献1中并没有公开具体的方法。另外，也没有提及在光轴方向两侧的平面部实施镀覆层的情况的问题。

本发明是鉴于上述课题而做出的，其目的在于提供一种能够以低成本制造可精度良好地组装于光拾取装置的物镜的物镜的制造方法、物镜及物镜的检查方法。

用于解决技术问题的技术方案

技术方案1所述的物镜的制造方法的特征在于，是具有第一光学面、曲率比所述第一光学面小的第二光学面和设置在所述第一光学面及所述第二光学面的周围的凸缘部的光拾取装置用物镜的制造方法，

所述物镜在所述第二光学面与所述凸缘部之间设有第二平坦面，所述第二平坦面是镜面，在将所述物镜组装于光拾取装置时，向所述第二平坦面照射检测光，通过接收其反射光来检测所述物镜的姿态，

所述物镜的制造方法具有：

在所述物镜的成形后，利用遮蔽部件覆盖所述第二平坦面的工序，所述遮蔽部件具有从所述凸缘部侧向所述第二平坦面侧延伸且露出所述第二光学面的第二开口；

至少在所述第一光学面和所述第二光学面实施防反射层的工序。

根据本发明，由于具有在所述物镜的成形后利用遮蔽部件覆盖所述第二平坦面的工序和至少在所述第一光学面和所述第二光学面实施防反射层的工序，所述遮蔽部件具有从所述凸缘部侧向所述第二平坦面侧延伸且露出所述第二光学面的第二开口，因此能够抑制在所述第二平坦面形成防反射层，由此，在将所述物镜组装于光拾取装置时，在向所述第二平坦面照射检测光而接收到其反射光时，由于无论检测光的波长如何反射光的光量都增大，所以能够以更高的精度检测出所述物镜的姿态，另外，由于检测光的波长限制得以缓解，所以能够实现制造成本的降低。而且，如果所述第二平坦面是镜面，则能够使所述第二平坦面的反射光的强度提高。

技术方案2所述的物镜的制造方法在技术方案1所述的发明的基础上，其特征在于，所述凸缘部具有所述第二光学面侧的第二凸缘面，所述第二平坦面位于比所述第二凸缘面的最高点更靠光轴方向上的所述第一光学面侧。

例如，在以使第二光学面向下的方式载置所制造的物镜时，能够沿光轴方向延长凸缘部的第二光学面侧的外周部，将所述外周部抵接于载置面，从而使第二光学面不与载置面直接抵接而受损。在这种情况下，如果使所述第二平坦面位于比所述第二凸缘面的最高点更靠光轴方向上的所述第一光学面侧，则在载置所述物镜时等能够抑制所述第二平坦面的损伤。需要说明的是，“第二凸缘面的最高点”是指，在第二凸缘面中，沿光轴方向相对于第一光学面的面顶点最远的部位。

技术方案3所述的物镜的制造方法在技术方案1或2所述的发明的基础上，其特征在于，在所述遮蔽部件的光轴方向的剖面中，所述第二开口的内周缘朝向所述第二平坦面侧弯折。

例如，在使所述凸缘部的所述第二光学面侧的外周部沿光轴方向远离所述第二平坦面的情况下，必须避免所述遮蔽部件与所述凸缘部干涉，另一方面必须有效地进行所述第二平坦面的遮蔽。因此，通过使所述第二开口的内周缘朝向所述第二平坦面侧弯折，能够抑制所述遮蔽部件与所述凸缘部干涉，并且有效地进行所述第二平坦面的遮蔽。

技术方案4所述的物镜的制造方法在技术方案1～3中任一发明的基础上，其特征在于，所述遮蔽部件不与所述第二光学面及所述第二平坦面接触。

由此，能够避免因所述第二平坦面及其他所述物镜的表面与所述遮蔽部件抵接而造成的损伤，并且能够抑制所述第二平坦面的反射光的强度降低。

技术方案5所述的物镜的制造方法在技术方案1～4中任一发明的基础上，其特征在于，所述遮蔽部件的所述第二开口的内周缘的光轴方向外侧具有锥形状。

通过使所述第二开口的内周缘的外侧为锥形状，在附着防反射层时，能够不产生因所述遮蔽部件成为阴影而在所述第二光学面等产生附着不充分的情况。

技术方案6所述的物镜的制造方法在技术方案1～5中任一发明的基础上，其特征在于，所述第二平坦面的宽度为0.16～0.45mm。

如果所述第二平坦面的宽度在0.16mm以上，则能够避免在使检测光反射时调整变得困难的情况，另一方面，如果所述第二平坦面的宽度在0.45mm以下，则所述物镜的外径不会变得过大，有助于光拾取装置的小型化。另外，在第二平坦面的宽度在0.2mm以上的情况下，由于能够使检测光更切实地反射，因此更为优选。

技术方案7所述的物镜的制造方法在技术方案1～6中任一发明的基础上，其特征在于，在所述遮蔽部件沿光轴方向投影时，覆盖所述第二平坦面的90％以上。

如果所述遮蔽部件覆盖所述第二平坦面的90％以上，则与恰好覆盖整个面(100％)的情况相比，所述遮蔽部件的加工变得容易，并且容易抑制所述遮蔽部件的前端与所述第二光学面接触。另外，通过使所述遮蔽部件覆盖所述第二平坦面的90％以上，能够确保所述物镜的姿态检测所需的来自所述第二平坦面的反射光的强度。

技术方案8所述的物镜的制造方法在技术方案1～7中任一发明的基础上，其特征在于，在所述遮蔽部件沿光轴方向投影时，所述遮蔽部件的所述第二开口的内周缘位于比所述第二光学面更靠光轴正交方向外侧。

通过使所述遮蔽部件的所述第二开口的内周缘位于比所述第二光学面更靠光轴正交方向外侧，不覆盖所述第二光学面，能够避免所述第二光学面上的防反射层的形成不足。

技术方案9所述的物镜的制造方法在技术方案1～8中任一发明的基础上，其特征在于，所述物镜在所述第一光学面与所述凸缘部之间设有第一平坦面，所述第一平坦面是镜面，所述凸缘部具有所述第一光学面侧的第一凸缘面，所述遮蔽部件具有从所述凸缘部侧向所述第一平坦面侧延伸且露出所述第一光学面的第一开口，在所述遮蔽部件沿光轴方向投影时，所述第一开口的内周缘位于所述第一凸缘面上。

在高数值孔径的物镜的情况下，大多出现光拾取装置的光源侧即第一光学面的曲率半径变小，向光轴方向突出的情况，在这种情况下，成为所述第一光学面从所述第一光学面侧的所述遮光部件的所述开口突出的形状。因此，如果所述遮蔽部件的所述第一开口的内周缘过于接近光轴，则会存在所述遮蔽部件与所述第一光学面接触的可能。另外，也存在因所述遮蔽部件的所述第一开口的内周缘的阴影而导致所述第一光学面的周边部分的防反射层形成不足的可能。因此，在所述遮蔽部件沿光轴方向投影时，通过使所述第一开口的内周缘位于所述第一凸缘面上，能够在所述第一光学面上适当地形成防反射层。

技术方案10所述的物镜的制造方法在技术方案1～8中任一发明的基础上，其特征在于，所述物镜在所述第一光学面与所述凸缘部之间设有第一平坦面，所述第一平坦面是镜面，所述凸缘部具有所述第一光学面侧的第一凸缘面，所述遮蔽部件具有从所述凸缘部侧向所述第一平坦面侧延伸且露出所述第一光学面的第一开口，在所述遮蔽部件沿光轴方向投影时，所述第一开口的内周缘位于所述第一平坦面上。

另外，同样地，在所述遮蔽部件沿光轴方向投影时，通过使所述第一开口的内周缘位于所述第一平坦面上，能够在所述第一光学面上适当地形成防反射层。另外，在抑制向所述第一凸缘面形成防反射层而利用所述第一凸缘面作为光拾取装置的安装基准面的情况下，在精度方面是有利的。

技术方案11所述的物镜的制造方法在技术方案1～10中任一发明的基础上，其特征在于，所述物镜的数值孔径在0.6以上或0.8以上。

本发明的物镜特别适用于在DVD用光拾取装置中所使用的数值孔径0.6以上的物镜或、在BD用光拾取装置中所使用的数值孔径0.8以上的物镜。由于慧差与数值孔径的三次方成比例，因此在数值孔径0.6以上的物镜那样的具有高数值孔径的情况下，由于需要高的组装精度，所以本发明更为有效。特别是，在针对BD、DVD和CD三种光盘具有互换性的三互换透镜的情况下，慧差的容许范围较小，因此需要更高的组装精度，所以本发明特别有效。

技术方案12所述的物镜的特征在于，是具有第一光学面、曲率比所述第一光学面小的第二光学面和设置在所述第一光学面及所述第二光学面的周围的凸缘部的光拾取装置用物镜，

所述物镜在所述第一光学面与所述凸缘部之间设有第一平坦面，在所述第二光学面与所述凸缘部之间设有第二平坦面，所述第一平坦面和所述第二平坦面是镜面，在所述第一光学面、所述第二光学面和所述第一平坦面形成防反射层，但是在所述第二平坦面不形成防反射层，在将所述物镜组装于光拾取装置时，向所述第二平坦面照射检测光，通过接收其反射光来检测所述物镜的姿态。

根据本发明，由于在所述第一光学面、所述第二光学面和所述第一平坦面形成防反射层，所以能够提高光的利用效率，并且由于在所述第二平坦面不形成防反射层，所以在将所述物镜组装于光拾取装置时，向所述第二平坦面照射检测光，在接收到其反射光时，由于无论检测光的波长如何反射光的光量都增大，所以能够以更高的精度检测出所述物镜的姿态，另外，由于检测光的波长限制得以缓解，所以能够实现制造成本的降低。另外，如果所述第二平坦面是镜面，则能够提高所述第二平坦面的反射光的强度。

技术方案13所述的物镜在技术方案12所述的发明的基础上，其特征在于，所述凸缘部具有所述第一光学面侧的第一凸缘面和所述第二光学面侧的第二凸缘面，所述第一平坦面位于比所述第一凸缘面的最高点更靠光轴方向上的所述第二光学面侧，并且所述第二平坦面位于比所述第二凸缘面的最高点更靠光轴方向上的所述第一光学面侧。

例如，在以使第二光学面向下的方式载置所制造的物镜时，通过使凸缘部的第二光学面侧的外周部沿光轴方向突出，能够使第二凸缘面与载置面抵接，以使得第二光学面不与载置面直接抵接而受损。在这种情况下，如果使所述第二平坦面位于比所述第二凸缘面的最高点更靠光轴方向上的所述第一光学面侧，则在载置所述物镜时等能够抑制所述第二平坦面的损伤。另外，通过使所述第一平坦面位于比所述第一凸缘面的最高点更靠光轴方向上的所述第二光学面侧，在利用所述第一凸缘面作为光拾取装置的安装基准面的情况下，干涉等变少，是有利的。需要说明的是，“第一凸缘面的最高点”是指，在第一凸缘面中，沿光轴方向离第二光学面的面顶点最远的部位。

技术方案14所述的物镜在技术方案12或13所述发明的基础上，其特征在于，所述第二平坦面的宽度为0.16～0.45mm。

如果所述第二平坦面的宽度在0.16mm以上，则能够避免在使检测光反射时调整变得困难的情况，另一方面，如果所述第二平坦面的宽度在0.45mm以下，则所述物镜的外径不会变得过大，有助于光拾取装置的小型化。

技术方案15所述的物镜的检查方法的特征在于，是具有第一光学面、曲率比所述第一光学面小的第二光学面和设置在所述第一光学面及所述第二光学面的周围的凸缘部的光拾取装置用物镜的检查方法，

所述物镜在所述第一光学面与所述凸缘部之间具有第一平坦面，在所述第二光学面与所述凸缘部之间设有第二平坦面，所述第一平坦面和所述第二平坦面是镜面，在所述第一光学面、所述第二光学面和所述第一平坦面形成防反射层，但是在所述第二平坦面不形成防反射层，

在将所述物镜组装于光拾取装置时，向所述第二平坦面照射波长为630～670nm或380～420nm的检测光，通过接收其反射光来检测所述物镜的姿态。

根据本发明，由于在所述第一光学面、所述第二光学面和所述第一平坦面形成防反射层，所以能够提高光的利用效率，并且由于在所述第二平坦面不形成防反射层，所以在将所述物镜组装于光拾取装置时，向所述第二平坦面照射检测光，在接收到其反射光时，由于无论检测光的波长如何反射光的光量都增大，所以能够以更高的精度检测出所述物镜的姿态，另外，由于检测光的波长限制得以缓解，所以能够实现制造成本的降低。而且，无论形成在所述物镜的防反射层的种类如何，在向所述第二平坦面照射检测光时，都能够确保其反射光的强度。而且，如果所述第二平坦面是镜面，则能够提高所述第二平坦面的反射光的强度。

在本说明书中，物镜是指，在光拾取装置中配置在与光盘对置的位置，并且具有将从光源射出的光束聚光到光盘的信息记录面上的功能的光学系统。因此，在本说明书中，物镜的光信息记录媒体侧(像侧)的数值孔径NA是指，物镜的最靠光信息记录媒体侧的透镜面的数值孔径NA。另外，在本说明书中，所需的数值孔径NA表示根据各光信息记录媒体的标准规定的数值孔径，或者，相对于各光信息记录媒体，根据使用的光源的波长，能够得到信息的记录或再生所需的光斑直径的衍射极限性能的物镜的数值孔径。另外，凸缘部是指，配置在光学面的周围，用于将物镜安装于光拾取装置的部位。另外，镜面是指表面粗糙度Ry在0.3μm以下的面。需要说明的是，作为镜面，更优选的是表面粗糙度Ry在0.1μm以下。在这里，表面粗糙度Ry是指，从该面的微小凹凸中的最低凹底到最大顶端的高度。另外，第一平坦面和第一凸缘面可以不在同一面上，也可以沿光轴方向偏移。同样地，第二平坦面和第二凸缘面可以不在同一面上，也可以沿光轴方向偏移。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种物镜的制造方法、物镜及物镜的检查方法，能够以低成本制造可精度良好地组装于光拾取装置的物镜。

附图说明

图1是本实施方式的物镜的蒸镀装置的示意图。

图2是从图1的箭头II方向看到的保持物镜的保持件的图。

图3是以III-III线切开图2的结构而沿箭头方向看到的图。

图4是表示将物镜OL组装于光拾取装置时的检查状态的图。

图5是放大物镜的凸缘部周边的剖面示意图。

图6是其他实施方式的保持物镜OL’的保持件20’的剖面图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1是本实施方式的物镜的蒸镀装置的示意图，图2是从图1的箭头II方向看到的保持物镜的保持件的图。参照图1等，首先对用于实施本实施方式的物镜的制造方法的蒸镀装置等进行说明。

如图1所示，蒸镀装置100具备：用于真空蒸镀的成膜材料源即蒸镀源10；保持多个物镜的多个保持件20；支承多个保持件20而使其旋转及翻转的伞体30；收纳蒸镀源10、伞体30等的真空容器40；调节伞体30的经线(経線)方向的膜厚的校正板50；控制蒸镀源10的动作的蒸镀源控制部91；操作并驱动伞体30的伞体驱动部92；控制真空容器40内的气压即真空度的气压控制部93；调整校正板50的配置的校正板控制部94；控制蒸镀源控制部91、伞体驱动部92、气压控制部93及校正板控制部94的动作的控制部90。需要说明的是，作为本蒸镀装置100的成膜对象的物镜是使用由三井化学公司制造的APEL类的树脂材料通过注塑成形而形成的数值孔径NA0.8以上的塑料透镜，在蒸镀装置100所进行的成膜处理后，用作BD用光拾取装置的物镜。

蒸镀源10是能够进行各种成膜材料的真空蒸镀的部件，具备配置在真空容器40的底部的多个坩埚部分10a和电子枪部分10b。在这里，这些多个坩埚部分10a支承于转台10d而能够进行配置的切换。各坩埚部分10a收纳用于对物镜的表面进行镀覆的蒸发物质，电子枪部分10b对由转台10d配置在在蒸镀位置的特定的坩埚部分10a中的蒸发物质入射电子束。由此，利用电子束加热坩埚部分10a中的蒸发物质而使其熔融，能够使蒸发物质的蒸气EM从坩埚部分10a向上方射出。蒸镀源10被蒸镀源控制部91控制而动作。需要说明的是，使多个坩埚部分10a依次移动到蒸镀位置来进行蒸镀，从而能够在物镜的表面上镀覆多个成膜材料，并且通过进一步层叠成膜材料而能够形成多层的镀覆层。

如图2所示，保持件20具有矩形板状的外形，并且保持二维地配置的多个物镜OL。保持件20安装于伞体30，并且以使多个物镜OL与蒸镀源10对置的状态配置在蒸镀源10的上方。保持件20能够与伞体30的一部分(扇状的部分)一起上下或表里翻转。

返回图1，真空容器40在其内部空间IS，将蒸镀源10支承在底部，将伞体30支承在上部。在真空容器40的壁面设有用于使伞体30的一部分翻转的翻转机构41。需要说明的是，在真空容器40连接有控制真空容器40内的气压的气压控制部93。利用该气压控制部93对真空容器40内进行减压、放气。

校正板50是用于调整伞体30的经线方向的膜厚差。校正板50配置在蒸镀源10与伞体30之间。校正板50利用校正板控制部94控制真空容器40内的姿态。通过适宜地升降校正板50，在伞体30上，能够不对成为校正板50的阴影的部分进行蒸镀。

控制部90控制蒸镀源控制部91、伞体驱动部92、气压控制部93及校正板控制部94的动作。

图3是以III-III线切开图2的结构而沿箭头方向看到的图。在图3中，物镜OL具有第一光学面S1、曲率比第一光学面S1小的第二光学面S2、设置在第一光学面S1及第二光学面S2的周围的凸缘部FL。另外，凸缘部FL的第一光学面侧的端面即第一凸缘面F1和凸缘部FL的第二光学面侧的端面即第二凸缘面F2分别与光轴X正交。将凸缘部FL的外周面设为PL。

物镜OL在第一光学面S1与凸缘部FL的第一凸缘面F1之间，以邻接部彼此相接的方式具有作为镜面的第一平坦面L1和第一斜面C1，另外，在第二光学面S2与凸缘部FL的第二凸缘面F2之间，以邻接部彼此相接的方式具有作为镜面的第二平坦面L2和第二斜面C2。作为镜面的第一平坦面L1和第二平坦面L2的表面粗糙度Ry分别在0.1μm以下。另外，第一平坦面L1和第二平坦面L2分别与光轴X正交。在本实施方式中，在凸缘部FL，第一凸缘面F1与第二凸缘面F2之间厚度最大。第二平坦面L2的宽度为0.16～0.45mm。

第一平坦面L1位于比第一凸缘面F1的最高点P1更靠光轴方向上的第二光学面S2侧，并且第二平坦面L2位于比第二凸缘面F2的最高点P2更靠光轴方向上的第一光学面S1侧。

构成遮蔽部件的保持件20由主体21和能够拆装地安装于主体21的盖部22构成。主体21具有多个环状的凹部21a。环状的凹部21a由锥状内周面21b、与锥状内周面21b连续的圆筒状内周面21c、与圆筒状内周面21c交差而向半径方向内侧延伸的环状底面21d、在环状底面21d的半径方向内侧以规定厚度隆起为环状的环状隆起部21e形成。环状隆起部21e的内周缘构成第二开口。另外，在环状隆起部21e的内周缘的光轴方向外侧形成有朝向第二光学面S2倾斜的锥面21f。

盖部22是等厚的板状，分别与主体21的环状底面21d对置，具有多个盖部开口(第一开口)22a。在盖部开口22a的内周缘的光轴方向外侧形成有朝向第一光学面S1倾斜的锥面22b。盖部开口22a的内周缘位于物镜OL的第一凸缘面F1上。其中，如虚线所示，也可以使盖部开口22a的内周缘位于第一平坦面L1上。

在将成形的物镜OL安装于保持件20的情况下，在从主体21取下盖部22的状态下，使物镜OL的凸缘部FL的第二凸缘面F2与环状底面21d抵接。在该状态下，物镜OL的凸缘部FL的外周面PL与圆筒状内周面21c对置或接触。而且通过在主体21安装盖部22，能够将物镜OL保持于保持件20。

此时，在主体21的光轴方向剖面上，环状隆起部21e的内周缘朝向物镜OL的第二平坦面L2侧弯折，但是环状隆起部21e不与第二光学面S2及第二平坦面L2接触。由此，能够抑制第二光学面S2及第二平坦面L2的损伤。另外，在环状隆起部21e沿光轴方向投影时，其内周缘位于比第二光学面S2更靠光轴正交方向外侧，覆盖第二平坦面L2的90％以上。由此，不会妨碍第二光学面S2的镀覆层。另外，也可以覆盖第二平坦面L2的整周的一部分。

对使用图1的蒸镀装置100的物镜的制造方法的概要进行说明。首先，通过注塑成形等制造多个物镜OL。然后，如图2所示，将各个物镜OL设置在保持件20的凹部内。然后，将保持件20安装于伞体30。此时，虽然使各保持件20的盖部22侧朝向蒸镀源10，但是由于存在盖部22，所以物镜OL不会从主体21落下。

而且，将以这种方式设置保持件20的伞体30在真空环境下放置于真空容器40内，利用来自蒸镀源10的蒸气EM进行蒸镀。此时，伞体30利用旋转装置32d绕旋转轴OX旋转，从而提高成膜的均匀性。此时，由于在盖部开口22a的内周缘的外侧形成有锥面22b，因此在蒸镀时难以产生阴影而不会妨碍第一光学面S1的镀覆层。

在一定时间后，在向第一光学面S1上形成薄膜的成膜完成的阶段，使保持件20翻转180°，使保持件20的主体21侧朝向蒸镀源10，从而进行同样的成膜。由此，也能够一并进行向第二光学面S2上形成薄膜的成膜。

此时，由于在环状隆起部21e的内周缘的外侧形成有锥面21f，所以在蒸镀时难以产生阴影而不会妨碍第二光学面S1的镀覆层。但是，由于第二平坦面L2被环状隆起部21e覆盖，因此不形成镀覆层。

然后，将保持件20等从真空容器40内搬出，取出蒸镀后的物镜OL。由此，完成物镜OL。

图4是表示将物镜OL安装于光拾取装置时的检查状态的图。参照图4，对本实施方式的检查方法进行说明。首先，使凸缘部FL的第一凸缘面F1及外周面PL与光拾取装置的透镜保持器HLD抵接，从而保持物镜OL。在该状态下，从检测装置SS朝向物镜OL的第二平坦面L2射出波长为630～670nm或380～420nm的检测光DL。

由于所述检测光DL从第二平坦面L2反射再次回到检测装置SS，所以利用CCD等接收该反射光。此时，如果反射光返回到摄像面的规定位置，则可知第二平坦面L2与光拾取装置的光轴平行。

图5是放大物镜的凸缘部周边的剖面示意图，但是镀覆层的层厚与实际不同。根据本实施方式，在第二平坦面L2不形成防反射层CT，因此检测光DL从第二平坦面L2反射的反射光的强度增大，能够进行精度良好的检测。然而，由于第二平坦面L2的反射率并不是100％，所以存在百分之几的光从平坦面L2透射的情况。在该情况下，在图5中用虚线表示的透射光DL’进一步入射到第一平坦面L1。在这里，在第一平坦面L1不形成防反射层CT的情况下，透射光DL’在第一平坦面L1反射而从第二平坦面L2射出，可能被检测装置SS(图4)检测到，由此检测信号可能与干扰光(ノイズ)重叠。对此，如果在第一平坦面L1形成防反射层CT，则透射光DL’从第一平坦面L1透射而不成为返回光，能够抑制误检测。需要说明的是，在本实施方式中，虽然第一平坦面L1与第二平坦面L2平行，但是在第一平坦面L1与第二平坦面L2不平行的情况下，即使透射光DL’在第一平坦面L1反射，也能够使干扰光不与检测信号重叠，因此更为优选。

另外，从透镜成形的观点出发，有时以一体的模具对第一光学面S1和第一平坦面L1进行成形，但是在这种情况下，第一平坦面L1与第一光学面S1同样地成为镜面。在第一平坦面L1不形成防反射层CT且第一平坦面L1为镜面的情况下，上述透射光DL’容易进一步在第一平坦面反射。因此，在第一平坦面L1为镜面的情况下，在第一平坦面L1形成防反射层CT更为有效。

在将物镜OL装入光拾取装置时，第一光学面S1配置在更靠写入(记录)或读取(再生)用激光光源一侧。另外，在将物镜OL装入光拾取装置时，第二光学面S2与光信息记录媒体(具体地说是DVD及BD)对置地配置。在光拾取装置动作时，如图5所示，从未图示的光源射出的记录光WL从第一光学面S1入射，发生折射而从第二光学面S2射出，聚光在未图示的光信息记录媒体，但是由于在光学面S1、S2形成防反射层CT，所以能够抑制反射而提高光的利用效率。另一方面，如果在第一平坦面L1形成防反射层CT，则在不用于光盘的记录/再生的有效半径之外的无用光WL’入射到第一平坦面L1的情况下，通过允许其透射，能够抑制导致错误信号向检测器侧反射。

第一光学面S1成为光滑的镜面，但是也可以设置作为衍射结构的微细结构或微细形状。另一方面，第二光学面S2大多成为不具有衍射结构等的光滑的镜面。通过在物镜OL的光学面S1、S2实施防反射层，透射率上升6％左右。

图6是保持其他实施方式的物镜OL’的保持件20’的剖面图。在本实施方式中，物镜OL’的凸缘部FL’成为直线形状(等厚)。也就是说，凸缘部FL’的第一凸缘面F1’处于与第一平坦面L1’在同一平面的状态，另外，凸缘部FL’的第二凸缘面F2’处于与第二平坦面L2’在同一平面的状态。保持件20的主体21的与物镜OL’配合而与凸缘部FL’对置的底面21d’隆起为环状，其内周侧处于不与第二平坦面L2’接触的状态。另外，盖部22的形状及其他结构与上述实施方式相同。

本发明不限定于说明书所记载的实施例的发明，显然包括本领域的技术人员根据本说明书所记载的实施例、技术思想所得到的其他实施例、变形例。说明书的记载及实施例的目的仅是举例说明，本发明的范围是通过权利要求所表示的。例如，物镜的数值孔径NA可以在0.6以上。

附图标记说明

10   蒸镀源

10a  坩埚部分

10b  电子枪部分

10d  转台

20   保持件

21   主体

21a  凹部

21b  锥状内周面

21c  圆筒状内周面

21d  底面

21d’ 环状底面

21e  环状隆起部

21f  锥面

22   盖部

22a  盖部开口

22b  锥面

30   伞体

32d  旋转装置

40   真空容器

41   翻转机构

50   校正板

90   控制部

91   蒸镀源控制部

92   伞体驱动部

93   气压控制部

94   校正板控制部

100  蒸镀装置

C1   第一斜面

C2   第二斜面

DL   检测光

DL’  透射光

EM   蒸气

F1、F1’  第一凸缘面

F2、F2’  第二凸缘面

FL、FL’  凸缘部

HLD  透镜保持器

IS   内部空间

L1、L1’  第一平坦面

L2、L2’  第二平坦面

OL、OL’  物镜

OX   旋转轴

PL   外周面

S1   第一光学面

S2   第二光学面

SS   检测装置

CT   防反射层

WL   记录光

WL’  无用光

HLD  透镜保持器

Claims (15)

1.一种物镜的制造方法，其特征在于，是具有第一光学面、曲率比所述第一光学面小的第二光学面和设置在所述第一光学面及所述第二光学面周围的凸缘部的光拾取装置用物镜的制造方法，

所述物镜在所述第二光学面与所述凸缘部之间设有第二平坦面，所述第二平坦面是镜面，在将所述物镜组装于光拾取装置时，向所述第二平坦面照射检测光，通过接收其反射光来检测所述物镜的姿态，

所述物镜的制造方法具有：

在所述物镜成形后，利用遮蔽部件覆盖所述第二平坦面的工序，所述遮蔽部件具有从所述凸缘部侧向所述第二平坦面侧延伸且露出所述第二光学面的第二开口；

至少在所述第一光学面和所述第二光学面实施防反射层的工序。

2.根据权利要求1所述的物镜的制造方法，其特征在于，

所述凸缘部具有所述第二光学面侧的第二凸缘面，所述第二平坦面位于比所述第二凸缘面的最高点更靠光轴方向上的所述第一光学面侧。

3.根据权利要求1或2所述的物镜的制造方法，其特征在于，

在所述遮蔽部件的光轴方向剖面中，所述第二开口的内周缘朝向所述第二平坦面侧弯折。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的物镜的制造方法，其特征在于，

所述遮蔽部件不与所述第二光学面及所述第二平坦面接触。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的物镜的制造方法，其特征在于，

所述遮蔽部件的所述第二开口的内周缘的光轴方向外侧具有锥形状。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的物镜的制造方法，其特征在于，

所述第二平坦面的宽度为0.1～0.45mm。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的物镜的制造方法，其特征在于，

在所述遮蔽部件沿光轴方向投影时，覆盖所述第二平坦面的90％以上。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的物镜的制造方法，其特征在于，

在所述遮蔽部件沿光轴方向投影时，所述遮蔽部件的所述第二开口的内周缘位于比所述第二光学面更靠光轴正交方向外侧。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的物镜的制造方法，其特征在于，

所述物镜在所述第一光学面与所述凸缘部之间设有第一平坦面，所述第一平坦面是镜面，所述凸缘部具有所述第一光学面侧的第一凸缘面，所述遮蔽部件具有从所述凸缘部侧向所述第一平坦面侧延伸且露出所述第一光学面的第一开口，在所述遮蔽部件沿光轴方向投影时，所述第一开口的内周缘位于所述第一凸缘面上。

10.根据权利要求1～8中任一项所述的物镜的制造方法，其特征在于，

所述物镜在所述第一光学面与所述凸缘部之间设有第一平坦面，所述第一平坦面是镜面，所述凸缘部具有所述第一光学面侧的第一凸缘面，所述遮蔽部件具有从所述凸缘部侧向所述第一平坦面侧延伸且露出所述第一光学面的第一开口，在所述遮蔽部件沿光轴方向投影时，所述第一开口的内周缘位于所述第一平坦面上。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的物镜的制造方法，其特征在于，

所述物镜的数值孔径在0.6以上或0.8以上。

12.一种物镜，其特征在于，是具有第一光学面、曲率比所述第一光学面小的第二光学面和设置在所述第一光学面及所述第二光学面的周围的凸缘部的光拾取装置用物镜，

所述物镜在所述第一光学面与所述凸缘部之间具有第一平坦面，在所述第二光学面与所述凸缘部之间设有第二平坦面，所述第一平坦面和所述第二平坦面是镜面，在所述第一光学面、所述第二光学面和所述第一平坦面形成防反射层，但是在所述第二平坦面不形成防反射层，在将所述物镜组装于光拾取装置时，向所述第二平坦面照射检测光，通过接收其反射光来检测所述物镜的姿态。

13.根据权利要求12所述的物镜，其特征在于，

所述凸缘部具有所述第一光学面侧的第一凸缘面和所述第二光学面侧的第二凸缘面，所述第一平坦面位于比所述第一凸缘面的最高点更靠光轴方向上的所述第二光学面侧，并且所述第二平坦面位于比所述第二凸缘面的最高点更靠光轴方向上的所述第一光学面侧。

14.根据权利要求12或13所述的物镜，其特征在于，

所述第二平坦面的宽度为0.16～0.45mm。

15.一种物镜的检查方法，其特征在于，是具有第一光学面、曲率比所述第一光学面小的第二光学面和设置在所述第一光学面及所述第二光学面的周围的凸缘部的光拾取装置用物镜的检查方法，

所述物镜在所述第一光学面与所述凸缘部之间设有第一平坦面，在所述第二光学面与所述凸缘部之间设有第二平坦面，所述第一平坦面和所述第二平坦面是镜面，在所述第一光学面、所述第二光学面和所述第一平坦面形成防反射层，但是在所述第二平坦面不形成防反射层，

在将所述物镜组装于光拾取装置时，向所述第二平坦面照射波长为630～670nm或380～420nm的检测光，通过接收其反射光来检测所述物镜的姿态。