CN104077271B - 晶圆图数据的处理方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆图数据的处理方法及系统。其中方法包括选择晶圆测试探针台产生的二进制数据文件；转换所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件，得到wfp格式晶圆图文本文件；选择所述晶圆图文本文件；选择要转换文件的类型；命名要生成的Excel图形格式文件名称；转换所选择的晶圆图文本文件，得到所述晶圆图文本文件相对应的Excel图形格式文件。其将晶圆图文本文件格式统一，降低封装出错风险，对不同分BIN标识颜色，以便后续进行晶圆良率分析，避免手动编辑效率低的问题，提高工作效率。

Description

晶圆图数据的处理方法及系统

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆图数据的处理方法及系统。

背景技术

半导体芯片的生产，是将电路通过各种复杂的物理化学方法制作到晶圆上，在生产的最后阶段会进行不同电性功能的测试以确保产品的功能性，而利用这些测试结果再结合晶圆的形状所产生的图形就是晶圆图(Wafer Map)。晶圆图是以芯片(Die)为单位的，将测试完成的结果用不同颜色、形状或代码标示在各个芯片的位置上。

晶圆图是提供追溯产品发生异常原因的重要线索，通过晶圆图的空间分布情况及其模型分析，可以找出可能发生低良率的原因，例如有问题的机台或异常的制程步骤等。虽然现在的不少半导体加工设备本身就提供了一些制作晶圆图的功能，但形成的晶圆图格式各有不同，进行晶圆封装时存在很高的封装出错风险；而且将晶圆图转换为Excel图形格式进行晶圆良率分析时，都是采用手动编辑的形式进行Excel图形的转换，工作效率低。

发明内容

本发明提供了一种将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件（dat格式文件）转换为wfp格式的晶圆图文本文件，并将晶圆图文本文件进一步转换为Excel图形格式的方法及系统。其降低封装出错的风险，避免将晶圆图手动编辑为Excel图形格式效率低的问题。

为实现本发明目的提供的一种晶圆图数据的处理系统，包括wfp格式晶圆图文本文件转换模块和Excel图形格式文件转换模块；

所述wfp格式晶圆图文本文件转换模块，用于将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件转换为wfp格式晶圆图文本文件；

所述Excel图形格式文件转换模块，用于将晶圆图文本文件转换为Excel图形格式文件。

所述wfp格式晶圆图文本文件转换模块，包括二进制数据文件选择子模块、文件类型判定子模块、文件显示子模块、wfp格式文件转换子模块和wfp格式文件存储子模块；

所述二进制数据文件选择子模块，用于选择所述的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件；

所述文件类型判定子模块，用于判定所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件是否是dat格式文件；

所述文件显示子模块，用于显示所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的文件名；

所述wfp格式文件转换子模块，用于转换所选择的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件；

所述wfp格式文件存储子模块，用于存储所述wfp格式晶圆图文本文件。

所述Excel图形格式文件转换模块，包括晶圆图文本文件选择子模块，文件类型选择子模块，Excel图形格式文件命名子模块、Excel格式文件转换子模块和Excel格式文件存储子模块；

所述晶圆图文本文件选择子模块，用于选择所述wfp格式晶圆图文本文件，根据所述晶圆图文本文件在计算机中存储的位置，逐层选择，打开所述的晶圆图文本文件；

所述文件类型选择子模块，用于选择要转换的晶圆图文本文件的类型；

所述Excel图形格式文件命名子模块，用于命名要生成的Excel图形格式文件；

所述Excel格式文件转换子模块，用于转换所选择的晶圆图文本文件，得到所述晶圆图文本文件的Excel图形格式文件；

所述Excel格式文件存储子模块，用于存储转换后的Excel图形格式文件。

所述文件显示子模块显示dat格式文件或者显示所选择的所有文件。

所述wfp格式晶圆图文本文件转换模块还包括后缀名添加子模块；

所述后缀名添加子模块，用于为所述的二进制数据文件选择子模块所选文件添加“.dat”后缀名。

所述wfp格式晶圆图文本文件转换模块还包括文件数目判断子模块；

所述文件数目判断子模块，用于判断并显示所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的数量。

所述wfp格式文件转换子模块，包括wfp格式第一转换子模块和wfp格式第二转换子模块；

所述wfp格式第一转换子模块用于转换所述文件显示子模块中显示的，且选中的单个dat格式文件，得到所述单个dat格式文件的wfp格式的晶圆图文本文件；

所述wfp格式第二转换子模块，用于转换所述文件显示子模块中显示的所有dat格式文件，得到所述所有dat格式文件中每个文件的wfp格式的晶圆图文本文件。

所述文件类型选择子模块，包括第一类型选择子模块、第二类型选择子模块、第三类型选择子模块、第四类型选择子模块和第五类型选择子模块；

所述第一类型选择子模块，用于选择文件类型为wfp格式类型的文件；

所述第二类型选择子模块，用于选择文件类型为tmb格式类型的文件；

所述第三类型选择子模块，用于选择文件类型为cp1格式类型的文件；

所述第四类型选择子模块，用于选择文件类型为map格式类型的文件；

所述第五类型选择子模块，用于选择文件类型为txt格式类型的文件。

所述Excel格式文件转换子模块，包括Excel格式第一转换子模块和Excel格式第二转换子模块；

所述Excel格式第一转换子模块，用于转换所选择的文件类型的文件中选中的单个文件，得到所述单个文件的Excel图形格式文件；

所述Excel格式第二转换子模块，用于转换所选择的文件类型的所有文件，得到包含所有文件信息的Excel图形格式文件。

所述所有文件中，每个文件转换后的信息在所生成的Excel图形格式文件中以单个工作表的形式存在。

所述Excel图形格式文件转换模块，还包括晶圆号获取子模块；

所述晶圆号获取子模块，用于从所述晶圆图文本文件中获取晶圆号，其包括第一晶圆号获取子模块和第二晶圆号获取子模块，其中：

所述第一晶圆号获取子模块，以所述晶圆图文本文件中的晶圆ID作为晶圆号；

所述第二晶圆号获取子模块，以所述晶圆图文本文件中的批号作为晶圆号。

所述Excel图形格式文件转换模块，还包括Excel图形格式设置子模块；

所述Excel图形格式设置子模块，用于设置要生成的Excel格式图形文件的行高和列宽。

所述Excel图形格式文件转换模块，还包括文件转换状态子模块；

所述文件转换状态子模块，用于判定及显示文件转换的进程；

所述文件转换的进程用文字描述及进度条的方式进行显示。

所述Excel图形格式文件转换模块，还包括txt格式文件保存子模块；

所述txt格式文件保存子模块，用于保存所述晶圆图文本文件的txt格式文件。

一种晶圆图数据的处理方法，包括如下步骤：

将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件转换为wfp格式的晶圆图文本文件；

将晶圆图文本文件转换为Excel图形格式文件。

所述将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件转换为wfp格式的晶圆图文本文件，包括如下步骤：

选择所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件；

判断所选文件是否是dat格式文件；

显示所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的文件名；

转换所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件，得到所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的wfp格式的晶圆图文本文件；

存储所述wfp格式的晶圆图文本文件。

所述转换所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件，得到晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的wfp格式的晶圆图文本文件，包括如下步骤：

选择所显示的单个dat格式的文件，转换所选择的文件，得到所述单个文件的wfp格式的晶圆图文本文件；

转换所显示的所有dat格式文件，得到所述所有dat格式文件中每个文件的wfp格式的晶圆图文本文件。

所述将晶圆图文本文件转换为Excel图形格式文件，包括如下步骤：

选择所述晶圆图文本文件；

选择要转换晶圆图文本文件的类型；

命名要生成的Excel图形格式文件；

转换所选择的晶圆图文本文件，得到所述晶圆图文本文件的Excel图形格式文件；

存储生成的Excel图形格式文件。

所述对所选择的晶圆图文本文件进行转换，得到所述晶圆图文本文件的Excel图形格式文件，包括如下步骤：

转换所述选择的晶圆图文本文件且文件类型为所述选择的要转换文件的类型的文件中选中的单个文件，得到所述单个文件的Excel图形格式文件;

转换所述选择的晶圆图文本文件且文件类型为所述选择的要转换文件的类型的所有文件，得到所述所有文件的Excel图形格式文件。

所述将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件转换为wfp格式的晶圆图文本文件，还包括如下步骤：

为所选择的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件添加“.dat”后缀名；

判断并显示所显示的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的数量。

所述将晶圆图文本文件转换为Excel图形格式文件，还包括如下步骤：

从所述晶圆图文本文件中获取晶圆号；

所述获取晶圆号，使用所述晶圆图文本文件中的晶圆ID作为晶圆号；或者使用所述晶圆图文本文件中的批号作为晶圆号；

设置要生成的Excel格式图形文件的行高和列宽；

判定并显示文件转换的进程；

所述判定并显示文件转换的进程，以文字描述及进度条的方式进行显示；

保存所述晶圆图文本文件的txt格式文件。

本发明的有益效果包括：

本发明提供的一种晶圆图数据的处理方法及系统，可以将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件直接转换为wfp格式的晶圆图文本文件，将晶圆图文本文件格式统一，降低封装出错风险，同时，将包括wfp格式在内的多种晶圆图文本文件转换为Excel图形格式文件，对不同分BIN标识颜色，以便用于晶圆良率分析，避免手动编辑效率低的问题，提高工作效率。

附图说明

图1为本发明一种晶圆图数据的处理方法及系统的一具体实施例的系统结构示意图；

图2为本发明一种晶圆图数据的处理方法及系统的一具体实施例的wfp格式晶圆图文本文件示意图；

图3为为本发明一种晶圆图数据的处理方法及系统的一具体实施例的wfp格式晶圆图文本文件存储示意图；

图4为为本发明一种晶圆图数据的处理方法及系统的一具体实施例的Excel图形格式文件示意图；

图5为为本发明一种晶圆图数据的处理方法及系统的一具体实施例的Excel图形格式文件转换状态示意图；

图6为本发明一种晶圆图数据的处理方法及系统的一具体实施例的将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件转换为wfp格式的晶圆图文本文件的流程示意图；

图7为本发明一种晶圆图数据的处理方法及系统的一具体实施例的将晶圆图文本文件转换为Excel图形格式文件的流程示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本发明实施例的晶圆图数据的处理方法及系统的具体实施方式进行说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明实施例的晶圆图数据的处理方法及系统，通过将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件首先转换为wfp格式的晶圆图文本文件，再将所述的wfp格式的晶圆图文本文件转换为Excel图形格式文件，以便用于后续的晶圆良率分析，提高工作效率。

本发明实施例的晶圆图数据的处理系统，如图1所示，包括wfp格式晶圆图文本文件转换模块100和Excel图形格式文件转换模块200，其中：

所述wfp格式晶圆图文本文件转换模块，用于将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件转换为wfp格式晶圆图文本文件，其包括二进制数据文件选择子模块110、文件类型判定子模块120、文件显示子模块130、wfp格式文件转换子模块140和wfp格式文件存储子模块150，其中：

所述二进制数据文件选择子模块110，用于选择所述的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件；

所述文件类型判定子模块120，用于判定所述的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件是否是dat格式文件；

所述文件显示子模块130，用于显示所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的文件名；

更佳地，作为一种可实施方式，所述文件显示子模块130，可以只显示dat格式文件的文件名或者显示所选的所有文件的文件名。

所述wfp格式文件转换子模块140，用于转换所选择的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件。其通过提取所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件中所包含的产品名、测试时间、坐标、分BIN等晶圆测试信息，并对所述晶圆测试信息按照预设格式排列，转换得到所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的wfp格式晶圆图文本文件。其包括wfp格式第一转换子模块和wfp格式第二转换子模块，其中：

所述wfp格式第一转换子模块，用于转换所述文件显示子模块130中显示的，且选中的单个文件，得到所述单个文件的wfp格式的晶圆图文本文件；

作为一种可实施方式，所述的单个文件是dat格式的文件。

所述wfp格式第二转换子模块，用于转换所述文件显示子模块130中显示的所有dat格式文件，得到每个文件的wfp格式的晶圆图文本文件。

较佳地，作为一种可实施方式，本实施例得到的晶圆图文本文件如图2所示。包括了晶圆的尺寸（Wafer Size）、晶圆序列号（Wafer Size）、批号（Lot Num）及分BIN等信息。

所述wfp格式文件存储子模块150，用于存储所述wfp格式晶圆图文本文件；

作为一种可实施方式，如图3所示，转换后得到的wfp格式晶圆图文本文件存储位置与所转换的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的存储位置相同，使原存储位置中除包含原有晶圆测试台产生的二进制数据文件外，还包含转换后的一个或多个与原文件名相同的wfp格式晶圆图文本文件。

更佳地，作为一种可实施方式，所述wfp格式文件转换子模块140利用第一转换子模块转换单个文件后，wfp格式文件存储子模块150存储一个wfp格式晶圆图文本文件到所转换的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的原存储位置；所述wfp格式文件转换子模块140利用第二转换子模块，转换文件显示子模块130中显示的所有dat格式文件后，wfp格式文件存储子模块150存储所有文件的wfp格式晶圆图文本文件到所转换的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的原存储位置。

更佳地，作为一种可实施方式，所述wfp格式晶圆图文本文件转换模块100，还包括后缀名添加子模块160，其中：

所述后缀名添加子模块160，用于为所述的二进制数据文件选择子模块110所选晶圆测试探针台产生的二进制数据文件添加“.dat”后缀名。

更佳地，作为一种可实施方式，所述后缀名添加子模块，可以选择为所选文件中没有后缀名的文件添加“.dat”后缀名，也可以选择不进行后缀名的添加。

更佳地，作为一种可实施方式，当使用后缀名添加子模块160，为所选文件中没有后缀名的文件添加“.dat”后缀名时，所述wfp格式转换子模块140在对文件进行转换时，也会对添加后缀名之后的文件进行转换，得到其wfp格式的晶圆图文本文件。

更佳地，作为一种可实施方式，所述wfp格式晶圆图文本文件转换模块100还包括文件数目判断子模块170，其中：

所述文件数目判断子模块170，用于判断并显示所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的数量，并以文字描述的形式给出结果。

举例说明为：所述文件显示子模块130显示所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件数量为25个，则文件数目判断子模块会对文件数量进行判断统计并显示数量统计结果——“共找到25个可用文件”。

更佳地，作为一种可实施方式，当所述文件显示子模块130，选择只显示dat格式文件时，所述文件数目判断子模块，判断并显示所选文件中dat格式文件的数量，当所述文件显示子模块130选择显示所有文件时，所述文件数目判断子模块，判断并显示所选的所有所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的数目。

所述转换后得到的wfp格式晶圆图文本文件，包含所述晶圆测试探针台产生的二进制文本文件中的测试信息，如产品名、测试时间、坐标、分BIN等，这些信息以固定的格式进行排布，以便于后续用于晶圆的封装。

所述Excel图形格式文件转换模块200，用于将晶圆图文本文件转换为Excel图形格式文件，其包括晶圆图文本文件选择子模块210、文件类型选择子模块220、Excel图形格式文件命名子模块230、Excel格式文件转换子模块240和Excel格式文件存储子模块250，其中：

所述晶圆图文本文件选择子模块210，用于选择所述的晶圆图文本文件；

所述文件类型选择子模块220，用于选择所要转换的文件的类型，包括第一类型选择子模块、第二类型选择子模块、第三类型选择子模块、第四类型选择子模块和第五类型选择子模块，其中：

所述第一类型选择子模块，用于选择文件类型为wfp格式类型的文件，以便后续对wfp格式类型的文件进行转换，转换为Excel图形格式的文件；

所述第二类型选择子模块，用于选择文件类型为tmb格式类型的文件，以便后续对tmb格式类型的文件进行转换，转换为Excel图形格式的文件；

所述第三类型选择子模块，用于选择文件类型为cp1格式类型的文件，以便后续对cp1格式类型的文件进行转换，转换为Excel图形格式的文件；

所述第四类型选择子模块，用于选择文件类型为map格式类型的文件，以便后续对map格式类型的文件进行转换，转换为Excel图形格式的文件；

所述第五类型选择子模块，用于选择文件类型为txt格式类型的文件，以便后续对txt格式类型的文件进行转换，转换为Excel图形格式的文件。

此处需要说明的是，所述wfp格式类型的文件、tmb格式类型的文件、cp1格式类型的文件、map格式类型的文件和txt格式类型的文件五种类型文件是相对应的五种不同类型的晶圆图文本文件。

更佳地，作为一种可实施方式，本实施例中，使用第一类型选择子模块，对wfp格式晶圆图文本文件转换模块100转换生成的wfp格式的晶圆图文本文件进行Excel图形格式转换。

所述Excel图形格式文件命名子模块230，用于命名要生成的Excel图形格式文件；

此处需要说明的是，对要生成的Excel图形格式文件命名，采用自定义的方式进行，可根据使用者确定的名称，采用通过计算机直接输入的方式对所述要生成的Excel图形格式文件命名。

所述Excel格式文件转换子模块240，用于转换所选择的晶圆图文本文件，提取所述晶圆图文本文件中的信息。其根据晶粒的测试结果及其坐标，在Excel工作表中对应的单元格记录晶粒的测试结果，转换得到所述晶圆图文本文件的Excel图形格式文件。其包括Excel格式第一转换子模块和Excel格式第二转换子模块，其中：

所述Excel格式第一转换子模块，用于转换晶圆图文本文件选择子模块210所选的文件中，且文件类型为所述文件类型选择子模块所确定的文件类型的文件中选中的单个文件，得到所述单个文件的Excel图形格式文件；

所述Excel格式第二转换子模块，用于转换晶圆图文本文件选择子模块210所选的文件中，且文件类型为文件类型选择子模块所确定的文件类型的所有文件，得到包含所述所有文件信息的一个Excel图形格式文件。

此处需要说明的是，所述Excel格式第二转换子模块，转换晶圆图文本文件选择子模块210所选的文件中，且为文件类型选择子模块所确定的文件类型的所有文件，此时生成一个Excel图形格式文件，如图4所示，所述所有文件中，每个文件转换后的信息在所生成的Excel图形格式文件中以单个工作表的形式存在。

更佳地，作为一种可实施方式，所述转换后的Excel图形格式文件，对晶圆图文本文件中的分BIN标识颜色，以便后续进行晶圆良率分析。

所述Excel格式文件存储子模块250，用于存储转换后的Excel图形格式文件。

更佳地，作为一种可实施方式，所述Excel图形格式文件转换模块200，还包括晶圆号获取子模块260，其中：

所述晶圆号获取子模块260，用于从所述晶圆图文本文件中获取晶圆号，以便在生成的Excel图形格式文件中以晶圆号区分不同晶圆，其包括第一晶圆号获取子模块和第二晶圆号获取子模块，其中：

所述第一晶圆号获取子模块，以所述晶圆图文本文件中的晶圆ID作为晶圆号；

所述第二晶圆号获取子模块，以所述晶圆图文本文件中的批号作为晶圆号。

更佳地，作为一种可实施方式，所述Excel图形格式文件转换模块200，还包括Excel图形格式设置子模块270，其中：

所述Excel图形格式设置子模块270，用于设置要生成的Excel格式图形文件的行高和列宽。

更佳地，作为一种可实施方式，所述Excel图形格式文件转换模块200，还包括文件转换状态子模块280，其中：

所述文件转换状态子模块280，用于判定及显示文件转换的进程，如图5所示，所述文件转换状态以文字描述及进度条的方式进行显示。

举例说明为，设转换的总文件数为25个，第一个晶圆图文本文件已经转换完成，正在转换第二个晶圆图文本文件，则文件转换状态子模块会显示正在转换25个文件中的第二个文件，进度条会显示第二个文件的转换进度，进度条为成熟技术，此处不再赘述。

更佳地，作为一种可实施方式，所述Excel图形格式文件转换模块200，还包括txt格式文件保存子模块290，其中：

所述txt格式文件保存子模块290用于同步保存晶圆图文本文件的txt格式文件。

基于同一发明构思，本发明实施例一种晶圆图数据的处理方法，由于此方法解决问题的原理与前述一种晶圆图数据的处理系统功能相似，因此，该方法的实施可以通过前述系统功能模块实现，重复之处不再赘述。

本发明实施例提供的一种晶圆图数据的处理方法，具体包括以下步骤：

S100，将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件转换为wfp格式的晶圆图文本文件；

S200，将晶圆图文本文件转换为Excel图形格式文件。

下面对上述各步骤进行详细说明：

更佳地，作为一种可实施方式，如图6所示，所述步骤S100具体包括如下步骤：

S110，选择所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件；

S120，判断所选文件是否是dat格式文件；

S130，显示所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的文件名；

更佳地，作为一种可实施方式，根据步骤S120的判定，在步骤S130中可以选择只显示dat格式文件的文件或者显示所选的所有文件。当选择只显示dat格式文件时，只显示所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件中的所有dat格式文件的文件名；当选择显示所有文件时，显示所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的所有文件名。

S140，转换所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件，得到所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的wfp格式的晶圆图文本文件；

所述转换晶圆测试探针台产生的二进制数据文件是指：提取所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件中所包含的产品名、测试时间、坐标、分BIN等晶圆测试信息，并对所述晶圆测试信息按照一定格式排布，得到所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的wfp格式的晶圆图文本文件。

更佳地，作为一种可实施方式，所述步骤S140具体包括如下步骤：

S141，选择所述步骤S130中显示的单个dat格式文件，转换所选择的文件，得到所述单个文件的wfp格式的晶圆图文本文件；

S142，转换所述步骤S130中显示的所有dat格式文件，得到所述所有dat格式文件中每个文件的wfp格式的晶圆图文本文件。

所述步骤S141和步骤S142以二选一的方式实施。本实施例中，选择实施步骤S142，转换所述步骤S130中显示的所有dat格式文件，得到所述所有dat格式文件中每个文件的wfp格式的晶圆图文本文件。

S150，存储所述wfp格式的晶圆图文本文件；

将转换后得到的wfp格式晶圆图文本文件存储在所转换的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的所在存储位置，使原存储位置中除包含原有晶圆测试台产生的二进制数据文件外，还包含转换后的一个或多个wfp格式晶圆图文本文件。

更佳地，作为一种可实施方式，所述步骤S100还包括如下步骤：

S160，为所选择的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件添加“.dat”后缀名；

更佳地，作为一种可实施方式，所述步骤S160，可以选择为步骤S110所选择的文件中没有后缀名的文件添加“.dat”后缀名，也可以选择不进行后缀名的添加。

更佳地，作为一种可实施方式，当为所选文件中没有后缀名的文件添加“.dat”后缀名时，所述S140在对文件进行转换时，也会对添加后缀名之后的文件进行转换，得到其wfp格式的晶圆图文本文件。

S170，判断并显示所显示的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的数量。

更佳地，作为一种可实施方式，当所述S130，选择只显示dat格式文件时，所述S170，判断并显示所述S110所选文件中包含的dat格式文件的数量，当所述S130选择显示所有文件时，所述S170，判断并显示所述S110所选文件中所有文件的数目。

更佳地，作为一种可实施方式，所述S160，为所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件添加“.dat”后缀名，所述S140在对文件进行转换时，也会对添加后缀名之后的文件进行转换，得到所述文件的wfp格式的晶圆图文本文件。

所述转换后的wfp格式的晶圆图文本文件，包含所述晶圆测试探针台产生的二进制文本文件中的测试信息，如产品名、测试时间、坐标、分BIN等，这些信息以固定的格式进行排布，以便于后续用于晶圆的封装。

更佳地，作为一种可实施方式，如图7所示，所述步骤S200具体包括如下步骤：

S210，选择所述晶圆图文本文件；

S220，选择要转换晶圆图文本文件的类型；

可选择五种不同类型的文件，包括wfp格式类型的文件、tmb格式类型的文件、cp1格式类型的文件、map格式类型的文件和txt格式类型的文件，选择其中一种类型的文件，以便后续对此种类型的晶圆图文本文件进行转换，得到其Excel图形格式文件。

所述五种不同类型的文件，是相对应的五种不同类型的晶圆图文本文件。

更佳地，作为一种可实施方式，本实施例中，选择wfp格式类型的文件，对所述步骤S100生成的wfp格式的晶圆图文本文件进行Excel图形格式转换。

S230，命名要生成的Excel图形格式文件；

采用自定义的方式进行命名，由使用者确定要生成的Excel图形格式文件的名称，采用直接输入的方式对所述要生成的Excel图形格式文件命名。

S240，转换所选择的晶圆图文本文件，得到所述晶圆图文本文件的Excel图形格式文件；

所述转换所选择的晶圆图文本文件是指：提取所述晶圆图文本文件中的信息，根据晶粒的测试结果及其坐标，在Excel工作表中对应的单元格记录晶粒的测试结果，具体包括如下步骤：

S241，转换所述步骤S210所选的文件且文件类型为所述步骤S220所确定的文件类型的文件中选中的单个文件，得到所述单个文件的Excel图形格式文件;

S242，转换所述步骤S210所选的文件且文件类型为所述步骤S220所确定的文件类型的所有文件，得到所述所有文件的Excel图形格式文件。

此处需要说明的是，所述步骤S242，转换步骤S210所选的文件中，且为文件类型选择子模块所确定的文件类型的所有文件，此时生成一个Excel图形格式文件，所述所有文件中，每个文件转换后的信息在所生成的Excel图形格式文件中以单个工作表的形式存在。

更佳地，作为一种可实施方式，所述转换后的Excel图形格式文件，对晶圆图文本文件中的分BIN标识颜色，以便后续进行晶圆良率分析。

S250，存储生成的Excel图形格式文件；

更佳地，作为一种可实施方式，所述步骤S200，还包括以下步骤：

S260，从所述晶圆图文本文件中获取晶圆号；

更佳地，作为一种可实施方式，所述步骤S260，可以使用所述晶圆图文本文件中的晶圆ID作为晶圆号；也可以使用所述晶圆图文本文件中的批号作为晶圆号。以便在生成的Excel图形格式文件中以晶圆号区分不同晶圆。本实施例中，使用所述晶圆图文本文件中的晶圆ID作为晶圆号。

S270，设置要生成的Excel格式图形文件的行高和列宽；

对要生成的Excel格式图形文件的行高和列宽进行设置，使生成的文件以所设置的大小进行显示，方便观察使用，减少后续对晶圆进行良率分析时的工作量。

S280，判定并显示文件转换的进程；

如图5所示，所述文件转换的进程以文字描述及进度条的方式进行显示。

S290，保存所述晶圆图文本文件的txt格式文件。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (21)

1.一种晶圆图数据的处理系统，其特征在于，包括wfp格式晶圆图文本文件转换模块和Excel图形格式文件转换模块，其中：

所述wfp格式晶圆图文本文件转换模块，用于将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件转换为wfp格式晶圆图文本文件；

所述Excel图形格式文件转换模块，用于将晶圆图文本文件转换为Excel图形格式文件，所述Excel图形格式文件转换模块，包括晶圆图文本文件选择子模块、文件类型选择子模块和 Excel格式文件转换子模块，所述晶圆图文本文件选择子模块，用于选择所述wfp格式晶圆图文本文件；所述文件类型选择子模块，用于选择要转换的晶圆图文本文件的类型；所述Excel格式文件转换子模块包括Excel格式第二转换子模块，所述Excel格式第二转换子模块，用于转换所选择的文件类型的所有文件，得到包含所有文件信息的一个Excel图形格式文件。

2.根据权利要求1所述的晶圆图数据的处理系统，其特征在于：

所述wfp格式晶圆图文本文件转换模块，包括二进制数据文件选择子模块、文件类型判定子模块、文件显示子模块、wfp格式文件转换子模块和wfp格式文件存储子模块，其中：

所述二进制数据文件选择子模块，用于选择所述的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件；

所述文件类型判定子模块，用于判定所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件是否是dat格式文件；

所述文件显示子模块，用于显示所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的文件名；

所述wfp格式文件转换子模块，用于转换所选择的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件；

所述wfp格式文件存储子模块，用于存储所述wfp格式晶圆图文本文件。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆图数据的处理系统，其特征在于：

所述Excel图形格式文件转换模块，包括晶圆图文本文件选择子模块，文件类型选择子模块，Excel图形格式文件命名子模块、Excel格式文件转换子模块和Excel格式文件存储子模块，其中：

所述晶圆图文本文件选择子模块，用于根据所述晶圆图文本文件在计算机中存储的位置，逐层选择，打开所述的晶圆图文本文件；

所述Excel图形格式文件命名子模块，用于命名要生成的Excel图形格式文件；

所述Excel格式文件转换子模块，用于转换所选择的晶圆图文本文件，得到所述晶圆图文本文件的Excel图形格式文件；

所述Excel格式文件存储子模块，用于存储转换后的Excel图形格式文件。

4.根据权利要求2所述的晶圆图数据的处理系统，其特征在于：

所述文件显示子模块显示dat格式文件或者显示所选择的所有文件。

5.根据权利要求1所述的晶圆图数据的处理系统，其特征在于，所述wfp格式晶圆图文本文件转换模块还包括后缀名添加子模块，其中：

所述后缀名添加子模块，用于为所述的二进制数据文件选择子模块所选文件添加“.dat”后缀名。

6.根据权利要求1所述的晶圆图数据的处理系统，其特征在于，所述wfp格式晶圆图文本文件转换模块还包括文件数目判断子模块，其中：

所述文件数目判断子模块，用于判断并显示所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的数量。

7.根据权利要求2所述的晶圆图数据的处理系统，其特征在于，所述wfp格式文件转换子模块，包括wfp格式第一转换子模块和wfp格式第二转换子模块，其中：

所述wfp格式第一转换子模块用于转换所述文件显示子模块中显示的，且选中的单个dat格式文件，得到所述单个dat格式文件的wfp格式的晶圆图文本文件；

所述wfp格式第二转换子模块，用于转换所述文件显示子模块中显示的所有dat格式文件，得到所述所有dat格式文件中每个文件的wfp格式的晶圆图文本文件。

8.根据权利要求3所述的晶圆图数据的处理系统，其特征在于，所述文件类型选择子模块，包括第一类型选择子模块、第二类型选择子模块、第三类型选择子模块、第四类型选择子模块和第五类型选择子模块，其中：

所述第一类型选择子模块，用于选择文件类型为wfp格式类型的文件；

所述第二类型选择子模块，用于选择文件类型为tmb格式类型的文件；

所述第三类型选择子模块，用于选择文件类型为cp1格式类型的文件；

所述第四类型选择子模块，用于选择文件类型为map格式类型的文件；

所述第五类型选择子模块，用于选择文件类型为txt格式类型的文件。

9.根据权利要求3所述的晶圆图数据的处理系统，其特征在于，所述Excel格式文件转换子模块，包括Excel格式第一转换子模块：

所述Excel格式第一转换子模块，用于转换所选择的文件类型的文件中选中的单个文件，得到所述单个文件的Excel图形格式文件。

10.根据权利要求9所述的晶圆图数据的处理系统 ，其特征在于：

所述所有文件中，每个文件转换后的信息在所生成的Excel图形格式文件中以单个工作表的形式存在。

11.根据权利要求1所述的晶圆图数据的处理系统，其特征在于，所述Excel图形格式文件转换模块，还包括晶圆号获取子模块，其中：

所述晶圆号获取子模块，用于从所述晶圆图文本文件中获取晶圆号，其包括第一晶圆号获取子模块和第二晶圆号获取子模块，其中：

所述第一晶圆号获取子模块，以所述晶圆图文本文件中的晶圆ID作为晶圆号；

所述第二晶圆号获取子模块，以所述晶圆图文本文件中的批号作为晶圆号。

12.根据权利要求1所述的晶圆图数据的处理系统，其特征在于，所述Excel图形格式文件转换模块，还包括Excel图形格式设置子模块，其中：

所述Excel图形格式设置子模块，用于设置要生成的Excel格式图形文件的行高和列宽。

13.根据权利要求1所述的晶圆图数据的处理系统，其特征在于，所述Excel图形格式文件转换模块，还包括文件转换状态子模块，其中：

所述文件转换状态子模块，用于判定及显示文件转换的进程；

所述文件转换的进程用文字描述及进度条的方式进行显示。

14.根据权利要求1所述的晶圆图数据的处理系统，其特征在于，所述Excel图形格式文件转换模块，还包括txt格式文件保存子模块，其中：

所述txt格式文件保存子模块，用于保存所述晶圆图文本文件的txt格式文件。

15.一种晶圆图数据的处理方法，其特征在于，包括如下步骤：

将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件转换为wfp格式的晶圆图文本文件；

将晶圆图文本文件转换为Excel图形格式文件，包括：选择所述晶圆图文本文件，选择要转换晶圆图文本文件的类型，转换所选择的晶圆图文本文件，得到所述晶圆图文本文件的Excel图形格式文件；

所述转换所选择的晶圆图文本文件，得到所述晶圆图文本文件的Excel图形格式文件，包括：转换所述选择的晶圆图文本文件且文件类型为所述选择的要转换文件的类型的所有文件，得到所述所有文件的一个Excel图形格式文件。

16.根据权利要求15所述的晶圆图数据的处理方法，其特征在于，所述将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件转换为wfp格式的晶圆图文本文件，包括如下步骤：

选择所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件；

判断所选文件是否是dat格式文件；

显示所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的文件名；

转换所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件，得到所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的wfp格式的晶圆图文本文件；

存储所述wfp格式的晶圆图文本文件。

17.根据权利要求16所述的晶圆图数据的处理方法，其特征在于，所述转换所述晶圆测试探针台产生的二进制数据文件，得到晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的wfp格式的晶圆图文本文件，包括如下步骤：

选择所显示的单个dat格式的文件，转换所选择的文件，得到所述单个dat格式的文件的wfp格式的晶圆图文本文件；

转换所显示的所有dat格式文件，得到所述所有dat格式文件中每个文件的wfp格式的晶圆图文本文件。

18.根据权利要求15所述的晶圆图数据的处理方法，其特征在于，所述将晶圆图文本文件转换为Excel图形格式文件，在选择要转换晶圆图文本文件的类型的步骤之后，包括如下步骤：

命名要生成的Excel图形格式文件；

在所述转换所选择的晶圆图文本文件，得到所述晶圆图文本文件的Excel图形格式文件的步骤之后，包括；

存储生成的Excel图形格式文件。

19.根据权利要求15至17任一项所述的晶圆图数据的处理方法，其特征在于，所述对所选择的晶圆图文本文件进行转换，得到所述晶圆图文本文件的Excel图形格式文件，包括如下步骤：

转换所述选择的晶圆图文本文件且文件类型为所述选择的要转换文件的类型的文件中选中的单个文件，得到所述单个文件的Excel图形格式文件。

20.根据权利要求15所述的晶圆图数据的处理方法，其特征在于，所述将晶圆测试探针台产生的二进制数据文件转换为wfp格式的晶圆图文本文件，还包括如下步骤：

为所选择的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件添加“.dat”后缀名；

判断并显示所显示的晶圆测试探针台产生的二进制数据文件的数量。

21.根据权利要求15所述的晶圆图数据的处理方法，其特征在于，所述将晶圆图文本文件转换为Excel图形格式文件，还包括如下步骤：

从所述晶圆图文本文件中获取晶圆号；

所述获取晶圆号，使用所述晶圆图文本文件中的晶圆ID作为晶圆号；或者使用所述晶圆图文本文件中的批号作为晶圆号；

设置要生成的Excel格式图形文件的行高和列宽；

判定并显示文件转换的进程；

所述判定并显示文件转换的进程，以文字描述及进度条的方式进行显示；

保存所述晶圆图文本文件的txt格式文件。