CN104069767A - 微流体通道和微流体装置 - Google Patents

Abstract

本文涉及一种微流体通道和微流体装置，提出一种微流体通道，其包括中心轴是三维曲线的搅拌流动通道。

Description

微流体通道和微流体装置

相关申请的交叉参考

本申请要求2013年3月29日提交的日本优先权专利申请JP2013-075420的权益，其整体内容通过引用并入本文。

技术领域

本技术涉及微流体通道和微流体装置，并且更具体地涉及用于在流动通道中混合或搅拌流体的技术。

背景技术

使用微流体通道用于混合或搅拌流体的技术使用在各种应用中。在现有技术中，已经做出对微流体通道的各种研究，以便改进在混合或搅拌中的效率（例如，参考日本未经审查的专利申请公开No.2003-001077、国际公开No.2010/131297、日本未经审查的专利申请公开No.2010-82491、2011-67741、2006-7007、2006-43607、2006-320877、2005-199245、2006-142210、2008-212882、2010-29747和2006-255584）。

日本未经审查的专利申请公开No.2003-001077已经提出微流体通道，其中扩散长度通过形成合并流动通道和在层状中与其连通的流动通道而缩短。此外，国际公开No.2010/131297已经提出配置成反复分支和合并的微反应器，以便改进用于流体的混合性能。此外，日本未经审查的专利申请公开No.2010-82491和2011-67741公开了通过产生到合并部的涡旋流或对流而改进在混合流体中效率的技术。

另一方面，日本未经审查的专利申请公开No.2006-7007、2006-43607和2006-320877公开了通过使用障碍、旋转体或电极而产生在流体中的对流或涡旋流的技术，全部这些障碍、旋转体和电极均设置在流动通道中。此外，日本未经审查的专利申请公开No.2005-199245、2006-142210、2008-212882和2010-29747公开了通过在流动通道内设置不规则结构（irregularity）而改变内部循环流体流动的技术。此外，在日本未经审查的专利申请公开No.2006-255584中公开的微反应器经配置使得流体交替穿过衬底的前表面侧流动通道和后表面侧流动通道。

发明内容

然而，现有技术中上述的微流体通道具有不充分的搅拌效率。另外，在日本未经审查的专利申请公开No.2003-001077中公开的层结构导致复杂的流动通道结构。此外，根据在日本未经审查的专利申请公开No.2003-001077中公开的技术，流动通道可能堵塞，因为有必要缩小流动通道的直径，以便缩短扩散长度。同样，在国际公开No.2010/131297公开的技术也导致复杂的流动通道结构。

在日本未经审查的专利申请公开No.2010-82491和2011-67741中公开的技术中，需要相对于流动通道在合并部中提供很大的空间，以便执行更有效的混合。此外，还有必要将流入速度加速。在日本未经审查的专利申请公开No.2006-7007、2006-43607和2006-320877中公开的技术也导致复杂的流动通道结构，并且因此有必要进一步提供单独控制机构。与此相反，在日本未经审查的专利申请公开No.2005-199245、2006-142210、2008-212882和2010-29747中公开的技术中，不必提供控制机构等。然而，由于通过仅在流动通道中壁表面上使用不规则结构而产生对流，所以流动效率很低。此外，为了获得优良的搅拌性能，有必要增加流动通道的长度。

因此，在现有技术中，需要提供具有优良搅拌效率的微流体通道和微流体装置。

根据本公开实施方式的微流体通道包括：搅拌流动通道，其中心轴是三维曲线。

在微流体通道中，搅拌流动通道以螺旋形状形成。

此外，在搅拌流动通道中，与中心轴垂直的横截面在从流动通道始端到流动通道终端的部分中变化。

在横截面中的变化可以是在横截面形状中的变化。

在这种情况下，例如横截面可围绕中心轴旋转。

可替代地，在横截面中的变化是横截面面积的变化。

在这种情况下，例如多个锥形部分或多个倒锥形部分可设置在搅拌流动通道中。

与此相反，在搅拌流动通道中，在从流动通道始端到流动通道终端的部分中，在螺旋间距、螺旋轨道半径和螺旋轨道轴位置中的至少一种变化。

此外，搅拌流动通道的始端连接到第一流动通道和第二流动通道的合并部。

在微流体通道中，搅拌流动通道可经配置具有多个流动通道，其中心轴是三维曲线。多个流动通道可具有共同的始端和终端。与中心轴垂直的横截面反复膨胀并且收缩。多个流动通道可形成以便彼此相交。

此外，搅拌流动通道可形成在微芯片中。

在这种情况下，搅拌流动通道的中心轴在微芯片的纵向方向、在宽度方向以及在厚度方向上的位置在从始端到终端的部分中连续变化。

搅拌流动通道可通过使用激光束光刻而形成。

根据本技术另一个实施方式的微流体装置包括上述微流体通道。

在微流体装置中，搅拌流动通道可形成为可附接和可拆卸的。

根据本技术的实施方式，提供了搅拌流动通道，其中心轴是三维曲线。因此，可以实现搅拌效率很高的微流体通道和微流体装置。

附图说明

图1是示出根据本公开第一实施方式的微流体通道的配置示例的透视图；

图2是示出在图1中示出的搅拌流体通道形状的放大透视图；

图3A示出其横截面是圆形的搅拌流动通道的总体形状，而图3B示出其中心轴的位置等；

图4A示出其横截面是垂直伸长和椭圆形的搅拌流动通道的总体形状，而图4B示出其中心轴的位置等；

图5A示出其横截面是水平伸长和椭圆形的搅拌流动通道的总体形状，而图5B示出其中心轴的位置等；

图6A示出其横截面是矩形形状的搅拌流动通道的总体形状，而图6B示出其中心轴的位置等；

图7A示出根据本公开第一实施方式的第一修改例的微流体通道的搅拌流动通道形状的示例，而图7B示出其中心轴的位置等；

图8A示出根据本公开第一实施方式的第一修改例的微流体通道的搅拌流动通道形状的另一个示例，而图8B示出其中心轴的位置等；

图9A示出根据本公开第一实施方式的第一修改例的微流体通道的搅拌流动通道形状的另一个示例，而图9B示出其中心轴的位置等；

图10A示出根据本公开第一实施方式的第二修改例的微流体通道的搅拌流动通道形状的示例，而图10B示出其中心轴的位置等；

图11A示出根据本公开第一实施方式的第二修改例的微流体通道的搅拌流动通道的形状示例，而图11B示出其中心轴的位置等；

图12A示出根据本公开第一实施方式的第二修改例的微流体通道的搅拌流动通道的形状示例，而图12B示出其中心轴的位置等；

图13A示出根据本公开第一实施方式的第二修改例的微流体通道的搅拌流动通道的形状示例，而图13B示出其中心轴的位置等；

图14A示出根据本公开第二实施方式的第一修改例的微流体通道的搅拌流动通道的形状示例，而图14B示出其中心轴的位置等；

图15示出根据本公开第三实施方式的微流体通道的搅拌流动通道的形状示例；

图16示出在图15中示出的搅拌流动通道内侧的平流（advection）产生的原理；

图17示出根据本公开第四实施方式的微流体装置的配置示例；

图18示出根据本公开第五实施方式的微流体通道的搅拌流体通道的形状示例；

图19示出根据本公开第五实施方式的微流体通道的搅拌流体通道的形状示例；以及

图20示出根据本公开第五实施方式的微流体通道的搅拌流体通道的形状示例。

具体实施方式

在下文中，将参考附图详细描述本公开的实施方式。本公开不限于下面描述的实施方式。此外，描述将以下面的顺序进行。

1.第一实施方式

（包括螺旋搅拌流动通道的微流体通道的示例）

2.第一实施方式的第一修改例

（其横截面改变的微流体通道的示例）

3.第一实施方式的第二修改例

（其螺旋轨道改变的微流体通道的示例）

4.第二实施方式

（包括其中心轴是三维曲线而没有规律的搅拌流动通道的微流体通道的示例）

5.第二实施方式的第一修改例

（包括其中心轴是三维曲线而没有规律、并且其横截面形状变化的搅拌流动通道的微流体通道的示例）

6.第三实施方式

（其中搅拌流动通道经配置具有多个流动通道的微流体通道的示例）

7.第四实施方式

（微流体装置的示例）

8.第五实施方式

（其中搅拌流动通道的中心轴具有线性螺旋形状的微流体通道的示例）

1.第一实施方式

首先，将描述根据本公开第一实施方式的微流体通道。图1是示出根据本实施方式的微流体通道的配置示例的透视图。图2是示出其搅拌流体通道形状的放大透视图。此外，图3A至6B示出搅拌流动通道的形状示例。

总体配置

如在图1中所示，在本实施方式的微流体通道10中，例如其中心轴是三维曲线的搅拌流动通道1设置在合并部5的下游侧处，在合并部5中，合并其中引入流体2a的流动通道3和其中引入流体2b的流动通道4。

搅拌流动通道1

例如，搅拌流动通道1可具有螺旋形状，如在图2中所示。微流体通道具有这样的特性，即由于流动通道的直径小到1mm或更小（其中流动通道一般产生的大小是500μm或更小），所以快速执行借助于扩散的混合。另一方面，在微流体通道中，流体流动强烈地受到流动通道壁表面的限制。因此，对流不太可能从与流动方向垂直的表面向内产生，并且借助于平流的混合不太可能执行。因此，在本实施方式的微流体通道10中，通过允许搅拌流动通道1具有螺旋形状，平流在流中产生，并且借助于扩散执行混合。这种协同效应提高了搅拌效率。

并不特别限于此，搅拌流动通道1的横截面形状可利用各种形状，诸如在图3A和3B中示出的圆形形状，如在图4A和4B中示出的竖直细长椭圆形，如在图5A和5B中示出的水平细长椭圆形，如在图6A和6B中示出的矩形形状等。在此描述的横截面是与流动通道中心轴a垂直的横截面，并且同样应用在下面的描述中。然后，甚至当流动通道的横截面具有上述形状时，搅拌流动通道1可通过在流中产生平流而改进搅拌效率。也就是说，无论横截面形状，搅拌流动通道1可以高效率搅拌流体。

操作

在本实施方式的微流体通道10中，例如流体2a被引入到流动通道3中，而与流体2a不同的流体2b被引入到流动通道4。然后，流体2a和流体2b合并在合并部5中并且引入到搅拌流动通道1。在搅拌流动通道1中，流体2a和流体2b有效地搅拌并且借助于扩散混合和平流而混合。搅拌流动通道1不仅混合多个类型的流体，还可导致在流体之间的反应，以及此外在流体或悬浮物质中溶解的分子之间的反应。更具体地，如果第一流体设定为用作荧光抗体流体，而使用其中细胞悬浮的第二流体，则可以通过产生在细胞表面上的抗原-抗体反应而荧光性地染色细胞，从而遵循在两种流体之间的混合。

制造方法

例如，本实施方式的微流体通道10可通过使用激光束光刻来制造。激光束光刻还可形成曲面形状或复杂三维形状，其全部都难以通过使用现有技术彼此堆叠平板的技术来成形。因此，特别优选的是在形成其中心轴是三维曲线的搅拌流动通道1中使用。微流体通道10的制造方法不限于激光束光刻。还可使用可形成三维弯曲形状的其它技术。

此外，可形成本实施方式的微流体通道10，以便搅拌流动通道1和其它部分彼此集成。然而，还可以仅制造搅拌流动通道1作为单独部件，以插入或连接到单独的微流体通道。在这种情况下，可以仅形成通过使用诸如激光束光刻等制造的搅拌流动通道1，以及通过使用如在现有技术中彼此接合（bond）具有流动通道的衬底而制造其它部分。这可提高生产率。

本实施方式的微流体通道10具有螺旋形搅拌流动通道1。因此，在搅拌流动通道1中，可以通过利用由平流和扩散获得的协同效应来高效搅拌流体。此外，本实施方式的微流体通道10搅拌一种类型的流体。甚至当混合多种类型的流体或甚至当在流体通道中产生反应时可以优选使用。

2.第一实施方式的第一修改例

接着，将描述本公开第一实施方式的第一修改例的微流体通道。在图3A至6B中示出的搅拌流动通道1经配置以便与中心轴a垂直的横截面从流动通道始端1a到流动通道终端1b具有相同形状。然而，本公开不限于此。可以采用这样的配置，其中搅拌流动通道1的横截面形状在从流动通道始端到流动通道终端的部分中变化。

图7A至9B示出在本修改例的微流体通道中设置的搅拌流动通道的形状示例。例如，如在图7A和7B中示出，在本修改例的微流体通道中设置的搅拌流动通道具有相同的横截面形状。然而，可以采用这样的配置，其中其取向取决于位置而变化。更具体地，在图7A和7B中示出的搅拌流动通道21的形状被形成为使得与中心轴a垂直的横截面在从流动通道始端21a到流动通道终端21b以预定角度围绕中心轴a旋转。

此外，例如，如在图8A和8B中示出，在本修改例的微流体通道中，还可以改变搅拌流动通道的横截面形状本身。在图8A和8B中示出的搅拌流动通道31采用这样的配置，其中与中心轴a垂直的横截面形状从流动通道始端31a到流动通道终端31b连续变化。

此外，例如，如在图9A和9B中示出，在本修改例的微流体通道中，还可以形成搅拌流动通道以便具有这样的形状：其中，与中心轴a垂直的横截面的大小（横截面面积）连续变化。在图9A和9B中示出的搅拌流动通道41被配置为使得与中心轴a垂直的横截面的大小（横截面面积）从流动通道始端41a到流动通道终端41b连续变化。因此，锥形部分或倒锥形部分形成在搅拌流动通道41中间。

以这种方式，可以通过采用其中搅拌流动通道的横截面形状在从流动通道始端到流动通道终端截面中变化的配置形成更复杂的平流（对流）。因此，提高了搅拌效率，从而使混合能够进一步均匀执行。

在本修改例的微流动通道中，除了上述那些之外的配置和效应仍与上述的第一实施方式的那些相同。

3.第一实施方式的第二修改例

接着，将描述根据本公开第一实施方式的第二修改例的微流体通道。在图1A至9B中，示出的搅拌流动通道具有螺旋形搅拌流动通道，其具有恒定的中心轴a的螺旋轨道和螺旋间距。然而，本公开不限于此。在从流动通道始端到流动通道终端的部分中，可改变螺旋间距、螺旋轨道半径和螺旋轨道轴的位置。

图10A至12B示出在本修改例的微流体通道中设置的搅拌流动通道的形状示例。例如，如在图10A和10B中示出，在本修改例的微流体通道中，可以设置搅拌流动通道51，其中中心轴a的螺旋轨道间距在从流动通道始端51a到流动通道终端51b的部分中规则或不规则变化。

此外，例如，如在图11A和11B中示出，在本修改例的微流体通道中，可以设置搅拌流动通道61，其中中心轴a的螺旋轨道半径在从流动通道始端61a到流动通道终端61b的部分中规则或不规则变化。此外，例如，如在图12A和12B中示出，在本修改例的微流体通道中，可设置搅拌流动通道71，其中中心轴a的螺旋轨道轴的位置在从流动通道始端71a到流动通道终端71b的截面中三维变化。

以这种方式，甚至在包括其中螺旋间距、螺旋轨道半径和螺旋轨道轴位置在从流动通道始端到流动通道终端的部分中变化的搅拌流动通道的微流体通道中，与上述的第一实施方式的微流体通道类似，可以通过利用由平流和扩散获得的协同效应来高效地搅拌流体。本修改例的微流体通道还可配置为在螺旋间距、螺旋轨道半径和螺旋轨道轴位置之中的多个条件发生变化。

在本修改例的微流动通道中，除了上述那些之外的配置和效应仍与上述的第一实施方式的那些相同。

4.第二实施方式

接着，将描述根据本公开第二实施方式的微流体通道。在上述的第一实施方式和修改例中的微流体通道具有螺旋搅拌流动轨道。然而，本公开不限于此。如果三维曲线用作中心轴，则可利用任何搅拌流动通道。

图13A至13B示出在本实施方式的微流体通道中设置的搅拌流动通道的形状示例。搅拌流动通道81设置在本实施方式的微流体通道中，在图13B中示出的所述搅拌流动通道81的中心轴是三维曲线。在搅拌流动通道81中，中心轴a的位置在从流动通道始端81a到流动通道终端81b的部分中规则或不规则变化。

在流动通道横截面方向中的平流（对流）以这样的方式产生：即流动通道壁表面的取向变化。在现有技术中二维轨道的流动通道中，力仅在与二维轨道表面平行的一个轴的方向上作用。然而，如在图13A和13B中示出的搅拌流动通道81中，在三维轨道的流动通道中，可以在两个轴的方向上施加力。因此，可以更有效地产生平流（对流）。然后，甚至在本实施方式的微流体通道中，可以在搅拌流动通道中通过利用由平流和扩散获得的协同效应来高效地搅拌流体。

在本实施方式的微流动通道中，除了上述那些之外的配置和效应仍与上述的第一实施方式的那些相同。

5.第二实施方式的第一修改例

接着，将描述本公开第二实施方式的第一修改例的微流体通道。在图13A至13B中示出的搅拌流动通道81中，与中心轴a垂直的横截面具有从流动通道始端到流动通道终端的相同形状。然而，本公开不限于此。搅拌流动通道被配置为使得横截面形状在从流动通道始端到流动通道终端的部分中变化。

图14A至14B示出在本修改例的微流体通道中设置的搅拌流动通道的形状示例。例如，如在图14A和14B中示出，在本修改例的微流体通道中，可以设置搅拌流动通道91，其被配置为使得与中心轴a垂直的横截面形状在从流动通道始端91a到流动通道终端91b的部分中连续变化。

如在图14A和14B中示出的搅拌流动通道91中，如果采用其中改变横截面形状的配置，则可以在复杂流体通道的横截面方向上更有效地产生平流（对流）。因此，可以比上述第二实施方式的微流体通道提高搅拌效率。

在本修改例的微流动通道中，除了上述那些之外的配置和效应仍与上述的第二实施方式的那些相同。

6.第三实施方式

接着，将描述本公开第三实施方式的微流体通道。图15示出在本实施方式微流体通道中设置的搅拌流动通道的形状示例。图16示出在图15中示出的搅拌流动通道内侧的平流产生的原理。配置为具有其中心轴是三维曲线的多个流动通道的搅拌流动通道101配置在本实施方式的微流体通道中。

如在图15中示出，搅拌流动通道101被配置为具有两个流动通道，其中，流动通道始端101a和流动通道终端101b被共同享有。每个流动通道被设置为使得与中心轴垂直的横截面反复膨胀并且收缩，并且使得反复地彼此相交。然后，如在图16中所示，在搅拌流动通道101的其中两个流动通道彼此相交的部分中，产生在相互不同方向上的平流（对流）。因此，可以有效地搅拌在每个流动通道中循环的流体。

在本实施方式的微流动通道中，除了上述那些之外的配置和效应仍与上述的第一实施方式的那些相同。

7.第四实施方式

接着，将描述本公开第四实施方式的微流体装置。图17示出根据本公开第四实施方式的微流体装置的配置示例。本实施方式的微流体装置12包括上述的第一到第三实施方式和修改例的微流体通道。例如，微流体装置12可具有芯片、盒体等的形式。

本实施方式的微流体装置12可被形成为与微流体通道集成。然而，如在图17中所示，搅拌流动通道11或微流体通道可形成为可附接和可拆卸的。然后，例如，当微流体通道形成在微芯片中时，搅拌流动通道的中心轴在微芯片的纵向方向x、在宽度方向y以及在厚度方向z上的位置在从始端到终端的部分中连续变化。

如在图17中所示的微流体装置12中，微流体通道或搅拌流动通道11变成模块13，并且结合在微流体装置中作为组件。通过使用这种配置，可以改变搅拌流动通道的类型或配置，其取决于使用目的。因此，除了由用户取代的通用产品，还可以设计不同使用的专用流动通道装置。

此外，在现有技术中的制造方法可应用到除了搅拌流动通道之外的部分。因此，可以简化用作基础组件的流动通道装置的设计和制造。另一方面，例如，关于搅拌流动通道，可以通过使用激光束光刻而同时形成多个流动通道部件。因此，可以提高产量并且可以简化整个流动通道装置的流动通道。以这种方式，可以高效地搅拌流体，并且可以实现多用途的微流体装置。

8.第五实施方式

接着，将描述本公开第五实施方式的微流体通道。图18到20示出根据本公开第五实施方式的微流体通道的搅拌流体通道的形状示例。搅拌流动通道设置在本实施方式的微流体通道中，其中，中心轴是直线并且流动通道的形状是螺旋形。

如在图18中示出的搅拌流动通道111和在图19中示出的搅拌流动通道121中，本实施方式的微流体通道中的搅拌流动通道被配置为使得与中心轴垂直的横截面变化为在一个方向中旋转。搅拌流动通道的横截面形状不限于椭圆形（如在图18中示出的搅拌流动通道111）或矩形形状（如在图19中示出的搅拌流动通道121）。搅拌流动通道可利用各种形状。

此外，如在图20中示出，本实施方式的微流体通道可利用搅拌流动通道131，该搅拌流动通道被配置为使得与中心轴垂直的横截面变化为旋转，并且旋转方向在从流动通道始端到流动通道终端的部分中反复反转。

由于中心轴是直线，所以本实施方式的微流体通道具有比根据第一到第三实施方式和修改例的微流体通道的搅拌流动通道的搅拌性能低的搅拌性能。然而，流动通道的壁表面连续变化，导致平流产生的力更强，并且搅拌效率比现有技术中的微流体通道的那些更优良。

此外，本公开可利用以下配置。

（1）一种微流体通道包括：搅拌流动通道，其中心轴是三维曲线。

（2）在（1）中描述的微流体通道，其中，搅拌流动通道以螺旋形状形成。

（3）在（1）或（2）中描述的微流体通道，其中，在搅拌流动通道中，与中心轴垂直的横截面在从流动通道始端到流动通道终端的部分中变化。

（4）在（3）中描述的微流体通道，其中，横截面的变化是在横截面形状中的变化。

（5）在（4）中描述的微流体通道，其中，横截面被变化为围绕中心轴而旋转。

（6）在（3）到（5）中的任何一项中描述的微流体通道，其中，横截面的变化是在横截面面积的变化。

（7）在（1）到（6）中的任何一项中描述的微流体通道，其中，多个锥形部分或多个倒锥形部分设置在搅拌流动通道中。

（8）在（2）到（7）中的任何一项中描述的微流体通道，其中，在搅拌流动通道中，在从流动通道始端到流动通道终端的部分中，螺旋间距、螺旋轨道半径和螺旋轨道轴位置中的至少一种发生变化。

（9）在（1）到（8）中的任何一项中描述的微流体通道，其中，搅拌流动通道的始端连接到第一流动通道和第二流动通道的合并部。

（10）在（1）到（9）中的任何一项中描述的微流体通道，其中，搅拌流动通道被配置为具有多个其中心轴是三维曲线的流动通道，该多个流动通道具有共同的始端和终端，与中心轴垂直的横截面反复膨胀并且收缩，以及多个流动通道被形成为彼此相交。

（11）在（1）到（10）中的任何一项中描述的微流体通道，其中，搅拌流动通道形成在微芯片中。

（12）在（11）中描述的微流体通道，其中，搅拌流动通道的中心轴在微芯片的纵向方向上、在宽度方向上以及在厚度方向上的位置在从始端到终端的截面中连续变化。

（13）在（1）到（12）中的任何一项中描述的微流体通道，其中搅拌流动通道通过使用激光束光刻而形成。

（14）一种微流体装置，其包括在（1）中描述的微流体通道。

（15）在（14）中描述的微流体装置，其中，搅拌流动通道形成为可附接和可拆卸的。

本领域技术人员应该理解，只要处于所附权利要求或其等同物的范围内，则根据设计需求和其它因素，可进行各种修改、组合、子组合和变更。

Claims (17)

1.一种微流体通道，其包括：

搅拌流动通道，其中心轴是三维曲线。

2.根据权利要求1所述的微流体通道，

其中，所述搅拌流动通道以螺旋形状形成。

3.根据权利要求1所述的微流体通道，

其中，在所述搅拌流动通道中，与所述中心轴垂直的横截面在从流动通道始端到流动通道终端的部分中变化。

4.根据权利要求3所述的微流体通道，

其中，在所述横截面的变化是横截面形状的变化。

5.根据权利要求4所述的微流体通道，

其中，所述横截面围绕所述中心轴旋转地变化。

6.根据权利要求3所述的微流体通道，

其中，在所述横截面的变化是横截面面积的变化。

7.根据权利要求6所述的微流体通道，

其中，多个锥形部分或多个倒锥形部分设置在所述搅拌流动通道中。

8.根据权利要求2所述的微流体通道，

其中，在所述搅拌流动通道中，在从流动通道始端到流动通道终端的部分中，螺旋间距、螺旋轨道半径和螺旋轨道轴位置中的至少一种发生变化。

9.根据权利要求1所述的微流体通道，

其中，所述搅拌流动通道的始端连接到第一流动通道和第二流动通道的合并部。

10.根据权利要求1所述的微流体通道，

其中，所述搅拌流动通道被配置为具有其中心轴是三维曲线的多个流动通道，

其中，所述多个流动通道具有共同的始端和终端，

其中，与所述中心轴垂直的横截面反复膨胀并且收缩，以及

其中，所述多个流动通道被形成为彼此相交。

11.根据权利要求1所述的微流体通道，

其中，所述搅拌流动通道形成在微芯片中。

12.根据权利要求11所述的微流体通道，

其中，所述搅拌流动通道的中心轴在所述微芯片的纵向方向、宽度方向以及厚度方向上的位置在从始端到终端的部分中连续变化。

13.根据权利要求11所述的微流体通道，

其中，所述搅拌流动通道通过使用激光束光刻而形成。

14.根据权利要求1所述的微流体通道，其中，

所述中心轴是直线，并且所述搅拌流动通道被配置为使得垂直于所述中心轴的横截面旋转地变化。

15.根据权利要求14所述的微流体通道，其中，所述横截面是椭圆形。

16.一种微流体装置，其包括：

根据权利要求1所述的微流体通道。

17.根据权利要求16所述的微流体装置，

其中，所述搅拌流动通道形成为能附接和能拆卸的。