CN104056798A - 清洗液的回收和供给设备及方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种清洗液的回收和供给设备及方法。所述设备包括：第一清洗液供给单元，具有存储清洗液的箱体；第二清洗液供给单元，由管道构成且与所述第一清洗液供给单元相互交替作业；回收管道，将所述清洗液回收至所述箱体；主排放管道，将所述清洗液直接排放至废液系统；第一开关控制装置，切换所述第一清洗液供给单元和所述第二清洗液供给单元的作业；第二开关控制装置，切换所述回收管道和所述主排放管道的作业。其中，所述第一清洗液供给单元作业时，所述第二清洗液供给单元停止，且实施所述回收管道的作业，所述主排放管道停止；所述第二清洗液供给单元作业时，所述第一清洗液供给单元停止，且所述主排放管道运行，所述回收管道停止。

Description

清洗液的回收和供给设备及方法

技术领域

本发明涉及一种清洗单元的管路设计，尤其涉及一种清洗液的回收和供给设备及方法。

背景技术

在显示行业的制造中，当基板进入黄光工艺(也称“光刻工艺”、“微影工艺”等)的生产线后，首先需要经过洗净单元来对基板(例如玻璃基板)进行清洗，其次对洗净的基板施行减压干燥后输送至涂胶单元中涂布光刻胶，然后施行减压干燥后进入前烘单元、后续的其它单元进行处理。

在此，基板的洁净度会直接影响光刻胶涂布的效果，因此需要提高清洗单元的洗净能力。如图2所示，通常在黄光工艺的生产线入口端的清洗单元内，除了UV清洗步骤S1、二流体清洗步骤S3、风刀步骤S4之外，在UV清洗步骤S1和二流体清洗步骤S3之间增加一个药液清洗步骤S2。一般所使用的药液是0.4％的氢氧化四甲铵(TMAH)或者专用的清洗剂等。当使用这些药液进行清洗时，一般采用单箱体直排法(单箱体直排设备)或全部回收法(全部回收和供给设备)来进行。

所谓单箱体直排法是指：只使用一次清洗用的药液并将使用后的药液直接排放至废液系统。如图3所示，在单箱体直排设备11(单箱体直排法)中，将药液从药液供给源F通过第一管道A111输送到箱体T11里。通过启动泵P，将箱体T11中的清洗液经由第二管道A112和喷头N对腔室C内的清洗对象(例如，玻璃基板)进行喷淋清洗。使用过的药液通过第三管道A113直接排放于废液系统E中。采用这种方法，清洗液消耗量和废液处理量都非常大，会造成清洗液使用成本和废液处理成本的大大增加。

所谓全部回收法是指：将清洗完的药液重新回收至设备中的一个以上的药液箱体内重复使用，待处理一定数量的基板之后，再将箱体内的药液排放到废液系统中。其中，该全部回收法主要可举出单箱体全部回收法和双箱体全部回收法。

图4表示单箱体全部回收法所使用的单箱体全部回收和供给设备21的示意图。

单箱体全部回收和供给设备21的运行方式如下。将药液从药液供给源F通过第一管道A211输送到箱体T21里。通过启动泵P，将箱体中的清洗液经由第二管道A212和喷头N对腔室C内的基板进行喷淋清洗。使用过的药液通过第三管道A213回收到箱体T21中。当箱体T21里的清洗液的液位过高时，多余的药液外溢到第五管道A215，并经由第四管道A214直接排放进入废液系统E中。

当箱体T21内的回收液在清洗系统循环多次以后，清洗液浊度升高、洗净能力降低。此时需要对整个箱体T21的清洗液进行置换，即排空箱体T21里浊度较高的药液而补充新液。通过打开阀门V21，将箱体T21中的药液经由第四管道(废液排放主管道)A214排放到废液系统E。等待箱体T21内药液清空后关闭阀门V21，再次将新的药液从药液供给源F通过第一管道A211输送到箱体T21里。在排放高浊度废液、补充新液的过程中，系统停止运行，即整个黄光工艺的生产线处于暂停状态。

由此可见，在采用单箱体全部回收法的情况下，当对单箱体内的药液作为废液进行排放以及补充新液时，需要使设备停止作业，这样会影响清洗作业的连续性和光刻设备在整体上的作业时间。

图5表示双箱体全部回收法所使用的双箱体全部回收和供给设备22的示意图，其中药液的流动和回收方式与单箱体全部回收和供给设备21比较相似，除了第一箱体T221、第一管道A221～第五管道A225以及第七阀门V227外，例如需要进一步增加第二箱体T222、第六管道A226和第一阀门V222～第六阀门V226、第八阀门V228等构件。由于配备了第一箱体T221、第二箱体T222这两个箱体，当其中一个箱体排放高浊度药液和补充新液时，清洗系统将药液供给箱体切换成另一个箱体来继续作业，从而实现清洗系统运行不停止。采用这种双箱体设备，存在以下问题。首先设备成本上升，且洁净室(黄光无尘室)空间扩大带来了设施成本的上升；其次，由于新旧药液的置换过程一般比较短，通常约为2.5分钟～5分钟，而两次药液的置换之间的间隔时间却比较长，根据工艺的不同，所设定的两次药液的置换间隔一般为1小时～2小时。其结果，导致总是有一个箱体在大部分时间内处于闲置状态而得不到充分利用。

由此可见，在采用双箱体全部回收法的情况下，则会增加设备和管道的复杂程度，使设备成本升高，洁净室的空间扩大使设施成本升高。特别是很多工厂在建厂初期需要控制光刻设备的总长度，此时每增加一个箱体就有可能导致设备总长度的增加。

发明内容

鉴于上述以往的清洗设备和方法所存在的问题，本发明的目的在于提供一种清洗液的回收和供给设备及方法，既解决直排设备和方法中药液使用量和废液量大的问题，也解决单箱体全部回收设备和方法中的清洗作业不能连续运转的问题，同时还解决了双箱体全部回收设备和方法中的设备成本和洁净室空间扩大带来的设施成本升高的问题。

本发明的实施方式提供了一种清洗液的回收和供给设备，其特征在于，包括：

第一清洗液供给单元，具有存储清洗液的箱体；

第二清洗液供给单元，由管道构成且与所述第一清洗液供给单元相互交替作业；

回收管道，所述回收管道将所述清洗液回收至所述箱体；

主排放管道，所述主排放管道将所述清洗液直接排放至废液系统；

第一开关控制装置，所述第一开关控制装置切换所述第一清洗液供给单元和所述第二清洗液供给单元的作业；

第二开关控制装置，所述第二开关控制装置切换所述回收管道和所述主排放管道的作业，

其中，通过所述第一开关控制装置的控制，所述第一清洗液供给单元作业时，所述第二清洗液供给单元停止作业，且通过所述第二开关控制装置的控制，实施所述回收管道的作业，所述主排放管道停止作业；

通过所述第一开关控制装置的控制，所述第二清洗液供给单元作业时，所述第一清洗液供给单元停止作业，且通过所述第二开关控制装置的控制，所述主排放管道运行，所述回收管道停止作业。

另外，本发明的实施方式还提供一种清洗液的回收和供给方法，其特征在于，包括：

第一清洗液供给步骤，通过第一清洗液供给单元将清洗液经由箱体供给至清洗液喷淋单元；

第二清洗液供给步骤，通过第二清洗液供给单元将清洗液从清洗液供给源直接供给至所述清洗液喷淋单元；

清洗液回收步骤，通过清洗液回收单元回收腔室中的所述清洗液至所述箱体；

直接排放步骤，将所述腔室中的清洗液直接排放至废液系统；

清洗液供给途径切换步骤，通过开关控制装置，使所述第一清洗液供给步骤和所述第二清洗液供给步骤相互交替实施；

清洗液排放途径切换步骤，通过开关控制装置，使所述清洗液回收步骤和所述直接排放步骤相互交替实施，当实施所述第一清洗液供给步骤时，实施所述清洗液回收步骤，当实施所述第二清洗液供给步骤时，实施所述直接排放步骤。

基于如上所述的实施方式，既能够解决传统直排设备和方法中的药液用量和废液量大的问题，也能够解决单箱体全部回收和供给设备及方法中的清洗作业不能连续的问题，同时还解决了双箱体全部回收和供给设备及方法中带来的设备成本和洁净室空间扩大带来的设施成本的问题。从而，实现了大部分药液的回收并同时又不增加设备和洁净室空间设施的费用，极具有益效果。

附图说明

图1是表示本发明一种实施方式中的单箱体部分回收供给设备的结构示意图。

图2是表示清洗单元的流程图。

图3是表示以往的单箱体直排设备的示意图。

图4是表示以往的单箱体全部回收和供给设备的结构示意图。

图5是表示以往的双箱体全部回收和供给设备的结构示意图。

附图标记的说明

1：清洗液的回收和供给设备

2：第一清洗液供给单元

3：第二清洗液供给单元

11：单箱体直排设备

21：单箱体全部回收和供给设备

22：双箱体全部回收和供给设备

A10：第一清洗液供给管道

A11：第一清洗液输送管道

A12：第二清洗液供给管道

A13：清洗液喷淋用管道

A14：主排放管道

A15：回收管道

A16：溢出管道

A17：置换用排放管道

A111～A113：第一管道～第三管道

A211～A215：第一管道～第五管道

A221～A226：第一管道～第六管道

C：腔室

D：基板输送方向

E：废液系统

F：药液供给源

N：喷头

P：泵

S1：UV清洗步骤

S2：药液清洗步骤

S3：二流体清洗步骤

S4：风刀步骤

T1、T21：箱体

T221～T222：第一箱体～第二箱体

V11～V15：第一阀门～第五阀门

V21：阀门

V221～V228：第一阀门～第八阀门

具体实施方式

本发明的实施方式之一涉及黄光工艺中开始部分的洗净单元内的药液清洗步骤，通过使清洗设备除了将清洗液经过单箱体进行清洗、回收和供给的途径(第一清洗途径：单箱体清洗途径)以外还增加了一条将药液不经过任何箱体而通过管道进行直供清洗的途径(第二清洗途径：管道直供清洗途径)。当需要置换单箱体中的药液时，在置换箱体中的药液的短时间(例如2.5分钟～5分钟)内，启用第二清洗途径；当向箱体内补充新药液完毕后，将设备再切换成第一清洗途径。由此，在置换箱体中的药液时，清洗系统不停止运行。

下面，结合图1详细说明本发明的实施方式。

(1)清洗液的回收和供给设备

图1是表示本发明的一种实施方式的清洗液的回收和供给设备1的结构示意图。所述清洗液的回收和供给设备1包括：第一清洗液供给单元2，第二清洗液供给单元3，清洗液喷淋用管道A13，腔室C，主排放管道A14，回收管道A15，溢出管道A16，以及置换用排放管道A17。

在此，前面所述的第一清洗途径包括第一清洗液供给单元2、清洗液喷淋用管道A13、腔室C、主排放管道A14、回收管道A15、溢出管道A16。前面所述的第二清洗途径包括第二清洗液供给单元3、清洗液喷淋用管道A13、腔室C，主排放管道A14。其中，在本实施例中，所第一清洗途径和所述第二清洗途径共用了清洗液喷淋用管道A13(包括泵)、腔室C、主排放管道A14等。

通常情况下，采用第一清洗途径进行清洗，当需要置换第一清洗途径中的箱体内的清洗液时，即当对箱体内的清洗液进行置换时，采用一条清洗液置换途径。所述清洗液置换途径采用置换用排放管道A17、主排放管道A14，将箱体内的清洗液排放到废液系统。待箱体内的清洗液排放结束后，再关闭置换用排放管道A17而通过第一清洗液供给管道A10向箱体T1补充新的清洗液。当箱体T1里的清洗液的液位过高时，多余的清洗液通过溢出管道A16外溢并经由主排放管道A14直接排放至废液系统E。

如图1所示，所述第一清洗液供给单元2包括：与清洗液供给源F连接的第一清洗液供给管道A10，与所述第一清洗液供给管道A10连接的箱体T1，以及与所述箱体T1连接的第一清洗液输送管道A11。所述第一清洗液输送管道A11与所述清洗液喷淋用管道A13连接，且在所述第一清洗液输送管道A11上设置有用于控制清洗液的输送的第一阀门V11。

所述第二清洗液供给单元3包括：与清洗液供给源F连接的第二清洗液供给管道A12。所述第二清洗液供给管道A12与所述清洗液喷淋用管道A13连接，且在所述第二清洗液供给管道A12上设置有用于控制清洗液的供给的第二阀门V12。

如图1所示，所述清洗液喷淋用管道A13的第一端与所述第二药液供给管道A12以及第一清洗液输送管道A11连接。所述清洗液喷淋用管道A13的第二端与喷头N连接，所述喷头N的下方设有腔室C。用于清洗的基板，从基板搬入方向D通过传输装置搬入到所述腔室C上，从所述喷头N向所述基板喷洒清洗液，以进行基板的清洗。在所述清洗液喷淋用管道A13上连接有泵P。

在所述腔室C的下方连接有主排放管道A14，所述主排放管道A14与废液系统E连接。在所述主排放管道A14上，设置有用于控制所述主排放管道A14的开关的第四阀门V14。

如图1所示，所述回收管道A15的第一端与所述主排放管道A14的第一端附近连接，所述回收管道A15的第二端与箱体T1连接。而且，在所述回收管道A15上设置有控制所述回流管到A15的开关的第三阀门V13。所述回收管道A15的第一端连接于所述主排放管道A14的所述第四阀门V14的上游侧。

所述溢出管道A16的第一端与所述箱体T1连接，所述溢出管道A16的第二端与所述主排放管道A14的所述第四阀门V14的下游侧连接。

所述置换用排放管道A17的第一端与所述箱体T1的底端连接，所述置换用排放管道A17的第二端与所述溢出管道A16下游侧的所述主排放管道A14连接。在所述置换用排放管道A17上设置有用于控制所述置换用排放管道A17的开关的第五阀门V15。

即，如上所述的一种清洗液的回收和供给设备，包括：第一清洗液供给单元，所述第一清洗液供给单元具有存储清洗液的箱体；第二清洗液供给单元，所述第二清洗液供给单元由管道构成且与所述第一清洗液供给单元相互交替作业；回收管道，所述回收管道将所述清洗液回收至所述箱体；主排放管道，所述主排放管道将所述清洗液直接排放至废液系统；第一开关控制装置，所述第一开关控制装置切换所述第一清洗液供给单元和所述第二清洗液供给单元的作业；第二开关控制装置，所述第二开关控制装置切换所述回收管道和所述主排放管道的作业。其中，通过所述第一开关控制装置的控制，所述第一清洗液供给单元作业时，所述第二清洗液供给单元停止作业，且通过所述第二开关控制装置的控制，实施所述回收管道的作业，所述主排放管道停止作业；通过所述第一开关控制装置的控制，所述第二清洗液供给单元作业时，所述第一清洗液供给单元停止作业，且通过所述第二开关控制装置的控制，所述主排放管道运行，所述回收管道停止作业。

所述第一清洗液供给单元进一步包括：第一清洗液供给管道，与清洗液供给源连接；以及第一清洗液输送管道，与所述箱体连接；其中，所述第一清洗液供给管道与所述箱体连接。

所述第二清洗液供给单元由与清洗液供给源连接的管道构成。

所述清洗液的回收和供给设备进一步包括置换用排放管道，用于置换所述箱体中的清洗液；其中，当所述第一清洗液供给单元作业时，所述置换用排放管道停止作业；当所述第二清洗液供给单元作业时，实施所述主排放管道的作业的同时，实施所述置换用排放管道的作业。

所述清洗液的回收和供给设备进一步包括清洗液喷淋用管道；所述清洗液喷淋用管道的第一端与所述第一清洗液供给单元以及所述第二清洗液供给单元连接；所述清洗液喷淋用管道的第二端与喷头连接；所述喷头的下方设有腔室；所述腔室的下方与所述主排放管道连接。

所述清洗液的回收和供给设备中，所述第一开关控制装置和所述第二开关控制装置分别由多个阀门构成。

所述清洗液的回收和供给设备中，当所述第二清洗液供给单元作业时，所述主排放管道的排放端与所述第二清洗液供给单元连接，由所述主排放管道排放的清洗液经由所述第二清洗液供给单元重复循环使用。

[变形实施方式]

本发明所述清洗液的回收和供给设备1的结构并不仅限于上述实施方式。例如，所述第一清洗液供给管道A10与所述第二药液供给管道A12可以分别与独立的清洗液供给源F连接，也可以与同一个清洗液供给源F连接。再例如，所述第一清洗液供给管道A10在连接到箱体前设置有阀门进行控制的情况下可以与所述第二清洗液供给管道A12进行部分重叠。即，只要能够在阀门的控制下，第一清洗液供给管道A10和第二清洗液供给管道A12互相不影响运行既可。

另外，在所述清洗液喷淋用管道A13设置了一个泵P，但并不仅局限于此，也可以在所述第二清洗液供给管道A12和所述第一清洗液输送管道A11上分别设置一个泵P。但从节约设施成本和降低成本的角度出发，优选共用一个泵。其中，所述泵的安装位置，并不仅局限于图1中所示位置，在实际操作中可根据需要对泵的设置位置和台数进行设定。

另外，所述清洗液的回收和供给设备1并不仅局限于采用所述喷头，可以根据需要采用直接对清洗对象进行清洗的任何装置。

所述阀门，只要是能够实现有效开关控制、不影响整体清洗系统的运行的阀门既可，可以是独立的二通阀门也可以是组合的三通阀门，既可以是手动切换式阀门也可以是自动切换式阀门，也可以通过控制程序对所有阀门进行自动化同步控制。

所述第一开关控制装置在本实施例中是指包括第一阀门V11和第二阀门V12在内的开关控制装置，但并不限定于此，也可以是其它能够实现所述两处阀门的同样功能的开关控制装置，只要能够有效切换所述第一清洗液供给单元和所述第二清洗液供给单元的作业的开关控制装置即可。

所述第二开关控制装置在本实施例中是指包括第三阀门V13和第四阀门V14在内的开关控制装置，但并不限定于此，也可以是其它能够实现所述两处阀门的同样功能的开关控制装置，只要能够有效切换所述回收管道和所述主排放管道的作业的开关控制装置即可。

所述管道的连接位置也不局限于图示的位置，例如第一清洗液输送管道A11可以连接于箱体T1的底面或侧面下部、主排放管道A14可以连接于腔室的底面或侧面下部、回收管道A15可以连接于箱体T1的上面或侧面上部、置换用排放管道A17可以连接于箱体T1的底面或侧面下部等。

除上述之外，只要在不脱离发明宗旨的范围内可以进行各种适当的改变和替换。

(2)清洗液的回收和供给方法

以下结合附图详细说明对本发明实施方式所述清洗液的回收和供给方法。

本实施方式的清洗液的回收和供给方法包括以下步骤：

S10：第一清洗液供给步骤，通过第一清洗液供给单元将清洗液先注入箱体中后再供给至清洗液喷淋单元；

S20：第二清洗液供给步骤，通过第二清洗液供给单元将清洗液从清洗液供给源直接供给至所述清洗液喷淋单元；

S30：清洗液喷淋步骤，所述清洗液喷淋单元喷淋所述清洗液，对腔室内的清洗对象进行清洗；

S40：清洗液回收步骤，通过清洗液回收单元回收所述清洗液喷淋步骤后的清洗液至箱体；

S50：清洗液排放步骤，通过清洗液排放单元排放清洗液。

S60：清洗液置换步骤，将箱体中的达到规定使用次数的清洗液排放并更换为新的清洗液。

所述第一清洗液供给步骤为单箱体供给步骤，具体而言，单箱体供给步骤是将清洗液先注入单箱体中然后进行供给的步骤。所述第二清洗液供给步骤为管道直供步骤，管道直供步骤是将清洗液直接通过管道进行供给的步骤。

所述清洗液排放步骤S50进一步包括以下步骤：

S51：直接排放步骤，将腔室中的清洗液直接排放至废液系统。

S52：溢出排放步骤，当箱体中的清洗液溢出时通过溢出管道排放至废液系统。

S53：置换用排放步骤，将箱体中的达到规定使用次数的清洗液排放至废液系统。

当实施所述第一清洗液供给步骤时，通过开关控制装置，如阀门等停止所述第二清洗液供给步骤，当实施所述第二清洗液供给步骤时，通过开关控制装置，如阀门等停止所述第一清洗液供给步骤。即，所述第一清洗液供给步骤和第二清洗液供给步骤相互交替实施。

当实施所述第一清洗液供给步骤时，通过溢出排放步骤排放清洗液。当实施所述第二清洗液供给步骤时，通过直接排放步骤排放清洗液，与此同时实施置换用排放步骤，排放箱体中的清洗液。通过开关控制装置，如阀门来控制所述排放步骤。

具体运行清洗操作时，通过开关控制装置(如阀门)的控制，依次实施第一清洗液供给步骤、清洗液喷淋步骤、清洗液回收步骤。当箱体内回收后的清洗液的使用达到规定次数后，即达到置换要求后，排放箱体内的清洗液后置换新的清洗液。此时，通过开关控制装置(如阀门)的控制，停止第一清洗液供给步骤而施行第二清洗液供给步骤，与此同时停止清洗液回收步骤并施行置换用排放步骤和直接排放步骤。当箱体中的清洗液排放结束后，通过开关控制装置(如阀门)的控制，停止置换用排放步骤，实施第一清洗液供给步骤，以填充新的清洗液。即，在置换箱体内的清洗液的过程中，实施第二清洗液供给步骤、清洗液喷淋步骤、直接排放步骤。由此使清洗液喷淋步骤一直持续不断地施行。

接下来，进一步从清洗液的回收和供给方法的具体操作步骤的角度进行说明。

如上所述，本发明实施方式所述清洗液的回收和供给方法采用了两条清洗途径和一条清洗液置换途径，即采用了单箱体的清洗途径的同时，增加了一条将清洗液从药液供给源直供到腔室的清洗途径。

详细而言，第一清洗途径：将清洗液从药液供给源F通过第一管道A10输送到箱体T1里；通过启动泵P并同时开启第一阀门V11并关闭第二阀门V12，使箱体T1里的清洗液经由输送管道A11、喷淋用管道A13和喷头N对腔室C内的清洗对象(例如，玻璃基板)进行喷淋清洗；使用过(清洗后)的药液，在开启第三阀门V13并关闭第四阀门V14的情况下经主排放管道A14、回收管道A15回收到箱体T1里。另外，当箱体T1里的清洗液的液位过高时，多余的清洗液通过溢出管道A16外溢并经由主排放管道A14直接排放至废液系统E。

当箱体里的回收液再输入清洗系统中循环一定次数以后，清洗液浊度升高，洗净能力降低，此时需要对整个箱体的清洗液进行置换，即排空箱体里浊度较高的药液、补充新液。

在此采用了一条清洗液置换途径：通过打开第五阀门V15，将箱体中的药液经由置换用废液排放管道A17、主排放管道A14排放进入废液系统E，当清空箱体内药液后，关闭第五阀门V15，再次将新的清洗液从药液供给源F通过第一管道A10输送到箱体T1中。

第二清洗途径：在采用清洗液置换途径排放高浊度废液、补充新的清洗液的过程中，关闭第一阀门V11和第三阀门V13，打开第二阀门V12和第四阀门V14，将清洗液从药液供给源F经由第二清洗液供给管道A12、喷淋用管道A13、喷头N直供给腔室C从而对基板进行清洗，使用后的药液经由第四阀门V14和主排放管道A14直接排放到废液系统E。对于只使用一次的清洗液而言，从再利用该清洗液的角度考虑，在需要的情况下可以对其回收而充分应用于第二清洗途径。即可以增设一个管道连接于主排放管道A14和第二清洗液供给管道A12之间，在进行第二清洗途径的期间，可以重复循环利用清洗液。在此不再详细说明。

如上所述，本实施例所述一种清洗液的回收和供给方法，包括：第一清洗液供给步骤，通过第一清洗液供给单元将清洗液经由箱体供给至清洗液喷淋单元；第二清洗液供给步骤，通过第二清洗液供给单元将清洗液从清洗液供给源直接供给至所述清洗液喷淋单元；清洗液回收步骤，通过清洗液回收单元回收腔室中的所述清洗液至所述箱体；直接排放步骤，将所述腔室中的清洗液直接排放至废液系统；清洗液供给途径切换步骤，通过开关控制装置，使所述第一清洗液供给步骤和所述第二清洗液供给步骤相互交替实施；清洗液排放途径切换步骤，通过开关控制装置，使所述清洗液回收步骤和所述直接排放步骤相互交替实施，当实施所述第一清洗液供给步骤时，实施所述清洗液回收步骤，当实施所述第二清洗液供给步骤时，实施所述直接排放步骤。

所述清洗液的回收和供给方法，进一步包括清洗液置换步骤，所述清洗液置换步骤将所述箱体中的达到规定使用次数的清洗液排放并更换为新的清洗液；在所述清洗液排放途径切换步骤中，当实施所述第二清洗液供给步骤时，实施所述直接排放步骤的同时，实施所述清洗液置换步骤。

所述清洗液的回收和供给方法，进一步包括清洗液喷淋步骤，对所述腔室内的清洗对象喷淋清洗液来进行清洗。

所述清洗液的回收和供给方法，进一步包括溢出排放步骤，当所述箱体中的清洗液溢出时，通过溢出管道排放至所述废液系统。

所述清洗液供给途径切换步骤和所述清洗液排放途径切换步骤中，通过阀门进行切换。

所述清洗液的回收和供给方法中，所述清洗液置换的时间为2.5分钟～5分钟，两次清洗液置换的间隔为1小时～2小时。

另外，在图1中所示出的管道只是用于示意性说明本实施方式所涉及到的部分管道，本实施方式并限定于此。

如此一来，在对箱体T1进行药液置换的2.5分钟～5分钟内，采用第二清洗途径直接进行清洗操作，因此清洗系统不需要停止运行。当新的清洗液补充到箱体T1后，设备再切换到第一清洗途径而经过箱体T1供液清洗并进行回收使用。

因此，既解决直排设备和方法中的药液使用量和废液量大的问题也解决了单箱体全部回收设备和方法中的清洗作业不能连续的问题，同时还解决了双箱体全部回收设备和方法中需要增加设备成本和洁净室空间扩大带来的设施成本的问题。

另外，本说明书中“清洗液”的意思是指“用于清洗的化学药液”。“直供”“直接供给”的意思是指以不经过箱体的方式供给清洗液。“直排”“直接排放”的意思均是指以不经过箱体的方式直接排放清洗液。“单箱体”的意思是指清洗设备中只配备一个储存清洗液(洗液)用的箱体。“双箱体”的意思是指清洗设备中配备两个以上储存清洗液(洗液)用的箱体。“清洗对象”的意思是指需要清洗的基板等物件，一般通过输送机构、例如装载于运送辊上进行定向输送(附图中设定为方向D)，在输送的同时经过喷头进行清洗操作。

Claims (10)

1.一种清洗液的回收和供给设备，其特征在于，包括：

第一清洗液供给单元，具有存储清洗液的箱体；

第二清洗液供给单元，由管道构成且与所述第一清洗液供给单元相互交替作业；

回收管道，所述回收管道将所述清洗液回收至所述箱体；

主排放管道，所述主排放管道将所述清洗液直接排放至废液系统；

第一开关控制装置，所述第一开关控制装置切换所述第一清洗液供给单元和所述第二清洗液供给单元的作业；

第二开关控制装置，所述第二开关控制装置切换所述回收管道和所述主排放管道的作业，

其中，通过所述第一开关控制装置的控制，所述第一清洗液供给单元作业时，所述第二清洗液供给单元停止作业，且通过所述第二开关控制装置的控制，实施所述回收管道的作业，所述主排放管道停止作业；

通过所述第一开关控制装置的控制，所述第二清洗液供给单元作业时，所述第一清洗液供给单元停止作业，且通过所述第二开关控制装置的控制，所述主排放管道运行，所述回收管道停止作业。

2.如权利要求1所述的清洗液的回收和供给设备，其特征在于，所述第一清洗液供给单元进一步包括：

第一清洗液供给管道，与清洗液供给源连接；以及

第一清洗液输送管道，与所述箱体连接，

其中，所述第一清洗液供给管道与所述箱体连接。

3.如权利要求1所述的清洗液的回收和供给设备，其特征在于，

进一步包括置换用排放管道，用于置换所述箱体中的清洗液；其中，

当所述第一清洗液供给单元作业时，所述置换用排放管道停止作业；

当所述第二清洗液供给单元作业时，实施所述主排放管道的作业的同时，实施所述置换用排放管道的作业。

4.如权利要求1所述的清洗液的回收和供给设备，其特征在于，进一步包括清洗液喷淋用管道；

所述清洗液喷淋用管道的第一端与所述第一清洗液供给单元以及所述第二清洗液供给单元连接；

所述清洗液喷淋用管道的第二端与喷头连接；

所述喷头的下方设有腔室；

所述腔室的下方与所述主排放管道连接。

5.一种清洗液的回收和供给方法，其特征在于，包括：

第一清洗液供给步骤，通过第一清洗液供给单元将清洗液经由箱体供给至清洗液喷淋单元；

第二清洗液供给步骤，通过第二清洗液供给单元将清洗液从清洗液供给源直接供给至所述清洗液喷淋单元；

清洗液回收步骤，通过清洗液回收单元回收腔室中的所述清洗液至所述箱体；

直接排放步骤，将所述腔室中的清洗液直接排放至废液系统；

清洗液供给途径切换步骤，通过开关控制装置，使所述第一清洗液供给步骤和所述第二清洗液供给步骤相互交替实施；

清洗液排放途径切换步骤，通过开关控制装置，使所述清洗液回收步骤和所述直接排放步骤相互交替实施，当实施所述第一清洗液供给步骤时，实施所述清洗液回收步骤，当实施所述第二清洗液供给步骤时，实施所述直接排放步骤。

6.如权利要求5所述的清洗液的回收和供给方法，其特征在于，

进一步包括清洗液置换步骤，所述清洗液置换步骤将所述箱体中的达到规定使用次数的清洗液排放并更换为新的清洗液；

在所述清洗液排放途径切换步骤中，当实施所述第二清洗液供给步骤时，实施所述直接排放步骤的同时，实施所述清洗液置换步骤。

7.如权利要求5所述的清洗液的回收和供给方法，其特征在于，进一步包括清洗液喷淋步骤，对所述腔室内的清洗对象喷淋清洗液来进行清洗。

8.如权利要求5～7中任一项所述的清洗液的回收和供给方法，其特征在于，进一步包括溢出排放步骤，当所述箱体中的清洗液溢出时，通过溢出管道排放至所述废液系统。

9.如权利要求5～7中任一项所述的清洗液的回收和供给方法，其特征在于，所述清洗液供给途径切换步骤和所述清洗液排放途径切换步骤中，通过阀门进行切换。

10.如权利要求6所述的清洗液的回收和供给方法，其特征在于，所述清洗液置换的时间为2.5分钟～5分钟，两次清洗液置换的间隔为1小时～2小时。