CN104046245A - 一种硅铝复合抛光液的制作方法 - Google Patents

一种硅铝复合抛光液的制作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104046245A
CN104046245A CN201410255977.8A CN201410255977A CN104046245A CN 104046245 A CN104046245 A CN 104046245A CN 201410255977 A CN201410255977 A CN 201410255977A CN 104046245 A CN104046245 A CN 104046245A
Authority
CN
China
Prior art keywords
polishing
parts
polishing solution
viscosity
weight
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201410255977.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104046245B (zh
Inventor
于长江
王兆敏
王猛
郝丽萍
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shandong Maifeng New Material Science And Technology Co ltd
Original Assignee
Tai'an Mai Feng Novel Material Science And Technology Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tai'an Mai Feng Novel Material Science And Technology Ltd filed Critical Tai'an Mai Feng Novel Material Science And Technology Ltd
Priority to CN201410255977.8A priority Critical patent/CN104046245B/zh
Publication of CN104046245A publication Critical patent/CN104046245A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104046245B publication Critical patent/CN104046245B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

本发明公开了一种硅铝复合抛光液的制作方法，包括如下制作过程：将80-100nm的大粒径硅溶胶（二氧化硅含量40%）800-820份，加入黏度调节剂5-10份和去离子水150-180份，整到黏度在2-5厘泊之间；然后加入pH调节剂2-4份，抛光加速助剂5-10份，得到二氧化硅30%的抛光液；将调制好的二氧化硅抛光液按照重量份（9-19）∶1与100-200nm的氧化铝抛光液混合，搅拌均匀，得到用于蓝宝石抛光的硅铝复合抛光液。通过上述方式，本发明可以得到一种具有较高稳定性的抛光液，既能使加工件达到一定的表面状态，又能提供更高的抛光速率。

Description

一种硅铝复合抛光液的制作方法
技术领域
    本发明涉及新材料加工领域，特别是涉及一种适合于蓝宝石衬底和窗口片的化学机械抛光用的硅铝复合抛光液。 
背景技术
为了提高蓝宝石化学机械抛光(CMP)效果,科技人员对其抛光工艺进行了研究：采用SiO2磨料对蓝宝石衬底片进行抛光,分析了抛光时的温度、pH条件、磨料粒径及浓度,结果表明,采用80-100 nm大粒径、高浓度的SiO2磨料,能保证良好的表面状态。目前LED行业和蓝宝石手机屏幕的大力推广，行业内对抛光速率的要求较高，以前4小时要去除1.5-2.0um，目前每小时要去除2.5-3.0um,甚至更快。 
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种硅铝复合抛光液的制作方法，可以得到一种具有较高稳定性的抛光液，既能使加工件达到一定的表面状态，又能提供更高的抛光速率。 
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种硅铝复合抛光液的制作方法，包括如下步骤： 
一、将80-100nm的大粒径硅溶胶按照重量份800-820份，加入黏度调节剂5-10份和去离子水150-180份；
二、将步骤一中的混合物整到黏度在2-5厘泊之间；
三、按照重量份加入pH调节剂2-4份，抛光加速助剂5-10份，得到二氧化硅含量30%的抛光液；
四、将调制好的二氧化硅抛光液按照重量份（9-19）：1与100-200nm的氧化铝抛光液混合，搅拌均匀，得到用于蓝宝石抛光的硅铝复合抛光液。
优选的，所述大粒径硅溶胶中二氧化硅的含量为40%。。 
优选的，所述黏度调节剂为表面活性剂和多元醇的混合物。 
优选的，所述pH调节剂主要是乙醇胺和三乙醇胺按照重量比4：1配的。 
优选的，所述抛光加速助剂由一种强碱和一种强酸弱碱盐按照比例配制而成。 
优选的，所述抛光加速助剂的PH值在8.0-9.0之间。 
本发明的有益效果是：本发明的硅铝复合抛光液，可用于透镜、平板玻璃、表壳、显示屏、精密五金等的抛光，特别适用于蓝宝石衬底和窗口片的化学机械抛光；增加了抛光加速助剂，使得在抛光过程中，抛光液一直能够保持稳定的pH值，也就是与氧化铝玻璃材质保持较高的化学作用；本发明不仅可以达到一定的表面状态，还能够提高抛光速率，单位工作效率显著提高。 
具体实施方式
下面对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。 
发明实施例包括： 
一种硅铝复合抛光液的制作方法，包括如下步骤：
一、将80-100nm的大粒径硅溶胶按照重量份800-820份，加入黏度调节剂5-10份和去离子水150-180份；
二、将步骤一中的混合物调整到黏度在2-5厘泊之间；
三、按照重量份加入pH调节剂2-4份，抛光加速助剂5-10份，得到二氧化硅含量30%的抛光液；
四、将调制好的二氧化硅抛光液按照重量份（9-19）：1与100-200nm的氧化铝抛光液混合，搅拌均匀，得到用于蓝宝石抛光的硅铝复合抛光液。
其中，所述大粒径硅溶胶中二氧化硅的含量为40%；所述黏度调节剂为丙三醇、聚乙二醇、正丁醇的混合物；所述pH调节剂主要是乙醇胺和三乙醇胺按照重量比4：1配的；所述抛光加速助剂由氢氧化钠和氯化铝，氢氧化钾和氯化铝，氢氧化钾和磷酸二氢钾等按照比例配制而成，PH值在8.0-9.0之间。 
实施方式：由二氧化硅抛光液，大粒径硅溶胶、黏度调节剂，抛光加速助剂， pH调节剂和去离子水配制而成的，具体配比如下： 
硅溶胶（80-100nm，40%），800-820份；
黏度调节剂：5-10份
去离子水：150-180份
抛光加速助剂：5-10份
pH调节剂：2-4份
将上述调制的黏度2-5厘泊的二氧化硅抛光液与100-200nm的氧化铝抛光液按照重量份（9-19）：1复配，得到硅铝复合抛光液。
实施例1： 
二氧化硅抛光液配制：
硅溶胶（80-100nm，40%），800份；
黏度调节剂：9份
去离子水：180份
抛光加速助剂：8份
pH调节剂：3份
将上述调制的黏度2-5厘泊的二氧化硅抛光液与100-200nm的氧化铝抛光液按照重量份19：1复配，得到硅铝复合抛光液；
实施例2：
二氧化硅抛光液配制：
硅溶胶（80-100nm，40%），810份；
黏度调节剂：10份
去离子水：170份
抛光加速助剂：7份
pH调节剂：3份
将上述调制的黏度2-5厘泊的二氧化硅抛光液与100-200nm的氧化铝抛光液按照重量份15：1复配，得到硅铝复合抛光液.
实施例3：
二氧化硅抛光液配制：
硅溶胶（80-100nm，40%），800份；
黏度调节剂：9份
去离子水：179份
抛光加速助剂：9份
pH调节剂：3份
将上述调制的黏度2-5厘泊的二氧化硅抛光液与100-200nm的氧化铝抛光液按照重量份10：1复配，得到硅铝复合抛光液.
实施例4：
二氧化硅抛光液配制：
硅溶胶（80-100nm，40%），820份；
黏度调节剂：8份
去离子水：163份
抛光加速助剂：7份
pH调节剂：2份
将上述调制的黏度2-5厘泊的二氧化硅抛光液与100-200nm的氧化铝抛光液按照重量份19：1复配，得到硅铝复合抛光液.
实施例5：
二氧化硅抛光液配制：
硅溶胶（80-100nm，40%），815份；
黏度调节剂：10份
去离子水：165份
抛光加速助剂：8份
pH调节剂：2份
将上述调制的黏度2-5厘泊的二氧化硅抛光液与100-200nm的氧化铝抛光液按照重量份18：1复配，得到硅铝复合抛光液
实施例6：
二氧化硅抛光液配制：
硅溶胶（80-100nm，40%），816份；
黏度调节剂：8份
去离子水：168份
抛光加速助剂：5份
pH调节剂：3份
将上述调制的黏度2-5厘泊的二氧化硅抛光液与100-200nm的氧化铝抛光液按照重量份19：1复配，得到硅铝复合抛光液。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。 

Claims (6)

1.一种硅铝复合抛光液的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
一、将80-100nm的大粒径硅溶胶按照重量份800-820份，加入黏度调节剂5-10份和去离子水150-180份；
二、将步骤一中的混合物整到黏度在2-5厘泊之间；
三、按照重量份加入pH调节剂2-4份，抛光加速助剂5-10份，得到二氧化硅含量30%的抛光液；
四、将调制好的二氧化硅抛光液按照重量份（9-19）：1与100-200nm的氧化铝抛光液混合，搅拌均匀，得到用于蓝宝石抛光的硅铝复合抛光液。
2.根据权利要求1所述的一种硅铝复合抛光液的制作方法，其特征在于，所述大粒径硅溶胶中二氧化硅的含量为40%。
3.根据权利要求1所述的一种硅铝复合抛光液的制作方法，其特征在于，所述黏度调节剂为表面活性剂和多元醇的混合物。
4.根据权利要求1所述的一种硅铝复合抛光液的制作方法，其特征在于，所述pH调节剂主要是乙醇胺和三乙醇胺按照重量比4：1配的。
5.根据权利要求1所述的一种硅铝复合抛光液的制作方法，其特征在于，所述抛光加速助剂由一种强碱和一种强酸弱碱盐按照比例配制而成。
6.根据权利要求1所述的一种硅铝复合抛光液的制作方法，其特征在于，所述抛光加速助剂的PH值在8.0-9.0之间。
CN201410255977.8A 2014-06-11 2014-06-11 一种硅铝复合抛光液的制作方法 Active CN104046245B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410255977.8A CN104046245B (zh) 2014-06-11 2014-06-11 一种硅铝复合抛光液的制作方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410255977.8A CN104046245B (zh) 2014-06-11 2014-06-11 一种硅铝复合抛光液的制作方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104046245A true CN104046245A (zh) 2014-09-17
CN104046245B CN104046245B (zh) 2016-03-09

Family

ID=51499658

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410255977.8A Active CN104046245B (zh) 2014-06-11 2014-06-11 一种硅铝复合抛光液的制作方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104046245B (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104356950A (zh) * 2014-10-21 2015-02-18 李金平 一种蓝宝石晶片抛光液
CN104403574A (zh) * 2014-12-16 2015-03-11 河北工业大学 蓝宝石衬底材料的复合磨料抛光液及其循环使用方法
CN104946202A (zh) * 2015-05-26 2015-09-30 上海大学 铁掺杂氧化硅溶胶复合磨粒和其抛光液组合物以及其制备方法
CN106634617A (zh) * 2016-11-10 2017-05-10 仇颖超 一种高稳定性擦亮剂的制备方法
CN106752968A (zh) * 2016-11-18 2017-05-31 福建三邦硅材料有限公司 一种蓝宝石抛光用大粒径低粘度硅溶胶的制备方法
CN107001914A (zh) * 2014-11-12 2017-08-01 福吉米株式会社 研磨用组合物及使用其的基板的制造方法
CN108789163A (zh) * 2018-05-30 2018-11-13 郑州合晶硅材料有限公司 一种硅片背面抛光用装置及抛光方法
CN113480942A (zh) * 2021-08-06 2021-10-08 大连理工大学 一种多晶yag陶瓷化学机械抛光液
CN113652632A (zh) * 2021-08-17 2021-11-16 科汇纳米技术（常州）有限公司 一种高附着力纳米刀具涂层及其制备方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101693813A (zh) * 2009-09-01 2010-04-14 永州皓志稀土材料有限公司 一种硅基精抛液
CN103184010A (zh) * 2012-04-05 2013-07-03 铜陵市琨鹏光电科技有限公司 一种用于led用蓝宝石衬底片精密抛光的抛光液
CN103571333A (zh) * 2013-08-20 2014-02-12 曾锡强 一种混合磨料碱性蓝宝石衬底材料cmp抛光液及其制备方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101693813A (zh) * 2009-09-01 2010-04-14 永州皓志稀土材料有限公司 一种硅基精抛液
CN103184010A (zh) * 2012-04-05 2013-07-03 铜陵市琨鹏光电科技有限公司 一种用于led用蓝宝石衬底片精密抛光的抛光液
CN103571333A (zh) * 2013-08-20 2014-02-12 曾锡强 一种混合磨料碱性蓝宝石衬底材料cmp抛光液及其制备方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104356950A (zh) * 2014-10-21 2015-02-18 李金平 一种蓝宝石晶片抛光液
CN107001914A (zh) * 2014-11-12 2017-08-01 福吉米株式会社 研磨用组合物及使用其的基板的制造方法
CN104403574A (zh) * 2014-12-16 2015-03-11 河北工业大学 蓝宝石衬底材料的复合磨料抛光液及其循环使用方法
CN104946202A (zh) * 2015-05-26 2015-09-30 上海大学 铁掺杂氧化硅溶胶复合磨粒和其抛光液组合物以及其制备方法
CN106634617A (zh) * 2016-11-10 2017-05-10 仇颖超 一种高稳定性擦亮剂的制备方法
CN106752968A (zh) * 2016-11-18 2017-05-31 福建三邦硅材料有限公司 一种蓝宝石抛光用大粒径低粘度硅溶胶的制备方法
CN108789163A (zh) * 2018-05-30 2018-11-13 郑州合晶硅材料有限公司 一种硅片背面抛光用装置及抛光方法
CN113480942A (zh) * 2021-08-06 2021-10-08 大连理工大学 一种多晶yag陶瓷化学机械抛光液
CN113652632A (zh) * 2021-08-17 2021-11-16 科汇纳米技术（常州）有限公司 一种高附着力纳米刀具涂层及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN104046245B (zh) 2016-03-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104046245A (zh) 一种硅铝复合抛光液的制作方法
CN103450812B (zh) 一种用于蓝宝石衬底的抛光液
CN103571333B (zh) 一种混合磨料碱性蓝宝石衬底材料cmp抛光液及其制备方法
CN101899243B (zh) 一种自闭型聚合物水泥防水涂料及其制备方法
CN103626911B (zh) 一种疏水性有机无机高硅含量丙烯酸酯聚合物乳液及其制备方法与应用
CN103965790B (zh) 一种锆铝铈抛光液及其制备方法
CN104592897B (zh) 一种含有石墨烯的化学机械抛光液
CN104830234A (zh) A向蓝宝石手机盖板抛光液及制备方法
CN104119802B (zh) 一种蓝宝石材料表面超精密加工专用纳米浆料
CN107828340A (zh) 一种复合抛光液及其制备方法
CN105295736A (zh) 一种石材抛光凝胶膏及其制备方法
CN101693813B (zh) 一种硅基精抛液
CN102268225B (zh) 永悬浮钻石研磨液
CN102796459A (zh) 光学镜片抛光液
CN104927465A (zh) 一种耐水弹性外墙腻子及其制备方法
CN106978088A (zh) 一种硅溶胶抛光液的制备方法
CN105503016A (zh) 一种高强型无硫无碱液体速凝剂及其制备方法
CN103880296A (zh) 一种软材质光学玻璃锆基抛光液的制备方法
CN106753203A (zh) 一种脱酸型有机硅胶粘剂及其制备方法
CN102558935B (zh) 一种钙胶漆稳定剂
CN109133701B (zh) 一种混凝土用微纳米气泡引气剂及其制备方法
CN103555206A (zh) 稀土抛光粉及其制备方法
CN108300330A (zh) 一种陶瓷晶片表面抛光浆料及其制备方法
CN105645837B (zh) 一种渗透型液体硬化剂及其制备方法
CN104046120A (zh) 陶瓷金卤灯抗老化高粘性打印油墨

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
CB03 Change of inventor or designer information

Inventor after: Yu Changjiang

Inventor after: Lu Yinghang

Inventor after: Meng Xiangyi

Inventor after: Wang Zhaomin

Inventor after: Hao Liping

Inventor before: Yu Changjiang

Inventor before: Wang Zhaomin

Inventor before: Wang Meng

Inventor before: Hao Liping

COR Change of bibliographic data
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address

Address after: 271600 South of Kangwang West Road and North of Industrial Third Road, Feicheng High-tech Zone, Taian City, Shandong Province

Patentee after: Shandong Maifeng New Material Science and Technology Co.,Ltd.

Address before: 271600 West of Huiyuan Street and South of Pioneer Road, Feicheng High-tech Zone, Taian City, Shandong Province

Patentee before: TAIAN MAIFENG NEW MATERIAL TECHNOLOGY CO.,LTD.

CP03 Change of name, title or address
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Manufacturing method of silicon-aluminum composite polishing solution

Effective date of registration: 20190807

Granted publication date: 20160309

Pledgee: Taian Bank Co.,Ltd. Feicheng Branch

Pledgor: Shandong Maifeng New Material Science and Technology Co.,Ltd.

Registration number: Y2019370000004

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right

Date of cancellation: 20200731

Granted publication date: 20160309

Pledgee: Taian Bank Co.,Ltd. Feicheng Branch

Pledgor: Shandong Maifeng New Material Science and Technology Co.,Ltd.

Registration number: Y2019370000004

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: A manufacturing method of silicon aluminum compound polishing fluid

Effective date of registration: 20200804

Granted publication date: 20160309

Pledgee: Taian Bank Co.,Ltd. Feicheng Branch

Pledgor: Shandong Maifeng New Material Science and Technology Co.,Ltd.

Registration number: Y2020980004690

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right

Date of cancellation: 20210809

Granted publication date: 20160309

Pledgee: Taian Bank Co.,Ltd. Feicheng Branch

Pledgor: Shandong Maifeng New Material Science and Technology Co.,Ltd.

Registration number: Y2020980004690

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: A manufacturing method of silicon aluminum composite polishing liquid

Effective date of registration: 20210816

Granted publication date: 20160309

Pledgee: Taian Bank Co.,Ltd. Feicheng Branch

Pledgor: Shandong Maifeng New Material Science and Technology Co.,Ltd.

Registration number: Y2021980007746

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right

Date of cancellation: 20220815

Granted publication date: 20160309

Pledgee: Taian Bank Co.,Ltd. Feicheng Branch

Pledgor: Shandong Maifeng New Material Science and Technology Co.,Ltd.

Registration number: Y2021980007746

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: A method for producing a silicon aluminum composite polishing solution

Granted publication date: 20160309

Pledgee: Shandong Feicheng Rural Commercial Bank Co.,Ltd.

Pledgor: Shandong Maifeng New Material Science and Technology Co.,Ltd.

Registration number: Y2024980002191