CN104024645B - 用于真空泵的适配器和相关的泵送装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于真空泵的适配器，其特征在于，所述适配器包括环形入口凸缘(15)和出口联接件(16)，该环形入口凸缘旨在联接到腔室的出口孔上，该出口联接件包括至少两个贯穿的圆柱形出口容纳部(21)并且形成用于相应涡轮分子真空泵(3)的壳体(4)的部分泵壳，所述涡轮分子真空泵(3)旨在被容纳到相应的圆柱形出口容纳部(21)中。本发明还涉及一种泵送装置，其特征在于，所述泵送装置包括如上所述的用于真空泵的适配器(2)和至少两个至少部分容纳在相应的圆柱形出口容纳部(21)中的涡轮分子真空泵(3)。

Description

用于真空泵的适配器和相关的泵送装置

技术领域

本发明涉及与用于产生高真空的腔室联接的涡轮分子真空泵。

背景技术

在腔室内产生高真空需要使用能够快速产生和保持该高真空的泵。通常使用包括泵壳的涡轮分子型真空泵，该泵壳容纳壳体，并且转子在该泵壳中被快速驱动而旋转，例如，以超过每分钟3000转的速度转动。

泵壳包括与转子同轴的入口孔，该入口孔与腔室的出口孔联接。通常，泵被固定到腔室的单个固定结构上，并且泵的支承件由围绕泵的入口孔和固定结构的对应的出口孔的单个区域提供。因此，泵壳包括围绕入口孔的同轴环形联接凸缘，该凸缘被夹紧和旋拧在固定结构上或其本身联接到固定结构上的中间联接件上，以便将真空泵固定在固定结构上。

某些工艺，例如用于制造半导体的工艺要求涡轮分子真空泵能够吸收较大的气流。例如，450mm刻蚀工艺需要涡轮分子真空泵针对腔室内大约5至7mtorr(毫托)的压力能够吸收大约2000至2500sccm(标准状态毫升/分)的气流。为了吸收这种气流，真空泵必须具备大于约6000l/s(升/秒)的泵送能力。

目前，很少数涡轮分子真空泵能够实现这种泵送能力。为了获得这些能力，一个解决方案包括使用多个涡轮分子真空泵平行联接到同一个腔室上，以便通过这种方式叠加各自的泵送能力。

但是，应该注意的是，由于真空泵的联接件的定位和电导，腔室内的气体速率将明显缺乏均匀性。在真空泵的入口孔处，气体的速率也通常是不均匀的，并且增加联接到腔室上的真空泵的联接件加重了这种不均匀性。所导致的腔室内的现行气体的速率明显不一致在处理室的基材处可能会尤其成问题，基材的制造需要表面处的压力和气流高度均匀地分布。

另一个缺点是调节腔室内的现行压力时遇到的困难。通常使用可变电导控制阀来调节压力。该控制阀联接在腔室的出口孔和涡轮分子真空泵的入口孔之间。对阀打开到更大或更小程度进行控制允许根据位于腔室内的气流调节腔室的压力。因此，应该理解的是，在具有联接到腔室上的多个真空泵的情况下，如果对每个单个阀的控制都涉及腔室内的压力的不同变化，尤其是真空泵的定位导致这些变化时，将难以同时调节多个控制阀。这一额外的困难也增加了腔室内的泵送速度的不均匀性。

发明内容

本发明的目的之一在于提出一种用于真空泵的适配器和一种泵送装置，它们至少部分解决了现有技术中的一些问题。

为此，作为其发明目的，本发明具有一种用于真空泵的适配器，其特征在于，该适配器包括环形入口凸缘和出口联接件，该环形入口凸缘适于联接到腔室的出口孔上，该出口联接件包括至少两个贯穿的圆柱形出口容纳部(容座)，并且至少形成用于相应的涡轮分子真空泵的壳体的部分泵壳，所述涡轮分子真空泵适于容纳在相应的圆柱形出口容纳部中。

根据该适配器的一个或多个单独或组合的特征：

-该出口联接件包括围绕圆柱形出口容纳部的各外部开口设置的第一系列螺纹孔；该适配器包括第一附加固定螺钉，该第一系列螺纹孔和所述第一附加固定螺钉适于将涡轮分子真空泵的泵壳固定到该适配器上，

-这些圆柱形出口容纳部具有基本相同的体积，并且基本对称地设置在该出口联接件中；

-该圆柱形出口容纳部的轴线相对于该环形入口凸缘的轴线倾斜；

-该适配器的连接环形入口凸缘和出口联接件的部分为截头圆锥形；

-该截头圆锥形部分的底部的内径基本等于其内侧与涡轮分子真空泵的入口孔的直径的投影相接的圆圈的直径；

-该出口联接件具有在该圆柱形容纳部之间突出的中心拱顶(圆顶)；

-该适配器包括与该环形入口凸缘同轴的中心管状通道，该中心管状通道在该圆柱形容纳部之间穿过该出口联接件的中心。

本发明的发明目的还在于一种泵送装置，其特征在于，该泵送装置包括如前所述的适配器和至少两个至少部分地容纳在相应的圆柱形出口容纳部中的涡轮分子真空泵。

根据该泵送装置的一个或多个单独或组合的特征：

-涡轮分子真空泵包括各自的泵壳，所述泵壳包括各自的环形凸缘，在该环形凸缘中设置有同轴的第一和第二系列通孔，该第一系列通孔与该第一系列螺纹孔和该出口联接件的相应第一固定螺钉相互作用，以将涡轮分子真空泵的泵壳固定到该出口联接件上；所述第二系列通孔与设置在该壳体中的第二系列螺纹孔和该出口联接件的相应第二固定螺钉相互作用，以将涡轮分子真空泵的壳体固定到该出口联接件上；

-由第一固定螺钉在同轴的环形凸缘和适配器之间产生的联接比由第二固定螺钉在同轴的环形凸缘和壳体之间产生的联接更牢固；

-相应的环形间隙设置在所述圆柱形容纳部的底部中，并位于所述圆柱形容纳部和所述涡轮分子真空泵的壳体的第一末端的外周之间；

-涡轮分子真空泵分别包括涡轮分子级和分子级，该圆柱形出口容纳部构造成至少容纳涡轮分子真空泵的涡轮分子级；

-该泵送装置包括至少两个适于插置在圆柱形出口容纳部的相应底部和相应涡轮分子真空泵的壳体的第一末端之间的第一出口密封件；

-该泵送装置包括至少两个适于插置在泵壳的同轴环形凸缘和相应涡轮分子真空泵的壳体的第二末端之间的第二出口密封件。

因此，该泵送装置可以组合涡轮分子真空泵的个体泵送能力，以便获得更高的合成的泵送能力。

与其中联接凸缘布置在入口孔处的现有技术的真空泵不同，本发明的同轴的环形凸缘在涡轮分子真空泵上设置得更低，至少一部分壳体容纳在适配器中。

同轴的环形凸缘的较低的定位有很多优点。

首先，涡轮分子真空泵和适配器之间的联接件被重新定位在比涡轮分子真空泵的入口孔更远的位置。然后，可以使相应涡轮分子真空泵的各种入口孔离得更近并使入口孔离腔室的出口孔更近。同时限制了适配器的厚度，这减小了适配器的压力损失。此外，涡轮分子真空泵的更近的相对接近改善了环形入口凸缘处的泵送均匀性。

此外，在更远处联接涡轮分子真空泵便于在适配器的块体中提供位于圆柱形出口容纳部和涡轮分子真空泵的入口孔的外周之间的与该圆柱形出口容纳部同轴的环形间隙。该环形间隙允许提供自由空间，以便允许壳体在涡轮分子真空泵碰撞的情况下变形，同时不会将过大的负载传递给适配器以及因此传递给腔室。

另一优点在于，通过将同轴的环形凸缘重新定位到较低位置，可以利用用于在同轴的环形凸缘和适配器之间进行联接的紧固螺钉，该螺钉的尺寸是经过优化的。

另一方面，可以利用其直径大于现有技术的凹头螺钉的直径的紧固螺钉，以防止它们在膨胀的情况下受到剪切。另一方面，可以以比现有技术更大的直径实施紧固螺钉，这允许减小这些紧固件在撞碰期间受到的负载。

因此，适配器的几何形状使涡轮分子真空泵的定位优化成离腔室尽可能近，这样最大程度地减小了压力损失和死区。因此，所获得的泵送速度只比理论泵送速度低8％。离腔室尽可能近的定位同样允许泵送装置的物理尺寸减小。

因此，在操作中，在适配器的环形入口凸缘的横截面处获得很高的泵送速度均匀性，从而允许在腔室内、尤其是在处理室的腔室的壳体中的基材处获得高的泵送均匀性。

此外，可以在腔室的出口孔处获得最大泵送速度，这允许优化利用腔室出口处的可用开口。

此外，通过联接多个泵的单个适配器，在将所有涡轮分子真空泵连接到一起的腔室的出口孔处可以获得单一的横截面，因而允许连接单个控制阀，这有利于腔室内的调节并且降低了生产和维修的成本。

附图说明

通过参考附图以示例方式而非限制性地进行的下列描述，本发明的其他特征和优点将显现出来，其中：

-图1示出了从根据第一实施例的泵送装置的上方观察的透视图，

-图2示出了从图1的泵送装置的下方观察的透视图，

-图3为图1和2中的泵送装置的透视图和剖视图，

-图4为图1-3中的泵送装置的适配器的示意性剖视图，

-图5示出了模拟表示适配器的另一示例的部分剖视图的几何形状中的气流的结果，其中，泵送气体的速度的幅度和向量以m/s(米/秒)表示，

-图6a为示出了在出口联接件中的两个涡轮分子真空泵的示意性设置的示意图，

-图6b为示出了在出口联接件中的三个涡轮分子真空泵的示意性设置的示意图，

-图6c为示出了在出口联接件中的四个涡轮分子真空泵的示意性设置的示意图，

-图6d为示出了在出口联接件中的五个涡轮分子真空泵的示意性设置的示意图，

-图7示出了根据第二实施例的泵送装置的透视图。

在这些附图中，相同的元件具有相同的参考标号。

具体实施方式

图1-4示出了泵送装置1的第一实施例。

该泵送装置1包括用于真空泵2和至少两个涡轮分子真空泵3的适配器，在示出的示例中，涡轮分子真空泵3的数目为3。

涡轮分子真空泵3是相同的并且分别以本身已知的方式包括固定部件，转子5在该固定部件中以较高的速度沿旋转轴线I(见图3的剖视图)进行轴向旋转。

在示意性示例中，涡轮分子真空泵3分别包括涡轮分子级13和分子级14。

在涡轮分子级13处，固定部件包括壳体4，该壳体4包括位于第一末端处的与旋转轴线同轴的入口孔6，泵送气体7从穿过该入口孔。

根据一个示意性实施例，转子5包括位于能在壳体4内旋转的涡轮分子级13处的涡轮型叶片转子的上游部(沿气流的方向)和位于分子级14中的具有HOLWECK型裙部形式的转子的下游部(沿气流方向)。

通过内部马达10在固定部件中旋转地驱动转子5，并通过磁力或机械轴承11和12横向引导转子5。然后，经由排放孔8从真空泵(箭头9)排出泵送气体7。

适配器2适于将三个涡轮分子真空泵3联接和固定到一腔室的壁上，该腔室中可以产生受控的真空，例如为用于半导体(未示出)的制造过程的腔室。

为此，适配器2包括通过适配器2的例如截头圆锥形形式的部分17连接的环形入口凸缘15和出口联接件16。该截头圆锥形部分17允许出口联接件16的直径相对于环形入口凸缘15的直径增大，以使出口联接件容纳多个具有将死区限制在较短距离上的形状的涡轮分子真空泵3(在该示例中，截头圆锥形部分具有大约65mm的厚度，并具有大约45°的角度)。

环形入口凸缘15适于围绕腔室的出口孔联接到腔室的壁上。环形入口凸缘15与腔室的出口孔同轴(图3中的轴线A)并具有其内径对应于腔室的出口孔的直径(在本示例中为450mm)的管形。泵送装置1还包括位于环形入口凸缘15的喉部18中的入口密封件，该入口密封件适于围绕腔室的出口孔插置在环形入口凸缘15和腔室的壁之间，以将腔室的联接件密封到适配器2上。根据变型实施例，泵送装置包括其周围容纳有环形入口密封件15的入口密封承载圈。该入口密封承载圈插置在环形入口凸缘的内边缘和出口孔的边缘之间并且能够与环形入口凸缘的内边缘和出口孔的边缘相互作用，以便支承环形入口密封件15并使该密封件对中(居中，定中心)。

根据可适用的标准，在腔室的壁中设置围绕出口孔分布的螺纹孔，而通孔19设置在适配器2的环形入口凸缘15上，并且诸如凹头螺钉的紧固螺钉20以下述方式安装，即，它们的杆穿过通孔19并拧进相关的螺纹孔中以便通过将环形入口凸缘15靠在腔室的壁上夹紧而将适配器2固定到腔室上。

出口联接件16包括至少两个圆柱形出口容纳部21(图4)，在该示例中，该容纳部的数目为3：每个涡轮分子真空泵3使用一个容纳部。

圆柱形容纳部21为贯穿的容纳部，因而在出口联接件16中形成多个用于泵送气体的旁路出口。这些圆柱形出口容纳部21至少形成用于各自的涡轮分子真空泵3的壳体4的部分泵壳。它们与涡轮分子真空泵3的旋转轴线I同轴。

圆柱形容纳部21是孔腔，它例如设置在由例如铝材料制成的整体式适配器2中。

如图3中的实施例所示，贯穿的圆柱形容纳部21具有与涡轮分子级13的壳体4的整体长度(在该示例中为大约138mm)对应的厚度，以便容纳涡轮分子真空泵3的涡轮分子级13。

圆柱形容纳部21具有基本相同的体积，以便容纳三个相同的涡轮分子真空泵。如果贯穿的圆柱形出口容纳部21以旁路的形式设置在出口联接件16中，则三个涡轮分子真空泵3的各自的泵送能力被组合，以便获得合成的较大泵送能力。

此外，圆柱形容纳部21基本对称地设置在出口联接件16中。

截头圆锥部分17的底部的内径基本等于其内侧与涡轮分子真空泵3的入口孔6的直径的投影内切的圆圈的直径。

虽然图1至4示出了包括三个涡轮分子真空泵3的泵送装置1，但也可以有集成有两个、三个、四个或五个涡轮分子真空泵3的其他实施例。

图6a、6b、6c和6d中示意性地示出了出口容纳部21的对称布置的示例，针对该示例，出口联接件16具有的与环形入口凸缘15同轴的大体呈圆柱形的形状，并且针对该示例，圆柱形出口容纳部21的轴线是平行的，涡轮分子真空泵3的入口孔6基本上位于同一平面内，该平面平行于包含腔室的入口孔的平面。在这些示例中，截头圆锥部分17的底部的内径基本上等于圆圈C的直径，该圆圈C的内侧与涡轮分子真空泵3的入口孔6的直径的投影内切。

为了减小物理尺寸，如图1-4中的第一示意性实施例所示的，圆柱形出口容纳部21的轴线相对于环形入口凸缘15的轴线倾斜。

在其中适配器2包括三个或更多圆柱形出口容纳部21的情况下，出口联接件16可以设置成包括在所述圆柱形容纳部21之间突出的中心拱顶22。事实上，发明人已确定，通过在出口联接件16中设置中心拱顶22，抑制了泵送速度在其中降低且能够在其中形成局部沉积物或者引起不能被正确排出的不同气体之间的反应的中心死区。

中心拱顶22例如具有钟形的大体形状，该钟形的底部直径与涡轮分子真空泵3的入口孔6的直径相切。中心拱顶22的布置通过将气体引向其中一个或另一个涡轮真空泵3而抑制止了中心死区。

根据图7中描述的变型实施例，代替中心拱顶地，适配器2’包括中心管状通道23，该中心管状通道与环形入口凸缘15同轴并且从一端到另一端穿过适配器2’：在出口联接件16’的中心并且位于所述圆柱形容纳部21之间。

与中心拱顶22类似，中心管状通道23可以抑制泵送速度在其中降低的中心死区。中心管状通道23的直径与涡轮真空泵3的入口孔6的直径相切。除了抑制死区外，该中心管状通道23一旦在两侧被密封，便特别适用于处理腔的腔室的情况，以便允许维修设施(加热/冷却装置、电极、氮气……)通过，该维修设施用于腔室内的例如与腔室的出口孔基本垂直对准地的基材承载件的操作。

而且，每个圆柱形出口容纳部21都在该容纳部21的底部中具有环形内部止动件24，涡轮分子真空泵3的壳体3的第一末端(入口侧)与该止动件靠接。

涡轮分子真空泵3还包括各自的容纳分子级14的泵壳25。

泵壳25包括与转子5的旋转轴线I同轴的环形凸缘27，在该凸缘中，设置有同轴的第一和第二系列通孔。第二系列通孔相对于第一系列通孔位于内侧。同轴的环形凸缘27布置成基本与涡轮分子级13和分子级14之间的界面齐平，以使该环形凸缘能连接到适配器2的圆柱形出口容纳部21。

与其中联接凸缘设置在入口孔处的现有技术的真空泵不同，同轴的环形凸缘27在涡轮分子真空泵3上设置得更低，即，设置在分子级之后且位于泵壳25处，涡轮分子级13容纳在适配器2中。

出口联接件16包括分别围绕圆柱形出口容纳部21的外部开口28设置的第一系列螺纹孔(在该示例中有三个第一系列螺纹孔)。

适配器2同样包括互补的第一和第二固定螺钉29a、29b，例如凹头螺钉。

第一紧固螺钉29a以下述方式安装，即，它们的杆穿过在涡轮分子真空泵3的同轴环形凸缘27中的第一系列通孔，并被拧进出口联接件16的第一系列相关的螺纹孔中以便通过将同轴的环形凸缘27靠在出口联接件16的壁上夹紧而将涡轮分子真空泵3固定到适配器2上。

第二紧固螺钉29b以下述方式安装，即，它们的杆穿过在涡轮分子真空泵3的同轴环形凸缘27中的第二系列通孔，并被拧进设置在位于圆柱形容纳部21的外部开口28处的壳体4的第二末端处的第二系列相关的螺纹孔中以便将泵壳25固定到壳体4上。

还应该意识到，第一紧固螺钉29a的尺寸设计成能抵挡涡轮分子真空泵3的碰撞(坠落)。

为了做到这一点，第一紧固螺钉29a的直径大于现有技术中的凹头螺钉的直径，以避免它们在碰撞时受到剪切。

此外，以比现有技术大的直径实施第一紧固螺钉29a，例如，用335mm替代310mm，也就是说，同轴的环形凸缘27的直径大于现有技术的标准联接凸缘的直径，这允许减小这些紧固螺钉29a在碰撞期间受到的负载。

因此，第一紧固螺钉29a的尺寸设计成使得同轴的环形凸缘27和适配器2之间的联接比第二紧固螺钉29b在该同轴的环形凸缘27和壳体4之间的产生的联接更牢固。

泵送装置1还包括至少两个第一出口密封件30(在该示例中数目为3个)和至少两个第二出口密封件31(在该示例中数目为3个)。

每个第一出口密封件30都插置在用于圆柱形出口容纳部21的环形内部止动件24和位于壳体4的喉部(或圆柱形出口容纳部21)中的涡轮分子真空泵3的壳体4的第一末端之间，以便围绕泵3的入口孔6密封涡轮分子真空泵3与适配器2的联接。根据一变型实施例，泵送装置包括其周围容纳环形出口密封件30的出口密封承载圈。该出口密封承载圈能与壳体4的第一末端和圆柱形出口容纳部21的内缘相互作用，该出口密封承载圈插置在壳体4的第一末端和圆柱形出口容纳部21的内缘之间以便支承环形出口密封件30并使该密封件对中。

第二出口密封件31插置在同轴的泵壳25的环形凸缘27和位于圆柱形出口容纳部21的相应外部开口28处的壳体4的第二末端之间。

与圆柱形出口容纳部21同轴的环形间隙32设置在圆柱形容纳部21的环形内部止动件24和涡轮分子真空泵3的壳体4的第一末端的外缘之间。该环形间隙32具有例如在范围为25和40mm之间的轴向长度上的范围为3和10mm的径向厚度。

插置在圆柱形容纳部21和壳体4的第一末端之间的第一出口密封件30可以防止被泵送的气体进入环形间隙32并且因此防止在该空间内形成沉积物。

在转子5全速行进时偶然失去平衡的情况下，该转子能够猛烈地撞击圆柱形出口容纳部21，从而在该容纳部上施加横向或径向的位移力，并且转子能够与圆柱形容纳部21的壁产生大量摩擦，从而在该容纳部上施加同轴的旋转力矩。由于当转子5快速旋转时在转子5中累积的大量能量，由转子5施加给壳体4的机械负载非常高。环形间隙32允许为壳体4提供自由空间，该壳体4则同样能够由于不如第一紧固螺钉29a牢固的第二紧固螺钉29b的剪切而旋转并且能够在出口容纳部21中变形。插置在同轴的泵壳25的环形凸缘27和壳体4的第二末端之间的第二出口密封件31允许将由这种碰撞产生的任何碎片抑制在涡轮分子真空泵3中。因此，负载向腔室的传递仅限于涡轮分子真空泵3碰撞的情况下。

一旦被安装到圆柱形出口容纳部21中，涡轮分子真空泵3部分凹入地、可靠地连接在适配器2上，并以密封方式联接到腔室上。同轴的环形凸缘27的较低定位允许相应的涡轮分子真空泵3的各种入口孔6彼此离得更近，并允许入口孔6离腔室的出口孔更近。对适配器2的厚度进行限制允许由于缩小的适配器2而产生压力损失。使涡轮分子真空泵3的入口孔6彼此离得更近改善了环形入口凸缘处的泵送的均匀性。

图5示出了对表示适配器的几何形状中的气流的模拟，该适配器和前述附图中的适配器类似，但是没有中心拱顶。

在泵送期间，如可从图5中的模拟看出的，即使泵送速度在涡轮分子真空泵3的入口孔6处显著不均匀，泵送速度也会波动达到两倍，并且在适配器2”’的环形入口凸缘15的横截面处获得均匀性很好的泵送速度(每一处都是大约25m/s)。由于该示例中描述的适配器不具有中中心拱顶，能够在入口孔6之间看见死区(气体速率为零的地方)。

因此，能够在腔室内，尤其是在处理室的腔室的壳体中的基材处获得良好的泵送均匀性。此外，由于适配器2的几何形状，在出口孔处能够获得最大的均匀泵送速度，这允许充分利用腔室出口处的可用开口。

因此，适配器2的优化的几何形状将涡轮分子真空泵3定位成离腔室尽可能的近，同时具有优化的电导，这样做最大程度地减少了压力损失和死区。因此，所获得的泵送速度只比理论泵送速度低8％。离腔室尽可能近的定位同样允许泵送装置1的物理尺寸减小。

此外，对于联接多个泵3的单个适配器，在将涡轮分子真空泵3连接到一起的腔室的出口孔处可以获得单一的横截面，因而允许连接单个控制阀，这有利于腔室内的调节并且降低了生产和维修的成本。

Claims (14)

1.用于真空泵的适配器，其特征在于，所述适配器包括环形入口凸缘(15)和出口联接件(16)，该环形入口凸缘旨在联接到腔室的出口孔上，该出口联接件包括至少两个贯穿的圆柱形出口容纳部(21)并且形成用于相应的涡轮分子真空泵(3)的壳体(4)的至少部分泵壳，所述涡轮分子真空泵(3)旨在被容纳到相应的圆柱形出口容纳部(21)中，其中，所述圆柱形出口容纳部(21)的轴线(I)相对于所述环形入口凸缘(15)的轴线(A)倾斜。

2.根据权利要求1所述的适配器，其特征在于，所述出口联接件(16)包括围绕所述圆柱形出口容纳部(21)的各外部开口(28)设置的第一系列螺纹孔；所述适配器(2；2’)包括第一附加固定螺钉(29a)，所述第一系列螺纹孔和所述第一附加固定螺钉(29a)旨在将该涡轮分子真空泵(3)的泵壳(25)固定到所述适配器(2；2’)上。

3.根据权利要求1或2所述的适配器，其特征在于，所述圆柱形出口容纳部(21)具有基本相同的体积并且基本对称地布置在所述出口联接件(16)中。

4.根据权利要求1或2所述的适配器，其特征在于，所述适配器(2)的连接所述环形入口凸缘(15)和所述出口联接件(16)的部分(17)为截头圆锥形。

5.根据权利要求4所述的适配器，其特征在于，所述截头圆锥形部分(17)的底部的内径基本等于内接所述涡轮分子真空泵(3)的入口孔(6)的直径的投影的圆圈的直径。

6.根据权利要求1或2所述的适配器，其特征在于，所述出口联接件(16)具有在所述圆柱形容纳部(21)之间突出的中心拱顶(22)。

7.根据权利要求1或2所述的适配器，其特征在于，所述适配器包括与该环形入口凸缘(15)同轴的中心管状通道(22)，所述中心管状通道在所述圆柱形容纳部(21)之间穿过该出口联接件(16)的中心。

8.一种泵送装置，其特征在于，所述泵送装置包括根据前述权利要求中任一项所述的用于真空泵的适配器(2；2’)和至少两个至少部分容纳在相应的圆柱形出口容纳部(21)中的涡轮分子真空泵(3)。

9.根据权利要求8所述的泵送装置，所述泵送装置包括根据权利要求2所述的用于真空泵的适配器(2；2’)，其特征在于，所述涡轮分子真空泵(3)各自包括泵壳(25)，所述泵壳各自包括同轴的环形凸缘(27)，在该环形凸缘中设置有同轴的第一和第二系列通孔，所述第一系列通孔与所述第一系列螺纹孔和所述出口联接件(16)的相应的第一固定螺钉(29a)相互作用，以将所述涡轮分子真空泵(3)的泵壳(25)固定到所述出口联接件(16)上，所述第二系列通孔与设置在所述壳体(4)中的第二系列螺纹孔和所述出口联接件(16)的相应的第二固定螺钉(29b)相互作用，以将涡轮分子真空泵(3)的壳体(4)固定到所述出口联接件(16)上。

10.根据权利要求9所述的泵送装置，其特征在于，由所述第一固定螺钉(29a)在所述同轴的环形凸缘(27)和所述适配器(2；2’)之间产生的联接比由所述第二固定螺钉(29b)在所述同轴的环形凸缘(27)和所述壳体(4)之间产生的联接更牢固。

11.根据权利要求8-10中任一项所述的泵送装置，其特征在于，相应的环形间隙(32)设置在所述圆柱形容纳部(21)的底部中，并位于所述圆柱形容纳部(21)与所述涡轮分子真空泵(3)的壳体(4)的第一末端的外周之间。

12.根据权利要求8-10中任一项所述的泵送装置，其特征在于，所述涡轮分子真空泵(3)分别包括涡轮分子级(13)和分子级(14)；所述圆柱形出口容纳部(21)构造成至少容纳所述涡轮分子真空泵(3)的涡轮分子级(13)。

13.根据权利要求8-10中任一项所述的泵送装置，其特征在于，所述泵送装置包括至少两个第一出口密封件(30)，该第一出口密封件旨在插置在圆柱形出口容纳部(21)的相应底部与相应的涡轮分子真空泵(3)的壳体(4)的第一末端之间。

14.根据权利要求13所述的泵送装置，其特征在于，所述泵送装置包括至少两个第二出口密封件(31)，该第二出口密封件旨在插置在所述泵壳(25)的同轴的环形凸缘(27)与相应的涡轮分子真空泵(3)的壳体(4)的第二末端之间。