CN104022683A - 采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法 - Google Patents
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Abstract
采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法，属于压电驱动技术领域，本发明为解决现有压电超声驱动器定位的精度和分辨力难以提高，无法克服强载、快速、大行程和高精度之间存在矛盾的问题。本发明所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台包括四足压电驱动器、平台和基座，所述四足压电驱动器包括一个竖直梁、两个水平梁和六组压电陶瓷；采用四足压电驱动器的超精密直线平台根据目标输出速度选择下述两种激励模式之一或者两种激励模式的组合来实现不同位移尺度的驱动；两种激励模式分别为交流激励连续模式和直流激励步进模式。本发明适用于驱动各种高精度直线平台，通过组合也可以实现多自由平台的驱动。
Description
技术领域
本发明涉及一种超精密直线平台的驱动方法，属于压电驱动技术领域。
背景技术
压电超声驱动技术是一种利用压电陶瓷的逆压电效应，在弹性体中激励出超声频段内的振动，在弹性体表面特定点或特定区域形成具有特定轨迹的质点运动，进而通过定子、转子之间的摩擦耦合将质点的微观运动转换成转子的宏观运动的技术。压电超声驱动器具有结构简单、设计灵活、低速大转矩、无电磁干扰、响应速度快和断电自锁等优点。
但是，压电超声驱动器实际工作时通过给压电陶瓷片施加连续的交流电压来激励出驱动足处质点的连续的椭圆轨迹振动，进而通过摩擦耦合实现动子致动；由于采用连续交变电压进行驱动，压电超声驱动器一般工作于共振工作模式，这使得其定位精度和分辨力一般为微米级，难于实现进一步提高，也无法满足超精密加工、微纳制造和生命科学等领域飞速发展的需要。
发明内容
本发明目的是为了解决现有压电超声驱动器定位的精度和分辨力难以提高，无法克服强载、快速、大行程和高精度之间存在矛盾的问题，提供了一种采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法。
本发明所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法，所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台包括四足压电驱动器、平台和基座；所述四足压电驱动器包括一个竖直梁、两个水平梁和六组压电陶瓷，六组压电陶瓷分别为两组竖直梁上压电陶瓷、两组上侧水平梁上压电陶瓷和两组下侧水平梁上压电陶瓷；
所述两组竖直梁上压电陶瓷均设置在竖直梁上，且分别设置于法兰的上下两侧，两个水平梁通过其侧面分别与竖直梁的两个端部固定连接，上端的水平梁上设置有两组上侧水平梁上压电陶瓷，下端的水平梁上设置有两组下侧水平梁上压电陶瓷，且两组上侧水平梁上压电陶瓷和两组下侧水平梁上压电陶瓷均分布在竖直梁的两侧，每个水平梁的两个端部均设置有驱动足；四足压电驱动器通过法兰与基座固定连接；平台的两个内侧面分别与四个驱动足紧密接触。
采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法为：所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台根据目标输出速度选择下述两种激励模式之一或者两种激励模式的组合来实现不同位移尺度的驱动；两种激励模式分别为：
第一种为交流激励连续模式，该模式给上侧水平梁上压电陶瓷、竖直梁上压电陶瓷、下侧水平梁上压电陶瓷分别施加三相连续交流激励电压，且上侧水平梁上压电陶瓷和竖直梁上压电陶瓷所施加激励电压时间上的相位差为90度，上侧水平梁上压电陶瓷和下侧水平梁上压电陶瓷所施加激励电压时间上的相位差为180度，以实现竖直梁和水平梁纵向振动的激励，即共振状态，进而通过三个正交纵向振动的复合在四个驱动足处产生稳定而持续的椭圆轨迹的振动，该椭圆轨迹振动能够驱动平台实现大推力、大位移、快速、连续的运动输出，所述大位移指位移大小不受限制；
第二种为直流激励步进模式，该模式给六组压电陶瓷分别交替施加正、负直流激励电压，以实现竖直梁和水平梁纵向伸缩运动的交替激励，即非共振状态，水平梁伸长后能够使得驱动足与平台保持紧密接触，水平梁收缩后可能够实现驱动足与平台脱离接触，进而配合竖直梁的伸缩运动来带动平台向上或者向下的步进运动；所述直流激励步进模式能够驱动平台实现纳米尺度分辨力、低速、断续的步进输出，通过调整直流电压幅值实现转子输出位移的精确调整。
本发明的优点：本发明所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法针对现有压电超声驱动器在具备快速、大行程影响能力的同时，难于兼具高精度、纳米尺度定位功能这一突出问题，解决了强载、快速、大行程和高精度定位之间的矛盾。通过交流连续激励模式和直流激励步进模式的组合应用，使得采用四足压电驱动器的超精密直线平台不仅具备快速、大行程响应能力，同时具备高精度、纳米尺度定位功能，最终实现真正的跨尺度、超精密驱动。该方法广泛适用于驱动各种高精度直线平台，通过简单组合也可以实现多自由平台的驱动。
附图说明
图1是本发明所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台的剖视图；
图2是本发明所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台的立体结构示意图；
图3是本发明所述四足压电驱动器的俯视图；
图4是本发明所述四足压电驱动器的立体结构示意图；
图5是本发明所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台在直流激励步进模式下一个工作周期的动子向上步进运动的运动形式示意图，t表示时间，T表示周期。
具体实施方式
具体实施方式一：下面结合图1、图2、图3和图4说明本实施方式，本实施方式所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法，所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台包括四足压电驱动器1、平台2和基座3；所述四足压电驱动器1包括一个竖直梁1-1、两个水平梁1-2和六组压电陶瓷1-3，六组压电陶瓷1-3分别为两组竖直梁上压电陶瓷1-3-1、两组上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2和两组下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3；
所述两组竖直梁上压电陶瓷1-3-1均设置在竖直梁1-1上，且分别设置于法兰1-4的上下两侧，两个水平梁1-2通过其侧面分别与竖直梁1-1的两个端部固定连接，上端的水平梁1-2上设置有两组上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2，下端的水平梁1-2上设置有两组下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3，且两组上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2和两组下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3均分布在竖直梁1-1的两侧，每个水平梁1-2的两个端部均设置有驱动足1-5；四足压电驱动器1通过法兰1-4与基座3固定连接；平台2的两个内侧面分别与四个驱动足1-5紧密接触；
采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法为：采用四足压电驱动器的超精密直线平台根据目标输出速度选择下述两种激励模式之一或者两种激励模式的组合来实现不同位移尺度的驱动；两种激励模式分别为：
第一种为交流激励连续模式，该模式给上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2、竖直梁上压电陶瓷1-3-1、下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3分别施加三相连续交流激励电压，且上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2和竖直梁上压电陶瓷1-3-1所施加激励电压时间上的相位差为90度，上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2和下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3所施加激励电压时间上的相位差为180度，以实现竖直梁1-1和水平梁1-2纵向振动的激励，即共振状态，进而通过三个正交纵向振动的复合在四个驱动足1-5处产生稳定而持续的椭圆轨迹的振动，该椭圆轨迹振动能够驱动平台2实现大推力、大位移、快速、连续的运动输出，所述大位移指位移大小不受限制；
第二种为直流激励步进模式，该模式给六组压电陶瓷1-3分别交替施加正、负直流激励电压，以实现竖直梁1-1和水平梁1-2纵向伸缩运动的交替激励，即非共振状态，水平梁1-2伸长后能够使得驱动足1-5与平台2保持紧密接触，水平梁1-2收缩后能够实现驱动足1-5与平台2脱离接触，进而配合竖直梁1-1的伸缩运动来带动平台2向上或者向下的步进运动；所述直流激励步进模式能够驱动平台2实现纳米尺度分辨力、低速、断续的步进输出，通过调整直流电压幅值实现转子输出位移的精确调整。
本实施方式中，首先设置平台的目标输出速度，然后根据目标输出速度的大小来判断采用两种激励模式之一或者两种激励模式的组合来实现驱动。
具体实施方式二：下面结合图3和图4说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台中的竖直梁1-1和两个水平梁1-2采用空间正交布置。
具体实施方式三：下面结合图3和图4说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台中的两个水平梁1-2的长度相同。
具体实施方式四：下面结合图3和图4说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台中的四个驱动足1-5结构相同，均为半圆柱形。
具体实施方式五：本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台根据目标输出速度选择激励模式来实现不同位移尺度的驱动中，当目标输出速度小于或等于直流激励步进模式下能够获得的平台最大输出速度时，进入直流激励步进模式实现低速、高定位精度和分辨力的输出。
具体实施方式六：本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台根据目标输出速度选择激励模式来实现不同位移尺度的驱动中，当目标输出速度大于直流激励步进模式下能够获得的平台最大输出速度时，首先进入交流激励连续模式实现快速大位移输出，未达到目标位移后停止，然后进入直流激励步进模式实现最终精确定位。
具体实施方式七：下面结合图5说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述直流激励步进模式中平台2向上步进运动时，一个运动周期内对压电陶瓷1-3施加激励电压的具体方式为：
第一、当竖直梁上压电陶瓷1-3-1、上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2和下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3均施加正电压时，六组压电陶瓷1-3均处于伸长状态，四个驱动足1-5均与平台2侧面紧密接触，平台2保持不动；
第二、当竖直梁上压电陶瓷1-3-1施加正电压、上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2施加负电压、下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3施加正电压时，上端的水平梁1-2上的驱动足1-5与平台2脱离接触，下端的水平梁1-2上的驱动足1-5保持与平台2的紧密接触，平台2保持不动；
第三、当竖直梁上压电陶瓷1-3-1施加负电压、上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2施加负电压、下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3施加正电压时，上端的水平梁1-2上的驱动足1-5与平台2脱离接触，下端的水平梁1-2上的驱动足1-5保持与平台2的紧密接触，竖直梁1-1收缩并带动平台2实现向上步进运动；
第四、当竖直梁上压电陶瓷1-3-1施加负电压、上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2和下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3施加正电压时，四个驱动足1-5均与平台2的侧面紧密接触，平台2保持不动；
第五、当竖直梁上压电陶瓷1-3-1施加负电压、上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2施加正电压、下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3施加负电压时，上端的水平梁1-2上的驱动足1-5与平台2保持紧密接触，下端的水平梁1-2上的驱动足1-5与平台2脱离接触，平台2保持不动；
第六、当竖直梁上压电陶瓷1-3-1施加正电压、上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2施加正电压、下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3施加负电压时，上端的水平梁1-2上的驱动足1-5与平台2保持紧密接触，下端的水平梁1-2上的驱动足1-5与平台2脱离接触，竖直梁1-1伸长并带动平台2实现向上步进运动。
具体实施方式八：本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述直流激励步进模式中平台2向下步进运动时，一个运动周期内对压电陶瓷1-3施加激励电压的具体方式为：
第一、当竖直梁上压电陶瓷1-3-1、上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2和下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3均施加正电压时，六组压电陶瓷1-3均处于伸长状态，四个驱动足1-5均与平台2侧面紧密接触，平台2保持不动；
第二、当竖直梁上压电陶瓷1-3-1施加正电压、上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2施加正电压、下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3施加负电压时，上端的水平梁1-2上的驱动足1-5与平台2保持紧密接触，下端的水平梁1-2上的驱动足1-5与平台2脱离接触，平台2保持不动；
第三、当竖直梁上压电陶瓷1-3-1施加负电压、上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2施加正电压、下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3施加负电压时，上端的水平梁1-2上的驱动足1-5与平台2保持紧密接触，下端的水平梁1-2上的驱动足1-5与平台2脱离接触，竖直梁1-1收缩并带动平台2实现向下步进运动；
第四、当竖直梁上压电陶瓷1-3-1施加负电压、上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2和下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3施加正电压时，四个驱动足1-5均与平台2的侧面紧密接触，平台2保持不动；
第五、当竖直梁上压电陶瓷1-3-1施加负电压、上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2施加负电压、下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3施加正电压时，上端的水平梁1-2上的驱动足1-5与平台2脱离接触，下端的水平梁1-2上的驱动足1-5与平台2保持紧密接触，平台2保持不动；
第六、当竖直梁上压电陶瓷1-3-1施加正电压、上侧水平梁上压电陶瓷1-3-2施加负电压、下侧水平梁上压电陶瓷1-3-3施加正电压时，上端的水平梁1-2上的驱动足1-5与平台2脱离接触，下端的水平梁1-2上的驱动足1-5与平台2保持紧密接触，竖直梁1-1伸长并带动平台2实现向下步进运动。
具体实施方式九：本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述交流激励连续模式中施加三相连续交流激励电压的电压波形包括正弦波、方波、三角波和梯形波。
Claims (9)
1.采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法，其特征在于，所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台包括四足压电驱动器(1)、平台(2)和基座(3)；所述四足压电驱动器(1)包括一个竖直梁(1-1)、两个水平梁(1-2)和六组压电陶瓷(1-3)，六组压电陶瓷(1-3)分别为两组竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)、两组上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)和两组下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)；
所述两组竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)均设置在竖直梁(1-1)上，且分别设置于法兰(1-4)的上下两侧，两个水平梁(1-2)通过其侧面分别与竖直梁(1-1)的两个端部固定连接，上端的水平梁(1-2)上设置有两组上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)，下端的水平梁(1-2)上设置有两组下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)，且两组上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)和两组下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)均分布在竖直梁(1-1)的两侧，每个水平梁(1-2)的两个端部均设置有驱动足(1-5)；四足压电驱动器(1)通过法兰(1-4)与基座(3)固定连接；平台(2)的两个内侧面分别与四个驱动足(1-5)紧密接触；
采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法为：采用四足压电驱动器的超精密直线平台根据目标输出速度选择下述两种激励模式之一或者两种激励模式的组合来实现不同位移尺度的驱动；两种激励模式分别为：
第一种为交流激励连续模式，该模式给上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)、竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)、下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)分别施加三相连续交流激励电压，且上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)和竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)所施加激励电压时间上的相位差为90度，上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)和下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)所施加激励电压时间上的相位差为180度，以实现竖直梁(1-1)和水平梁(1-2)纵向振动的激励，即共振状态，进而通过三个正交纵向振动的复合在四个驱动足(1-5)处产生稳定而持续的椭圆轨迹的振动，该椭圆轨迹振动能够驱动平台(2)实现大推力、大位移、快速、连续的运动输出，所述大位移指位移大小不受限制；
第二种为直流激励步进模式，该模式给六组压电陶瓷(1-3)分别交替施加正、负直流激励电压，以实现竖直梁(1-1)和水平梁(1-2)纵向伸缩运动的交替激励，即非共振状态，水平梁(1-2)伸长后能够使得驱动足(1-5)与平台(2)保持紧密接触，水平梁(1-2)收缩后能够实现驱动足(1-5)与平台(2)脱离接触，进而配合竖直梁(1-1)的伸缩运动来带动平台(2)向上或者向下的步进运动；所述直流激励步进模式能够驱动平台(2)实现纳米尺度分辨力、低速、断续的步进输出，通过调整直流电压幅值实现转子输出位移的精确调整。
2.根据权利要求1所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法，其特征在于，所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台中的竖直梁(1-1)和两个水平梁(1-2)采用空间正交布置。
3.根据权利要求1所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法，其特征在于，所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台中的两个水平梁(1-2)的长度相同。
4.根据权利要求1所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法，其特征在于，所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台中的四个驱动足(1-5)结构相同，均为半圆柱形。
5.根据权利要求1所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法，其特征在于，所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台根据目标输出速度选择激励模式来实现不同位移尺度的驱动中，当目标输出速度小于或等于直流激励步进模式下能够获得的平台最大输出速度时，进入直流激励步进模式实现低速、高定位精度和分辨力的输出。
6.根据权利要求1所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法，其特征在于，所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台根据目标输出速度选择激励模式来实现不同位移尺度的驱动中，当目标输出速度大于直流激励步进模式下能够获得的平台最大输出速度时，首先进入交流激励连续模式实现快速大位移输出，未达到目标位移后停止，然后进入直流激励步进模式实现最终精确定位。
7.根据权利要求1所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法，其特征在于，所述直流激励步进模式中平台(2)向上步进运动时，一个运动周期内对压电陶瓷(1-3)施加激励电压的具体方式为：
第一、当竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)、上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)和下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)均施加正电压时，六组压电陶瓷(1-3)均处于伸长状态，四个驱动足(1-5)均与平台(2)侧面紧密接触，平台(2)保持不动；
第二、当竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)施加正电压、上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)施加负电压、下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)施加正电压时，上端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)与平台(2)脱离接触，下端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)保持与平台(2)的紧密接触，平台(2)保持不动；
第三、当竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)施加负电压、上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)施加负电压、下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)施加正电压时，上端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)与平台(2)脱离接触，下端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)保持与平台(2)的紧密接触，竖直梁(1-1)收缩并带动平台(2)实现向上步进运动；
第四、当竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)施加负电压、上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)和下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)施加正电压时，四个驱动足(1-5)均与平台(2)的侧面紧密接触，平台(2)保持不动；
第五、当竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)施加负电压、上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)施加正电压、下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)施加负电压时，上端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)与平台(2)保持紧密接触，下端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)与平台(2)脱离接触，平台(2)保持不动；
第六、当竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)施加正电压、上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)施加正电压、下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)施加负电压时，上端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)与平台(2)保持紧密接触，下端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)与平台(2)脱离接触，竖直梁(1-1)伸长并带动平台(2)实现向上步进运动。
8.根据权利要求1所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法，其特征在于，所述直流激励步进模式中平台(2)向下步进运动时，一个运动周期内对压电陶瓷(1-3)施加激励电压的具体方式为：
第一、当竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)、上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)和下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)均施加正电压时，六组压电陶瓷(1-3)均处于伸长状态，四个驱动足(1-5)均与平台(2)侧面紧密接触，平台(2)保持不动；
第二、当竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)施加正电压、上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)施加正电压、下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)施加负电压时，上端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)与平台(2)保持紧密接触，下端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)与平台(2)脱离接触，平台(2)保持不动；
第三、当竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)施加负电压、上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)施加正电压、下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)施加负电压时，上端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)与平台(2)保持紧密接触，下端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)与平台(2)脱离接触，竖直梁(1-1)收缩并带动平台(2)实现向下步进运动；
第四、当竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)施加负电压、上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)和下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)施加正电压时，四个驱动足(1-5)均与平台(2)的侧面紧密接触，平台(2)保持不动；
第五、当竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)施加负电压、上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)施加负电压、下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)施加正电压时，上端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)与平台(2)脱离接触，下端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)与平台(2)保持紧密接触，平台(2)保持不动；
第六、当竖直梁上压电陶瓷(1-3-1)施加正电压、上侧水平梁上压电陶瓷(1-3-2)施加负电压、下侧水平梁上压电陶瓷(1-3-3)施加正电压时，上端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)与平台(2)脱离接触，下端的水平梁(1-2)上的驱动足(1-5)与平台(2)保持紧密接触，竖直梁(1-1)伸长并带动平台(2)实现向下步进运动。
9.根据权利要求1所述采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法，其特征在于，所述交流激励连续模式中施加三相连续交流激励电压的电压波形包括正弦波、方波、三角波和梯形波。
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