CN104018157A - 高精密度金属蚀刻加工工艺 - Google Patents

高精密度金属蚀刻加工工艺 Download PDF

Info

Publication number
CN104018157A
CN104018157A CN201410261133.4A CN201410261133A CN104018157A CN 104018157 A CN104018157 A CN 104018157A CN 201410261133 A CN201410261133 A CN 201410261133A CN 104018157 A CN104018157 A CN 104018157A
Authority
CN
China
Prior art keywords
etching
high degree
metal etch
screen printing
complete processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201410261133.4A
Other languages
English (en)
Inventor
许亚明
常盛成
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Accurate Tubulation Of Zhangjiagang China Journey Locomotive Co Ltd
Original Assignee
Accurate Tubulation Of Zhangjiagang China Journey Locomotive Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Accurate Tubulation Of Zhangjiagang China Journey Locomotive Co Ltd filed Critical Accurate Tubulation Of Zhangjiagang China Journey Locomotive Co Ltd
Priority to CN201410261133.4A priority Critical patent/CN104018157A/zh
Publication of CN104018157A publication Critical patent/CN104018157A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

本发明提供一种高精密度金属蚀刻加工工艺,其包括如下步骤:S1.蚀刻前处理,对金属表面进行前处理,所述前处理包括除油、水洗、干燥;S2.丝网印刷,对经过前处理的金属表面进行丝网印刷,丝网印刷结束后进行干燥;S3.蚀刻相应图形,蚀刻时按照S2中丝网印刷形成的图案进行蚀刻;S4.蚀刻后处理,所述后处理包括碱洗、抛光、染色。本发明的高精密度金属蚀刻加工工艺流程简单、操作方便、加工效率高。其通过合理安排加工步骤,保证了金属蚀刻的加工精度,同时对蚀刻后的金属进行了表面处理,优化了金属的表面性能。

Description

高精密度金属蚀刻加工工艺
技术领域
本发明涉及金属刻蚀技术领域,尤其涉及一种高精密度金属蚀刻加工工艺。
背景技术
金属蚀刻也称光化学金属蚀刻(photochemical etching),其是指通过曝光制版、显影后,将要金属蚀刻区域的保护膜去除,在金属蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。该工艺最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工;经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密金属蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,金属蚀刻更是不可或缺的技术。
但是,现有的金属蚀刻工艺加工出来产品往往具有精度不高的问题,不能满足某些高精度场合的应用,且有的金属蚀刻工艺流程较为复杂。
因此,针对上述问题,有必要提供进一步的解决方案。
发明内容
本发明的目的在于提供一种高精密度金属蚀刻加工工艺。
为实现上述发明目的,本发明的一种高精密度金属蚀刻加工工艺,其包括如下步骤:
S1.蚀刻前处理,对金属表面进行前处理,所述前处理包括除油、水洗、干燥;
S2.丝网印刷,对经过前处理的金属表面进行丝网印刷,丝网印刷结束后进行干燥;
S3.蚀刻相应图形,蚀刻时按照S2中丝网印刷形成的图案进行蚀刻;
S4.蚀刻后处理,所述后处理包括碱洗、抛光、染色。
作为本发明的进一步改进,所述除油包括化学除油、表面活性剂除油,甚至电解除油、超声除油。
作为本发明的进一步改进,所述丝网印刷采用单丝维网。
作为本发明的进一步改进,所述单丝维网的材质为不锈钢、尼龙、或聚酯,目数为150目。
作为本发明的进一步改进,丝网印刷时,将单丝维网固定于网框机上,并在单丝维网上涂覆感光胶,涂覆2-3次后,干燥。
作为本发明的进一步改进,丝网印刷后,自然干燥1.5h,或烘干6~9min,烘干时,烘干温度为58~80℃。
作为本发明的进一步改进,蚀刻后,还需去除保护的碱溶性耐酸油墨。
作为本发明的进一步改进,去除保护的碱溶性耐酸油墨采用碱洗去除。
作为本发明的进一步改进,所述碱洗为浸入45~60g/L NaOH碱液中,温度控制在66~78℃,浸泡3.5~5min。
作为本发明的进一步改进,染色后,还需进行硬化处理。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:本发明的高精密度金属蚀刻加工工艺流程简单、操作方便、加工效率高。其通过合理安排加工步骤,保证了金属蚀刻的加工精度,同时对蚀刻后的金属进行了表面处理,优化了金属的表面性能。
附图说明
图1为本发明的高精密度金属蚀刻加工工艺的一具体实施方式的工艺流程示意图。
具体实施方式
下面结合附图所示的各实施方式对本发明进行详细说明,但应当说明的是,这些实施方式并非对本发明的限制,本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代,均属于本发明的保护范围之内。
如图1所示,本发明的高精密度金属蚀刻加工工艺包括如下步骤:
S1.蚀刻前处理,对金属表面进行前处理,所述前处理包括除油、水洗、干燥;
S2.丝网印刷,对经过前处理的金属表面进行丝网印刷,丝网印刷结束后进行干燥;
S3.蚀刻相应图形,蚀刻时按照S2中丝网印刷形成的图案进行蚀刻;
S4.蚀刻后处理,所述后处理包括碱洗、抛光、染色。
具体而言,所述除油包括化学除油、表面活性剂除油,甚至电解除油、超声除油。此外,也可以选用商品的专用除油剂。彻底清洗干净后,经干燥再转入丝网印刷。
所述丝网印刷中采用单丝维网,该单丝维网的材质为不锈钢、尼龙、或聚酯,目数为150目。丝网印刷时,将单丝维网固定于网框机上,并在单丝维网上涂覆感光胶,涂覆2-3次后,干燥。丝网印刷后,自然干燥1.5h,或烘干6~9min,烘干时,烘干温度为58~80℃。
蚀刻相应图形时,在操作过程中要严格控制溶液的温度和时间。温度过高、时间过长,油墨与板面的附着力下降,在蚀刻与非蚀刻处可能出现油墨的脱落,导致图纹模糊走样,影响蚀刻的精度和装饰效果。
蚀刻后,还需去除保护的碱溶性耐酸油墨。去除保护的碱溶性耐酸油墨采用碱洗去除。所述碱洗为浸入45~60g/L NaOH碱液中,温度控制在66~78℃,浸泡3.5~5min。
进一步地,染色后,还需进行硬化处理。
综上所述,本发明的高精密度金属蚀刻加工工艺流程简单、操作方便、加工效率高。其通过合理安排加工步骤,保证了金属蚀刻的加工精度,同时对蚀刻后的金属进行了表面处理,优化了金属的表面性能。
对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (10)

1.一种高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,所述高精密度金属蚀刻加工工艺包括如下步骤:
S1.蚀刻前处理,对金属表面进行前处理,所述前处理包括除油、水洗、干燥;
S2.丝网印刷,对经过前处理的金属表面进行丝网印刷,丝网印刷结束后进行干燥;
S3.蚀刻相应图形,蚀刻时按照S2中丝网印刷形成的图案进行蚀刻;
S4.蚀刻后处理,所述后处理包括碱洗、抛光、染色。
2.根据权利要求1所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,所述除油包括化学除油、表面活性剂除油,甚至电解除油、超声除油。
3.根据权利要求1所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,所述丝网印刷采用单丝维网。
4.根据权利要求1所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,所述单丝维网的材质为不锈钢、尼龙、或聚酯,目数为150目。
5.根据权利要求4所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,丝网印刷时,将单丝维网固定于网框机上,并在单丝维网上涂覆感光胶,涂覆2-3次后,干燥。
6.根据权利要求1所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,丝网印刷后,自然干燥1.5h,或烘干6~9min,烘干时,烘干温度为58~80℃。
7.根据权利要求1所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,蚀刻后,还需去除保护的碱溶性耐酸油墨。
8.根据权利要求7所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,去除保护的碱溶性耐酸油墨采用碱洗去除。
9.根据权利要求8所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,所述碱洗为浸入45~60g/L NaOH碱液中,温度控制在66~78℃,浸泡3.5~5min。
10.根据权利要求1所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,染色后,还需进行硬化处理。
CN201410261133.4A 2014-06-12 2014-06-12 高精密度金属蚀刻加工工艺 Pending CN104018157A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410261133.4A CN104018157A (zh) 2014-06-12 2014-06-12 高精密度金属蚀刻加工工艺

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410261133.4A CN104018157A (zh) 2014-06-12 2014-06-12 高精密度金属蚀刻加工工艺

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN104018157A true CN104018157A (zh) 2014-09-03

Family

ID=51435141

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410261133.4A Pending CN104018157A (zh) 2014-06-12 2014-06-12 高精密度金属蚀刻加工工艺

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104018157A (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9449843B1 (en) 2015-06-09 2016-09-20 Applied Materials, Inc. Selectively etching metals and metal nitrides conformally
US9659791B2 (en) 2015-07-16 2017-05-23 Applied Materials, Inc. Metal removal with reduced surface roughness
CN109055935A (zh) * 2018-09-15 2018-12-21 南安市恒发纸品包装有限公司 一种高硬度铁皮盒的蚀刻加工工艺
CN112981403A (zh) * 2020-12-29 2021-06-18 苏州运宏电子有限公司 一种金属薄片表面细纹蚀刻工艺
CN113106451A (zh) * 2021-04-01 2021-07-13 江苏佰元鸿金属科技有限公司 一种高抗蚀性不锈钢蚀刻加工工艺
CN113755837A (zh) * 2021-09-07 2021-12-07 刘未艾 一种温针艾灸装置的制备方法
CN114686884A (zh) * 2020-12-29 2022-07-01 苏州运宏电子有限公司 一种精密防侧蚀的蚀刻区域控制方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9449843B1 (en) 2015-06-09 2016-09-20 Applied Materials, Inc. Selectively etching metals and metal nitrides conformally
US9659791B2 (en) 2015-07-16 2017-05-23 Applied Materials, Inc. Metal removal with reduced surface roughness
CN109055935A (zh) * 2018-09-15 2018-12-21 南安市恒发纸品包装有限公司 一种高硬度铁皮盒的蚀刻加工工艺
CN112981403A (zh) * 2020-12-29 2021-06-18 苏州运宏电子有限公司 一种金属薄片表面细纹蚀刻工艺
CN114686884A (zh) * 2020-12-29 2022-07-01 苏州运宏电子有限公司 一种精密防侧蚀的蚀刻区域控制方法
CN114686884B (zh) * 2020-12-29 2023-07-07 苏州运宏电子有限公司 一种精密防侧蚀的蚀刻区域控制方法
CN113106451A (zh) * 2021-04-01 2021-07-13 江苏佰元鸿金属科技有限公司 一种高抗蚀性不锈钢蚀刻加工工艺
CN113755837A (zh) * 2021-09-07 2021-12-07 刘未艾 一种温针艾灸装置的制备方法
CN113755837B (zh) * 2021-09-07 2024-01-30 刘未艾 一种温针艾灸装置的制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104018157A (zh) 高精密度金属蚀刻加工工艺
CN100582306C (zh) 一种不锈钢蚀刻工艺
CN105256342B (zh) 一种基于铜的超疏水表面及其制备方法
WO2014085663A4 (en) Methods of fabricating glass articles by laser damage and etching
CN101440492A (zh) 一种减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺
CN113969403B (zh) 一种镍、钛高温合金的蚀刻液及方法
CN105506630B (zh) 一种不锈钢托盘的蚀刻方法
CN101717645A (zh) 用于金属及金属氧化物透明导电层的蚀刻膏及蚀刻工艺
CN105442018B (zh) 汽车铝合金零件导电氧化工艺
CN101840153B (zh) 金属工艺品浮雕彩绘方法
CN103029502A (zh) 一种多色花纹彩钢板的生产方法
CN102851718A (zh) 一种高精度铝合金阀体表面处理方法
CN105092348A (zh) 一种新型一系铝合金(纯铝系)腐蚀溶液的使用方法
CN101003899B (zh) 铅黄铜及铜合金表面除铅工艺
CN106733907A (zh) 一种核燃料元件格架条带的清洗方法
CN103625146A (zh) 版基砂目化处理工艺
CN114226345A (zh) 一种喷漆屏蔽罩的清洗工艺及其清洗系统
CN109055935A (zh) 一种高硬度铁皮盒的蚀刻加工工艺
CN105195405A (zh) 一种金属表面防腐蚀处理方法
CN105040015A (zh) 柴油机油箱加工模具表面处理用清洗液的制备方法
CN104043574A (zh) 金属框架的均匀喷涂工艺
CN110965063B (zh) 一种用于不锈钢产品表面pvd膜层的环保脱除工艺
CN104476972A (zh) 一种金属彩色雕刻画
CN104451722A (zh) 一种合金结构钢表面氧化皮的去除方法
CN113106451A (zh) 一种高抗蚀性不锈钢蚀刻加工工艺

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20140903