CN103995222B - 开关管的开启电压测试方法 - Google Patents

开关管的开启电压测试方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103995222B
CN103995222B CN201310055209.3A CN201310055209A CN103995222B CN 103995222 B CN103995222 B CN 103995222B CN 201310055209 A CN201310055209 A CN 201310055209A CN 103995222 B CN103995222 B CN 103995222B
Authority
CN
China
Prior art keywords
voltage
test
test voltage
switching tube
cut
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201310055209.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103995222A (zh
Inventor
连晓谦
王明
凌耀君
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CSMC Technologies Corp
Original Assignee
CSMC Technologies Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CSMC Technologies Corp filed Critical CSMC Technologies Corp
Priority to CN201310055209.3A priority Critical patent/CN103995222B/zh
Publication of CN103995222A publication Critical patent/CN103995222A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103995222B publication Critical patent/CN103995222B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

本发明公开一种开关管的开启电压测试方法,包括如下步骤:设定初始的测试电压上限、测试电压下限以及目标电流;将测试电压设置为所述初始的测试电压上限和测试电压下限的总和乘以压缩系数,并测试开关管的漏端电流;判断所述漏端电流与所述目标电流的关系,若漏端电流大于目标电流,则将所述测试电压作为新的测试电压上限;若漏端电流小于目标电流,则将所述测试电压作为新的测试电压下限;以新的测试电压上限或测试电压下限以及预设重复次数重复上述步骤,以得到第一测试电压上限和第一测试电压下限;在所述第一测试电压下限至第一测试电压上限的范围内测试得到开关管的开启电压。上述方法相对于传统的测试方法具有更高的测试效率。

Description

开关管的开启电压测试方法
技术领域
本发明涉及元器件测试技术,特别是涉及一种开关管的开启电压测试方法。
背景技术
要确定制造完成的开关管的开启电压,需要进行测试。以模式管为例,在其栅极增加一定电压作为测试电压,并且使其源漏极之间施加固定的电源,从而在源漏极之间有电流通过,测试该电流是否到达目标电流。当到达目标电流时,其对应的测试电压即是开启电压。
传统的测试开启电压的方法是从0伏开始,以固定步长逐步增加测试电压,然后检测电流是否到达目标电流。为了达到较高的准确度,该固定步长通常较小,例如0.05伏。然而在针对高开启电压的产品进行测试时,较低的起始测试电压可能和开启电压之间有很大的差距,在步长较小时,测试时间会很长,影响测试效率。
发明内容
基于此,有必要提供一种能够提高测试效率的开关管的开启电压测试方法。
一种开关管的开启电压测试方法,包括如下步骤:设定初始的测试电压上限、测试电压下限以及目标电流;将测试电压设置为当前的测试电压上限和测试电压下限的总和乘以压缩系数,并测试开关管的漏端电流;所述压缩系数小于测试电压上限与所述总和的比值,所述当前的测试电压上限和测试电压下限在首次测试时分别为所述初始的测试电压上限和测试电压下限;;判断所述漏端电流与所述目标电流的关系,若漏端电流等于目标电流,则开关管的开启电压即为当前测试电压;若漏端电流大于目标电流,则将所述测试电压作为新的测试电压上限;若漏端电流小于目标电流,则将所述测试电压作为新的测试电压下限;以新的测试电压上限或测试电压下限以及预设重复次数重复上述步骤,得到第一测试电压上限和第一测试电压下限;在所述第一测试电压下限至第一测试电压上限的范围内测试得到开关管的开启电压。
在其中一个实施例中,所述在第一测试电压下限至第一测试电压上限的范围内测试得到开关管的开启电压的步骤具体包括:从所述第一测试电压下限开始,以固定步长逐步增加测试电压并测试出开关管的开启电压。
在其中一个实施例中,所述在第一测试电压下限至第一测试电压上限的范围内测试得到开关管的开启电压的步骤具体包括:从所述第一测试电压上限开始,以固定步长逐步减小测试电压并测试出开关管的开启电压。
在其中一个实施例中,所述初始的测试电压上限为5伏,初始的测试电压下限为0伏,所述目标电流为1微安。
在其中一个实施例中,所述固定步长为0.1伏。
在其中一个实施例中,所述重复的次数为3至7次。
在其中一个实施例中,所述重复的次数为5次。
在其中一个实施例中,所述压缩系数为0.5。
上述方法,根据漏端电流和栅极电压之间存在的关系,采用二分法重新确定并缩窄测试电压的选值范围,相比传统的直接从测试电压下限开始以固定步长增加测试电压的测试方式,能够大大缩短测试时间。
附图说明
图1为一实施例的开关管的开启电压测试方法流程图。
具体实施方式
如图1所示,为一实施例的开关管的开启电压测试方法流程图。该方法包括如下步骤。
S101:设定初始的测试电压上限、测试电压下限以及目标电流。由于在测试开关管的开启电压时加在开关管栅极的电压都会低于栅氧击穿电压,否则开关管就会被击穿损坏。所以测试电压上限Vgmax一般都会小于该栅氧击穿电压,一般都在5伏左右,本实施例中,设置初始的测试电压上限为5伏。为保证能够检测出开启电压,同时将测试电压下限Vgmin设置为0伏。目标电流是开关管在某一源端电压下,栅极电压达到开启电压时,漏极的电流。设定目标电流可以判断开关管是否达到开启电压,从而根据当前的测试电压获知开关管的开启电压。本实施例中,目标电流设为1微安。
S102:将测试电压设置为当前的测试电压上限和测试电压下限的总和乘以压缩系数,并测试开关管的漏端电流。也即,将测试电压设置为(Vgmax+Vgmin)*s,在该测试电压下,测试开关管的漏端电流ID。压缩系数s应当小于测试电压上限与所述总和的比值,也即s<Vgmax/(Vgmax+Vgmin),以达到压缩测试范围的目的。在首次测试时,所述当前的测试电压上限和测试电压下限分别为所述初始的测试电压上限和测试电压下限;
S103:判断所述漏端电流与所述目标电流的关系,若漏端电流大于目标电流,则执行步骤S104;若漏端电流小于目标电流,则执行步骤S105。当漏端电流ID大于目标电流时,说明测试电压较开启电压大;当漏端电流ID小于目标电流时,说明测试电压较开启电压小。
S104:将所述测试电压作为新的测试电压上限。由于测试电压较开启电压大,说明开启电压落在原来的测试电压下限与当前的测试电压之间。因此可以把测试电压作为新的测试电压上限以缩小测试范围。
S105:将所述测试电压作为新的测试电压下限。由于测试电压较开启电压小,说明开启电压落在原来的测试电压上限与当前的测试电压之间。因此可以把测试电压作为新的测试电压下限以缩小测试范围。
上述步骤中,也可能存在漏端电流等于目标电流的情况,此时测试电压直接就是开启电压。
在优选的实施例中,压缩系数优选为0.5,从而使得整个选择过程为二分法测试过程。在其他的实施例中,也可以选择其他的压缩系数,例如0.4、0.6等。S106:判断是否超过重复次数,若是,则执行步骤S107,否则执行步骤S102。上述步骤S102~S105可以重复数次,一般在3至7次,以将测试范围缩得更窄。以初始的测试电压上限为5伏,初始的测试电压下限为0伏为例,经过5次测试,可以将测试范围缩小至0.625~1.562伏之间。在上述步骤完成之后,可以得到一个测试电压范围,该测试电压范围的起始值和结束值分别为第一测试电压下限和第一测试电压上限。
S107:在第一测试电压下限至第一测试电压上限的范围内测试得到开关管的开启电压。本步骤包括两种方式。
一是从所述第一测试电压下限(例如0.625伏)开始,以固定步长逐步增加测试电压并测试出开关管的开启电压。
二是从所述第一测试电压上限(例如1.562伏)开始,以固定步长逐步减小测试电压并测试出开关管的开启电压。
上述的固定步长优选为0.1伏或者0.05伏。
上述方法,对于以设定程序来自动进行扫描测试电压、记录和比较漏端电流的系统来说,仅需要在其设定程序中加入计算和设置测试电压上限和测试电压下限的子程序即可。上述子程序仅通过少量的变量定义、公式计算以及循环语句即可实现。
上述方法,根据漏端电流和栅极电压之间存在的关系,重新确定并缩窄测试电压的选值范围,相比传统的直接从测试电压下限开始以固定步长增加测试电压的测试方式,能够大大缩短测试时间。
传统方法,从0伏开始,以0.05伏的步长进行扫描测试,至5伏共需100次扫描,每个步长的测试时间约为0.02秒。若开启电压为0.9伏,则共需18次扫描,耗时0.36秒。
本实施例的方法,计算新的测试电压的范围需要5次,也即进行5次扫描,从0.625伏开始,到达0.9伏的开启电压,也需要5次扫描,因此总共需要进行10次扫描,耗时约0.2秒。效率提高将近一倍。
上述方法中,预设的重复次数应当尽可能缩小测试电压的范围,同时也应当考虑重复次数对测试电压范围影响的程度。例如上述实施例中,经过5次扫描后,范围已经缩小到一定程度,测试电压上限和测试电压下限已经非常接近开启电压,在测试步长为0.05伏的前提下,按固定步长测试找到开启电压需要的次数很少,此时就没有必要继续增加测试次数以进一步缩小测试范围。当然,若测试步长更小,例如0.01伏,也可以考虑进一步增加测试次数以缩小测试范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种开关管的开启电压测试方法,其特征在于,包括如下步骤:
设定初始的测试电压上限、测试电压下限以及目标电流;
将测试电压设置为当前的测试电压上限和测试电压下限的总和乘以压缩系数,并测试开关管的漏端电流;所述压缩系数小于测试电压上限与所述总和的比值,所述当前的测试电压上限和测试电压下限在首次测试时分别为所述初始的测试电压上限和测试电压下限;
判断所述漏端电流与所述目标电流的关系,若漏端电流等于目标电流,则开关管的开启电压即为当前测试电压;若漏端电流大于目标电流,则将所述测试电压作为新的测试电压上限;若漏端电流小于目标电流,则将所述测试电压作为新的测试电压下限;
以新的测试电压上限或测试电压下限以及预设重复次数重复上述步骤,得到第一测试电压上限和第一测试电压下限;所述预设重复次数根据测试步长和第一测试电压上限、第一测试电压下限之间的关系确定;
在所述第一测试电压下限至第一测试电压上限的范围内测试得到开关管的开启电压。
2.根据权利要求1所述的开关管的开启电压测试方法,其特征在于,所述在第一测试电压下限至第一测试电压上限的范围内测试得到开关管的开启电压的步骤具体包括:从所述第一测试电压下限开始,以固定步长逐步增加测试电压并测试出开关管的开启电压。
3.根据权利要求1所述的开关管的开启电压测试方法,其特征在于,所述在第一测试电压下限至第一测试电压上限的范围内测试得到开关管的开启电压的步骤具体包括:从所述第一测试电压上限开始,以固定步长逐步减小测试电压并测试出开关管的开启电压。
4.根据权利要求1所述的开关管的开启电压测试方法,其特征在于,所述初始的测试电压上限为5伏,初始的测试电压下限为0伏,所述目标电流为1微安。
5.根据权利要求1所述的开关管的开启电压测试方法,其特征在于,所述重复的次数为3至7次。
6.根据权利要求1所述的开关管的开启电压测试方法,其特征在于,所述重复的次数为5次。
7.根据权利要求1至6任一项所述的开关管的开启电压测试方法,其特征在于,所述压缩系数为0.5。
8.根据权利要求2或3所述的开关管的开启电压测试方法,其特征在于,所述固定步长为0.1伏。
CN201310055209.3A 2013-02-20 2013-02-20 开关管的开启电压测试方法 Active CN103995222B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310055209.3A CN103995222B (zh) 2013-02-20 2013-02-20 开关管的开启电压测试方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310055209.3A CN103995222B (zh) 2013-02-20 2013-02-20 开关管的开启电压测试方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103995222A CN103995222A (zh) 2014-08-20
CN103995222B true CN103995222B (zh) 2017-02-01

Family

ID=51309440

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310055209.3A Active CN103995222B (zh) 2013-02-20 2013-02-20 开关管的开启电压测试方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103995222B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105988072B (zh) * 2015-02-15 2019-04-19 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 Mos晶体管的开启电压测试系统及测试方法
CN104820178B (zh) * 2015-04-09 2017-12-29 深圳深爱半导体股份有限公司 筛选转移特性曲线具有双线缺陷的场效应管的方法
CN111220888B (zh) * 2019-12-03 2022-04-22 海光信息技术股份有限公司 晶体管的开启电压的测试方法及测试装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101105518A (zh) * 2006-07-10 2008-01-16 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 半导体器件漏电流检测方法
CN102004218A (zh) * 2010-09-10 2011-04-06 上海宏力半导体制造有限公司 芯片可接受度测试方法
CN202083773U (zh) * 2011-01-18 2011-12-21 上海理工大学 半导体参数测试系统
CN102313866A (zh) * 2011-07-29 2012-01-11 杰群电子科技(东莞)有限公司 最小输出压降的二分步扫描测试方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002040091A (ja) * 2000-07-27 2002-02-06 Advantest Corp 半導体試験方法及びその試験方法を用いた半導体試験装置
JP5151392B2 (ja) * 2007-10-23 2013-02-27 パナソニック株式会社 過電圧保護素子の検査方法
JP5547579B2 (ja) * 2010-08-02 2014-07-16 株式会社アドバンテスト 試験装置及び試験方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101105518A (zh) * 2006-07-10 2008-01-16 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 半导体器件漏电流检测方法
CN102004218A (zh) * 2010-09-10 2011-04-06 上海宏力半导体制造有限公司 芯片可接受度测试方法
CN202083773U (zh) * 2011-01-18 2011-12-21 上海理工大学 半导体参数测试系统
CN102313866A (zh) * 2011-07-29 2012-01-11 杰群电子科技(东莞)有限公司 最小输出压降的二分步扫描测试方法

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
RF MEMS开关开启电压的计算方法研究;杨芳;《株洲师范高等专科学校学报》;20041031;第09卷(第05期);第41-42页 *
功率MOSFET测试仪的设计;张建芳等;《中国民航大学学报》;20090228;第27卷(第01期);第51-54页 *
用于非均匀掺杂MOS器件开启电压计算的改进方法;余志平等;《清华大学学报(自然科学版)》;19880430;第28卷(第04期);第70-77页 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN103995222A (zh) 2014-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7501848B2 (en) Method and apparatus for measuring leakage current
CN106372357B (zh) 一种GaN HEMT非线性噪声模型建立方法
CN106646180B (zh) 一种wat阈值电压测试方法及系统
CN103792473B (zh) 一种栅极开启电压的测量方法
CN112198411B (zh) 一种基于栅电压变化的igbt健康监测方法
KR20110030454A (ko) 태양 전지 출력 특성 평가 장치 및 태양 전지 출력 특성 평가 방법
CN103995222B (zh) 开关管的开启电压测试方法
CN103105571B (zh) 一种基于仿真的绝缘栅双极型晶体管的电流特性测定方法
CN103868973A (zh) 一种基于深能级瞬态谱技术的双极型器件电离辐射损伤缺陷检测方法
CN102955112B (zh) 对GaN基器件的直流稳态功率老化进行预筛选的方法
CN103954899B (zh) 一种实时测量二极管瞬态温升的方法
CN103105570B (zh) 一种开启电压的测试方法及系统
CN104007332B (zh) 开关管的衬底漏电测试方法
CN103278758A (zh) 一种大功率晶闸管关断特性测试方法及其测试装置
CN102004218A (zh) 芯片可接受度测试方法
CN102435817B (zh) MOS晶体管的栅极电压-1/f噪声曲线测量方法
CN103344851B (zh) GaN HEMT微波功率器件脉冲直流测试系统及方法
CN104214798A (zh) 一种点火器性能测试系统及方法
CN113063990B (zh) 一种杂散电容及功率半导体器件电流的计算方法
CN101752346B (zh) 高压mos器件栅氧化层可靠性的测试结构及方法
CN103487658A (zh) 高端电压自举n型开关导通电阻的检测电路
CN102074489B (zh) 一种多偏置下场效应晶体管栅漏电容的测试方法
CN203164244U (zh) 一种耐压测试仪的初级保护电路
WO2014082574A1 (zh) 一种ldmos器件热载流子注入效应的测试方法
CN103197238A (zh) 一种汽车继电器线圈释放能量测试方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant