CN103941390A - 电湿润元件的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种电湿润元件的制造方法，包括：于第一基板上形成第一电极层、疏水层、与挡墙，疏水层覆盖第一电极层，挡墙于第一基板上定义出至少一个像素区域；将非极性液体形成于疏水层上，且使非极性液体位于像素区域中；进行低温处理，低温处理的处理温度为15℃以下；将一极性液体覆盖于该低温处理过的该第一基板的该非极性液体上；提供第二基板；以及使第二基板与第一基板相对设置。
Description
技术领域
本发明是有关于显示元件或光学元件，且特别是有关于电湿润元件的制造方法。
背景技术
电湿润(electro-wetting)技术由于具有低耗电功率、广视角、高反射率、低驱动电压、结构简单，生产成本低等特点而广泛地应用于显示元件(display device)或液态光学偏折元件(liquid deflector)等领域。
电湿润元件是一种结构简单的显示元件，其包括上电极、下电极以及夹于两电极之间的极性液体层以及非极性液体层。详细而言，电湿润元件的多个画素区中都会有极性液体层以及非极性液体层。极性液体层以及非极性液体层的形成方法通常是先将非极性液体层形成于基板的多个画素区中，之后，再将基板浸入极性液体中，以形成极性液体层。然而，当将基板浸入极性液体中时，极性液体容易将非极性液体挤到邻近的画素区中或是扰动非极性液体层使其产生气泡，以致于工艺良率偏低。
发明内容
本发明一实施例提供一种电湿润元件的制造方法，包括：于一第一基板上形成一第一电极层；于第一基板上形成一疏水层，疏水层覆盖第一电极层；于第一基板上形成一挡墙，挡墙于第一基板上定义出至少一个像素区域；将一非极性液体形成于疏水层上，且使非极性液体位于像素区域中；进行一低温处理，以降低非极性液体的流动性或使非极性液体的黏度提高，或以低温处理使非极性液体的表面结霜，或使低温处理的温度低于非极性液体的凝固点使非极性液体凝固，低温处理的处理温度为15℃以下，将一极性液体覆盖于非极性液体上；提供一第二基板；以及使极性液体与非极性液体位于第二基板与第一基板之间。
本发明一实施例提供一种电湿润元件的制造方法，包括：于一第一基板上形成一第一电极层；于第一基板上形成一疏水层，疏水层覆盖第一电极层；于第一基板上形成一挡墙，挡墙于第一基板上定义出至少一个像素区域；将一非极性液体形成于疏水层上，且使非极性液体位于至少一个像素区域中；进行一低温处理，低温处理的处理温度为15℃以下；于一第二基板上形成一极性液体层；以及使第二基板与第一基板相对设置，且使极性液体与非极性液体位于第二基板与第一基板之间。
附图说明
图1A至图1D绘示本发明一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。
图2A至图2D绘示本发明另一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。
图3绘示本发明一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。
图4A至图4D绘示本发明又一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。
图5绘示本发明一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。
图6A至图6C绘示本发明又一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。
图7绘示本发明一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。
图8绘示本发明一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。
图9绘示本发明另一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。
100、200、400、600 电湿润元件
110 第一基板
112 像素区域
120 第一电极层
122 电极单元
130 疏水层
140 挡墙
150 非极性液体
160 极性液体
170 第二基板
180 第二电极
190 低温载板
310、510 低温系统
410 喷嘴
610 结霜层
142、152 表面
A 密封条
D1 介电层
S、S2 涂布喷头
S1 狭缝
T 厚度
具体实施方式
以下将详细说明本发明实施例的制作与使用方式。然应注意的是，本发明提供许多可供应用的发明概念，其可以多种特定型式实施。文中所举例讨论的特定实施例仅为制造与使用本发明的特定方式，非用以限制本发明的范围。此外，在不同实施例中可能使用重复的标号或标示。这些重复仅为了简单清楚地叙述本发明，不代表所讨论的不同实施例及/或结构之间具有任何关连性。再者，当述及一第一材料层位于一第二材料层上或之上时，包括第一材料层与第二材料层直接接触或间隔有一或更多其它材料层的情形。在图式中，实施例的形状或是厚度可能扩大，以简化或是突显其特征。再者，图中未绘示或描述的元件，可为所属技术领域中具有通常知识者所知的任意形式。
图1A至图1D绘示本发明一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。首先，请参照图1A，提供第一基板110。在一实施例中，第一基板110可为硬式基板，其材质可包括玻璃、石英或硅晶圆。在另一实施例中，第一基板110可为可挠式基板，例如是塑料基板、金属箔(metal foil)或可挠式薄玻璃，其中塑料基板的材质可包括聚对苯二甲酸乙二醇酯(poly(ethylene terephthalate)，PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(Polyethylenenaphthalate，PEN)、聚碳酸酯(Polycarbonate，PC)、聚醚砜(Polyethersulfone，PES)、聚亚醯胺(Polyimide，PI)或是其它的塑料材质。
接着，于第一基板110上形成第一电极层120。在一实施例中，第一电极层120具有多个彼此分离的电极单元122。在本发明一实施例中，第一电极层120的材质可包括金属、金属氧化物、金属合金或导电高分子，例如铝、银、氧化铟锡(indium tin oxide，ITO)、氧化铟锌(indium zinc oxide，IZO)、钼钨合金(molybdenum tungsten，MoW)、聚3，4-乙基二氧噻吩(Poly(3，4-ethylenedioxythiophene)，PEDOT)或是其它导电材料。
在一实施例中，可于第一电极层120上形成覆盖第一电极层120的介电层D1。介电层D1的材质可包括氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅(SiON)、氧化铝(Al2O3)、氧化钽(Ta2O3)、氧化钛(TiO2)、钛酸钡(barium titanate，BaTiO3)、聚偏二氟乙烯树脂(polyvinylidene difluoride，PVDF)、上述组合或其它介电是数大于2的高分子层。
之后，于介电层D1上形成疏水层130，疏水层130覆盖第一电极层120。疏水层130的材质可包括含氟高分子、类钻碳膜或自聚性硅烷分子。含氟高分子例如为TeflonAF-1600(公司：Dupont)、商品名称为”Cytop”的含氟高分子(公司：ASAHI Glass CO.，LTD)或商品名称为“Cytonix”的含氟高分子(公司：Cytonix corporation)。而自聚性硅烷分子包括十八烷基三氯硅烷(octadecyl trichlorosilane，OTS)、3，3，3-三氟丙基甲基二氯硅烷(3，3，3trifluoro-propylmethyldichlorosilane，PMDCS)、十三氟-1，1，2，2-四氢辛烷基三氯硅烷(tridecafluoro-1，1，2，2-tetrahydrooctyl trichlorosilane，FOTS)、十七氟-1，1，2，2-四氢癸烷基三氯硅烷(heptadecafluoro-1，1，2，2-tetrahydrodecyl trichlorosilane，FDTS)、癸烷基三氯硅烷(dodecyl trichlorosilane，DDTCS)、二甲基二氯硅烷(dimethyldichlorosilane，DDMS)、乙烯基十一烷基三氯硅烷(vinylundecyl tirchlorosilane，V11TCS)或胺基丙基三甲氧基硅烷(aminopropyl trimethoxysilane，APTMS)。
在另一实施例中，疏水层130的材质可亦具有介电性质，此时，疏水层130可同时兼具介电层的功用，故毋需另外形成介电层D1，而可直接将疏水层130形成于第一电极层120上。
接着，于第一基板110上形成挡墙140，挡墙140于第一基板110上定义出至少一个像素区域112。挡墙140的材质包括正光阻、负光阻、光固性光阻或热固性光阻。挡墙140的形成方法包括曝光显影、模具成型或网印成型。在一实施例中，挡墙可具有亲水性。
然后，将第一基板110置于低温载板190上，以冷却第一基板110。该载板可以是设备的载台(stage)或具有升温降温功能的可移动式平台机构。低温载板190的温度例如为15℃以下。在一实施例中，低温载板190的温度约为0℃至-50℃。在一实施例中，低温载板190的温度亦可为-10℃至-40℃，亦可为-40℃至-90℃，亦可为-90℃至-200℃。
之后，可选择移开或不移开低温载板190。图1B是绘示不移开低温载板190的实施例，但不限于此。请参照图1B，将一非极性液体150形成于疏水层130上，且使非极性液体150位于像素区域112中。形成于疏水层130上的非极性液体150的厚度T例如为1微米至50微米。
在本实施例中，将非极性液体150形成于疏水层130上的方法为狭缝式涂布(slit or slot die coating)(亦即，使非极性液体150自涂布喷头S的狭缝S1中挤出而涂布在疏水层130上)。在其它未绘示的实施例中，将非极性液体150形成于疏水层130上的方法包括喷墨印刷(inkjet print)涂布、喷嘴印刷(nozzle print)涂布、刮刀式涂布(blade coating)、斜板式涂布(slide coating)、浸渍涂布(dip coating)或其它方法。
此时，形成在挡墙140上的非极性液体150会受表面性质的影响而倾向流向疏水层130(亦即，流入像素区域112中，如第1C图所示)。冷却的第一基板110会使非极性液体150的温度下降且流动性降低，进而使非极性液体150固定在第一基板110上。
非极性液体150的材质包括硅油(silicon oil)或C10～C16的烷类，C10～C16的烷类包括癸烷、十二烷、十四烷、十六烷或是上述材料组合的混合物。在一实施例中，非极性液体150中含有颜料或染料。
前述将第一基板110置于低温载板190上只是冷却非极性液体150的其中一种方法，但不限于此，亦可以其它适合的方法冷却非极性液体150。
之后，请参照图1C，将承载有冷却的非极性液体150的第一基板110浸入极性液体160中。由于冷却后的非极性液体150的流动性相当低，因此，在浸入极性液体160时，不易因受到极性液体160的扰动或挤压而溢流到邻近的像素区域112中或是产生气泡，故可大幅提升工艺良率。
另外，形成极性液体160覆盖第一基板110上的非极性液体150的方法除了将第一基板110浸入极性液体160(浸渍涂布)外，也可以藉由例如喷墨印刷涂布、喷嘴印刷涂布、狭缝式涂布、刮刀式涂布、斜板式涂布等其它方法，形成极性溶液160覆盖第一基板110上的非极性液体150与挡墙140。
极性液体160可包括水、水溶液或醇类，此外，于极性液体160之中尚可加入电解质，例如氯化钾(KCl)或氯化钠(NaCl)以增加离子导电度，另外，也可加入界面活性剂(surfactant)，用以降低溶液的表面张力。
然后，请同时参照图1C与图1D，提供第二基板170，并于第二基板170上形成第二电极180。可于第二基板170的周边区172上形成密封条A。
将第二基板170放入极性液体160中，使第二基板170与第一基板110相对设置，并将极性液体160与非极性液体150夹于第二基板170与第一基板110之间，且密封条A连接于第一基板110与第二基板170之间，此时，已初步完成电湿润元件100的制造。之后，将组立好的电湿润元件100移出极性液体160。
图2A图至图2D绘示本发明另一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。本实施例的电湿润元件的工艺相似于图1A至图1D的电湿润元件的工艺，因此，本实施例的与图1A至第1D图的结构相同者不再予以赘述。本实施例与图1A至图1D的实施例的差异在于本实施例是在将非极性液体150形成于疏水层130上之后，才对非极性液体150进行低温处理。
请参照图2A，将非极性液体150形成于疏水层130上。然后，将第一基板110置于低温载板190上(如图2B所示)、或是置于一低温系统310(如图3所示)或一低温环境中、或以低温流体喷洒于非极性液体上(未绘示)，以冷却非极性液体150。低温载板190(或低温系统310、低温环境、低温流体喷洒)的温度例如为15℃以下。在一实施例中，低温载板190(或低温系统310、低温环境、低温流体喷洒)的温度约为0℃至-50℃。在一实施例中，低温载板190(或低温系统310、低温环境、低温流体喷洒)的温度亦可为-10℃至-40℃，亦可为-40℃至-90℃，亦可为-90℃至-200℃。在一实施例中，低温系统310例如为冰箱或冰柜，低温环境例如为一充满液态氮的环境，低温流体喷洒例如为以液态氮喷洒于非极性液体上。
之后，请参照图2C，将承载有冷却的非极性液体150的第一基板110浸入极性液体160中。然后，请同时参照图2C与图2D，提供第二基板170，并于第二基板170上形成第二电极180。可于第二基板170的周边区172上形成密封条A。
将第二基板170放入极性液体160中，使第二基板170与第一基板110相对设置，并将极性液体160与非极性液体150夹于第二基板170与第一基板110之间，且密封条A连接于第一基板110与第二基板170之间，此时，已初步完成电湿润元件200的制造。之后，将组立好的电湿润元件200移出极性液体160。
图4A至图4D绘示本发明又一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。本实施例的电湿润元件的工艺相似于图1A至图1D的电湿润元件的工艺或是图2A至图2D的电湿润元件的工艺，因此，本实施例的与图1A至图1D或图2A至图2D的结构相同者不再予以赘述。本实施例与图2A至图2D的实施例的差异在于本实施例是以喷墨印刷涂布的方式将非极性液体150形成于疏水层130上。
请参照图4A图，以喷墨印刷涂布的方式将非极性液体150形成于疏水层130上。详细而言，喷墨印刷涂布为藉由多个对应像素区域112的喷嘴410将非极性液体150喷至像素区域112中。
然后，请参照图4B，将第一基板110置于低温载板190上(如图4B所示)、或是置于低温系统510(如图5所示)或低温环境中、或以低温流体喷洒于非极性液体上(未绘示)，以冷却非极性液体150。低温载板190(或低温系统510、低温环境、低温流体喷洒)的温度例如为15℃以下。在一实施例中，低温载板190(或低温系统510、低温环境、低温流体喷洒)的温度约为0℃至-50℃。在一实施例中，低温载板190(或低温系统510、低温环境、低温流体喷洒)的温度亦可为-10℃至-40℃，亦可为-40℃至-90℃，亦可为-90℃至-200℃。
之后，请参照图4C，将承载有冷却的非极性液体150的第一基板110浸入极性液体160中。然后，请同时参照图4C与图4D，提供第二基板170，并于第二基板170上形成第二电极180。可于第二基板170的周边区172上形成密封条A。
将第二基板170放入极性液体160中，使第二基板170与第一基板110相对设置，并将极性液体160与非极性液体150夹于第二基板170与第一基板110之间，且密封条A是连接于第一基板110与第二基板170之间，此时，已初步完成电湿润元件400的制造。之后，将组立好的电湿润元件400移出极性液体160。
图6A至图6C绘示本发明又一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。本实施例的电湿润元件的工艺相似于图1A至图1D的电湿润元件的工艺或是图2A至图2D的电湿润元件的工艺，因此，本实施例的与图1A至图1D或图2A至图2D的结构相同者不再予以赘述。本实施例是特别介绍低温处理后的非极性液体150的表面152上形成结霜层610的情况。
详细而言，可先进行例如图2A所示的工艺以及对非极性液体150进行低温处理，之后，请参照图6A，低温处理后的非极性液体150的表面152上会形成结霜层610，且结霜层610可固定非极性液体150。在一实施例中，结霜层610会全面形成在非极性液体150的表面152以及挡墙140的表面142上。
在一实施例中，在进行低温处理时，可使非极性液体150处于一第一相对湿度中，并且，在低温处理之后，使非极性液体150处于一第二相对湿度中，其中第二相对湿度大于或等于第一相对湿度。第一相对湿度例如约为20％，第二相对湿度例如约为20％～100％。
在一实施例中，可将非极性液体150置于一冰柜(未绘示)中以进行低温处理，之后，在将其自冰柜中取出，此时，非极性液体150的表面152上即会形成结霜层610。
之后，请参照图6B，将承载有结霜层610以及非极性液体150的第一基板110浸入极性液体160中，此时，结霜层610可有助固定非极性液体150，且结霜层610可在浸入极性液体160中之后融化。然后，请参照图6C，进行如同图2C与图2D所述的步骤，此时，已初步完成电湿润元件600的制造。
图7绘示本发明一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。本实施例的电湿润元件的工艺相似于图2A至图2D的电湿润元件的工艺，因此，本实施例的与图2A至图2D的工艺相同者不再予以赘述，本实施例仅绘示与图2A至图2D的实施例不同的步骤。
本实施例是在将非极性液体150形成于疏水层130上之前，冷却非极性液体150。举例来说，如图7所示，可先将非极性液体150置于涂布装置中，并以涂布装置对非极性液体150进行低温处理，之后，以涂布装置将非极性液体150涂布于疏水层130上。涂布装置例如为涂布模具、涂布机台、涂布喷头S、或是喷嘴(如图4A所示的喷嘴410)。之后，可进行如同图2C、2D所示的步骤。
此外，在一实施例中，亦可在将非极性液体150形成于疏水层130上之前，将非极性液体150储存于一低温储存槽(未绘示)中，以对非极性液体150进行低温处理。
图8绘示本发明一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。本实施例的电湿润元件的工艺相似于图2A至图2D的电湿润元件的工艺，因此，本实施例的与图2A至图2D的工艺相同者不再予以赘述，本实施例仅绘示与图2A至图2D的实施例不同的步骤。
本实施例是以狭缝式涂布的方式形成极性液体160。举例来说，如图8所示，可以涂布喷头S2来涂布极性液体160。此外，亦可以喷墨印刷涂布、喷嘴印刷式涂布、刮刀式涂布、斜板式涂布等方式来形成极性液体160。
在图8的实施例中，进行低温处理的时机可为下列三者其中之一：(1)在形成挡墙140之后，先进行低温处理，然后才形成非极性液体150与极性液体160；(2)在形成挡墙140之后，先形成非极性液体150，然后，进行低温处理，之后，形成极性液体160；(3)在形成挡墙140之后，先形成非极性液体150与极性液体160，然后，进行低温处理。进行低温处理的方法可为前述多个实施例所述的方法。
图8的实施例是将极性液体160形成在第一基板110上。在另一实施例(如图9所示)中，可将极性液体160形成在第二基板170上，之后与第一基板110相对设置(如图1D所示)，使极性液体160与非极性液体150位于第二基板170和第一基板110间，极性液体160形成在第二基板170上的方法包括浸渍涂布、喷墨印刷涂布、喷嘴印刷涂布、狭缝式涂布、刮刀式涂布、或斜板式涂布等方式。或者是，可分别在第一基板110与第二基板170上各形成一层极性液体160(如图8、9所示)，之后，在对组第一基板110与第二基板170，以使极性液体160与非极性液体150位于第二基板170和第一基板110之间。
本发明的实施例可藉由在将极性液体覆盖于非极性液体上之前，进行低温处理以降低非极性液体的流动性或使非极性液体的黏度提高，或以低温处理使非极性液体的表面结霜，或使低温处理的温度低于非极性液体的凝固点使非极性液体凝固，因此，非极性液体不易因受到极性液体的扰动或挤压而溢流到邻近的像素区域中或是产生气泡，故可大幅提升工艺良率。
本发明虽以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明的范围，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可做些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的权利要求所界定者为准。
Claims (24)
1.一种电湿润元件的制造方法，包括：
于第一基板上形成第一电极层；
于该第一基板上形成疏水层，该疏水层覆盖该第一电极层；
于该第一基板上形成挡墙，该挡墙于该第一基板上定义出至少一个像素区域；
将非极性液体形成于该疏水层上，且使该非极性液体位于该至少一个像素区域中；
进行低温处理，该低温处理的处理温度为15℃以下；
将极性液体覆盖于该低温处理过的该非极性液体上；
提供第二基板；以及
使该第二基板与该第一基板相对设置，且使该极性液体与该非极性液体位于该第二基板与该第一基板之间。
2.如权利要求1所述的电湿润元件的制造方法，其中该低温处理的处理温度为0℃至-50℃。
3.如权利要求1所述的电湿润元件的制造方法，其中该低温处理包括将第一基板置于低温载板上、低温系统中、低温环境中或以低温流体喷洒。
4.如权利要求1所述的电湿润元件的制造方法，其中该低温处理的步骤包括：
在将该非极性液体形成于该疏水层上之前，冷却该第一基板。
5.如权利要求4所述的电湿润元件的制造方法，其中冷却该第一基板的步骤包括：
将该第一基板置于低温载板上、低温系统中、低温环境中或以低温流体喷洒。
6.如权利要求1所述的电湿润元件的制造方法，其中该低温处理的步骤包括：
在将该非极性液体形成于该疏水层上之前开始冷却该第一基板，并持续冷却该第一基板至该非极性液体层形成结束。
7.如权利要求6所述的电湿润元件的制造方法，其中冷却该第一基板的步骤包括：
将该第一基板置于低温载板上、低温系统中、低温环境中或以低温流体喷洒。
8.如权利要求1所述的电湿润元件的制造方法，其中该低温处理是于在该非极性液体形成于该疏水层上之后进行。
9.如权利要求8所述的电湿润元件的制造方法，其中该低温处理的步骤包括：
将该第一基板置于低温载板上、低温系统中、低温环境中或以低温流体喷洒于该第一基板的该非极性液体上。
10.如权利要求1所述的电湿润元件的制造方法，其中将该非极性液体形成于该疏水层上的方法包括狭缝式涂布、喷墨印刷涂布、转印技术、喷嘴印刷涂布、刮刀式涂布或浸渍涂布。
11.如权利要求1所述的电湿润元件的制造方法，其中使该极性液体覆盖该第一基板的该非极性液体的方法包括浸渍涂布、喷墨印刷涂布、喷嘴印刷涂布、狭缝式涂布、刮刀式涂布或斜板式涂布。
12.如权利要求1所述的电湿润元件的制造方法，还包括将该极性液体覆盖于该第二基板上，其中该覆盖方法包括浸渍涂布、喷墨印刷涂布、喷嘴印刷涂布、狭缝式涂布、刮刀式涂布或斜板式涂布。
13.如权利要求1所述的电湿润元件的制造方法，还包括：
于该第二基板的一周边区上形成密封条，且在使该第二基板与该第一基板相对设置之后，该密封条连接于该第一基板与该第二基板之间。
14.如权利要求1所述的电湿润元件的制造方法，其中该非极性液体包括硅油或C10～C16的烷类。
15.如权利要求14所述的电湿润元件的制造方法，其中该C10～C16的烷类包括癸烷、十二烷、十四烷、十六烷或是上述材料组合的混合物。
16.如权利要求1所述的电湿润元件的制造方法，其中形成于该疏水层上的该非极性液体的厚度为1微米至50微米。
17.如权利要求1所述的电湿润元件的制造方法，其中在进行该低温处理后，该非极性液体的表面上形成结霜层。
18.如权利要求1所述的电湿润元件的制造方法，其中在进行该低温处理时，该非极性液体处于一第一相对湿度中，在该低温处理之后，使该非极性液体处于一第二相对湿度中，其中该第二相对湿度大于或等于该第一相对湿度。
19.如权利要求1所述的电湿润元件的制造方法，其中该低温处理的步骤包括：
在将该非极性液体形成于该疏水层上之前，冷却该非极性液体。
20.如权利要求19所述的电湿润元件的制造方法，其中冷却该非极性液体的步骤包括：
在将该非极性液体形成于该疏水层上之前，将该非极性液体储存于一低温储存槽中。
21.如权利要求19所述的电湿润元件的制造方法，其中冷却该非极性液体的步骤包括：
在将该非极性液体形成于该疏水层上之前，将该非极性液体置于一涂布装置中，并以该涂布装置对该非极性液体进行该低温处理，之后，以该涂布装置将该非极性液体涂布于该疏水层上。
22.如权利要求21所述的电湿润元件的制造方法，其中该涂布装置包括涂布模具、涂布机台、涂布喷头或是喷嘴。
23.一种电湿润元件的制造方法，包括：
于第一基板上形成第一电极层；
于该第一基板上形成疏水层，该疏水层覆盖该第一电极层；
于该第一基板上形成挡墙，该挡墙于该第一基板上定义出至少一个像素区域；
将非极性液体形成于该疏水层上，且使该非极性液体位于该至少一个像素区域中；
进行低温处理，该低温处理的处理温度为15℃以下；
于第二基板上形成极性液体层；以及
使该第二基板与该第一基板相对设置，且使该极性液体与该非极性液体位于该第二基板与该第一基板之间。
24.如权利要求23所述的电湿润元件的制造方法，还包括：
在进行过该低温处理之后，并在使该第二基板与该第一基板相对设置之前，在该第一基板上形成第二极性液体以覆盖该低温处理过的该非极性液体。
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