CN103906576A - 薄膜形成方法 - Google Patents

Abstract

使多个喷嘴（23）的喷出口接近作为喷出检查用被记录体的显像层薄膜（28），一边使显像层薄膜（28）与多个喷嘴（23）相对移动，一边从多个喷嘴（23）喷出墨水而进行试验涂布。接着，在试验涂布时，进行通过各个喷嘴（23）而描绘的轨迹的线宽测定。接着，一边使供给至喷嘴（23）的墨水的流量变化，一边反复进行试验涂布及线宽测定，求出使通过各个喷嘴（23）而描绘的轨迹的线宽相同那样的、供给至喷嘴（23）的流量的组合。通过使用所求出的流量的组合喷出墨水，能够使墨水的喷出量固定。

Description

薄膜形成方法

技术领域

本发明涉及薄膜形成方法，更具体而言，涉及能够在有机电致发光（EL）元件的功能层的形成中利用的薄膜形成方法。

背景技术

近年来，关注利用了喷墨法的成膜技术。喷墨法能够根据所使用的头的分辨率而将微量的墨水（ink）喷出至期望的位置，因此具有容易形成微细的图案、容易形成具有期望膜厚的薄膜的优点。利用该优点，喷墨法能够利用于需要微细的分色涂布的有机EL元件、彩色滤光片（colour filter）的制造等。另外，提出了如下技术：将糊状的功能性材料从具有微小的单个或多个喷出口的喷嘴连续地喷出，在基板上形成规定的图案。

在将喷墨法或喷嘴法应用于有机EL元件的制造的情况下，具有如下优点：通过使所需要的量的EL材料分散或溶解于规定的溶剂中而将其墨水化，与蒸镀法或溅射法相比，能够提高EL材料的利用率。

然而，在喷嘴法中，在通过一个喷嘴进行涂布的情况下，基板尺寸越大产距时间（takt time）越长，因此生产率降低。虽然可通过使用多个喷嘴来缩短产距时间而提高生产率，但若各个喷嘴的喷出量产生偏差，则所形成的功能膜的膜厚产生偏差，在有机EL元件的情况下，成为发光不均的原因。

作为调节多个喷嘴的各自的喷出量的方法，提出有如下方法：将蓄留在一个供给源中的功能液向多个喷嘴分支供给，从各个喷嘴向基材上同时涂布，由此在多个位置同时涂布功能液。为了从喷嘴喷出准确的喷出量，需要对从喷嘴喷出的实际喷出流量进行测量和管理。例如，从喷嘴喷出的实际喷出流量通过从该喷嘴向规定容器内喷出的、单位喷出时间内的喷出到该容器内的重量而测定（例如，参见专利文献1）。

专利文献1：日本特开2006－205024号公报

发明内容

但是，在从多个喷嘴同时喷出的涂布装置的情况下，需要在每个喷嘴系统中进行上述的实际喷出流量的测定，并分别导出关系式。另外，为了导出高精度的关系式，需要对一个喷嘴系统进行流量不同的多个点的实际喷出流量的测量。另外，在具有多个喷嘴的涂布装置中，在改变所涂布的功能液的情况下，在改变功能液后也需要进行实际喷出流量的测定，因此涂布装置的流量管理工时增大。另外，若涂布装置的实际喷出流量测量时间变长，则存在由于喷出到容器内的功能液中的溶剂蒸发而导致实际喷出流量变动的情况，从而有可能难以测量准确的实际喷出流量。

因此，本发明的目的在于提供一种薄膜形成方法，该方法能够容易地调节从各个的多个喷嘴喷出的液体的喷出量。

本发明涉及一种薄膜形成方法，其中，使用多个喷嘴对在基材上划分出的多个区域涂布墨水而形成薄膜。本发明的薄膜形成方法包括如下步骤：使多个喷嘴的喷出口接近试验用基材的表面，一边使试验用基材与多个喷嘴相对移动，一边从多个喷嘴喷出墨水而进行试验涂布的步骤；在试验涂布时，测定通过各个的多个喷嘴而描绘的轨迹的线宽的步骤；一边使供给至各个的多个喷嘴的墨水的流量变化，一边重复进行试验涂布的步骤、和测定线宽的步骤，并求出使通过各个的多个喷嘴而描绘的轨迹的线宽相同那样的、供给至各个的多个喷嘴的墨水流量的组合的步骤；以及使多个喷嘴接近基材的表面，一边使基材与多个喷嘴相对移动，一边使用在求出流量的组合的步骤中求出的流量的组合而从多个喷嘴向基材上喷出墨水的步骤。

或者，本发明的薄膜形成方法包括如下步骤：使多个喷嘴的喷出口接近试验用基材的表面，一边使试验用基材与多个喷嘴相对移动，一边从多个喷嘴喷出墨水而进行试验涂布的步骤；在试验涂布时，测定通过各个的多个喷嘴而描绘的轨迹的线宽的步骤；一边使多个喷嘴与试验用基材的相对移动速度变化，一边重复进行试验涂布的步骤、和测定线宽的步骤，并求出使通过各个的多个喷嘴而描绘的轨迹的线宽相同那样的、多个喷嘴的相对移动速度的组合的步骤；以及使多个喷嘴接近基材的表面，一边以在求出相对移动速度的组合的步骤中求出的相对移动速度使多个喷嘴与基材相对移动，一边从多个喷嘴向基材上喷出墨水的步骤。

根据本发明，在使用多个喷嘴涂布墨水而形成薄膜时，基于涂布于试验涂布部上的涂布轨迹的线宽，调节各喷嘴的喷出量，由此能够减少所形成的薄膜的膜厚不均。

附图说明

图1是实施方式的有机EL元件基板的剖视图。

图2是使用了喷嘴涂布法的薄膜形成装置的概略图。

图3是喷嘴头截面的详细图。

图4是试验喷出装置的概略图。

图5是表示线宽与流量之间的关系（调节前）的图。

图6是表示线宽与流量之间的关系（调节后）的图。

图7是表示速度与喷出量之间的关系的图。

图8是表示线宽与流量之间的关系（调节前）的图。

图9是表示线宽与流量之间的关系（调节后）的图。

具体实施方式

以下，参见附图说明本发明的优选实施方式。在以下的说明中，基于使用喷嘴涂布装置制造有机EL元件基板的例子说明本发明，但本发明不限于有机EL，可合适地利用于形成其他显示器件的构成显示画面的光学部件。作为有机EL以外的光学部件，可例举彩色滤光片、电路基板、薄膜晶体管、微透镜（microlens）、生物芯片等。

以下，将有机EL元件所包含的空穴注入层、空穴传输层和有机发光层的图案形成体总称为功能层，使用图1来说明使用上述实施方式的涂布装置而形成该功能层的情况。

（基板的准备）

有机EL元件形成于基板上。作为基板，优选使用透光性基板1。作为透光性基板1，可使用玻璃基板、塑料制的薄膜或片材。在使用塑料制的薄膜的情况下，能够在制造高分子EL元件时进行卷绕，能够提供廉价的显示面板。作为塑料制的薄膜，例如可使用聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、环烯烃聚合物、聚酰胺、聚醚砜、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯等。另外，优选在这些薄膜中根据需要而设置表现水蒸气阻隔性、氧阻隔性的、由氧化硅等金属氧化物、氮化硅等氮氧化物或聚偏氯乙烯、聚氯乙烯、乙烯－乙酸乙烯酯共聚物皂化物构成的阻隔层。

（像素电极的制作）

在透光性基板1之上，作为阳极而设置经图案形成（patterning）的像素电极2。作为像素电极2的材料，可使用ITO（铟锡复合氧化物）、IZO（铟锌复合氧化物）、氧化锡、氧化锌、氧化铟、氧化铝复合氧化物等透明电极材料等。需要说明的是，在这些电极材料中，从低电阻、具有耐溶剂性、具有透明性等方面考虑，优选使用ITO。ITO通过溅射法而形成在透光性基板上，通过光刻法进行图案形成而成为线状的像素电极2。

（隔壁的制作）

在形成线状的像素电极2后，在相邻的像素电极2之间形成隔壁3。隔壁3在基板及检查用基板上设置成格子状或条纹状。被隔壁3包围的各区域成为通过喷嘴涂布而形成墨水的薄膜的对象即喷出区域。隔壁3使用感光性材料通过光刻法形成。作为形成隔壁3的感光性材料，可以是正性抗蚀剂，也可以是负性抗蚀剂，但需要具有绝缘性。在隔壁3不具有充分的绝缘性的情况下，电流穿过隔壁而在相邻的像素电极中流动从而产生显示不良。具体而言，可以列举聚酰亚胺类、丙烯酸树脂类、线型酚醛树脂（novolac resin）类、烯烃类等的材料，但不限定于这些材料。另外，出于提高有机EL元件的显示品质的目的，可以使感光性材料含有遮光性的材料。另外，通过在隔壁材料中适当添加含氟化合物、含硅化合物等防墨剂，能够使其具有适度的防墨性。

希望本实施方式的隔壁3的厚度（高度）是0.5～5.0μm。通过在相邻的像素电极2之间设置隔壁3，能够抑制在各像素电极上印刷的空穴传输墨水的扩散，并且能够防止从透明导电膜端部产生的短路。若隔壁过低，则有可能无法得到短路防止效果，需要特别注意。

（空穴注入层墨水的调节）

说明用于形成空穴注入层4的墨水调节。所形成的空穴注入层4的体积电阻率从发光效率的观点出发优选为1×10⁶Ω·cm以下。空穴注入材料可以从铜酞菁、四（叔丁基）酞菁铜等金属酞菁类或非金属酞菁类、喹吖啶酮化合物、1，1－双（4－二对甲苯基氨基苯基）环己烷、N，N’－二苯基－N，N’－双（3－甲基苯基）－1，1’－联苯（biphenyl）－4，4’－二胺、N，N’－二（1－萘基）－N，N’－二苯基－1，1’－联苯－4，4’－二胺等芳香族胺类低分子空穴注入传输材料、聚（对苯撑乙烯）（poly(p-phenylene vinylene)）、聚苯胺等高分子空穴注入材料、聚噻吩低聚物材料、其他已知的空穴注入材料中选择。

作为使空穴注入材料溶解或分散的溶剂，例如可以列举氯仿、二氯甲烷、二氯乙烷、三氯乙烯、二氯乙烯、四氯乙烷、氯苯等卤素类溶剂、N－甲基－2－吡咯烷酮（NMP）、二甲基甲酰胺（DMF）、二甲基乙酰胺（DMAc）、二甲基亚砜（DMSO）等非质子性极性溶剂、丙二醇单丁基醚、二丙二醇单甲基醚、二丙二醇单乙基醚等烷氧基醇等极性溶剂等。

（空穴传输层墨水的制作）

说明用于形成空穴传输层5的墨水调节。作为空穴传输性物质，例如可列举聚（N－乙烯基咔唑）（以下也称为PVK）、聚（对苯撑乙烯）、咔唑联苯（以下，也称为CBP）、N，N’－二苯基－N，N’－双（1－萘基）－1，1’－联苯－4，4’－二胺（以下也称为NPD）、N，N’－二苯基－N，N’－双（3－甲基苯基）－1，1’－联苯－4，4’－二胺（以下也称为TPD）、4，4’－双（10－吩噻嗪基）联苯、2，4，6－三苯基－1，3，5－三唑、聚芴衍生物、三苯基胺与芴的共聚物等。

作为形成空穴传输层的功能性墨水的溶剂，可以列举甲基异丙基苯（cymene）、四氢萘、枯烯、十氢萘、杜烯、环己基苯、二己基苯、四甲基苯、及二丁基苯等。

（有机发光层墨水的制作）

说明用于形成有机发光层6的墨水调节。有机发光层6是通过使电流流动而发光的层。作为形成有机发光层6的有机发光材料，例如可以列举使香豆素类、苝类、吡喃类、蒽酮类、卟啉类、喹吖啶酮类、N，N’－二烷基取代喹吖啶酮类、萘酰亚胺（Naphthalimide）类、N，N’－二芳基取代吡咯并吡咯类、铱络合物类等发光性色素分散于聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯咔唑等高分子中而成的材料；聚芳撑（polyarylene）类、聚芳撑乙烯（polyarylenevinylene）类、聚芴类的高分子材料。作为形成有机发光层6的功能性墨水的溶剂，可以列举甲基异丙基苯（cymene）、四氢萘、枯烯、十氢萘、杜烯、环己基苯、二己基苯、四甲基苯、及二丁基苯等。

（空穴注入层的形成）

对形成了隔壁3的基板1通过后述的喷嘴涂布法喷出包含空穴注入材料的功能性墨水，形成空穴注入层4。

（空穴传输层的形成）

在形成空穴注入层4后，通过后述的喷嘴涂布法喷出包含空穴传输性物质的功能性墨水而形成空穴传输层5。

（有机发光层的形成）

在形成空穴传输层5后，通过后述的喷嘴涂布法喷出包含有机发光材料的功能性墨水而形成有机发光层6。

（阴极层的形成）

在形成有机发光层6后，以与像素电极2的线图案（line pattern）正交的线图案形成阴极层7。作为阴极层7的材料，可使用与有机发光层6的发光特性相应的材料，例如可以列举锂、镁、钾、镱、铝等金属单质或它们与金、银等稳定金属的合金等。另外，也可使用铟、锌、锡等导电性氧化物。作为阴极层的形成方法，可以列举基于使用了掩模的真空蒸镀法的形成方法。

（密封工序的说明）

最后，为了保护这些有机EL结构体不受外部的氧气和水分的影响，使用玻璃盖8和粘接剂9而进行密闭密封，从而能够获得有机EL显示面板。作为密封方式，只要能够保护有机EL结构体不受外部的氧气和水分的影响，即可采用任意方法。另外，在透光性基板1具有挠性的情况下，可以使用密封剂和挠性薄膜进行密封。

需要说明的是，在本实施方式的有机EL元件中，是在作为阳极的像素电极2与阴极层7之间从阳极层侧开始按顺序层合有空穴注入层4、空穴传输层5和有机发光层6的结构，但也可采用如下层合结构：在阳极层与阴极层之间，除了空穴传输层5、有机发光层6以外，根据需要设置空穴阻隔层、电子传输层、电子注入层等层。另外，在形成这些层时可适用与有机发光层6相同的形成方法。

（喷嘴涂布装置的结构）

以下，参见图2来说明在空穴注入层、空穴传输层、有机发光层的形成中使用的喷嘴涂布装置的结构例，但本发明不限定于此。

图2所示的喷嘴涂布装置具有墨水供给箱10、墨水供给管12、流量计16、流量控制阀15、和喷嘴头13。填充在墨水供给箱10中的墨水11从墨水供给管12的内部通过而向喷嘴头13供给。墨水11向喷嘴头13的供给通过利用加压器14对墨水供给箱10内进行加压将墨水11从墨水供给箱10压出而进行。在墨水供给箱10与喷嘴头13之间配置有：用于控制墨水11的喷出量的流量控制阀15、和用于测定向喷嘴头13供给的墨水11的流量的流量计16。流量控制阀15基于来自流量计16的信息（即墨水流量）而被控制，能够调节墨水流量，因此能够获得稳定的希望的墨水流量。在喷嘴涂布装置上设有多个喷嘴头13的情况下，从喷嘴头13至墨水供给箱10的结构也设置多组。

另外，喷嘴涂布装置具有：载置台（table）17；和配置在载置台17上、且能够在载置台17上沿X方向及与该X方向正交的Y方向自由移动的可动工作台19。通过一边从喷嘴头13的喷出口喷出墨水11一边使可动工作台19向Y方向或Y’方向（或者X方向或X’方向）移动，能够连续地在配置于可动工作台19上的透光性基板18上形成涂膜。例如，在可动工作台19上配置呈条纹状地设有相互平行且沿X方向延伸的多个像素形成区域的透光性基板18，使可动工作台19与喷嘴头13沿Y方向相对移动。此时，基于可动工作台19和喷嘴头13的位置信息等，使可动工作台19与喷嘴头13的移动同步，在R（Red）或G（Green）或B（Blue）的一个像素形成区域连续地涂布墨水11，形成涂膜。然后，在R或G或B的一个像素形成区域形成涂膜后，使可动工作台19与喷嘴头13沿X方向相对移动，在下一像素形成区域形成涂膜。

接着，参见图3的喷嘴头剖视图说明喷嘴头。墨水11从墨水供给管12进入由SUS（不锈钢）等制成的圆柱或长方体状的壳体22。壳体22通常为金属制，但只要具有耐墨水性，则可以使用任意材质。壳体22内部成为歧管（manifold），从开设有直径5微米至20微米左右的微小的孔的喷嘴23向透光性基板18喷出液柱25。喷嘴通常为聚酰亚胺等的薄膜，但只要能够高精度地开设孔，则可以是任意材质。

考虑到由墨水干燥引起的喷嘴阻塞或喷射弯曲，优选使从喷嘴喷出的墨水连续地喷出。因此，有时将不希望喷出的部分等遮蔽或设置虚拟图案，但只要作为面板没有问题，则可以采用任意方法。

（试验涂布装置的结构）

图4中示出本发明的进行试验涂布的试验涂布装置的概略结构。

图4所示的试验涂布装置至少具有：显像层薄膜28；线宽检查部34，其用于光学地获取记录在显像层薄膜28上的线宽检查用图像的信息；图像信息处理部32，其用于根据由线宽检查部34获取的图像信息检查线宽；薄膜部36，其进行显像层薄膜28的送出及卷收；以及控制部（未图示），其用于控制上述部件的动作。

显像层薄膜28是用于制作从多个喷嘴喷出墨水而描绘的轨迹状的线宽检查用图像35的、线宽检查用被记录体。作为显像层薄膜28，通常可使用市场出售的普通的显像层薄膜28。例如可使用，作为透明薄膜而使用PET（聚对苯二甲酸乙二醇酯）薄膜、作为显像层而设有使微细的颜料均匀地分散而成的涂布层的显像层薄膜，但可以根据所使用的功能液的类型、薄膜移动机构的规格等条件而适当选择。

记录在显像层薄膜28上的线宽检查用图像35通过驱动辊37而向线宽检查部34所处的部位移动。在线宽检查部34处，线宽检查用的拍摄装置27获取线宽检查用图像来作为图像信息，并将该图像信息向图像信息处理部32传送。在拍摄装置27获取检查用图像的信息时，照明装置29亮灯而照射记录在显像层薄膜上的检查用图像，由此提供对比度，从而清楚地识别并获取检查用图像的形状。也可以将照明装置29设置在比显像层薄膜靠拍摄装置侧的位置、或仅利用外部光线而使拍摄装置27获取图像。另外，当获取图像信息时，即使记录在显像层薄膜28上的检查用图像微细，也能够通过适当选择图像信息检测部的光学拍摄装置的分辨率、视场角等而进行应对。

显像层薄膜28与喷嘴的间距设置成，与在喷嘴涂布装置的工作台上放置基材的情况下的基材与喷嘴的间距相等。另外，试验涂布装置设置成，显像层薄膜的驱动方向与喷嘴涂布装置的喷嘴的驱动方向垂直。涂布装置和试验涂布装置相邻地设置。另外，在进行试验涂布时，在不喷出的情况下，使其再次喷出而进行涂布。即，也同时进行不喷出检查。

（喷出量调节方法）

接着，说明根据试验涂布装置中的线宽测定结果调节喷出量的方法。在使流量计的值一致而从多个喷嘴喷出的情况下，实际上从各喷嘴喷出的实际喷出量分别微妙地不同。这是因为，喷嘴的喷嘴直径不同、或流量计的精度在每个装置中不同。

因此，为了调节各喷嘴的喷出量，首先要掌握线宽与流量之间的关系。使各喷嘴的流量一致，制成线宽检查图像，获取各喷嘴的线宽数据。以多个流量重复上述操作，由此获得各喷嘴的流量与线宽之间的关系。

在图5中示出使用三个喷嘴并使流量以a1～a5这五个水平进行涂布的情况下的、各喷嘴的线宽。如图5所示，通常，即使使每个喷嘴的流量一致，线宽也不同。接着，根据各喷嘴的流量与线宽之间的关系，调节流量以成为目标线宽。为了使喷嘴2及3的线宽与喷嘴1的线宽一致，求出各喷嘴的流量与线宽的近似直线。根据该近似直线算出使喷嘴2及3的线宽与喷嘴1的线宽相同那样的流量。通过调节各喷嘴的流量，如图6所示，能够使喷嘴2及3的线宽与喷嘴1的线宽一致。由于线宽和喷出量为比例关系，所以若线宽一致，则喷出量一致。

作为调节线宽的方法，存在上述记载的调节流量的方法、和通过喷嘴相对于基材相对移动的速度进行调节的方法。在使流量固定而改变速度的情况下，喷出量和速度显示幂函数的关系。因此，与通过流量来调节线宽的情况相同地，能够通过改变速度来调节线宽。速度与流量之间的关系如图7所示。需要说明的是，在通过喷嘴与基材的相对速度来调节线宽的情况下，构成为各个的多个喷嘴能够以不同的速度独立地移动。而且，在试验涂布装置中，只要一边改变各喷嘴的相对移动速度、一边制成多个线宽检查图像，求出图7所示那样的、各喷嘴的相对速度与线宽之间的关系即可。

需要说明的是，在本实施方式中，通过喷嘴涂布法形成了空穴注入层、空穴传输层、有机发光层，但不必通过喷嘴涂布法形成所有这些层。

实施例

接着，说明具体实施本发明的实施例。

在对角3英寸尺寸的玻璃基板上利用溅射法形成ITO（铟－锡氧化物）薄膜，通过光刻法和基于酸溶液的蚀刻使ITO膜图案形成，形成像素电极。像素电极的线图案是线宽70μm、空隙60μm、且在大约7.6mm见方中形成有大约590条线的图案。

接着，如以下这样形成绝缘层。首先，在形成了像素电极的玻璃基板上以整面旋涂聚酰亚胺类的抗蚀剂材料。使旋涂的条件为，在以150rpm旋转5秒后，以500rpm旋转20秒进行一次涂布，使绝缘层的高度为2.5μm。对在整面上涂布的光致抗蚀剂材料，通过光刻法形成在像素电极之间具有条纹图案的绝缘层、即隔壁。

该隔壁具有防墨性。

接着，作为空穴注入墨水，使用聚（对苯撑乙烯）、聚苯胺等高分子空穴注入材料的混合物、和丙二醇单丁基醚，制成墨水的固体成分浓度1.5%、粘度7mPa·s的墨水。

将制成的空穴注入墨水放入墨水供给箱中。通过对墨水供给箱进行加压而使墨水供给箱中的空穴注入墨水通过墨水供给管向喷嘴头供给。在墨水供给箱与喷嘴之间具有用于控制所喷出的墨水量的流量控制阀、和用于测定向喷嘴头流动的墨水流量的流量计，通过基于墨水流量计的信息反馈至流量控制阀来调节流量，能够获得稳定的希望的墨水流量。

喷嘴头和载置台的相对位置固定，上述的具有赋予了防墨性的条纹图案隔壁的透光性基板固定在可动工作台上。上述的可动工作台能够在上述载置台上沿纵向的Y或Y’方向移动。另外，喷嘴头能够沿与Y或Y’方向正交的横向的X或X’方向移动。通过使工作台与喷嘴或喷嘴单元相对移动，能够连续地在工作台上的基材的像素形成区域形成作为像素的涂膜。

墨水从墨水供给管进入由不锈钢制成的长方体状的喷嘴头中。喷嘴头内部成为歧管，能够从开设有直径8微米的微小的孔的聚酰亚胺薄膜的喷嘴相对于透光性基板沿垂直方向喷出墨水。在本实施例中，使用三个喷嘴。

在从三个喷嘴喷出了墨水的状态下，在试验喷出装置中以成为目标线宽的方式进行调节。图8中示出了调节前的流量与线宽之间的关系，图9中示出了调节后的流量与线宽之间的关系，表1中示出了调节前后的各喷嘴的流量和线宽。

[表1]

目标线宽70μm

接着，以调节后的流量涂布空穴注入层。利用流量计的信息对流量控制阀进行反馈控制，由此使从喷嘴喷出的墨水的量维持均匀。然后，通过将墨水涂布后的基板在200℃的加热板上放置30分钟而形成空穴注入层。然后，通过膜厚测定确认到获得了期望膜厚的空穴注入层。

接着，利用由聚芴衍生物形成的空穴传输材料和环己基苯，制成墨水的固体成分浓度4.0%、粘度10mPa·s的墨水。

在形成空穴传输层时，也通过与上述的形成空穴注入层时相同的装置和步骤而对上述形成了空穴注入层的基板实施喷出。在喷出后，通过在氮气气氛中以200℃烧结1小时而形成空穴传输层，确认到获得了期望膜厚的空穴传输层。

接着，利用由聚（对苯撑乙烯）衍生物形成的RGB的有机发光材料和环己基苯，制成墨水的固体成分浓度7.0%、粘度30mPa·s的R墨水；固态成分浓度5.0%、粘度5mPa·s的G墨水；固态成分浓度6.0%、粘度20mPa·s的B墨水。

在形成有机发光层时，也通过与上述的形成空穴注入层时相同的装置和步骤而对形成了空穴传输层的基板实施喷出。在喷出后，通过在氮气气氛中以130℃烧结30分钟而形成RGB的有机发光层。之后，通过膜厚测定而确认到获得了期望膜厚的有机发光层。

在有机发光层之上以与像素电极的线图案正交那样的线图案并通过电阻加热蒸镀法进行掩模蒸镀而形成了由Ca、Al形成的阴极层。最后，为了保护这些有机EL结构体不受外部的氧气和水分的影响，使用玻璃盖和粘接剂进行密闭密封，制成有机EL显示面板。

在由此得到的有机EL元件基板的显示部的周边部具有与各像素电极连接的阳极侧的导出电极、和阴极侧的导出电极，通过将它们与电源连接而确认所得到的有机EL元件基板的亮灯显示，进行发光状态的检查。通过如本实施例那样，使从各喷嘴喷出的墨水的线宽一致，能够获得材料利用效率为90%、且没有发光亮度不均的有机EL元件基板。

（比较例1）

作为比较例，在使从各喷嘴的喷出量为表1的调节前的值而涂布墨水的情况下，在面板的发光区域，由于每个喷嘴的喷出量的差异而产生膜厚差，产生发光亮度不均，无法得到高质量的有机EL元件基板。

工业实用性

本发明能够用于有机EL元件等的制造。

附图标记说明

1   透光性基板

2   像素电极

3   隔壁

4   空穴注入层

5   空穴传输层

6   有机发光层

7   阴极层

8   玻璃盖

9   粘接剂

10  墨水供给箱

11  墨水

12  墨水供给管

13  喷嘴头

14  加压器

15  流量控制阀

16  流量计

17  载置台

18  透光性基板

19  可动工作台

22  壳体

23  喷嘴

25  液柱

26  头单元

27  拍摄装置

28  显像层薄膜（喷出检查用被记录体）

29  照明装置

30  送出辊

31  卷收辊

32  图像信息处理部

33  线宽显示机构

34  线宽检查部

35  线宽检查用图像

36  薄膜部

37  驱动辊

Claims (2)

1.一种薄膜形成方法，使用多个喷嘴对在基材上划分出的多个区域涂布墨水而形成薄膜，该薄膜形成方法包括如下步骤：

使所述多个喷嘴的喷出口接近试验用基材的表面，一边使所述试验用基材与所述多个喷嘴相对移动，一边从所述多个喷嘴喷出墨水而进行试验涂布的步骤；

在所述试验涂布时，测定通过各个所述多个喷嘴而描绘出的轨迹的线宽的步骤；

一边使供给至各个所述多个喷嘴的墨水的流量变化，一边重复进行所述试验涂布的步骤、和所述测定线宽的步骤，并求出使通过各个所述多个喷嘴而描绘的轨迹的线宽相同那样的、供给至各个所述多个喷嘴的墨水流量的组合的步骤；以及

使所述多个喷嘴接近所述基材的表面，一边使所述基材与所述多个喷嘴相对移动，一边使用在所述求出流量的组合的步骤中求出的流量的组合而从所述多个喷嘴向所述基材上喷出墨水的步骤。

2.一种薄膜形成方法，使用多个喷嘴对在基材上划分出的多个区域涂布墨水而形成薄膜，该薄膜形成方法包括如下步骤：

使所述多个喷嘴的喷出口接近试验用基材的表面，一边使所述试验用基材与所述多个喷嘴相对移动，一边从所述多个喷嘴喷出墨水而进行试验涂布的步骤；

在所述试验涂布时，测定通过各个所述多个喷嘴而描绘出的轨迹的线宽的步骤；

一边使所述多个喷嘴与所述试验用基材的相对移动速度变化，一边重复进行所述试验涂布的步骤、和所述测定线宽的步骤，并求出使通过各个所述多个喷嘴而描绘的轨迹的线宽相同那样的、所述多个喷嘴的相对移动速度的组合的步骤；以及

使所述多个喷嘴接近所述基材的表面，一边以在所述求出相对移动速度的组合的步骤中求出的相对移动速度使所述多个喷嘴与所述基材相对移动，一边从所述多个喷嘴向所述基材上喷出墨水的步骤。

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