CN103900978A - 一种测量剥离液中光阻的浓度的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种测量剥离液中光阻的浓度的方法。该测量剥离液中光阻的浓度的方法以下步骤：S102：制备光阻标样；S104：采集标样及待测试的样品对应的光谱；S106：对所采集的光谱进行n阶求导，得到并存储第n阶求导曲线，其中n为大于或等于1的整数；和S108：基于所得到的第n阶求导曲线建立标准曲线，计算待测试的样品的光阻的浓度。根据建立的标准曲线，即可准确计算出作为测试样品的剥离液中光阻的浓度。
Description
技术领域
本发明涉及一种测量剥离液中光阻的浓度的方法。
背景技术
光阻（Photoresist，简称PR）广泛应用于TFT行业中各膜层掩膜图案的形成。光阻可分为负型光阻和正型光阻。正型光阻经曝光后，其曝光部分会变得更加容易溶于显影液中，而未曝光部分在基板上留下图案。
剥离液（Stripper）中的正型光阻含量通常采用紫外-可见分光光度法（UV-VIS）测量。现有的测量剥离液中光阻的浓度的方法通常为直接读取吸光度法并建立数据库。但这种方法操作复杂，应用意义不大。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种测量剥离液中光阻的浓度的方法，其可更准确地测定剥离液中光阻的浓度。
本发明通过如下技术方案实现：一种测量剥离液中光阻的浓度的方法，所述测量剥离液中光阻的浓度的方法包括以下步骤：
S102：制备光阻标样；
S104：采集标样及待测试的样品对应的光谱；
S106：对所采集的光谱进行n阶求导，得到并存储第n阶求导曲线，其中n为大于或等于1的整数；和
S108：基于所得到的第n阶求导曲线建立标准曲线，计算待测试的样品的光阻的浓度。
作为上述技术方案的进一步改进，所述S102中，将光阻涂布在素玻璃上，经过曝光制程、显影制程和蚀刻制程，将光阻刮取目标质量，在烧杯中模拟剥离过程，得到目标浓度的标样。
作为上述技术方案的进一步改进，所述S104中，利用紫外-可见分光光度计采集标样及待测试的样品的光谱。
作为上述技术方案的进一步改进，所述S104包括以下步骤：
溶剂选择：选择合适的溶剂，并以该溶剂为测试参比液；
剥离液光谱采集：取一定量的新鲜剥离液，用所述溶剂稀释一定倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线；
标样光谱采集：将多个目标浓度的标样，用所述溶剂稀释所述倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线；
样品光谱采集：取待测试的样品，用所述溶剂稀释所述倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线。
作为上述技术方案的进一步改进，所述S106中，将新鲜剥离液、标样以及待测试的样品的吸收曲线进行n阶求导转换，并保存各个转换后的第n阶求导曲线，其中n为1、2、3或4。
作为上述技术方案的进一步改进，所述S108中，当新鲜剥离液的第n阶求导曲线在第一波长处吸收为0，而标样及待测试的样品在第一波长处有一致波谷时，以第一波长处波谷值与标样的光阻的浓度建立标准曲线。
作为上述技术方案的进一步改进，所述S108中，当新鲜剥离液的第n阶求导曲线在第二波长处吸收为0，而标样及待测试的样品在第二波长处有一致波峰时，以第二波长处波峰值与标样的光阻的浓度建立标准曲线。
作为上述技术方案的进一步改进，所述S108中，当新鲜剥离液的第n阶求导曲线在第三波长至第四波长区间吸收均为0，而标样及待测试的样品在第三波长处有一致波谷且在第四波长处有一致波峰时，以第三波长至第四波长的振幅与标样的光阻的浓度建立标准曲线。
作为上述技术方案的进一步改进，所述剥离液为有机胺类剥离液。
作为上述技术方案的进一步改进，所述光阻为酚醛树脂类正型光阻。
本发明的有益效果是：本发明的测量剥离液中光阻的浓度的方法中，先制备光阻标样；接着采集标样及待测试的样品对应的光谱；然后对所采集的光谱进行n阶求导，得到并存储第n阶求导曲线，其中n为大于或等于1的整数；最后基于所得到的第n阶求导曲线建立标准曲线，计算待测试的样品的光阻的浓度。依据建立好的标准曲线，可更准确地测定剥离液中光阻的浓度。
附图说明
图1是根据本发明的一个具体实施例的测量剥离液中光阻的浓度的方法中制备光阻标样的步骤的示意图；
图2是显示本发明的一个具体实施例的测量剥离液中光阻的浓度的方法中得到的第n阶求导曲线在λ1处形成波谷的示意图；
图3是显示本发明的一个具体实施例的测量剥离液中光阻的浓度的方法中得到的第n阶求导曲线在λ2处形成波峰的示意图；
图4是显示本发明的一个具体实施例的测量剥离液中光阻的浓度的方法中得到的第n阶求导曲线在λ3处形成波谷并在λ4处形成波峰的示意图；
图5是根据本发明的一个具体实施例的测量剥离液中光阻的浓度的方法的流程示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行进一步的说明。
如图1至图5所示，本实施例的测量剥离液中光阻的浓度的方法包括以下步骤：
S102：制备光阻标样；
S104：采集标样及待测试的样品对应的光谱；
S106：对所采集的光谱进行n阶求导，得到并存储第n阶求导曲线，其中n为大于或等于1的整数；和
S108：基于所得到的第n阶求导曲线建立标准曲线，计算待测试的样品的光阻的浓度。
在本实施例中，所述剥离液为有机胺类剥离液。所述光阻为酚醛树脂类正型光阻。
如图1所示，在所述S102中，将光阻涂布在素玻璃上（步骤A），经过曝光制程（步骤B）、显影制程（步骤C）和蚀刻制程（步骤D），将光阻刮取目标质量，在烧杯中模拟剥离过程，得到目标浓度的标样（步骤F）。标样制备过程中，除用于涂布光阻的素玻璃不需要预先镀好金属膜或非金属膜层外，其他制程参数的设计与控制均需与实际产线上的参数完全一致。
在所述S104中，利用紫外-可见分光光度计采集标样及待测试的样品的光谱。
其中，所述S104包括以下步骤：
溶剂选择：根据剥离液组分的溶解性质与化学性质，并结合经济、安全性，选择合适的溶剂，并以该溶剂为测试参比液；
基线扫描：参比池以所述溶剂为参比，样品池放置溶剂，在可见光区-紫外光区扫描基线，并保存扫描曲线；
剥离液光谱采集：取一定量的新鲜剥离液，用所述溶剂稀释一定倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线，并保存；
标样光谱采集：将多个目标浓度的标样（例如3至5个），用所述溶剂稀释所述倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线，并保存；
样品光谱采集：取待测试的样品，用所述溶剂稀释所述倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线，并保存。
在所述S106中，将新鲜剥离液、标样以及待测试的样品的吸收曲线进行n阶求导转换，并保存各个转换后的第n阶求导曲线，其中n例如为1、2、3或4。其中，可以采用紫外-可见分光光度计操作软件自带的“求导”功能，直接进行第n阶求导转换；也可以采用“吸光度-波长”的原始值进行积分逐级至第n阶求导，并用作图软件进行曲线拟合。
在所述S108中，当新鲜剥离液的第n阶求导曲线在第一波长λ1处吸收为0，而标样及待测试的样品在第一波长λ1处有一致波谷时，如图2所示，以第一波长λ1处波谷值与标样的光阻的浓度建立标准曲线。
在所述S108中，当新鲜剥离液的第n阶求导曲线在第二波长λ2处吸收为0，而标样及待测试的样品在第二波长λ2处有一致波峰时，如图3所示，以第二波长λ2处波峰值与标样的光阻的浓度建立标准曲线。
在所述S108中，当新鲜剥离液的第n阶求导曲线在第三波长λ3至第四波长λ4区间吸收均为0，而标样及待测试的样品在第三波长λ3处有一致波谷且在第四波长λ4处有一致波峰时，如图4所示，以第三波长λ3至第四波长λ4的振幅与标样的光阻的浓度建立标准曲线。
根据以上建立好的标准曲线（通常为直线），即可计算出作为测试样品的剥离液中光阻的浓度。以这种方式，可以准确测定剥离液中光阻的浓度，便于直观掌握剥离液剥离光阻的能力，可根据剥离药液中实际光阻浓度判定更换药液的时间，对剥离液使用寿命的提升有重要意义，可广泛用于TFT行业。
以上具体实施方式对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。本发明的保护范围并不以上述实施方式为限，但凡本领域普通技术人员根据本发明所揭示内容所作的等效修饰或变化，皆应纳入权利要求书中记载的保护范围内。
Claims (10)
1.一种测量剥离液中光阻的浓度的方法，其特征在于，所述测量剥离液中光阻的浓度的方法包括以下步骤：
S102：制备光阻标样；
S104：采集标样及待测试的样品对应的光谱；
S106：对所采集的光谱进行n阶求导，得到并存储第n阶求导曲线，其中n为大于或等于1的整数；和
S108：基于所得到的第n阶求导曲线建立标准曲线，计算待测试的样品的光阻的浓度。
2.根据权利要求1所述的测量剥离液中光阻的浓度的方法，其特征在于，所述S102中，将光阻涂布在素玻璃上，经过曝光制程、显影制程和蚀刻制程，将光阻刮取目标质量，在烧杯中模拟剥离过程，得到目标浓度的标样。
3.根据权利要求1所述的测量剥离液中光阻的浓度的方法，其特征在于，所述S104中，利用紫外-可见分光光度计采集标样及待测试的样品的光谱。
4.根据权利要求1所述的测量剥离液中光阻的浓度的方法，其特征在于，所述S104包括以下步骤：
溶剂选择：选择合适的溶剂，并以该溶剂为测试参比液；
剥离液光谱采集：取一定量的新鲜剥离液，用所述溶剂稀释一定倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线；
标样光谱采集：将多个目标浓度的标样，用所述溶剂稀释所述倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线；
样品光谱采集：取待测试的样品，用所述溶剂稀释所述倍数后，扫描在相同波长范围内的吸收曲线。
5.根据权利要求4所述的测量剥离液中光阻的浓度的方法，其特征在于，所述S106中，将新鲜剥离液、标样以及待测试的样品的吸收曲线进行n阶求导转换，并保存各个转换后的第n阶求导曲线，其中n为1、2、3或4。
6.根据权利要求5所述的测量剥离液中光阻的浓度的方法，其特征在于，所述S108中，当新鲜剥离液的第n阶求导曲线在第一波长(λ1)处吸收为0，而标样及待测试的样品在第一波长(λ1)处有一致波谷时，以第一波长(λ1)处波谷值与标样的光阻的浓度建立标准曲线。
7.根据权利要求5所述的测量剥离液中光阻的浓度的方法，其特征在于，所述S108中，当新鲜剥离液的第n阶求导曲线在第二波长(λ2)处吸收为0，而标样及待测试的样品在第二波长(λ2)处有一致波峰时，以第二波长(λ2)处波峰值与标样的光阻的浓度建立标准曲线。
8.根据权利要求5所述的测量剥离液中光阻的浓度的方法，其特征在于，所述S108中，当新鲜剥离液的第n阶求导曲线在第三波长(λ3)至第四波长(λ4)区间吸收均为0，而标样及待测试的样品在第三波长(λ3)处有一致波谷且在第四波长(λ4)处有一致波峰时，以第三波长(λ3)至第四波长(λ4)的振幅与标样的光阻的浓度建立标准曲线。
9.根据权利要求1至8任一项所述的测量剥离液中光阻的浓度的方法，其特征在于，所述剥离液为有机胺类剥离液。
10.根据权利要求1至8任一项所述的测量剥离液中光阻的浓度的方法，其特征在于，所述光阻为酚醛树脂类正型光阻。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107328729A (zh) * | 2017-08-28 | 2017-11-07 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种剥离药液成分量测方法及系统 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3215570B2 (ja) | 1993-03-24 | 2001-10-09 | 倉敷紡績株式会社 | 有機剥離液の成分濃度測定方法およびその測定装置 |
| KR100390567B1 (ko) * | 2000-12-30 | 2003-07-07 | 주식회사 동진쎄미켐 | 근적외선 분광기를 이용한 포토레지스트 박리공정제어방법 및 포토레지스트 박리액 조성물의 재생방법 |
| US8547536B2 (en) * | 2007-12-10 | 2013-10-01 | Novartis Ag | Analysis of mixtures including proteins |
| CN102435547B (zh) | 2011-09-15 | 2014-02-05 | 上海华力微电子有限公司 | 敏感光阻耐受程度检测方法及晶圆缺陷检验方法 |
-
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- 2014-05-23 US US14/647,100 patent/US9797828B2/en active Active
Non-Patent Citations (9)
| Title |
|---|
| 李东光: "《工业清洗剂配方与制备》", 31 August 2009, 中国纺织出版社 * |
| 李美蓉等: "萃取—反萃取导数光谱法测定污水中微量酚和苯胺类", 《中国环境科学》 * |
| 李美蓉等: "萃取—反萃取导数光谱法测定污水中微量酚和苯胺类", 《中国环境科学》, vol. 18, no. 5, 31 December 1998 (1998-12-31) * |
| 田民波: "《TFT LCD面板设计与构装技术》", 31 March 2010, 科学出版社 * |
| 胡育筑: "《化学计量简明教程》", 31 October 1997, 中国医药科技出版社 * |
| 赵尔刚: "TLC-导数光谱法测定TNT含量", 《广东公安科技》 * |
| 金养智: "《光固化材料性能及应用手册》", 31 July 2010, 化学工业出版社 * |
| 钱苗根: "《现代表面工程》", 30 September 2012, 上海交通大学出版社 * |
| 高鸿慈等: "《实用药学计算》", 31 March 2007, 化学工业出版社 * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107328729A (zh) * | 2017-08-28 | 2017-11-07 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种剥离药液成分量测方法及系统 |
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| Publication number | Publication date |
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| US9797828B2 (en) | 2017-10-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20140702 |