CN103827561B - 阀装置 - Google Patents

Abstract

提供一种阀装置，该阀装置被构造成可防止阀杆的磨屑进入流体，并且将流量波动最小化。阀装置(14)设有阀室(5)、阀杆(8)、第一柔性膜(13)和第二柔性膜(16)。阀室设有入口(2)和出口(3)，并且在其中形成有容纳流体的空间。阀杆插入形成在阀室壁中的通孔(10)，并沿通孔的纵向移动以移动阀体(7)，所述阀体阻挡流体从入口(2)流到出口(3)。第一柔性膜包括阀杆所插入的插入孔。第一柔性膜的外周界端固定到所述通孔的周界边缘，且第一柔性膜的插入孔的周界边缘固定到阀杆的外周界。因此封闭通孔和阀杆之间的间隙。第二柔性膜形成阀室(5)的壁的一部分。

Description

阀装置

技术领域

本发明涉及阀装置，并且更具体地涉及调节来自流体设备的流量的阀装置。

背景技术

已知设置在诸如泵的流体设备中并且构造成调节由流体设备提供的流体的流量的阀装置。图1是示出设置在流体设备中的相关阀装置的示意图。

如图1中所示，阀装置1包括阀室5，阀室5包括入口2、出口3和阀座4。阀座4设置在阀室5中。入口2连接到未示出的泵，流体6由泵提供，穿过入口2到阀室5。开口形成在阀座4中，从入口2流入的流体6通过开口流到出口3。

阀装置1还包括阀体7，该阀体7用来打开/关闭在阀室5中的阀座4的开口。阀体7经由阀杆8连接到致动器9，并且致动器9移动阀体7以打开/关闭阀座4开口。

参照图2A到2E和图3，将描述阀装置1的操作和从阀装置1的出口3流出的流体6的流量。图2A到2E示出阀装置1的操作，并且图3是示出从阀装置1的出口3流出的流体6的流量随时间顺序变化的曲线图。

如图2A中所示，在阀座4的开口已由阀体7关闭的状态下，流体6不从出口3流出(图3中所出的期间P1)。如图2B中所示，致动器9在使得阀座4开口打开的方向上移动阀体7，以增加从出口3流出的流体6的流量(图3中所示的期间P2)。

当阀座4的开口打开且阀体7停止移动时(图2C)，流体6以某一流量从出口3流出(图3中所示的期间P3)。致动器9在用来从图2C中所示状态关闭阀座4的方向上移动阀体7，并且接着从出口3流出的流体6的流量减小(图2D和图3中所示的期间P4)。

如图2E中所示，阀体7关闭阀座4的开口，并且因此不再有流体6从出口3流出(图3中所示的期间P5)。

致动器9通常设置在阀室5外。在该阀装置1中，如图1中所示，阀杆8插入形成在阀室5壁中的通孔10。阀装置1包括诸如O形环或V形垫圈的密封构件11，用来封闭阀杆8和通孔10之间的间隙。图4是示出阀装置1的通孔10周界的放大剖视图，其中O形环用作密封构件11。

如图4中所示，由O形环构成的密封构件11与阀杆8接触。因此，当阀杆8移动时，阀杆8或密封构件11容易磨损。由阀杆8或密封构件11磨损产生的磨屑进入流体6，因此导致包含磨屑的流体从出口3流出。

作为解决问题的技术，JP2011-33074A(在下文中，称为“专利文献1”)公开了使用诸如隔膜的柔性薄膜作为密封构件11的阀装置的实例。

图5是其中柔性膜用作密封构件的阀装置12的示意图。与图1中所示的部件相似的部件用相似的附图标记标示，并且将描述这些部件。

如图5中所示，阀装置12包括设置在通孔10中的柔性膜13。孔形成在柔性膜13中，阀杆8插入孔中。柔性膜13的孔的周界边缘被固定到阀杆8的外周界，并且柔性膜13的外周界端部固定到通孔10的周界边缘。

在专利文献1中所公开的阀装置12中，柔性膜13与阀杆8整体地移动。因此，即使当阀杆8移动时，阀杆8也不会磨损，因此磨屑不会产生。因此，可防止污染物进入流体中。

引用目录

专利文献1：JP2011-33074A

发明内容

发明要解决的问题

然而，在专利文献1中所公开的阀装置12中，阀杆8的移动伴随着柔性膜13变形。因此，从阀装置12的出口3流出的流体6的流量会波动。将参照图5和6描述流体6流量的波动。

图6是示出从阀装置12的出口3流出的流体6流量随时间顺序变化的曲线图。在图6所示的曲线图中，实线表示其中通孔10通过使用柔性膜13关闭的阀装置12(图5)的流量变化，而点划线表示其中通孔10通过使用O形环关闭的阀装置1(图1)的流量变化。

当阀杆8在用来打开阀座4开口的方向上移动时(换言之，当阀杆8在被推进阀室5的方向上移动时)，柔性膜13也被推进阀室5以减少阀室5的容积。因此，保留在阀室5中的流体6从出口3流出与阀室5容积减小的量相等的量。因此，阀装置12(图5)在期间P2内的流量高于在阀装置1(图1)中的流量。

当阀杆8在关闭阀座4开口的方向上移动时，柔性膜13被从阀室5推出以增加阀室5的容积。因此，由泵(未示出)提供的部分流体6停留在阀室5中。因此，阀装置12(图5)在期间P4内的流量低于在阀装置1(图1)中的流量。

因此，本发明的目的是提供在不导致阀杆磨屑进入流体的情况下能够防止流量波动的阀装置。

问题解决方案

为了实现该目的，根据本发明的一个方面，阀装置包括阀室、阀杆、第一柔性膜和第二柔性膜。阀室包括入口和出口，并且在其中形成容纳流体的空间。阀杆插入形成在阀室壁中的通孔，并沿通孔的纵向移动以将阀体移动，所述阀体阻挡从入口流入空间并且从出口流出的流体的流动。第一柔性膜包括阀杆所插入的通孔。第一柔性膜的外周界端部固定到阀室的通孔的周界边缘，且第一柔性膜的通孔周界边缘固定到阀杆的外周界，以封闭阀室的通孔和阀杆之间的间隙。第二柔性膜形成阀室壁的一部分。所述阀装置还包括变形机构，所述变形机构与所述阀杆的移动联锁地、使所述第二柔性膜在与所述第一柔性膜通过所述阀杆的移动而变形的方向相反的方向上变形。

发明效果

根据本发明的阀装置，能够在不导致阀杆磨屑进入流体的情况下防止流量波动。

附图说明

图1是示出相关阀装置的示意图。

图2A是示出相关阀装置操作的示意图。

图2B是示出相关阀装置操作的示意图。

图2C是示出相关阀装置操作的示意图。

图2D是示出相关阀装置操作的示意图。

图2E是示出相关阀装置操作的示意图。

图3是示出从阀装置出口流出的流体流量随时间顺序变化的曲线图。

图4是示出其中O形环用作密封构件11的阀装置1的通孔10周界的放大剖视图。

图5是其中柔性膜用作密封构件的阀装置的示意图。

图6是示出从图5中所示的阀装置出口流出的流体流量随时间顺序变化的曲线图。

图7是示出根据本发明第一示例性实施例的阀装置的示意图。

图8A是示出图7中所示的阀装置的关闭状态的示意图。

图8B是示出图7中所示的阀装置的打开状态的示意图。

图9A是示出根据本发明第二示例性实施例的阀装置的关闭状态的示意图。

图9B是示出根据本发明第二示例性实施例的阀装置的打开状态的示意图。

图10是示出其中齿条齿轮机构用作变形机构的阀装置的示意图

图11是示出其中连杆机构用作变形机构的阀装置的示意图。

图12是示出根据本发明第三示例性实施例的阀装置的示意图。

图13是示出根据第三示例性实施例的修改实例的阀装置的示意图。

具体实施方式

在下文中，将参照附图详细描述根据本发明示例性实施例的阀装置。在根据本发明示例性实施例的阀装置的部件中，与图1中所示的部件相似的部件用相似附图标记标示，并且将省略其描述。

(第一实施例)

图7是示出根据本发明第一示例性实施例的阀装置的示意图。

如图7中所示，根据示例性实施例的阀装置14包括阀室5，该阀室5包括入口2和出口3，并且形成容纳流体6的空间。具有开口的阀座4设置在阀室5中，并且从入口2流入的流体6通过开口流到出口3。

阀装置14还包括阀体7，该阀体7用来打开/关闭在阀室5中的阀座4的开口。通过关闭阀座4的开口，阻挡从入口2流入阀室5中的空间和从出口3流出的流体6的流动。

阀体7经由阀杆8连接到设置在阀室5外部的致动器9。致动器9移动阀体7以打开/关闭阀座4的开口。气缸或马达可用作致动器9。

在说明书中，阀座4的开口关闭所处的状态称为关闭状态，而阀座4的开口打开所处的状态称为打开状态。

阀杆8插入形成在阀室5中的通孔10。阀杆引导件15绕位于阀室5外的阀杆8设置。阀杆引导件15将阀杆8的移动方向限制成通孔10的纵向。

诸如隔膜的第一柔性膜13设置在通孔10中。阀杆8插入的插入孔形成在第一柔性膜13中。第一柔性膜13的外周界端部被固定到通孔10的周界边缘，并且第一柔性膜13的插入孔的周界边缘被固定到阀杆8的外周界。因此，通孔10和阀杆8之间的间隙被第一柔性膜13完全封闭。

由第二柔性膜16构成阀室5的壁的一部分，第二柔性膜16与第一柔性膜13分开。隔膜可用于第二柔性膜16。

接下来，将参照图8A和8B描述阀装置14的操作。图8A是示出在关闭状态下的阀装置的示意图。图8B是示出在打开状态下的阀装置的示意图。

如图8A和8B中所示，当阀装置14从关闭状态变成打开状态时，阀杆8在允许其被推进阀室5的方向上移动。由于第一柔性膜13固定到阀杆8，因此第一柔性膜13伴随着阀杆8的移动也被推进阀室5。换言之，第一柔性膜13在减小阀室5容积的方向上变形。

阀室5的容积减小伴随着阀室5中的流体压力增加。因此，第二柔性膜16在允许其被推出阀室5的方向上变形，换言之，沿增加阀室5容积的方向。由于第一柔性膜13在减小阀室5容积的方向上变形，且由于第二柔性膜16在增加阀室5容积的方向上变形，因此阀室5的容积几乎没有波动发生。

当阀装置14从打开状态变成关闭状态时，阀杆8在允许其被推出阀室5的方向上移动。第一柔性膜13在增加阀室5容积的方向上变形。

阀室5的容积增加伴随着阀室5中的流体6压力减小。因此，第二柔性膜16在允许其被推进阀室5的方向(换言之，减小阀室5容积的方向)上变形。由于第一柔性膜13在增加阀室5容积的方向上变形，且由于第二柔性膜16在减小阀室5容积的方向上变形，因此阀室5的容积几乎没有波动发生。

因此，即使当阀杆8在允许其被推进阀室5的方向上移动时，以及当阀杆8在允许其被推出阀室5的方向上移动时，阀室5容积也不会变化。因此，在根据示例性实施例的阀装置14中，即使当阀杆8移动时，从阀装置14的出口3流出的流体6的流量也几乎没有波动发生。

如图7中所示，根据示例性实施例的阀装置14还包括用来将阀室5的内部分隔成第一室5a和第二室5b的分隔板17。孔形成在分隔板17中，并且阀杆8插入孔中。

第一室5a由阀室5的包含第一柔性膜13和第二柔性膜16的壁以及分隔板17形成。第二室5b由阀室5的包含入口2和出口3的壁以及分隔板17形成。

当第一柔性膜13变形成增加第一室5a中的流体6压力时，第二柔性膜16在允许其被推出阀室5的方向上变形。因此，第一室5a中的流体6压力降回到原值。换言之，即使当第一柔性膜13变形时，第一室5a中的流体6的压力也几乎没有变化发生。

第一室5a和第二室5b通过分隔板17分隔开。因此，即使当第一柔性膜13在允许其被推进阀室5的方向上变形时，在第一室5a中的流体6流向第二室5b。换言之，在第一室5a中的流体6压力波动很难传递到第二室5b。因此，可进一步防止从阀装置14的出口3流出的流体6的流量波动。

没有诸如O形环的密封构件设置在分隔板17的孔和阀杆8之间的间隙中。因此，阀杆8不会磨损。因此，不会发生由阀杆8磨损产生的磨屑进入。

分隔板17的孔和阀杆8之间的间隙优选地设成使得流体6的压力波动不会从第一室5a传递到第二室5b的尺寸，例如，大约100μm。

另外，第二柔性膜16理想的是由比第一柔性膜13更容易变形的材料设计，且具有可比第一柔性膜13更容易变形的尺寸。例如，第二柔性膜16可通过使用具有小于第一柔性膜13的弹性系数的材料构成，或第二柔性膜16的面积设置成大于于第一柔性膜13。

这种设计促进第二柔性膜16响应由第一柔性膜13变形引起的第一室5a中的流体压力6波动而变形，并且可防止压力波动。因此，进一步防止从阀装置14的出口3流出的流体6的流量波动。

(第二实施例)

接下来，将参照图9A和9B描述根据本发明的第二示例性实施例的阀装置。图9A是示出根据示例性实施例的阀装置18的关闭状态的示意图。图9B是示出阀装置18的打开状态的示意图。

与根据第一示例性实施例的装置14部件相似的部件用相似附图标记标示，并且将省略其描述。

如图9A和9B中所示，阀装置18具有用来使第二柔性膜16变形的变形机构19。变形机构19包括经由杆构件20连接到第二柔性膜16的致动器21。

致动器21连接到未示出的控制装置，并且通过致动器9的操作联锁地使第二柔性膜16变形。当致动器9将阀杆8推进阀室5时，致动器21使第二柔性膜16在允许第二柔性膜16被推出阀室5的方向上变形。当致动器9将阀杆8从阀室5推出时，致动器21使第二柔性膜16在允许第二柔性膜16被推进阀室5的方向上变形。

换言之，第二柔性膜16在与第一柔性膜13变形方向相反的方向上变形。

“与第一柔性膜13变形方向相反的方向”是指下列方向。与用来将第一柔性膜13推进阀室5的推进方向相反的方向是从阀室5推出的方向。与用来将第一柔性膜13从阀室5推出的推出方向相反的方向是将第一柔性膜13推进阀室5的方向。

通过变形机构19，阀杆8的移动(换言之，第一柔性膜13的变形)伴随着第二柔性膜16的变形。因此，阀室5的容积不会改变。因此，在根据示例性实施例的阀装置18中，即使当阀杆8移动时，也防止从阀装置18的出口3流出的流体6的流量波动。

使用齿轮或齿条的机构或连杆机构可用作变形机构19。图10是示出其中齿条和齿轮用作变形机构19的阀装置18的示意图。

如图10中所示，第一齿条22设置阀杆8中，并且第二齿条23设置在第二柔性膜16中。第一齿条22和第二齿条23的齿沿阀杆8的轴向布置。

齿轮24设置在第一齿条22和第二齿条23之间，并且第一齿条22的移动通过齿轮24传递到第二齿条23。因此，阀杆8的移动(换言之，第一柔性膜13的变形)伴随着第二齿条23的移动，从而使第二柔性膜16变形。

图11是示出其中连杆机构用作变形机构19的阀装置18的示意图。如图11中所示，第二柔性膜16包括在阀杆8的移动方向上延伸的杆构件20。阀杆8和杆构件20经由连杆构件25连接。

具有杆形状的连杆构件25设置成绕一个位置沿杆形状的轴向转动。当杆构件20移动时，连杆构件25绕该位置转动，并且杆构件20在与阀杆8移动方向相反的方向上移动。因此，第二柔性膜16在与第一柔性膜13相反的方向上变形。

第二柔性膜16的在与第一柔性膜13相反的方向上的变形防止阀室5的容积波动。因此，即使当阀杆8移动时，防止从阀装置18的出口3流出的流体6的流量波动。

在使用齿条和齿轮机构或连杆机构作为变形机构19的阀装置18中(图10和11)，第二柔性膜16可通过致动器9变形以移动阀杆8。因此，不需要图9A和9B中所示的致动器21。齿条和齿轮机构或连杆机构可比致动器更便宜地实现，并且阀装置18的制造成本可降低。

(第三实施例)

接下来，将参照图12描述根据本发明的第三示例性实施例的阀装置。图12是示出根据本发明第三示例性实施例的阀装置的示意图。与根据第一和第二示例性实施例的装置14和18部件相似的部件用相似附图标记标示，并且将省略其描述。

如图12中所示，根据示例性实施例的阀装置26包括与设置在阀室5中的第一阀座4不同的第二阀座27。开口形成在第二阀座27中。阀室5包括与出口3不同的第二出口28。在该示例性实施例中，出口3称为第一出口3，并且阀座4称为第一阀座4。

阀室5的内部分成从入口2到第一阀座4和第二阀座27的开口的流路、从第一阀座4的开口到第一出口3的流路、从第二阀座27的开口到第二出口28的流路。换言之，从入口2流入阀室5的液体6流向第一阀座4的开口或第二阀座27的开口。已通过第一阀座4的开口的液体6从第一出口3流出，并且已通过第二阀座27的开口的液体6从第二出口28流出。

阀装置26还包括用来打开/关闭在阀室5中的第二阀座27的开口的第二阀体29。通过关闭第二阀座27的开口，阻挡液体6从第二出口28流出。

第二阀体29经由杆构件20连接到设置在阀室5外的致动器21。致动器21经由杆构件20移动第二阀体29以打开/关闭第二阀座27的开口。换言之，杆构件20用作第二阀杆以移动第二阀体29。

气缸或马达可用作致动器21。

在示例性实施例中，第二柔性膜16包括插入孔，杆构件20插入该插入孔。第二柔性膜16的插入孔的周界边缘固定到杆构件20的外周界。因此，当杆构件20在与第二柔性膜16相交的方向上移动时，第二柔性膜16变形。换言之，连接到致动器21的杆构件20用作使第二柔性膜16变形的变性机构。

致动器21连接到未示出的控制装置，并且通过致动器9的操作联锁地移动杆构件20。

具体地，当致动器9将阀杆8推进阀室5时，致动器21将杆构件20从阀室5推出。当致动器9将阀杆8从阀室5推出时，致动器21将杆构件20推进阀室5。

第一柔性膜13固定到阀杆8，而第二柔性膜16固定到杆构件20。因此，阀杆8和杆构件20的移动伴随着第一柔性膜13和第二柔性膜16的变形。当阀杆8被推进阀室5而杆构件20被从阀室5推出时，第一柔性膜13被推进阀室5而第二柔性膜16被从阀室5推出。当阀杆8被从阀室5推出阀室5而杆构件20被推进时，第一柔性膜13被从阀室5推出而第二柔性膜16被推进阀室5。

因此，第二柔性膜16在与第一柔性膜13变形方向相反的方向上变形。因此，在根据示例性实施例的阀装置18中，即使当阀杆8移动时，阀室5的容积不会变化。防止从阀装置18的出口3流出的流体6的流量波动。

在包括多个阀体和阀杆的阀装置中，通常设置移动阀杆的多个致动器。在示例性实施例中，多个柔性膜通过移动阀杆的多个致动器而变形。这消除设置仅用于使柔性膜变形的致动器的必要性，并且阀装置的制造成本可降低。

齿条和齿轮机构或连杆机构可用作变形机构19(参照图10和11)。当齿条和齿轮机构或连杆机构用作变形机构19时，第二柔性膜16可通过用于移动阀杆8的致动器9变形。因此，不需要图12中所示的致动器21。齿条和齿轮机构或连杆机构可比致动器更便宜地实现，并且阀装置26的制造成本可降低。

示例性实施例不限于图12中所示的实例。

具体地，在图12中所示的实例中，通过将杆构件20推进阀室5而打开第二阀座27的开口，并且通过将杆构件20从阀室5推出关闭第二阀座27的开口。换言之，当第一阀座4的开口从关闭状态切换到打开状态时，第二阀座27的开口从打开状态切换到关闭状态。当第一阀座4的开口从打开状态切换到关闭时，第二阀座27的开口从关闭状态切换到打开状态状态。

示例性实施例不限于如下阀装置，在该阀装置中，当第一阀座4的开口或第二阀座27的开口处于关闭状态时，另一个开口打开。例如，示例性实施例可应用于如下阀装置，在该阀装置中，当第一阀座4的开口处于关闭状态时第二阀座27的开口设置在关闭状态，而当第一阀座4的开口处于打开状态时第二阀座27的开口设置在打开状态。

有这样一种阀装置，在该阀装置中，通过将杆构件20推进阀室5打开第二阀座27的开口，并且通过将杆构件20从阀室5推出关闭第二阀座27的开口。在该情况中，当第一阀座4的开口从关闭状态切换到打开状态时，第二阀座27的开口从打开状态切换到关闭状态。当第一阀座4的开口从打开状态切换到关闭时，第二阀座27的开口从关闭状态切换到打开状态状态。

使用齿轮或齿条的机构或连杆机构可用作移动杆构件20的机构。

另外，如图13中所示，阀装置26可包括用来将阀室5的内部分成第一室5a、第二室5b和第三室5c的分隔板30。

将描述包含分隔板30的阀装置26。

分隔板30包括阀杆8所插入的第一孔和杆构件20所插入的第二孔。第一室5a由阀室5的包含第一柔性膜13和第二柔性膜16的壁以及分隔板17形成。第二室5b由阀室5的包含入口2及第一和第二出口3和28的壁以及分隔板30形成。

第一室5a和第二室5b通过分隔板30分隔开。因此，即使当第一柔性膜13在允许其被推进阀室5的方向上变形时，第一室5a中的流体6流向第二室5b。换言之，第一室5a中的流体6的压力波动很难传递到第二室5b。因此，可进一步防止从阀装置26的第一出口3和第二出口28流出的流体6的流量波动。

没有诸如O形环的密封构件设置在分隔板30的第一孔和阀杆8之间的间隙中，或在分隔板30的第二孔和杆构件20之间的间隙中。因此，阀杆8或杆构件20不会磨损。因此，不会出现由阀杆8或杆构件20磨损产生的磨屑。

分隔板30的第一孔和阀杆8之间的间隙以及分隔板30的第二孔和杆构件20之间的间隙优选地设置成不允许第一室5a中的压力波动传递到第二室5b的尺寸，例如，大约100μm。

已描述本发明的示例性实施例。然而，本发明不限于示例性实施例。在本发明的技术概念内，可对本发明的构型和特性作出对本领域的技术人员来说可理解的各种变化。

本申请要求2011年9月26日提交的日本专利申请第2011-208498号和2012年7月31日提交的日本专利申请第2012-169939号的优先权，其全部内容作为参考纳入本文。

附图标记

2入口

3出口

4阀座

5阀室

6流体

7阀体

8阀杆

10通孔

13第一柔性膜

14阀装置

16第二柔性膜

Claims (9)

1.一种阀装置，包括：

阀室，所述阀室包括入口和出口，并且形成容纳流体的空间；

阀杆，所述阀杆插入形成在所述阀室的壁中的通孔，并沿所述通孔的纵向移动以移动阀体，所述阀体阻挡从所述入口流入所述空间以及从所述出口流出的流体的流动；

第一柔性膜，所述第一柔性膜包括所述阀杆所插入的通孔，所述第一柔性膜的外周界端部固定到所述阀室的所述通孔的周界边缘，并且所述通孔的所述周界边缘固定到所述阀杆的外周界以封闭所述阀室的所述通孔和所述阀杆之间的间隙；

第二柔性膜，所述第二柔性膜形成所述阀室的所述壁的一部分；以及

变形机构，所述变形机构与所述阀杆的移动联锁地、使所述第二柔性膜在与所述第一柔性膜通过所述阀杆的移动而变形的方向相反的方向上变形。

2.如权利要求1所述的阀装置，其中，所述变形机构包括固定到所述第二柔性膜的杆构件，并且所述变形机构通过移动所述杆构件使所述第二柔性膜变形。

3.如权利要求2所述的阀装置，还包括分隔板，所述分隔板具有所述阀杆所插入的孔，且构造成将所述空间分成第一室和第二室，所述第一室由所述阀室的包括所述第一柔性膜和第二柔性膜的壁形成，所述第二室由所述阀室的包括所述入口和所述出口的壁形成。

4.如权利要求2所述的阀装置，其中：

所述阀室包括与所述出口分开的第二出口；

所述第二柔性膜包括所述杆构件所插入的插入孔，所述孔的周界边缘固定到所述杆构件的外周界；并且

所述杆构件在与所述第二柔性膜相交的方向上移动以连接到所述阀体，所述阀体阻挡从所述入口流入所述空间以及从所述第二出口流出的流体的流动。

5.如权利要求4所述的阀装置，还包括分隔板，所述分隔板具有所述阀杆所插入的第一孔和所述杆构件所插入的第二孔，且所述分隔板构造成将所述空间分成第一室和第二室，所述第一室由所述阀室的包括所述第一柔性膜和第二柔性膜的壁形成，所述第二室由所述阀室的包括所述入口和所述出口与第二出口的壁形成。

6.如权利要求2至5中任一项所述的阀装置，其中，所述变形机构包括致动器，所述致动器经由所述杆构件连接到所述第二柔性膜。

7.如权利要求2至5中任一项所述的阀装置，其中，所述变形机构包括设置在所述阀杆中的第一齿条、设置在所述杆构件中的第二齿条、以及齿轮，所述齿轮将所述第一齿条沿纵向的运动传递到所述第二齿条。

8.如权利要求2至5中任一项所述的阀装置，其中，所述变形机构包括连杆构件，所述连杆构件连接到所述阀杆和所述杆构件。

9.如权利要求1所述的阀装置，还包括分隔板，所述分隔板具有所述阀杆所插入的孔，且构造成将所述空间分成第一室和第二室，所述第一室由所述阀室的包括所述第一柔性膜和第二柔性膜的壁形成，所述第二室由所述阀室的包括所述入口和所述出口的壁形成。