CN103802024A - 一种采用双光束修整超薄超硬材料砂轮的方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种采用双光束修整超薄超硬材料砂轮的方法及设备，包括计算机（1）、X向皮秒激光器（2）、Y向皮秒激光器（3）、X向激光烧蚀头（4）、X向分度装置（5）、X向电动二维平台（6）、Y向激光烧蚀头（7）、Y向分度装置（8）、Y向电动二维平台（9）、三轴联动数控机床旋转轴（11）、X向功率计（12）、Y向功率计（13），本发明采用双光束，修整过程中，两束激光的夹角轨迹与超薄超硬材料砂轮切削面直接重合，有效的保证了砂轮切割作用面的型面精度，可使砂轮切割面轨迹突出不超过20微米。

Description

一种采用双光束修整超薄超硬材料砂轮的方法

发明领域

本发明涉及一种激光修整砂轮的方法，尤其涉及一种采用双光束修整超薄超硬材料砂轮的方法。

背景发明

超薄超硬材料砂轮是以金属或树脂材料为结合剂，将超硬磨料(目前为金刚石或立方氮化硼)粘结，固结成厚度为5mm以下的以晶圆切割、划片，光学加工为主的砂轮。

超薄超硬材料砂轮是随着制造行业，特别是电子元器件向精密、高效、低耗加工方向的发展而迅速发展起来的。超薄超硬材料砂轮具有精度高、厚度薄、刚性好及效率高等一系列普通砂轮不具备的优良品质，现已广泛应用于电子信息领域贵重半导体材料、磁性材料、硬脆材料、光纤的精密细微切割与开槽，是计算机硬盘及软盘磁头、大规模集成电路、光通讯元器件、移动通讯元器件等电子元器件产品制造中必备的高档加工工具。

尽管超薄超硬材料砂轮具备如此优良的加工性能，但砂轮在切割过程中由于砂轮磨损和砂轮工作表面产生堵塞使其渐渐丧失其切削能力。用磨钝了的超薄超硬材料砂轮继续切割时，由于砂轮工作表面的磨粒已经部分甚至完全丧失切削能力，使得砂轮和工件间的摩擦加剧，挤压增强，切削温度上升，并在砂轮和工件的接触区域发生颤振与烧伤，使被加工工件的表面质量受到极大影响。同时，砂轮的磨钝也会使砂轮工作表面丧失正确的几何形状，使加工精度降低。因此，为了使超薄超硬材料砂轮在切削过程中能保持几何形状的正确性和磨粒的锐利性，就需要对其进行定期修整。但由于超薄超硬材料砂轮的脆性较差、厚度很薄及磨粒硬度极高等不利修整因素，这对机械法或电火花加工法等普通修整方法提出了尖锐的挑战。

现有技术中，公开号为CN103042468A的“一种金刚石砂轮的粗修整的方法”专利中，提供了脉冲激光直接去除，碳化硅滚轮再去除的粗修整方法，公开号为CN101190503A的“激光与机械复合修整树脂结合剂金刚石砂轮的方法”专利中，提供了一种激光和机械复合修整砂轮的方法，其采用的是激光垂直辐照砂轮磨削面，然后再用金刚笔进行整形的方法，由于砂轮厚度原因，超薄超硬砂轮无法适用机械诸如金刚笔碳化硅滚轮等机械修整方法。公开号为CN1586816A的“连续激光修锐树脂结合剂砂轮的装置及方法”专利中，阐述了用CO₂激光器修整，用三相异步电动机皮带轮控制砂轮进给，其所适用的CO₂激光器峰值功率低，未达到金刚石去除阈值，只能进行修锐，且用皮带轮控制砂轮进给，其修整精度低。公开号为CN10260174A、“一种修砂轮的方法”CN102601735A的“一种砂轮修磨机”，提供了一种利用控制器输入预定轨迹并控制扫描振镜的偏转来控制激光器的修整方法。其装置复杂，预订轨迹设定繁琐，且对控制振镜的振动精度要求极高，作用对象亦为常规（厚度为15mm以上）普通砂轮，完全不适用于超薄超硬砂轮。公开号为CN101642895A的“超硬磨料砂轮的激光修整方法”专利和CN201455807U的“砂轮激光修整设备”专利中提供了超硬磨料砂轮的修整方法，其采用的方式激光束径向垂直于砂轮工作端面，通过位移传感器检测高低点控制反馈信号调节激光脉冲强度的方法来对砂轮进行修整，此方法具有以下缺陷：只能针对常规大小（厚度为15mm以上）的砂轮进行激光修整，对于厚度小于5mm的砂轮，若采用该方法，由于超薄超硬材料砂轮厚度限制，在高脉冲整形过成中由于能量聚集极易导致超薄超硬材料砂轮端面产生微裂纹，导致砂轮报废。

以上专利采用的是光纤激光器，由于其脉宽为纳秒级别，峰值功率较低，导致检测的同一高点需要多次出光才能打掉，而超薄超硬材料砂轮由于厚度较薄不能经过多次烧蚀。

现有文献中，李晓天等人在激光修锐树脂结合剂砂轮的试验研究（《航空精密制造技术》第35卷第6期，1999年12月），李迎等人在激光修锐树脂结合剂CBN砂轮的研究（《航空精密制造技术》第31卷第3期，1995年12月）等一系列激光修整的文献资料中，所研究的方法针对的砂轮厚度均为15mm左右，其方法均不适用于超薄超硬磨料砂轮。

超薄超硬材料砂轮因脆性较差、厚度很薄及磨粒硬度极高，截至目前国内外学者并没有提出一种有效的方法实现超薄超硬材料砂轮的修整，现有技术中也未公开任何关于超薄超硬材料砂轮修整技术的资料。本发明首开先河，率先提出了超薄超硬材料砂轮的详细修整方案，延长了该类砂轮的使用寿命，获得良好的经济效益。

发明内容

本发明的目的在于采用双光束对超薄超硬材料砂轮进行快速修整，从而实现对超薄超硬砂轮在使用之初或磨钝之后修整困难的问题。

本发明的技术方案是提供了一种采用双光束修整超薄超硬材料砂轮的设备，包括计算机、X向皮秒激光器、Y向皮秒激光器、X向激光烧蚀头、X向分度装置、X向电动二维平台、Y向激光烧蚀头、Y向分度装置、Y向电动二维平台、三轴联动数控机床旋转轴、X向功率计、Y向功率计，其特征在于：

X向皮秒激光器、Y向皮秒激光器放置在实验平台上，X向皮秒激光器输出的X向激光束经单模光纤传导、耦合至带有标准隔离器的X向激光烧蚀头，X向皮秒激光器经过X向激光烧蚀头中焦距为400mm聚焦透镜聚焦后光束轨迹与超薄超硬材料砂轮砂轮切削面下端面边缘重合；

X向激光烧蚀头通过烧蚀头夹持器和X向分度装置固连，烧蚀头夹持器和X向分度装置再固定于X向电动二维平台上，从而使得X向激光烧蚀头实现水平面二维方向的进给和∠AHP范围内的旋转；

Y向皮秒激光器输出的Y向激光束经单模光纤传导、耦合至带有标准隔离器的Y向激光烧蚀头，Y向皮秒激光器经过Y向激光烧蚀头中焦距为280mm聚焦透镜聚焦后光束轨迹与超薄超硬材料砂轮砂轮切削面上端面边缘重合；

Y向激光烧蚀头通过烧蚀头夹持器和Y向分度装置固连，烧蚀头夹持器和Y向分度装置再固定于Y向电动二维平台上，从而使得Y向激光烧蚀头实现水平面二维方向的进给和∠BHP范围内的旋转；

超薄超硬材料砂轮安装在三轴联动数控机床的旋转轴上，同时，三轴联动数控机床的旋转轴上安装固连Y向功率计；

X向电动二维平台和Y向电动二维平台通过数据线与计算机连接，X向电动二维平台和Y向电动二维平台的运动通过计算机控制。

本发明的有益效果在于：

1）本发明采用脉宽极低，超高的单脉冲能量、精细的聚焦的皮秒激光器作为修整“刀具”，修整速度快，无耗材、无粉尘污染。

2）采用双光束，修整过程中，两束激光的夹角轨迹与超薄超硬材料砂轮切削面直接重合，有效的保证了砂轮切割作用面的型面精度，可使砂轮切割面轨迹突出不超过20微米，这是其他修整方法无法比拟的。

3）双激光束的直接作用，配合计算机对二维电动平台和精密分度装置的精确控制离线修整，无需其他位移传感器的检测等复杂工序，初次调试好设备后，一次安装砂轮就可完成整个修整过程，即可全程PC端操作，联动性强，便利性极大的得到增强。

4）相对于现有技术中的激光修整方法多次检测多次打点，单个砂轮修整需要一个小时相比，本发明单个砂轮修整由于双光束的轨迹精细聚焦直接作用砂轮切割面，只需15分钟以内进行一次性粗修整、精修整步骤，效率提高三倍以上。

附图说明

图1是快速修整装备连接示意图；

图2是X向烧蚀头或Y向烧蚀头装配图；

图3是X向电动二维平台和X向分度装置集成或Y向电动二维平台和Y向分度装置集成示意图；

图4是砂轮局部放大示意图。

其中：1-计算机，2-X向皮秒激光器，3-Y向皮秒激光器，4-X向激光烧蚀头，5-X向分度装置，6-X向电动二维平台，7-Y向激光烧蚀头，8-Y向分度装置，9-Y向电动二维平台，10-超薄超硬材料砂轮11-三轴联动数控机床旋转轴12-X向功率计，13-Y向功率计，14-激光头，15-烧蚀头主体，16-聚焦透镜，17-聚焦透镜压环，18-保护镜片，19-保护镜片压环，20-同轴气嘴，21-同轴送气孔，22-进气螺纹孔，23-固定螺纹孔，24-分度装置，25-烧蚀头夹持器，26-齿条支撑棒，27-支撑棒齿轮夹具，28-电动平移台，29-砂轮切削面下端面边缘，30-砂轮切削面上端面边缘，H-砂轮切削尖端顶点。

具体实施方式

以下将结合着附图1-4对本发明的具体实施方式进行详细说明。

激光修整法是将两束激光束光路沿着砂轮轨迹切削面穿过，利用激光烧蚀使砂轮表面的突出部分熔化蒸发或汽化，从而改善磨粒等高性和改善容屑空间，达到修整的目的。

如图1所示，本发明采用双光束修整超薄超硬材料砂轮的设备包括：计算机1、X向皮秒激光器2、Y向皮秒激光器3、X向激光烧蚀头4、X向分度装置5、X向电动二维平台6、Y向激光烧蚀头7、Y向分度装置8、Y向电动二维平台9、超薄超硬材料砂轮10、三轴联动数控机床旋转轴11、X向功率计12、Y向功率计13及附件。X向皮秒激光器2、Y向皮秒激光器3放置在实验平台上，X向皮秒激光器2输出的X向激光束经带金属护套的单模光纤传导、耦合至带有标准隔离器的X向激光烧蚀头4，X向皮秒激光器2经过X向激光烧蚀头4中焦距为400mm聚焦透镜16聚焦后光束轨迹与超薄超硬材料砂轮10砂轮切削面下端面边缘重合。X向激光烧蚀头4通过图3中烧蚀头夹持器25和X向分度装置5固连，烧蚀头夹持器25和X向分度装置5再固定于X向电动二维平台6上，此时X向激光烧蚀头4即可实现水平面二维方向的进给和∠AHP范围内的高精度旋转。X向电动二维平台6和Y向电动二维平台9通过数据线与计算机1连接，X向电动二维平台6和Y向电动二维平台9的精确运动通过计算机1控制。同样的，Y向皮秒激光器3输出的Y向激光束经带金属护套的单模光纤传导、耦合至带有标准隔离器的Y向激光烧蚀头7，Y向皮秒激光器3经过Y向激光烧蚀头7中焦距为280mm聚焦透镜16聚焦后光束轨迹与超薄超硬材料砂轮10砂轮切削面上端面边缘重合。Y向激光烧蚀头7通过另一套图3集成装置中的烧蚀头夹持器25和Y向分度装置8固连，烧蚀头夹持器25和Y向分度装置8再固定于Y向电动二维平台9上，此时Y向激光烧蚀头7亦可实现水平面二维方向的进给和∠BHP范围内的高精度旋转。超薄超硬材料砂轮10安装在三轴联动数控机床的旋转轴11上，同时，三轴联动数控机床的旋转轴11上安装固连Y向功率计13。

图1中的角度值、距离值，点的位置均可简单数学计算得知。

其中，∠AHB和砂轮切削面夹角值相同，H、O、P三点位于同一条直线上，直线HP与砂轮主轴方向垂直，且为∠AHB的角平分线，AP⊥PH，OB⊥OH，线段HA的距离值为X向激光烧蚀头4的焦距值，线段HB的距离值为Y向激光烧蚀头7的焦距值。根据上述已知条件可解得:

OH=HB/cos(0.5∠AHB)，PH=HA/cos(0.5∠AHB)，

OB=HB/sin(0.5∠AHB)，AP=HA/sin(0.5∠AHB)

因此根据砂轮切削尖端顶点H，配合X向分度装置5、X向电动二维平台6，Y向分度装置8、Y向电动二维平台9精确进给，即可确定A，P，O，B点位置。

本发明的技术方案中，所需要修整的超薄超硬砂轮为成型砂轮，切削面有斜角，无法进行单束激光径向修整。亦鉴于超薄超硬材料砂轮体积小，厚度薄，其切削面小，单束激光直接切向辐照砂轮表面时，激光功率密度值不易控制，太高易造成砂轮击穿，严重时造成砂轮崩裂，太低不能达到磨粒去除阈值，就无法达到修整目的。采用双光束，修整过程中，两束激光的夹角轨迹与超薄超硬材料砂轮切削面直接重合，有效的保证了砂轮切割作用面的型面精度，可使砂轮切割面轨迹突出不超过20微米，这是其他修整方法无法比拟的。

由于选用的两束激光源均为皮秒级点光源，波长为1064nm，最大输出功率为10W、重复频率1kHz-5kHz、脉宽小于35ps，具有高脉冲能量（高达1mJ）、高光束质量（M²<1.5），光束直径小于3mm，焦深大于砂轮切削面端面边缘，因此焦深范围内磨粒层均能被修整，两束激光通过400mm、280mm不同的聚焦镜片聚焦后光斑直径为180μm、126μm。所述超薄超硬材料砂轮厚度为0.5-5mm、直径20-40mm、磨粒层厚度为3-6mm。

如图2所示，根据所选镜片以及皮秒激光器自带激光头的结构尺寸自主设计了X向激光烧蚀头4，Y向激光烧蚀头7，两烧蚀头结构相同，唯一差别在于聚焦镜片聚焦值不同。激光烧蚀头包括激光头14，烧蚀头主体15，聚焦透镜16，聚焦透镜压环17，保护镜片18，保护镜片压环19，同轴气嘴20，同轴送气孔21和进气螺纹孔22，其中，激光头14与烧蚀头主体15为间隙配合，固定螺钉通过固定螺纹孔23将激光头14和烧蚀头主体15连接在一起，聚焦透镜16放置在烧蚀头主体15内部的凸台上，聚焦透镜压环17放置聚焦透镜16上，保护镜片18放置在聚焦透镜压环17上，通过保护镜片压环19将聚焦透镜16、聚焦透镜压环17和保护镜片18固定，通过螺纹安装同轴气嘴20，同轴气嘴20通过进气螺纹孔22和同轴送气孔21实现激光烧蚀过程中同轴吹气功能。

只需要拧松图中固定螺纹孔23所示沿周向均匀分布的四个固定螺钉就可以方便卸下烧蚀头同轴气嘴20。为了方便更换镜片或者清洗镜片，先卸下前端同轴气嘴20，再旋下保护镜片压环19，就可以拆下聚焦透镜16和保护镜片18，同轴气嘴20有实现同轴吹气功能，气体从进气螺纹孔22进入，从同轴送气孔21吹出作用于砂轮表面。

图3为X向电动二维平台和X向分度装置集成或Y向电动二维平台和Y向分度装置集成示意图，X向电动二维平台6和Y向电动二维平台9结构相同，每个都是由两个同一型号的电动平移台呈十字形布置，该电动平移台的行程为700mm，分辨率为0.00125mm，最高速度为20mm/s，重复定位精度<0.005mm，分别用于径向对焦和轴向进给。X向激光烧蚀头4通过图3中烧蚀头夹持器25和分度装置24固连，烧蚀头夹持器25和分度装置24再固定于X向电动二维平台6上，可以通过手动支撑棒齿轮夹具27在齿条支撑棒26上与齿啮合移动从而调整烧蚀头高度，平台下端为两个电动平移台28，其中下面的电动平移台用于自动对焦，上面的电动平移台用于轴向进给。Y向装置配置同上。

图4是砂轮局部放大示意图。其中H点为砂轮尖端顶点，也是两束激光对焦焦点位置。其中砂轮切削面下端面边缘29为X向激光修整作用面，砂轮切削面上端面边缘30为Y向激光修整作用面。

（1）修整设备的安装

将超薄超硬材料砂轮10安装在三轴联动数控机床的旋转轴11上，同时，三轴联动数控机床的旋转轴11上安装固连Y向功率计13，将X向烧蚀头4安装在X向分度装置5上，再和X向电动二维平台6固连。将Y向烧蚀头7安装在Y向分度装置8上，再和Y向电动二维平台9固连。将所有设备按图1所示线路安装好。

（2）光路的调试

1、接通电源，开启计算机1，开启激光器，先出检测光。起始时，X、Y向烧蚀头光路均与三轴联动数控机床的旋转轴11垂直，两条光路设备均在图2中OP直线上。

2、调节Y向电动二维平台9，使Y向激光烧蚀头7出光口先移动到O点，再移动到B点。HB为Y向激光烧蚀头7场镜聚焦值。调节Y向分度装置8，逆钟偏转角为∠BHO。此时Y向光路已调节完毕。

3、调节X向电动二维平台6，使X向激光烧蚀头4出光口先移动到P点，再移动到A点。HA为X向激光烧蚀头4场镜聚焦值。调节精X向分度装置5，顺钟偏转角为∠AHO。此时X向光路已调节完毕。

指定AP方向即指A点→P点的方向，PA方向即指P点→A点的方向，同理，指定BO方向即指B点→O点的方向，OB方向即指O点→B点的方向。分别调节两个二维电动平台使其沿着AP，BO方向分别移动0.2mm，留出砂轮修整区间阈值。

（3）超薄超硬材料砂轮粗修整步骤

设定二维平台控制箱，控制两个二维电动平台，的使其沿着AP，BO方向往复进给运动0.2mm。速度设定为100um/s.开启三轴联动数控机床，转速设定为200r/min.开启计算机1，设定X向皮秒激光器2，Y向皮秒激光器3参数，选取重复频率2kHz，平均功率为10W。此时超薄超硬材料砂轮10切削面将出现明显的烧蚀现象，由于皮秒激光器脉冲能量极高，10W的激光功率密度值完全超过了砂轮磨粒的去除阈值，粗修整过程将出现较大的烧蚀火花现象，待现象消失，表明砂轮表面已粗修整完毕。

（4）超薄超硬材料砂轮精修整步骤

设定二维平台控制箱，控制两个二维电动平台，使其沿着AP，BO方向往复进给运动0.25mm。速度设定为100um/s.开启三轴联动数控机床，转速设定为200r/min.开启计算机1，设定激光器2.3参数，选取重复频率5kHz，平均功率为6W。此时超薄超硬材料砂轮10切削面将重新出现明显的烧蚀现象，由于皮秒激光器6W，5kHz的激光功率密度值超过了磨粒的去除阈值，此时进行精修整步骤。精修整过程亦将出现较大的烧蚀火花现象，待现象消失，表明砂轮表面已精修整完毕。

尽管参考附图详细地公开了本发明，但应理解的是，这些描述仅仅是示例性的，并非用来限制本发明的应用。本发明的保护范围由附加权利要求限定，并可包括在不脱离本发明保护范围和精神的情况下针对发明所作的各种变型、改型及等效方案。

Claims (4)

1.一种采用双光束修整超薄超硬材料砂轮的设备，包括计算机（1）、X向皮秒激光器（2）、Y向皮秒激光器（3）、X向激光烧蚀头（4）、X向分度装置（5）、X向电动二维平台（6）、Y向激光烧蚀头（7）、Y向分度装置（8）、Y向电动二维平台（9）、三轴联动数控机床旋转轴（11）、X向功率计（12）、Y向功率计（13），其特征在于：

X向皮秒激光器（2）、Y向皮秒激光器（3）放置在实验平台上，X向皮秒激光器（2）输出的X向激光束经单模光纤传导、耦合至带有标准隔离器的X向激光烧蚀头（4），X向皮秒激光器（2）经过X向激光烧蚀头（4）中焦距为400mm聚焦透镜（16）聚焦后光束轨迹与超薄超硬材料砂轮（10）砂轮切削面下端面边缘重合；

X向激光烧蚀头（4）通过烧蚀头夹持器（25）和X向分度装置（5）固连，烧蚀头夹持器（25）和X向分度装置（5）再固定于X向电动二维平台（6）上，从而使得X向激光烧蚀头（4）实现水平面二维方向的进给和∠AHP范围内的旋转；

Y向皮秒激光器（3）输出的Y向激光束经单模光纤传导、耦合至带有标准隔离器的Y向激光烧蚀头（7），Y向皮秒激光器（3）经过Y向激光烧蚀头（7）中焦距为280mm聚焦透镜（16）聚焦后光束轨迹与超薄超硬材料砂轮（10）砂轮切削面上端面边缘重合；

Y向激光烧蚀头（7）通过烧蚀头夹持器（25）和Y向分度装置（8）固连，烧蚀头夹持器（25）和Y向分度装置（8）再固定于Y向电动二维平台（9）上，从而使得Y向激光烧蚀头（7）实现水平面二维方向的进给和∠BHP范围内的旋转；

超薄超硬材料砂轮（10）安装在三轴联动数控机床的旋转轴（11）上，同时，三轴联动数控机床的旋转轴（11）上安装固连Y向功率计（13）；

X向电动二维平台（6）和Y向电动二维平台（9）通过数据线与计算机（1）连接，X向电动二维平台（6）和Y向电动二维平台（9）的运动通过计算机（1）控制。

2.根据权利要求1所述的采用双光束修整超薄超硬材料砂轮的设备，其特征在于：超薄超硬材料砂轮是厚度为0.5-5mm、直径20-40mm、磨粒层厚度为3-6mm的砂轮。

3.根据权利要求1所述的采用双光束修整超薄超硬材料砂轮的设备，其特征在于：X向激光烧蚀头（4）包括激光头（14），烧蚀头主体（15），聚焦透镜（16），聚焦透镜压环（17），保护镜片（18），保护镜片压环（19），同轴气嘴（20），同轴送气孔（21）和进气螺纹孔（22），其中，激光头（14）与烧蚀头主体（15）为间隙配合，固定螺钉通过固定螺纹孔（23）将激光头（14）和烧蚀头主体（15）连接在一起，聚焦透镜（16）放置在烧蚀头主体（15）内部的凸台上，聚焦透镜压环（17）放置聚焦透镜（16）上，保护镜片（18）放置在聚焦透镜压环（17）上，通过保护镜片压环（19）将聚焦透镜（16）、聚焦透镜压环（17）和保护镜片（18）固定，通过螺纹安装同轴气嘴（20），同轴气嘴（20）通过进气螺纹孔（22）和同轴送气孔（21）实现激光烧蚀过程中同轴吹气功能。

4.利用权利要求1所述的采用双光束修整超薄超硬材料砂轮的设备修整砂轮的方法，其特征在于包括如下步骤：

步骤1、安装修整设备，将超薄超硬材料砂轮（10）安装在三轴联动数控机床的旋转轴（11）上，同时，三轴联动数控机床的旋转轴（11）上安装固连Y向功率计（13），将X向烧蚀头（4）安装在X向分度装置（5）上，再和X向电动二维平台（6）固连；将Y向烧蚀头（7）安装在Y向分度装置（8）上，再和Y向电动二维平台（9）固连；

步骤2、调试激光光路

1）、接通电源，开启计算机（1），开启激光器，射出检测光；起始时，X、Y向烧蚀头光路均与三轴联动数控机床的旋转轴（11）垂直；

2）、调节Y向电动二维平台（9），使Y向激光烧蚀头（7）出光口先移动到O点，再移动到B点；HB为Y向激光烧蚀头（7）场镜聚焦值；调节Y向分度装置（8），逆钟偏转角为∠BHO；此时Y向光路已调节完毕；

3）、调节X向电动二维平台（6），使X向激光烧蚀头（4）出光口先移动到P点，再移动到A点；HA为X向激光烧蚀头（4）场镜聚焦值；调节精X向分度装置（5），顺钟偏转角为∠AHO；此时X向光路已调节完毕；

步骤3、粗修整超薄超硬材料砂轮

控制两个二维电动平台，使其沿着AP，BO方向往复进给运动0.2mm；速度设定为100um/s；开启三轴联动数控机床，转速设定为200r/min；设定X向皮秒激光器（2），Y向皮秒激光器（3）重复频率2kHz，平均功率为10W；

步骤4、精修整超薄超硬材料砂轮

控制两个二维电动平台，使其沿着AP，BO方向往复进给运动0.25mm；速度设定为100um/s；开启三轴联动数控机床，转速设定为200r/min；设定X向皮秒激光器（2），Y向皮秒激光器（3）重复频率5kHz，平均功率为6W。

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