CN103792590B - 一种在高温腔体中侦测物品存在的侦测装置及侦测方法 - Google Patents
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Abstract
一种在高温腔体中侦测物品存在的侦测装置,用于侦测玻璃基板在高温腔体中的进出,侦测装置包括感测探针和侦测元件,感测探针装配于高温腔体的侧壁,其包括在同一直线上的固定探针和偏转探针,当玻璃基板进入高温腔体内时,玻璃基板触碰到偏转探针时,偏转探针接通侦测元件,则侦测元件发出感应信号,以表征玻璃基板进入高温腔体内。通过简单地机械结构和常规的侦测元件,就可以实时地判断玻璃基板或其他元器件是否存在于高温设备中,保障了物料侦测的实时性和准确性。
Description
技术领域
本发明涉及一种侦测装置和侦测方法,尤其是指一种在高温腔体中侦测物品存在的侦测装置及侦测方法。
背景技术
在玻璃基板的制造过程中,需要将其从高温腔体导出至较低温腔体中进行加工,在封闭的腔室内连续完成。在现有技术中,采用软件记录来记录玻璃基板在高温腔体中的进出状况,来判断玻璃基板是否已存在于高温设备中,若发生检修时,已将玻璃基板从高温设备中取出,未及时更新软件的记录信息,影响后续制程的进出料工序,发生错误的几率很大,因此,有必要提供一种能准备记录玻璃基板是否存在于高温腔体内装置和方法。
发明内容
基于现有技术的不足,本发明的主要目的在于提供一种可实时判断玻璃基板是否在高温腔体内的侦测装置和侦测方法。
本发明提供了一种在高温腔体中侦测物品存在的侦测装置,用于侦测玻璃基板在高温腔体中的进出,其中,所述侦测装置包括感测探针和侦测元件,感测探针装配于高温腔体的侧壁,感测探针包括在同一直线上的固定探针和偏转探针,当玻璃基板进入高温腔体内时,玻璃基板触碰到偏转探针时,偏转探针接通侦测元件,则侦测元件发出感应信号,以表征玻璃基板进入高温腔体内。
优选地,所述偏转探针的两端重量不相等,其中,设与玻璃基板触碰端为第一端臂,与接触探针触碰端为第二端臂,所述第一端臂的重量小于第二端臂的重量,所述第一端臂的长度小于第二端臂的长度,从而使得第一端臂向上翘起。
优选地,所述侦测元件为光栅感应器或压敏感应器。所述侦测元件为光栅感应器时,所述光栅感应器包括光源发射器、接触探针和光源接收器,光源发射器与接触探针连接,当玻璃基板触碰到偏转探针时,通过偏转探针的反向摆动接通光源发射器,光源接收器所接收的光源强度降低,则将光强感应信号转换为电信号发送。所述侦测元件为压敏感应器时,所述压敏感应器的前端伸出接触探针,当玻璃基板触碰到偏转探针时,通过偏转探针的反向摆动接通压敏感应器,若压敏感应器所测的当前压力大于设定的压力值,则将压力感应信号转换为电信号发送。
优选地,在本发明的侦测装置中,增设有安装于高温腔体侧壁的密封轴承,所述偏转探针由密封轴承中穿出,其可以密封轴承为轴心上下偏转。通过密封轴承固定所述偏转探针,并将高温腔体密封,防止其漏气。
本发明还提供了一种高温腔体内侦测物品存在的方法,用于侦测玻璃基板在高温腔体中的进出。在初始状态,高温腔体内无玻璃基板,偏转探针处于正常倾斜状态,且偏转探针与接触探针不接触,侦测元件未导通;当偏转探针受压而发生偏转,偏转探针与接触探针接触,导通侦测元件,侦测元件发出感应信号,表示玻璃基板进入高温腔体内。
其中,所述侦测元件为光栅感应器或压敏感应器,当偏转探针受压偏转而触碰到接触探针时,导通侦测元件,当侦测元件所测定的光强变化值或压力变化值大于设定值时,则将感应信号转换为电信号发送。
与现有技术相比,本发明一种在高温腔体中侦测物品存在的侦测装置,可应用于实时侦测玻璃基板在高温腔体中的存在,当玻璃基板进入腔体内时,向偏转探针施压,使其发生偏转而接通侦测元件,若侦测元件感测到光强或压力的变化,则可判定玻璃基板存在于腔体内。同样地,当玻璃基板离开腔体时,也可以通过感测光强或压力的变化,来判定其是否还存在其中。由此,通过简单地机械结构和常规的侦测元件,就可以实时地判断玻璃基板或其他元器件是否存在于高温设备中,有效降低了因采用软件来对进出料进行记录而产生的失误,降低了生产过程中因物料与产品不符而产生的问题等等,也不需要针对高温设备的侦测应用而采用耐高温的元件,减少了开发费用,保障了物料侦测的实时性和准确性。
附图说明
图1为本发明一种在高温腔体中侦测物品存在的侦测装置在初始状态的结构示意图;
图2为本发明一种在高温腔体中侦测物品存在的侦测装置在玻璃基板存在时的结构示意图。
具体实施方式
为了对高温设备腔体内的物品是否存在进行实时监测,参照图1和图2所示,本发明提供了一种在高温腔体中侦测物品存在的侦测装置,用于侦测玻璃基板3在高温腔体中的进出,其中,所述侦测装置设于高温腔体2的任一侧,包括感测探针和侦测元件12,所述感测探针包括在同一直线上的固定探针10a和偏转探针10b,其装配于高温腔体2的侧壁,当玻璃基板进入高温腔体2内时,玻璃基板3触碰到偏转探针10b时,偏转探针10b接通侦测元件12,则侦测元件12发出感应信号,以表征玻璃基板3进入高温腔体2内。本发明通过侦测装置的机械式感测的方式,判断玻璃基板3是否存在于高温腔体2内。所述侦测装置安装于高温腔体2的侧壁,当玻璃基板3接触到侦测装置时,侦测装置受触发而发送感应信号。
所述偏转探针10b的两端重量不相等,其中,设与玻璃基板触碰端为第一端臂102,与接触探针触碰端为第二端臂104,所述第一端臂102的重量小于第二端臂104的重量,这样,当偏转探针10未受压,在自由状态时,第一端臂102自然翘起,向上偏斜,而第二端臂104自然垂下,向下偏斜,使得当玻璃基板3进入腔体内,玻璃基板3将施压于第一端臂102上,使得第二端臂102随之翘起而触发侦测元件12。优选地,通过调整所述第一端臂102的长度小于第二端臂104的长度,使得第一端臂102的重量小于第二端臂104的重量,以保证偏转探针10b在初始状态保持倾斜,并与侦测元件断开。
在本发明中,所述侦测元件12可为光栅感应器或压敏感应器。实施例一中,所述侦测元件12为光栅感应器时,所述光栅感应器包括光源发射器120、接触探针122和光源接收器124,光源发射器120与高温腔体2之间保持一定距离,接触探针122由光源发射器120中延伸出,光源接收器124可设置于光源发射器120同侧或固定探针10a的同侧,优选地,光源接收器124设于固定探针10a的同侧,光源发射器120、玻璃基板3和光源接收器124在同一直线上。当在高温腔体2中未有玻璃基板3进入时,偏转探针10b为自由偏转状态,其与接触探针122未接触,这时,光源发射器120关闭状态,未发送光源,当有玻璃基板3进入高温腔体2内,偏转探针10b受玻璃基板3按压而改变角度,通过偏转探针10b的反向摆动接通光源发射器120,光源发射器120发射光源,若光源接收器124所接收的光源强度降低,则将光强感应信号转换为电信号发送,表征玻璃基板3已进入高温腔体2内。
所述侦测元件12为压敏感应器时,所述压敏感应器的前端伸出接触探针,当玻璃基板触碰到偏转探针时,通过偏转探针的反向摆动接通压敏感应器,若压敏感应器所测的当前压力大于设定的压力值,则将压力感应信号转换为电信号发送,表征玻璃基板已进入高温腔体内。
通过偏转探针10b触发接触探针122接通光栅感应器或压敏感应器,以触发感测光强或压力的变化,来判断玻璃基板是否存在于高温腔体内。
优选地,在侦测装置增设有安装于高温腔体2侧壁的密封轴承4,所述偏转探针10b由密封轴承4中穿出,其可以密封轴承4为轴心上下偏转。所述密封轴承4既起到固定偏转探针10的作用,又起到密封高温腔体的作用,避免偏转探针10b在高温腔体2上的穿孔造成气体的泄漏或渗入。
在本发明中,同一个高温腔体内,可平行设置有多组侦测装置,使得多组玻璃基板可同时进入高温腔体内,并分别受感测到其是否存在其中。
本发明还提供了一种高温腔体内侦测物品存在的方法,用于侦测玻璃基板在高温腔体中的进出。在初始状态,高温腔体2内无玻璃基板3,偏转探针10b处于正常倾斜状态,第一端臂102向上翘起,第二端臂104向下倾斜,且与接触探针122不接触,侦测元件12未导通;当偏转探针10b受压而发生偏转,玻璃基板3按压固定探针10a和偏转探针10b,偏转探针10b的第二端臂104与接触探针122接触,导通光栅感应器,发射光源,在发射光源的瞬间,被光源接收器124接收,随着玻璃基板3向前推移,其逐渐挡住了光线,光源接收器124接收到的光强减弱,这时,光源接收器124将光强感应信号转换为电信号发送,表示玻璃基板进入高温腔体内。当玻璃基板离开固定探针10a和偏转探针10b时,偏转探针10b恢复自由倾斜状态,断开与接触探针122的接触,则光源发射器120停止发射光源,这时,光源接收器124接收不到任何光线,则将光强感应信号转换为电信号发送,反馈玻璃基板已离开高温腔体。
所述侦测元件12可为光栅感应器或压敏感应器,当偏转探针10受压偏转而触碰到接触探针122时,导通侦测元件12,当侦测元件12所测定的光强变化值或压力变化值大于设定值时,则将感应信号转换为电信号发送,由此判定玻璃基板是否在高温腔体内。
Claims (9)
1.一种在高温腔体中侦测物品存在的侦测装置,用于侦测玻璃基板在高温腔体中的进出,其特征在于:所述侦测装置包括感测探针和侦测元件,感测探针装配于高温腔体的侧壁,感测探针包括在同一直线上的固定探针和偏转探针,当玻璃基板进入高温腔体内时,玻璃基板触碰到偏转探针时,通过偏转探针触发接触探针接通侦测元件,则侦测元件发出感应信号,以表征玻璃基板进入高温腔体内,所述侦测装置增设有安装于高温腔体侧壁的密封轴承,所述偏转探针由密封轴承中穿出,其可以密封轴承为轴心上下偏转。
2.根据权利要求1所述的高温腔体中侦测物品存在的侦测装置,其特征在于:所述侦测元件为光栅感应器或压敏感应器。
3.根据权利要求2所述的高温腔体中侦测物品存在的侦测装置,其特征在于:所述侦测元件为光栅感应器时,所述光栅感应器包括光源发射器、接触探针和光源接收器,光源发射器与接触探针连接,当玻璃基板触碰到偏转探针时,通过偏转探针的反向摆动接通光源发射器,光源接收器所接收的光源强度降低,则将光强感应信号转换为电信号发送。
4.根据权利要求3所述的高温腔体中侦测物品存在的侦测装置,其特征在于:所述光源接收器设置于光源发射器同侧或固定探针的同侧。
5.根据权利要求2所述的高温腔体中侦测物品存在的侦测装置,其特征在于:所述侦测元件为压敏感应器时,所述压敏感应器的前端伸出接触探针,当玻璃基板触碰到偏转探针时,通过偏转探针的反向摆动接通压敏感应器,若压敏感应器所测的当前压力大于设定的压力值,则将压力感应信号转换为电信号发送。
6.根据权利要求1所述的高温腔体中侦测物品存在的侦测装置,其特征在于:所述偏转探针的两端重量不相等,其中,设与玻璃基板触碰端为第一端臂,与接触探针触碰端为第二端臂,所述第一端臂的重量小于第二端臂的重量。
7.根据权利要求6所述的高温腔体中侦测物品存在的侦测装置,其特征在于:所述第一端臂的长度小于第二端臂的长度。
8.一种使用如权利要求1所述的装置在高温腔体内侦测物品存在的方法,用于侦测玻璃基板在高温腔体中的进出,其特征在于:在初始状态,高温腔体内无玻璃基板,偏转探针处于正常倾斜状态,且偏转探针与接触探针不接触,侦测元件未导通;当偏转探针受压而发生偏转,偏转探针与接触探针接触,导通侦测元件,侦测元件发出感应信号,表示玻璃基板进入高温腔体内;当玻璃基板离开固定探针和偏转探针时,偏转探针恢复正常倾斜状态,断开与接触探针的接触,则断开侦测元件,侦测元件发出感应信号,反馈玻璃基板已离开高温腔体。
9.根据权利要求8所述的高温腔体内侦测物品存在的方法,其特征在于:所述侦测元件为光栅感应器或压敏感应器,当偏转探针受压偏转而触碰到接触探针时,导通侦测元件,当侦测元件所测定的光强变化值或压力变化值大于设定值时,则将感应信号转换为电信号发送。
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