CN103744276A - 一种激光打印机用厚膜加热元器件及制作方法 - Google Patents

一种激光打印机用厚膜加热元器件及制作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103744276A
CN103744276A CN201410048824.6A CN201410048824A CN103744276A CN 103744276 A CN103744276 A CN 103744276A CN 201410048824 A CN201410048824 A CN 201410048824A CN 103744276 A CN103744276 A CN 103744276A
Authority
CN
China
Prior art keywords
layer
thick film
film
thick
ceramic substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201410048824.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103744276B (zh
Inventor
邓进甫
兰昌云
梁立新
陈宇浩
谢宇明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DONGGUAN TPS ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
DONGGUAN TPS ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by DONGGUAN TPS ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical DONGGUAN TPS ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201410048824.6A priority Critical patent/CN103744276B/zh
Publication of CN103744276A publication Critical patent/CN103744276A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103744276B publication Critical patent/CN103744276B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/20Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B2203/00Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/002Heaters using a particular layout for the resistive material or resistive elements
    • H05B2203/006Heaters using a particular layout for the resistive material or resistive elements using interdigitated electrodes

Landscapes

  • Surface Heating Bodies (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Abstract

本发明公开了一种激光打印机用厚膜加热元器件,包括依次设置的陶瓷基板(200)、正面厚膜电阻层(201)、正面导体线路层(202)和正面绝缘保护层(203),本发明同时还提供了该元件的制作方法,包括:(1)先在陶瓷基板(200)上形成正面厚膜电阻层(201);(2)在陶瓷基板(200)和厚膜电阻层(201)上形成具有梳状结构的正面导体线路层(202);(3)将步骤(2)形成的半成品放入高温炉中烧成;(4)形成正面绝缘保护层(203);(5)将正面绝缘保护层(203)进行固化或烧结。本发明通过正面厚膜电阻层使用并联电阻结构,使加热元器件生产成本低、发热均匀且产品导热系数高,适合在激光打印机和复印机高温高湿环境下长期使用。

Description

一种激光打印机用厚膜加热元器件及制作方法
技术领域
本发明属于激光打印机和复印机配件的技术领域,尤其是一种用于激光打印机或复印机的厚膜加热元器件及制作方法。
背景技术
陶瓷加热片由于其功率大(1100至1300W)、功率稳定、升温快、热损耗少、热传导速度快、节电、安装方便等优点,是目前激光打印机加热定影系统所使用加热元件的主流。已有多种陶瓷加热片应用于激光打印机和复印机,现有陶瓷加热片普遍使用到厚膜混合集成电路的生产工艺技术,是在氧化铝(Al2O3)陶瓷基板或氮化铝(AlN)陶瓷基板上,通过印刷导体层、加热电阻层、绝缘保护层,并通过850℃的高温烧结,形成厚膜陶瓷加热片。这些厚膜陶瓷加热片的原理图如图1所示,结构则如图2所示,它包括:基板(100),正面导体线路层(101),正面电阻层(102),正面绝缘介质保护层(103)。
上述厚膜陶瓷加热片的制造方法包括如下步骤:
1.在氧化铝或氮化铝陶瓷基板(100)上,通过厚膜丝网印刷工艺,印刷正面导体线路层(101)。并通过850℃的高温烧结,形成性能稳定的导体层。正面导体线路层一般包括与正面电阻层(102)搭接的导体线路和与输入端子搭接的焊盘。其中导体材料一般需选用银/钯(Ag/Pd)贵金属材料。
2.在上述步骤1获得的正面导体线路层(101)上,使用同样制作方法,制作正面电阻层(102)。并通过850℃的高温烧结,形成性能稳定的加热电阻膜层。而为了保证厚膜陶瓷加热片在使用过程中的功率稳定性,电阻浆料一般需选用温度特性稳定的钯(Pd)贵金属。
3.在上述步骤2获得的正面电阻体层(102)上,使用同样制作方法,制作绝缘介质保护层(103)。
上述产品结构设计及制作方法制造的厚膜陶瓷加热片,存在以下问题:
1.电阻层(101)通常设计为长条矩形。
按照电阻阻值的计算公式:
R=R×S
R ——陶瓷加热片的目标电阻值
R——电阻浆料方阻
S ——电阻体的设计方数,S=电阻体长度(L)÷电阻体宽度(W)
由于电阻层的长条矩形设计,电阻层的电阻方数很大。
按照1300W的使用功率,当工作电压为110V时,根据P(功率)=U2(工作电压)÷R(电阻阻值)的计算公式。陶瓷加热条的电阻阻值一般9欧姆左右。
根据上述计算公式,电阻浆料的方阻必须在毫欧级(一般在100毫欧左右),按照电阻浆料行业现有的技术水平,电阻浆料的TCR(电阻温度系数)性能指标,与其方阻R大小,呈反抛物线曲线。其中,R为10Ω/~100KΩ/的中间方阻值段的电阻浆料,其TCR(电阻温度系数)最低。而R<10Ω/或R>100KΩ/方阻值段的电阻浆料,其TCR(电阻温度系数)较高。
为了降低R<10Ω/电阻浆料的电阻温度系数(TCR),以满足厚膜陶瓷加热片等加热元件对电阻浆料的低方阻、低TCR性能要求,电阻浆料厂家必须使用钯(Pd)等贵金属材料,代替氧化钌作为电阻浆料的功能相。而金属钯的成本是氧化钌的15倍以上。这样,就使得该类产品的成本居高不下。
2.先制备导体层,再制备电阻层,容易造成电阻膜层在导体搭接处的膜层厚度较其它位置的膜层厚度要厚一些,造成电阻发热不均匀,同时由于导体层和电阻层分开烧结,增加了烧结成本。
发明内容
本发明的目的是通过特殊的梳状导体结构设计,将现有技术方案中的单个发热电阻体,设计为多个(一般可设计为20个以上)并联发热电阻体。以使得现有旧技术方案中的方阻为毫欧级的电阻浆料,可用100欧姆或更高方阻浆料来代替,不但降低产品的生产成本,而且可提高产品的热稳定性,提高产品的性能。
本发明所提供的激光打印机用厚膜加热元器件,其工作原理图如图3所示,其结构示意图如图4所示,包括依次设置的陶瓷基板(200)、正面厚膜电阻层(201)、正面导体线路层(202)和正面绝缘保护层(203),所述的陶瓷基板(200)为氧化铝或氮化铝陶瓷基板,所述的正面厚膜电阻层(201)呈矩形,正面厚膜电阻层(201)的材质主要是钌基电阻浆料,正面导体线路层(202)为梳状结构,正面绝缘保护层(203)的材质使用聚酰亚胺、树脂或有机硅化合物,或使用硼硅玻璃等无机材质。
本发明还提供了该激光打印机用厚膜加热元器件的制作方法,包括如下步骤:
(1)先将陶瓷基板(200)加工成具有横向划槽(11)和纵向划槽(12),再运用厚膜成膜技术,在陶瓷基板(200)上形成正面厚膜电阻层(201);
(2)运用厚膜成膜技术,在陶瓷基板(200)和厚膜电阻层(201)上形成具有梳状结构的正面导体线路层(202),该梳状结构的电极与正面厚膜电阻层(201)搭接后,将单一矩形电阻形成多个并联电阻;
当使用厚膜成膜技术时,可使用丝网印刷的方式,将金、钯、铂、银等贵金属或其合金的导体浆料印刷在陶瓷基板(200)上;
(3)将形成有正面厚膜电阻层(201)、正面导体线路层(202)的半成品,放入800℃以上的高温炉中烧成,以形成性能稳定的电阻功能膜层和导体功能膜层;
(4)运用厚膜成膜技术,在陶瓷基板(200)、正面电阻层(201)、正面导体线路层(202)的基础上,形成正面绝缘保护层(203);
(5)将正面绝缘保护层(203)进行固化或烧结;
(6)利用陶瓷基板(200)上的横向划槽(11)和纵向划槽(12),将所获得的具有正面绝缘保护层(203)的半成品掰开形成单条陶瓷薄膜加热条成品,然后对单条陶瓷薄膜加热条成品,进行性能测试,分选,包装,入库。 
本发明与现有技术相比,具有以下优点和积极效果:1.正面发热电阻体使用并联电阻结构,可使用普通钌基电阻浆料来生产,而不需要使用钯基电阻浆料,降低生产成本,且发热体膜层均匀;2.正面发热电阻体使用并联电阻结构,电阻体分布合理,发热均匀;3.使用先印刷电阻、再印刷导体的制作方法,可提高电阻膜层的均匀性;4.使用电阻膜层和导体膜层共烧的方法,减少了一烧结次数,降低制作成本;5.可在氮化铝陶瓷基板制备各功能膜层,产品导热系数高,适合于高速打印机和高速复印机。
附图说明
图1为现有厚膜陶瓷加热片的工作原理图。
图2为现有厚膜陶瓷加热片的结构示意图。
图3为本发明中厚膜加热元器件的工作原理图。
图4为本发明中厚膜加热元器件的结构示意图。
图5为本发明中陶瓷基板的结构示意图。
图6为本发明的工艺流程图。
具体实施方式
以下以一个具体实施例进行描述本发明的实施过程,但本发明不仅限于该实施例。本发明的内容涵盖任何在本发明核心内容上做修改、等效、替换的各种方案。
本发明的基本结构则如图4所示,工艺流程则如图6所示,具体包括以下步骤:
步骤一:先将陶瓷基板(200)加工成具有横向划槽(11)和纵向划槽(12),再运用厚膜成膜技术,在陶瓷基板(200)上形成正面厚膜电阻层(201);如图5所示
步骤二:运用厚膜成膜技术,在陶瓷基板(200)和厚膜电阻层(201)上形成具有梳状结构的正面导体线路层(202),该梳状结构的电极与正面厚膜电阻层(201)搭接后,将单一矩形电阻形成多个并联电阻;
步骤三:将形成有正面厚膜电阻层(201)、正面导体线路层(202)的半成品,放入800℃以上的高温炉中烧成,以形成性能稳定的电阻功能膜层和导体功能膜层;
步骤四:运用厚膜成膜技术,在陶瓷基板(200)、正面电阻层(201)、正面导体线路层(202)的基础上,形成正面绝缘保护层(203);
步骤五:将正面绝缘保护层(203)进行固化或烧结;如果正面绝缘保护层(203)的材料是使用聚酰亚胺、树脂或有机硅化合物等有机体系,则将相应的半成品放入240℃以下的低温固化炉或固化箱中进行固化,以形成性能稳定的绝缘保护功能层;如果正面绝缘保护层(203)的材料是使用硼硅玻璃等无机体系,则将相应的半成品放入600~850℃的高温炉中进行烧结;
步骤六:利用陶瓷基板(200)上的横向划槽(11)和纵向划槽(12),将所获得的具有正面绝缘保护层(203)的半成品掰开形成单条陶瓷薄膜加热条成品,然后对单条陶瓷薄膜加热条成品,进行性能测试,分选,包装,入库。

Claims (8)

1.一种激光打印机用厚膜加热元器件的制作方法,其特征在于:包括如下步骤:
(1)先将陶瓷基板(200)加工成具有横向划槽(11)和纵向划槽(12),再运用厚膜成膜技术,在陶瓷基板(200)上形成正面厚膜电阻层(201);
(2)运用厚膜成膜技术,在陶瓷基板(200)和厚膜电阻层(201)上形成具有梳状结构的正面导体线路层(202),该梳状结构的电极与正面厚膜电阻层(201)搭接后,将单一矩形电阻形成多个并联电阻;
(3)将形成有正面厚膜电阻层(201)、正面导体线路层(202)的半成品,放入800℃以上的高温炉中烧成,以形成性能稳定的电阻功能膜层和导体功能膜层;
(4)运用厚膜成膜技术,在陶瓷基板(200)、正面电阻层(201)、正面导体线路层(202)的基础上,形成正面绝缘保护层(203);
(5)将正面绝缘保护层(203)进行固化或烧结;
(6)利用陶瓷基板(200)上的横向划槽(11)和纵向划槽(12),将所获得的具有正面绝缘保护层(203)的半成品掰开形成单条陶瓷薄膜加热条成品,然后对单条陶瓷薄膜加热条成品,进行性能测试,分选,包装,入库。
2. 根据权利要求1所述的激光打印机用厚膜加热元器件的制作方法,其特征在于:所述厚膜成膜技术使用丝网印刷方式。
3.根据权利要求1所述的激光打印机用厚膜加热元器件的制作方法,其特征在于:所述步骤(5)中,正面绝缘保护层(203)的材料如果使用聚酰亚胺、树脂或有机硅化合物,就将相应的半成品放入240℃以下的低温固化炉或固化箱中进行固化,以形成性能稳定的绝缘保护功能层,如果使用硼硅玻璃,则将相应的半成品放入600~850℃的高温炉中进行烧结。
4.一种激光打印机用厚膜加热元器件,其特征在于:包括依次设置的陶瓷基板(200)、正面厚膜电阻层(201)、正面导体线路层(202)和正面绝缘保护层(203)。
5.根据权利要求4所述的激光打印机用厚膜加热元器件,其特征在于:所述的陶瓷基板(200)为氧化铝或氮化铝陶瓷基板。
6.根据权利要求4所述的激光打印机用厚膜加热元器件,其特征在于:所述的正面厚膜电阻层(201)呈矩形。
7.根据权利要求4所述的激光打印机用厚膜加热元器件,其特征在于:所述正面导体线路层(202)为梳状结构。
8.根据权利要求4所述的激光打印机用厚膜加热元器件,其特征在于:所述正面绝缘保护层(203)的材质使用聚酰亚胺、树脂、有机硅化合物或硼硅玻璃。
CN201410048824.6A 2014-02-12 2014-02-12 一种激光打印机用厚膜加热元器件的制作方法 Active CN103744276B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410048824.6A CN103744276B (zh) 2014-02-12 2014-02-12 一种激光打印机用厚膜加热元器件的制作方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410048824.6A CN103744276B (zh) 2014-02-12 2014-02-12 一种激光打印机用厚膜加热元器件的制作方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103744276A true CN103744276A (zh) 2014-04-23
CN103744276B CN103744276B (zh) 2016-05-25

Family

ID=50501306

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410048824.6A Active CN103744276B (zh) 2014-02-12 2014-02-12 一种激光打印机用厚膜加热元器件的制作方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103744276B (zh)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104093224A (zh) * 2014-06-11 2014-10-08 浙江西德斯电气有限公司 基于大功率厚膜电阻电路的加热板及其并联丝网印刷方法
CN104470003A (zh) * 2014-11-20 2015-03-25 东莞市国研电热材料有限公司 多温区自控温发热体的制造方法及多温区自控温发热体
CN104754780A (zh) * 2015-04-10 2015-07-01 张飞林 一种陶瓷电热组件及其制备方法
CN104797017A (zh) * 2014-10-28 2015-07-22 池州信安电子科技有限公司 一种高热陶瓷片
CN105301938A (zh) * 2014-07-24 2016-02-03 佳能株式会社 加热器和包括加热器的图像加热装置
CN106060979A (zh) * 2016-07-01 2016-10-26 新乡市杰达精密电子器件有限公司 钌或钌的化合物在制备厚膜加热元件中的应用和含有该物质的厚膜加热元件及其电阻浆料
WO2017133069A1 (zh) * 2016-02-03 2017-08-10 广东天物新材料科技有限公司 一种覆盖层具有高导热能力的厚膜元件
CN107107876A (zh) * 2015-01-08 2017-08-29 伊利诺斯工具制品有限公司 用于挡风玻璃清洗器喷嘴的共形加热器
CN107613588A (zh) * 2017-08-14 2018-01-19 深圳市维特欣达科技有限公司 一种快热式发热板的制备方法及快热式发热板
CN108207041A (zh) * 2016-12-19 2018-06-26 东莞市东思电子技术有限公司 一种新型直发器用陶瓷发热组件及其制作方法
CN108207042A (zh) * 2016-12-19 2018-06-26 东莞市东思电子技术有限公司 一种直发器用陶瓷发热组件及其制作方法
CN109688645A (zh) * 2019-01-24 2019-04-26 广西桂仪科技有限公司 一种陶瓷厚膜直发加热器及其制备工艺
CN114080069A (zh) * 2021-08-19 2022-02-22 东莞和馨嘉电子科技有限公司 一种具有延迟干烧的发热模块及其制作方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05181545A (ja) * 1991-12-28 1993-07-23 Rohm Co Ltd 加熱ヒータおよび加熱ヒータの抵抗値調節方法
US5338919A (en) * 1991-12-28 1994-08-16 Rohm Co., Ltd. Heater for sheet material and method for adjusting resistance of same
JPH08185069A (ja) * 1994-12-27 1996-07-16 Toshiba Lighting & Technol Corp 定着ヒータ,定着装置および画像形成装置
CN101387860A (zh) * 2007-09-10 2009-03-18 罗姆股份有限公司 加热器
CN203720539U (zh) * 2014-02-12 2014-07-16 东莞市东思电子技术有限公司 一种激光打印机用厚膜加热元器件

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05181545A (ja) * 1991-12-28 1993-07-23 Rohm Co Ltd 加熱ヒータおよび加熱ヒータの抵抗値調節方法
US5338919A (en) * 1991-12-28 1994-08-16 Rohm Co., Ltd. Heater for sheet material and method for adjusting resistance of same
JPH08185069A (ja) * 1994-12-27 1996-07-16 Toshiba Lighting & Technol Corp 定着ヒータ,定着装置および画像形成装置
CN101387860A (zh) * 2007-09-10 2009-03-18 罗姆股份有限公司 加热器
CN203720539U (zh) * 2014-02-12 2014-07-16 东莞市东思电子技术有限公司 一种激光打印机用厚膜加热元器件

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104093224A (zh) * 2014-06-11 2014-10-08 浙江西德斯电气有限公司 基于大功率厚膜电阻电路的加热板及其并联丝网印刷方法
CN105301938A (zh) * 2014-07-24 2016-02-03 佳能株式会社 加热器和包括加热器的图像加热装置
CN104797017A (zh) * 2014-10-28 2015-07-22 池州信安电子科技有限公司 一种高热陶瓷片
CN104470003B (zh) * 2014-11-20 2016-04-13 东莞市国研电热材料有限公司 多温区自控温发热体的制造方法及多温区自控温发热体
CN104470003A (zh) * 2014-11-20 2015-03-25 东莞市国研电热材料有限公司 多温区自控温发热体的制造方法及多温区自控温发热体
CN107107876A (zh) * 2015-01-08 2017-08-29 伊利诺斯工具制品有限公司 用于挡风玻璃清洗器喷嘴的共形加热器
CN104754780A (zh) * 2015-04-10 2015-07-01 张飞林 一种陶瓷电热组件及其制备方法
WO2017133069A1 (zh) * 2016-02-03 2017-08-10 广东天物新材料科技有限公司 一种覆盖层具有高导热能力的厚膜元件
US10455643B2 (en) 2016-02-03 2019-10-22 Guangdong Flexwarm Advanced Materials & Technology Co., Ltd. Thick film element having covering layer with high heat conductivity
EA039226B1 (ru) * 2016-02-03 2021-12-20 Гюангдонг Флексварм Адвансед Материалс Енд Технологи Ко., Лтд. Толстопленочный элемент с защитным слоем, имеющим высокую теплопроводность
CN106060979A (zh) * 2016-07-01 2016-10-26 新乡市杰达精密电子器件有限公司 钌或钌的化合物在制备厚膜加热元件中的应用和含有该物质的厚膜加热元件及其电阻浆料
CN108207041A (zh) * 2016-12-19 2018-06-26 东莞市东思电子技术有限公司 一种新型直发器用陶瓷发热组件及其制作方法
CN108207042A (zh) * 2016-12-19 2018-06-26 东莞市东思电子技术有限公司 一种直发器用陶瓷发热组件及其制作方法
CN107613588A (zh) * 2017-08-14 2018-01-19 深圳市维特欣达科技有限公司 一种快热式发热板的制备方法及快热式发热板
CN107613588B (zh) * 2017-08-14 2023-12-05 深圳市维特欣达科技有限公司 一种快热式发热板的制备方法及快热式发热板
CN109688645A (zh) * 2019-01-24 2019-04-26 广西桂仪科技有限公司 一种陶瓷厚膜直发加热器及其制备工艺
CN114080069A (zh) * 2021-08-19 2022-02-22 东莞和馨嘉电子科技有限公司 一种具有延迟干烧的发热模块及其制作方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN103744276B (zh) 2016-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103744276B (zh) 一种激光打印机用厚膜加热元器件的制作方法
Pereira da Silva et al. Temperature distributions during flash sintering of 8% yttria‐stabilized zirconia
CN203720539U (zh) 一种激光打印机用厚膜加热元器件
KR20160138431A (ko) 히터와 그것을 구비하는 정착 장치, 화상 형성 장치 및 가열 장치, 및 히터의 제조 방법
KR20070088983A (ko) 후막형 세라믹 발열체 및 그 제조방법
CN206330693U (zh) 压力传感器及具有该压力传感器的电子设备
CN102761994A (zh) 纳米陶瓷电热涂层装置及其制造方法
CN211670999U (zh) 一种电动汽车热排放系统的厚膜加热器
CN107180690A (zh) 厚膜高压贴片电阻器及其制造方法
TW416066B (en) Positive temperature coefficient thermistor element and heating device using the same
Liu Effects of temperature-dependent material properties on stress and temperature in cracked metal plate under electric current load
CN202918520U (zh) 一种新型的铝基板厚膜加热元件
CN203745799U (zh) 一种激光打印机用薄膜加热元器件
CN101616511B (zh) 陶瓷发热器件的制备方法
CN209388804U (zh) 一种贴片电阻器
TW200917287A (en) Manufacturing process of chip resistance
Greiner et al. Direct Measurement of the Electrocaloric Temperature Change in Multilayer Ceramic Components using Resistance‐Welded Thermocouple Wires
CN202160293U (zh) 纳米陶瓷电热涂层装置
Kulhari et al. Design, fabrication and characterization of LTCC micro-hotplates for gas-sensing application
CN106406054B (zh) 打印机加热片及其制备方法
Xu et al. Rapid laser fabrication of indium tin oxide and polymer-derived ceramic composite thin films for high-temperature sensors
CN103744275B (zh) 一种激光打印机用薄膜加热元器件及制作方法
CN207124084U (zh) 厚膜高压贴片电阻器
JPS6174285A (ja) シートヒーター
Hornberger et al. Silicon carbide power electronics packaging

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant