CN103743613A - 一种用于光学元件刻蚀的专用花篮 - Google Patents
一种用于光学元件刻蚀的专用花篮 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103743613A CN103743613A CN201410023791.XA CN201410023791A CN103743613A CN 103743613 A CN103743613 A CN 103743613A CN 201410023791 A CN201410023791 A CN 201410023791A CN 103743613 A CN103743613 A CN 103743613A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- handle
- element frame
- etching
- insert
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
一种用于光学元件刻蚀的专用花篮,涉及一种光学元件刻蚀装置。设有抽插式元件架、元件架基座、手柄;元件架基座设有通槽、手柄安装轴、8个T型安装槽;抽插式元件架设有元件槽、橡胶保护垫、T型安装脚;手柄设有电机、搅拌叶、手柄安装槽;手柄安装轴和手柄安装槽均设有螺纹;元件槽的上下两面分别设有若干个呈三角放置的橡胶保护垫;所述元件架基座为方形,8个T型安装槽同时安放数个带T型安装脚的抽插式元件架;元件架基座的通槽使刻蚀液进入元件架基座内部;手柄通过手柄安装槽与手柄安装轴的螺纹连接,实现元件架基座与手柄的连接,搅拌叶通过间隙配合装配在电机上,电机安装在手柄上,电机转动带动搅拌叶旋转。
Description
技术领域
本发明涉及一种光学元件刻蚀装置,尤其是涉及在光学元件刻蚀过程中,可实现多片元件同时刻蚀,并能有效避免由于因溶液浓度不均、反应吸放热、反应产生络合物、实验人员操作等因素造成测量误差的一种用于光学元件刻蚀的专用花篮。
背景技术
在用刻蚀法进行亚表面深度检测时,发现蚀刻液浓度和温度以及反应时间对蚀刻速率影响较大,并且化学反应过程的复杂性(反应的吸放热、溶液浓度的分布)使得整个实验过程无法保证反应条件稳定。此外,由于反应过程中会在玻璃表面形成络合物阻碍HF酸与玻璃的反应,因此通过绝对蚀刻速率变化测量亚表面损伤,不能真实反映实际反应过程,存在较大误差。(参见文献:王卓;名称[D:光学材料加工亚表面损伤检测及控制关键技术研究];2008)
现阶段的刻蚀法多是将光学元件按照一定的空间排布逐一直接放入盛有刻蚀液的烧杯中,到预定的时间使用镊子逐一取出,在刻蚀的过程中使用相应的仪器进行搅拌,整个过程会导致每个光学元件的刻蚀时间不一致,搅拌过程中可能会由于实验人员的操作失误而导致光学元件的划伤损坏。
发明内容
本发明的目的在于提供能有效避免由于因溶液浓度不均、反应吸放热、反应产生络合物、实验人员操作等因素造成测量误差,可同时刻蚀多种不同形状、尺寸的光学元件,节省容器空间,提高刻蚀效率,结构简单,便于操作,可有效提高实验效率及精度的一种用于光学元件刻蚀的专用花篮。
本发明设有抽插式元件架、元件架基座、手柄;所述元件架基座设有通槽、手柄安装轴、8个T型安装槽;所述抽插式元件架设有元件槽、橡胶保护垫、T型安装脚;所述手柄设有电机、搅拌叶、手柄安装槽;所述手柄安装轴和手柄安装槽均设有螺纹;
所述元件槽的上下两面分别设有若干个呈三角放置的橡胶保护垫;所述元件架基座为方形,8个T型安装槽同时安放数个带T型安装脚的抽插式元件架;元件架基座的通槽使刻蚀液进入元件架基座内部;所述手柄通过手柄安装槽与手柄安装轴的螺纹连接,实现元件架基座与手柄的连接,搅拌叶通过间隙配合装配在电机上,电机安装在手柄上,电机转动带动搅拌叶旋转,实现对刻蚀液的搅拌。
所述抽插式元件架上可设有渗透槽,用于使刻蚀液更好与元件接触。
在光学元件刻蚀过程中,可实现多片元件同时刻蚀,并能有效避免由于因溶液浓度不均、反应吸放热、反应产生络合物、实验人员操作等因素造成测量误差的一种用于光学元件刻蚀的专用花篮。本发明可根据光学元件尺寸的需求定制不同形状、不同大小的抽插式元件架。
与现有的技术相比,本发明具有如下突出的优点:
能有效避免由于因溶液浓度不均、反应吸放热、反应产生络合物、实验人员操作等因素造成测量误差的一种刻蚀工具,可同时刻蚀多种不同形状、尺寸的光学元件,节省容器空间,提高刻蚀效率。该装置结构简单,便于操作,可有效提高实验效率及精度。
附图说明
图1为本发明实施例的结构示意图。
图2为本发明实施例的手柄示意图。
图3为本发明实施例的元件架基座示意图。
图4为本发明实施例的抽插式元件架示意图之一。
图5为本发明实施例的抽插式元件架示意图之二。
图6为本发明实施例的抽插式元件架示意图之三。
图7为本发明实施例的抽插式元件架示意图之四。
在图1~7中,各主要部件的标记为:1.光学元件,2.抽插式元件架,3.T型安装脚,4.搅拌叶,5.T型安装槽,6.手柄,7.通槽,8.微型电机,9.元件架基座,10.手柄安装槽,11.手柄安装轴,12.元件槽,13.橡胶保护垫,14.渗透槽。
具体实施方式
如图1~7所示,本发明实施例设有抽插式元件架2、元件架基座9、手柄6。所述元件架基座9设有T型安装槽5、通槽7、手柄安装轴11;所述抽插式元件架2设有元件槽12、橡胶保护垫13、T型安装脚3、渗透槽14;所述手柄设有微型电机8、搅拌叶4、手柄安装槽10,手柄安装槽10和手柄安装轴11均设有螺纹。
抽插式元件架设有数个元件槽12,元件槽12的上下两面分别设有数个呈三角放置的橡胶保护垫13;所述抽插式元件架2可根据光学元件1尺寸的需求定制不同形状、不同大小的抽插式元件架2。其中图4所示的抽插式元件架2可用于厚度安装较小,尺寸较大的方形光学元件,同时也可用于安装厚度较小的小尺寸光学元件;图5所示的抽插式元件架2可用于安装厚度较厚,尺寸较大的光学元件,同时也可用于安装厚度较大,尺寸较小的光学元件;图6所示的抽插式元件架2用于安装圆形光学元件;图7所示的抽插式元件架2用于安装小尺寸光学元件。
元件架基座9为方形,四面设有8个T型安装槽5,可同时安放数个带T型安装脚3的抽插式元件架2;元件架基座9的通槽结构可使刻蚀液进入元件架基座9内部。
手柄6通过手柄安装槽10与手柄安装轴11的螺纹连接,实现元件架基座9与手柄6的连接,搅拌叶4通过间隙配合装配在微型电机8上,微型电机8安装在手柄6上,微型电机8转动带动搅拌叶4旋转,实现对刻蚀液的搅拌。
Claims (2)
1.一种用于光学元件刻蚀的专用花篮,其特征在于设有抽插式元件架、元件架基座、手柄;所述元件架基座设有通槽、手柄安装轴、8个T型安装槽;所述抽插式元件架设有元件槽、橡胶保护垫、T型安装脚;所述手柄设有电机、搅拌叶、手柄安装槽;所述手柄安装轴和手柄安装槽均设有螺纹;
所述元件槽的上下两面分别设有若干个呈三角放置的橡胶保护垫;所述元件架基座为方形,8个T型安装槽同时安放数个带T型安装脚的抽插式元件架;元件架基座的通槽使刻蚀液进入元件架基座内部;所述手柄通过手柄安装槽与手柄安装轴的螺纹连接,实现元件架基座与手柄的连接,搅拌叶通过间隙配合装配在电机上,电机安装在手柄上,电机转动带动搅拌叶旋转,实现对刻蚀液的搅拌。
2.如权利要求1所述一种用于光学元件刻蚀的专用花篮,其特征在于所述抽插式元件架上设有渗透槽,用于使刻蚀液更好与元件接触。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410023791.XA CN103743613B (zh) | 2014-01-20 | 2014-01-20 | 一种光学元件刻蚀装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410023791.XA CN103743613B (zh) | 2014-01-20 | 2014-01-20 | 一种光学元件刻蚀装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103743613A true CN103743613A (zh) | 2014-04-23 |
CN103743613B CN103743613B (zh) | 2015-11-11 |
Family
ID=50500651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201410023791.XA Expired - Fee Related CN103743613B (zh) | 2014-01-20 | 2014-01-20 | 一种光学元件刻蚀装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103743613B (zh) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4415414A (en) * | 1982-09-10 | 1983-11-15 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Etching of optical surfaces |
CN2258656Y (zh) * | 1996-09-20 | 1997-07-30 | 西安交通大学 | 单晶硅片各向异性腐蚀夹具 |
CN203079843U (zh) * | 2013-01-23 | 2013-07-24 | 厦门大学 | 一种刻蚀辅助装置 |
CN103322938A (zh) * | 2013-06-15 | 2013-09-25 | 厦门大学 | 一种光学元件定点蚀刻及观测装置 |
-
2014
- 2014-01-20 CN CN201410023791.XA patent/CN103743613B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4415414A (en) * | 1982-09-10 | 1983-11-15 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Etching of optical surfaces |
CN2258656Y (zh) * | 1996-09-20 | 1997-07-30 | 西安交通大学 | 单晶硅片各向异性腐蚀夹具 |
CN203079843U (zh) * | 2013-01-23 | 2013-07-24 | 厦门大学 | 一种刻蚀辅助装置 |
CN103322938A (zh) * | 2013-06-15 | 2013-09-25 | 厦门大学 | 一种光学元件定点蚀刻及观测装置 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
MICHAEL C. RUSHFORD等: "Wet-etch figuring for precision optical contouring", 《APPLIED OPTICS》 * |
项震等: "化学刻蚀的光学元件面形修复", 《光学精密工程》 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103743613B (zh) | 2015-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN203843373U (zh) | 一种加工小型管支架的双工位三维切割设备 | |
CN101941185B (zh) | 修锐板 | |
CN104282595A (zh) | 一种兼容多尺寸硅外延测试片的制备方法 | |
CN103743613A (zh) | 一种用于光学元件刻蚀的专用花篮 | |
CN203079843U (zh) | 一种刻蚀辅助装置 | |
TW201433846A (zh) | 鏡頭模組拆卸裝置 | |
CN103480582A (zh) | 一种高度筛选检具 | |
JP5850759B2 (ja) | 研削装置 | |
JP6066672B2 (ja) | ウエーハの加工方法 | |
CN218885575U (zh) | 一种药片包衣去除机 | |
CN209231474U (zh) | 一种塑料电子元件测试装置 | |
CN103322938B (zh) | 一种光学元件定点蚀刻及观测装置 | |
CN104176311A (zh) | 背胶定位机构 | |
CN203929615U (zh) | 一种兼容温度控制设备的固体样品支架 | |
CN206952801U (zh) | 一种可拆卸的组合式抛光盘 | |
CN203228223U (zh) | 一种可拆卸刀架 | |
CN221173308U (zh) | 手持式双层复合石英坩埚透明层厚度检测仪 | |
JP5681052B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及びその基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記憶媒体 | |
CN210173586U (zh) | 脱模制品的机械手抓取装置 | |
CN114054419B (zh) | 硅电极的清洗装置、清洗方法 | |
CN201964867U (zh) | 圆柱形工件检测装置 | |
CN208141040U (zh) | 一种工业内窥镜的支架稳定平台 | |
CN219935787U (zh) | 一种光伏硅片切割液浓度检测系统 | |
CN212780456U (zh) | 检测装置 | |
CN214724464U (zh) | 一种砖茶切片装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20151111 Termination date: 20220120 |