CN103668087A - 一种复合靶真空表面镀膜工艺 - Google Patents
一种复合靶真空表面镀膜工艺 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103668087A CN103668087A CN201210352694.6A CN201210352694A CN103668087A CN 103668087 A CN103668087 A CN 103668087A CN 201210352694 A CN201210352694 A CN 201210352694A CN 103668087 A CN103668087 A CN 103668087A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- target
- vacuum
- coating process
- titanium
- content
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明涉及表面处理技术领域,尤其是指一种复合靶真空表面镀膜工艺。该镀膜工艺选取钛铬合金作为靶材,在真空环境下完成,其中,真空环境的真空度要求为0.2~0.9Pa,温度为0~300℃,靶电流为0~100A,脉冲偏压为0~200V,反应气体为氩气;所述钛铬合金靶材,其组分按重量比为:40~85%的钛、10~55%的铬,余量为微量元素,所述微量元素为钼、镍、铁、碳、锰、硅、氮、铜、铝、钒中的一种或多种。本发明工艺简单,科学合理,投资成本低,且操作运行简便,大大提高了真空离子镀膜的运行率和可操作性,迎合新型材料生产,可使产品表面获得色泽鲜艳的金色,镀膜色泽均匀、表面硬度高、耐磨性好、抗氧化性好。
Description
技术领域
本发明涉及材料表面处理技术领域,尤其是指一种复合靶真空表面镀膜工艺。
背景技术
传统的电镀工艺主要是以水镀为主,而水镀会产生废液、废气和废物,如果处理不好,排放出去会造成环境污染,不环保,且治理难度大、投资也大,因而该工艺逐步受到限制。
随后出现有物理气相沉积(PVD)技术,主要是在真空环境下进行表面处理,物理气相沉积本身分为三种:真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜,尤其是真空离子镀膜,近十年来发展最快,已经成为当今最先进的表面处理方式之一。真空离子镀膜的原理是在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。工件表面处理主要是装饰镀膜和工具镀膜,装饰镀膜可改善工件表面的光亮度和色泽,而工具镀膜可提高工件表面的硬度和耐磨性。
在此背景下,本申请人迎合市场发展的需求及新材料的应用,秉持着研究创新、精益求精之精神,利用其专业眼光和专业知识,研究出一种适宜产业利用的一种复合靶真空表面镀膜工艺。
发明内容
本发明的目的在于提侠一种工艺简单,操作简便,可使产品获得极佳光亮度、色泽、硬度和耐磨性的一种复合靶真空表面镀膜工艺。
为达到上述目的,本发明采用如下技术方案:
一种复合靶真空表面镀膜工艺,该镀膜工艺选取钛铬合金作为靶材,在真空环境下完成,其中,真空环境的真空度要求为0.2~0.9Pa,温度为0~300℃,靶电流为0~100A,脉冲偏压为0~200V,反应气体为氩气。
所述钛铬合金靶材,其组分按重量比为:40~85%的钛、10~55%的铬,余量为微量元素。
所述脉冲偏压的占空比为20%~90%。
所述靶材可设计为平面靶、弧源靶或圆柱靶;其中:靶材为平面靶时,靶电流为20~50A,电源为中频电源或直流电源;为弧源靶时,靶电流为0~100A,电源为逆变电源或直流电源;为圆柱靶时,靶电流为0~50A,电源为中频电源或直流电源。
本发明提供的一种复合靶真空表面镀膜工艺,工艺简单,操作简便,适用于对工件表面改善处理,由此达到如下有益效果:
1、钛铬合金薄膜可轻易地覆在工件表面,获得极佳光亮度和色泽,亮度可达78~87尼特(nit).与黄金亮度、色泽相当接近。
2、利用钛铬合金薄膜覆在工件表面,可使工件表面的硬度和耐磨性大幅提升,不但具有超强的耐磨及耐腐蚀性能,还大大提高了产品的功能性,也迎合了市场的需要;可适用于手表、手机、手饰及装饰产品领域,采用该工艺后可使产品表面获得色泽鲜艳的黄金色,镀膜色泽均匀、表面硬度高、耐磨性好、抗氧化性好。
3、本发明工艺简单,科学合理,投资成本低,且操作运行简便,大大提高了真空离子镀膜的运行率和可操作性,迎合新型材料生产,产品生产过程质量控制稳定可靠,符合产业优化升级的设计理念。
4、本发明是在真空环境下进行,可消除普通电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化的缺陷,达到环保、节能。
具体实施方式
本发明提供的一种复合靶真空表面镀膜工艺,该镀膜工艺选取钛铬合金作为靶材,在真空环境下完成,其中,真空环境的真空度要求为0.2~0.9Pa,温度为0~300℃,靶电流为0~100A,脉冲偏压为0~200V,脉冲偏压的占空比为20%~90%,反应气体为氩气;所述钛铬合金靶材,其组分按重量比为:40~85%的钛、10~55%的铬,余量为微量元素,所述微量元素为钼、镍、铁、碳、锰、硅、氮、锏、铝、钒中的一种或多种。钛铬合金的性能参数:硬度:HRC36~38,密度:8.25(g/cm3),耐腐蚀性:仅次于黄金,亮度:经光谱分析仪测试L值为85,仅次于黄金。
若真空度过低时,其蒸发中的合金遇到残留的气体或者碰着钨丝被加热时产生的气体,发生冲突而冷却,形成的晶粒,也就不能均匀分散,会大大降低镀膜的密着性。若真空度过高,则钨丝的温度亦高时,蒸发物质的运动能量也因此会提高,被镀膜件表面所附着的合金密度非常高,镀膜性能因此而得到提升,但对生产设备要求会更高,生产难度也加大,因而选择适宜的真空度,以符合钛铬合金作为靶材的生产,不仅可保证镀膜质量,还可有效控制成本及优化生产。
采用动态偏压和真空度控制方法,用真空电弧沉积技术制备镀层,动态参数控制下沉积的膜层形态表现为层状分布特征,膜层具有较高的致密性和高的显微硬度,以及良好的耐磨性能。脉冲偏压对真空电弧沉积薄膜组织与性能的影响是:随脉冲偏压幅值和脉宽比的增大,膜层具有较高的显微硬度和耐磨性,但在过高的脉冲偏压和脉宽比的沉积条件下,膜层的性能有下降的趋势,本工艺由此选择在脉冲偏压为0~200V,脉冲偏压的占空比为20%~90%的条件下进行。
实施例
实施例1:
选取钛铬合金靶材,其组分按重量比为:钛的含量为60%、铬的含量为30%、钼的含量为6%、镍的含量为2%、铁的含量为1.7%、碳的含量为0.3%。钛铬合金靶材放入真空炉中,靶材可设计为弧源靶,靶 电流为90A,电源为逆变电源或直流电源,真空炉内的真空度要求为0.8Pa,温度为270℃,脉冲偏压为180V,脉冲偏压的占空比为80%,反应气体为氩气,氩气为保护性气体,防止合金发生氧化反应而影响镀层质量。利用气体放电使靶材蒸发并使蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上,形成镀层。试验表明:利用上述的钛铬合金靶材进行电镀,可使工件表面产品也获得接近黄金的亮度和色泽,同时工件表面获得较高的硬度和耐磨性,不但具有超强的耐磨及耐腐蚀性能,还大大提高了产品的功能性,也迎合了市场的需要。在实际生产时,还可通过控制电镀时间来控制镀膜的厚度。
实施例2:
选取钛铬合金靶材,其组分按重量比为:钛的含量为65%、铬的含量为30%、钼的含量为4%、镍的含量为0.6%、铁的含量为0.3%、碳的含量为0.1%。钛铬合金靶材放入真空炉中,靶材可设计为圆柱靶,靶电流为40A,电源为中频电源或直流电源,真空炉内的真空度要求为0.6Pa,温度为260℃,脉冲偏压为150V,脉冲偏压的占空比为65%,反应气体为氩气,氩气为保护性气体,防止合金发生氧化反应而影响镀层质量。利用气体放电使靶材蒸发并使蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上,形成镀层。试验表明:利用上述的钛铬合金靶材进行电镀,可使工件表面产品还是能获得接近黄金的亮度和色泽,同时工件表面的硬度和耐磨性适宜,不但具有超强的耐磨及耐腐蚀性能,还大大提高了产品的功能性,也迎合了市场的需要。在实际生产时,还可通过控制电镀时间来控制镀膜的厚度。
本发明是在选定的真空环境下进行,可消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化的缺陷,达到环保、节能。工艺简单,科学合理,投资成本低,且操作运行简便,大大提高了真空离子镀膜的运行率和可操作性,适合新型材料生产,产品生产过程质量控制稳定可靠,符合产业优化升级的设计理念。
以下为对采用本发明工艺生产的产品所做的试验:
一、试验目的:旨在模拟人体汗液对工件表面的影响。
测试设备:1)、恒温箱;2)、密闭玻璃容器。
测试步骤:
1、配制人工汗液:20克氯化钠、17.5克氯化铵、5克尿素、2.5克醋酸、15克乳酸,以氢氧化钠调节PH到4.7,加水稀释至1升。
2、往玻璃容器内盛入已配好的人工汗液(深度约6-10mm)。
3、将试样悬挂在挂钩上,距液面和器壁至少30mm(注:不能悬挂在挂钩上的可以放在浸透人工汗的棉织物上,但此种放置方法试样结果重现性不好)。
4、用喷雾器将人工汗液的细雾喷洒在试样的表面,并立即将试样置于玻璃容器内
5、将玻璃容器连待测工件一同放于恒温箱中,将温度控制在40±2℃。
6、到达测试时间后取出工件,用水清洗工件表面,以软布擦干,检查工件表面是否有被浸蚀,降解或电镀层脱落的痕迹。
结果评估:与未经测试的试样比较,在试样有效表面上覆盖层的色泽不发生变化,部分出现可用绒布抹掉的浅灰斑,但并没有出现盐析及锈蚀。
引用标准:ISO3160-2:2003 section8.4、试验目的:旨在测试工件表面镀层的抗腐蚀能力。
测试设备:1)、盐雾机;2)、空气压缩机。
测试步骤:
1、配制5%氯化钠(AR)溶液,以氢氧化钠(AR)调节PH到6.5~7.2,将配制好的溶液倒入机器后的贮水槽中。
2、打开电源开关设置测试条件:
测试条件:
压缩空气压力:1.00±0.01kgf/cm2
喷雾量:1.0-2.0ml/80cm2/h
压力桶温度:47±1℃
试验室温度:35±1℃
试验室相对湿度:85%以上
3、温度恒定后,将待测工件放入盐雾测试箱中。
4、设定时间,并将喷雾开关打开。
5、到达设定时间后,将测试样品拿出洗净,观察外观情况。
结果评估:试样表面没有肉眼可见的明显的腐蚀点和腐蚀沉积物,或整个区域腐蚀,合格。
引用标准:ISO9227:2006
三、试验目的:旨在使电镀表面具有符合要求的附著性能
测试设备:1)、研磨机;2)、研磨石。
测试步骤:
1、将磨料放入研磨机内,
研磨石特征:尺寸:直径为3mm.,长度为9mm,两端切成45±10℃角;硬度:6-7Mohs;最长使用时间:500h
水和表面活性剂:
比例约1L容积的研磨石,200mL的水6mL浓缩的表面活性剂
2、检查工件的外观,保证无松、烂等不良外观,并将其放入研磨机内。
3、盖好盖子,起动研磨机;
4、时间到达后观察工件的磨损情况。
结果:试样表面覆盖层没有剥落或严重磨损,耐磨测试合格。
引用标准:ISO3160-3 1993 5.2。
Claims (5)
1.一种复合靶真空表面镀膜工艺,其特征在于:该镀膜工艺选取钛铬合金作为靶材,在真空环境下完成,其中,真空环境的真空度要求为0.2~0.9Pa,温度为0~300℃,靶电流为0~100A,脉冲偏压为0~200V,反应气体为氩气。
2.根据权利要求1所述的一种复合靶真空表面镀膜工艺,其特征在于:所述钛铬合金靶材,其组分按重量比为:40~85%的钛、10~55%的铬,余量为微量元素,所述微量元素为钼、镍、铁、碳、锰、硅、氮、钛、铜、铝、钒中的一种或多种。
3.根据权利要求2所述的一种金属电镀靶材,其特征在于:所述钛铬合金靶材,其组分按重量比为:钛的含量为63%、铬的含量为27%、钼的含量为5.5%、镍的含量为2.5%、铁的含量为1.75%、碳的含量为0.25%。
4.根据权利要求1所述的一种复合靶真空表面镀膜工艺,其特征在于:所述脉冲偏压的占空比为20%~90%。
5.根据权利要求1所述的一种复合靶真空表面镀膜工艺,其特征在于:靶材可设计为平面靶、弧源靶或圆柱靶;其中:靶材为平面靶时,靶电流为0~50A,电源为中频电源或直流电源;为弧源靶时,靶电流为0~100A,电源为逆变电源或直流电源;为圆柱靶时,靶电流为0~50A.电源为中频电源或直流电源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210352694.6A CN103668087A (zh) | 2012-09-21 | 2012-09-21 | 一种复合靶真空表面镀膜工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210352694.6A CN103668087A (zh) | 2012-09-21 | 2012-09-21 | 一种复合靶真空表面镀膜工艺 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103668087A true CN103668087A (zh) | 2014-03-26 |
Family
ID=50306846
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201210352694.6A Pending CN103668087A (zh) | 2012-09-21 | 2012-09-21 | 一种复合靶真空表面镀膜工艺 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103668087A (zh) |
-
2012
- 2012-09-21 CN CN201210352694.6A patent/CN103668087A/zh active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101210335B (zh) | 一种轻金属材料的表面处理方法 | |
CN102728529B (zh) | 一种金属合金的仿六价铬颜色的高耐蚀干式表面处理方法 | |
CN105908143B (zh) | 易锈蚀金属件表面类金刚石薄膜及其制备方法 | |
CN101654769B (zh) | 一种真空离子镀膜方法 | |
CN101830092A (zh) | 一种耐腐蚀的彩色装饰膜的制备方法 | |
García-Rodríguez et al. | Corrosion behavior of 316L stainless steel coatings on ZE41 magnesium alloy in chloride environments | |
CN108611667A (zh) | 一种铜合金基材上环保复合镀层及其制备方法 | |
Lajevardi et al. | Characterization of the microstructure and texture of functionally graded nickel-Al2O3 nano composite coating produced by pulse deposition | |
CN105803371A (zh) | 一种热镀锌熔池复合合金及实施过程 | |
CN109136844A (zh) | 一种玫瑰金镀层及其制备工艺 | |
CN102676991B (zh) | Pvd技术制备超硬纳米复合多层涂层的工艺 | |
CN104831232B (zh) | 一种耐磨耐腐蚀不锈钢色装饰防护用涂层及其制备方法 | |
CN102021520B (zh) | 一种真空离子镀膜工艺 | |
CN107779833A (zh) | 一种复合镀膜工艺 | |
CN106119784A (zh) | 一种Ti‑Al‑Mo‑N多组元硬质梯度膜及其制备方法和应用 | |
CN102127758A (zh) | 一种工件表面镀银工艺 | |
CN103668087A (zh) | 一种复合靶真空表面镀膜工艺 | |
CN104451560A (zh) | 一种氮化钛铝锆铌氮梯度仿金装饰膜层的制备方法 | |
JP2014172399A (ja) | 暗色のコーティングされた粒子 | |
CN103014628B (zh) | 一种金属基材全干法拉丝表面处理的方法 | |
CN107043994B (zh) | 复合涂层选针器及其制备方法 | |
CN103741110A (zh) | 真空镀膜仿古铜生产工艺 | |
CN208532934U (zh) | 一种塑料表面的镀层结构 | |
CN113617610A (zh) | 一种对黄铜或锌合金基材镀膜制备金属光泽水龙头的方法 | |
CN218932261U (zh) | 一种具有耐磨耐蚀类金刚石涂层的高尔夫球头 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
DD01 | Delivery of document by public notice |
Addressee: WUXI HUIMING ELECTRONIC TECHNOLOGY CO., LTD. Document name: Notification of before Expiration of Request of Examination as to Substance |
|
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20140326 |