CN103644098B - 可实现输送方向切换的合成射流型无阀压电泵及工作方法 - Google Patents
可实现输送方向切换的合成射流型无阀压电泵及工作方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103644098B CN103644098B CN201310552832.XA CN201310552832A CN103644098B CN 103644098 B CN103644098 B CN 103644098B CN 201310552832 A CN201310552832 A CN 201310552832A CN 103644098 B CN103644098 B CN 103644098B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- flow
- tube
- pump
- confluxes
- taper pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
本发明公开一种可实现输送方向切换的合成射流型无阀压电泵及工作方法,包括泵体、泵体正上方的泵盖和固定在泵盖上的三个压电振子,泵体上设有三个泵腔下半部分、三个直流管、汇流锥管、两个分流管、合成射流腔的下半部分、进口管的下半部分及出口管的下半部分;两个分流管的一端均与汇流锥管的大端连通、另一端分别与合成射流腔连通且此另一端的轴线分别与进口管、出口管的轴线重合,三个直管的一端分别对应地连接三个泵腔,三个直管的另一端相互交汇并与汇流锥管小端连通,第一直管内的液体流动方向为主射流方向,第二、第三直管内的液体流动使主射流方向发生改变,应用附壁效应改变射流方向,可实现输送方向切换和持续出流。
Description
技术领域
本发明涉及微流体传输与控制以及微机械技术领域,具体是一种合成射流型无阀压电泵。
背景技术
压电泵是机械式微泵的一种,属于容积泵,广泛应用在药物微量输运、细胞分离、电子产品(如CPU)降温、燃料微量喷射、化学微分析、管道流动中转捩控制等领域。依据有无阀片结构,可将压电泵分为有阀压电泵和无阀压电泵两类。无阀压电泵没有单向阀结构,加工简单,易于微型化,且流体介质不会因为阀结构而被隔断,避免一些敏感介质受到影响。大多数无阀压电泵的结构是将两个特殊结构流管与泵腔连接,利用特殊结构流管不同方向流动的流阻差异产生泵送效果,常见的特殊结构流管有锥形管、tesla管、三通管等。以上类型流管微泵不能实现持续出流,而且由于特殊结构流管不同方向流动的流阻差异不大,导致该类型无阀压电泵的容积效率较低。为解决这些问题,合成射流技术被应用于无阀压电泵。合成射流是指通过控制漩涡的融合产生的射流,常见形式是通过激振器振动造成流体在喷口处的不断排出和吸入,其排出过程中射流产生的漩涡在吸入过程中没有立即消失,该漩涡卷吸周围流体并向远处喷射,所以远处呈现出流体的持续射流状态。压电激振器非常适用于产生这种合成射流。
中国专利申请号为200980137489.4的专利文献公开的射流喷射器泵,将一个合成射流器接入流动管道,其喷口方向为流动方向,利用合成射流原理驱动流体流动,由于喷口方向不能改变,该泵只能单向输送,不能切换输送方向。
发明内容
本发明针对已有无阀压电泵容积效率低、只能单向泵送的问题,提出一种应用附壁效应实现输送方向切换的结构简单、流量高、可持续出流的合成射流型无阀压电泵,同时提出该合成射流型无阀压电泵的工作方法。
本发明所述可实现输送方向切换的合成射流型无阀压电泵采用的技术方案是:包括泵体、泵体正上方的泵盖和固定在泵盖上的三个压电振子,泵盖上设有三个泵腔上半部分、合成射流腔的上半部分、进口管的上半部分、出口管的上半部分,泵体上设有三个泵腔下半部分、三个直流管、汇流锥管、两个分流管、合成射流腔的下半部分、进口管的下半部分及出口管的下半部分;两个分流管的一端均与汇流锥管的大端连通、另一端分别与合成射流腔连通且该另一端的轴线分别与进口管、出口管的轴线重合,三个直管的一端分别对应地连接三个泵腔,三个直管的另一端相互交汇并与汇流锥管小端连通,第一直管的中心线与进口管、出口管均平行,第一直管内的液体流动方向为主射流方向,第二、第三直管内的液体流动使主射流方向发生改变。
本发明所述可实现输送方向切换的合成射流型无阀压电泵的工作方法的技术方案是采用以下两种方法:
第一种:分别加载同相位的交变电压使三个压电振子同步振动,第一压电振子和第二压电振子的振动幅度相同且大于第三压电振子的振动幅度;
压电泵工作在排出过程:三个压电振子向下位移,流体分别由三个直流管流入汇流锥管,经第二直流管的流量大于经第三直流管的流量,使汇流锥管中射流两侧区域压强不同,因附壁效应,主射流向压力较小的一侧偏移并最终附壁;
压电泵工作在吸入过程:三个压电振子向上位移,经由第二直流管流入的流量大于经由第三直流管流入的流量,出口管排出流体,进口管吸入流体;
第二种;分别加载同相位的交变电压使第一压电振子和第三压电振子的振动幅度相同且大于第二压电振子的振动幅度;
压电泵工作在排出过程:三个压电振子向下位移,流体分别由三个直流管流入汇流锥管,流经第三直流管的流量大于流经第二直流管的流量,使汇流锥管中射流两侧区域压强不同,因附壁效应,主射流向压力较小的一侧偏移并最终附壁;
压电泵工作在吸入过程:三个压电振子向上位移,流体经由第三直流管的流量大于经由第一直流管的流量,进口管排出流体,出口管吸入流体。
本发明结构简单,易于集成化,流量高,应用附壁效应改变射流方向,可实现输送方向切换和持续出流。
附图说明
图1为本发明的结构主剖视图;
图2为图1的俯视图;
图3为图1中A-A剖面图;
图4为图3中I局部放大图;
图5为图2中B-B剖面图;
图6为图2中C-C剖面图;
图7为本发明工作状态Ⅰ时排出过程工作原理图;
图8为本发明工作状态Ⅰ时吸入过程工作原理图;
图9为本发明工作状态Ⅱ时排出过程工作原理图;
图10为本发明工作状态Ⅱ时吸入过程工作原理图;
图11为实施例1中在一个周期内进口管或出口管的瞬时流量图曲线;
图中:1、7、8.压电振子;2、20、21.泵腔上半部分;6、9、12.泵腔下半部分;3.泵盖;4.合成射流腔;5.泵体;10.进口管;11.出口管;13、14、17.直流管;15.汇流锥管;16、19.分流管;18.凹劈。
具体实施方式
如图1和图2所示,本发明包括泵体5、泵盖3和三个压电振子1、7、8。泵体5在泵盖3的正下方,泵体5和泵盖3通过键合或黏结剂结合,三个压电振子1、7、8通过黏结剂固定在泵盖3上。
泵盖3上加工有三个泵腔上半部分2、20、21、合成射流腔4的上半部分、进口管10的上半部分、出口管11的上半部分。如图3和图4所示,泵体5上加工有三个泵腔下半部分6、9、12、三个直流管13、14、17、汇流锥管15、两个分流管16、19、合成射流腔4的下半部分、进口管10的下半部分、出口管11的下半部分。三个压电振子1、7、8分别对应于三个泵腔,在三个泵腔的正上方。
汇流锥管15截面积较大的大端有一段向合成射流腔4方向凹陷的圆弧形凹劈18,两个分流管16、19的一端均与汇流锥管15的大端连通,另一端分别与合成射流腔4连通,且此端的轴线与分别与进口管10、出口管11的轴线重合,两个分流管16、19关于汇流锥管15中心线呈中心对称。三个直管13、14、17的一端分别连接三个泵腔下半部分6、9、12,三个直管13、14、17的另一端相互交汇并与汇流锥管15截面积较小的小端连通。直管13的中心线与进口管10、出口管11平行,直管13内的液体流动方向为主射流方向,其他两个直管14、17内的流动可使主射流方向发生改变。两个直管14、17关于汇流锥管15中心线呈中心对称,整个泵结构关于汇流锥管15中心线呈中心对称。
如图5和图6所示,泵盖3上加工有泵腔上半部分20、21,合成射流腔4的上半部分和进口管10的上半部分、出口管11的上半部分。
影响微泵性能的主要结构参数的取值范围为:如图3、图4所示,直管14、17的宽度a 2为直管13宽度a 1的0.5到1倍;汇流锥管15的小端的宽度b 1为直管13宽度a 1的1到2倍;汇流锥管15的长度L 1为汇流锥管15小端的宽度b 1的5到10倍;汇流锥管15大端的圆弧形凹劈18的圆弧半径r为汇流锥管15小端宽度b 1的1到2倍;汇流锥管15的锥角θ为30°到60°;分流管16、19的出口宽度b 2为汇流锥管15小端宽度b 1的0.5到1倍;分流管16、19与合成射流腔4连接处的喷管长度L 3为分流管16、19的出口宽度b 2的2~6倍;合成射流腔4的长度c 1为分流管16、19出口宽度b 2的5到20倍;合成射流腔4的宽度c 2为合成射流腔4的长度c 1的3到6倍;分流管16、19的距离L 2为合成射流腔宽度c 2的0.3到0.6倍;进口管10和出口管11的宽度b 3为分流管16、19的出口宽度b 2的2到5倍。如图1所示,泵腔下半部分6、9、12、直管13、14、17、汇流锥管15、分流管16、19的高度均为h 1,且等于直管13宽度b 1;泵腔上半部分2、20、21的高度h 2为泵腔下半部分6、9、12高度h 1的0.5到2倍。如图6所示,合成射流腔4的高度h 3为分流管16、19的出口宽度b 2的5到20倍;进口管10和出口管11的高度h 4等于进口管10和出口管11的宽度b 3。按上述取值得到的直管13截面为方形,其他管道截面为矩形,具体尺寸按取值范围确定。
本发明工作时,压电振子1、7、8向下位移为排出过程,泵腔上半部分2、20、21体积减少,流体由直流管13、14、17流入汇流锥管15;压电振子1、7、8向上位移为吸入过程,泵腔上半部分2、20、21体积增加,流体由汇流锥管15流入直流管13、14、17。
本发明有以下两种工作方法:
第一种,分别加载同相位的交变电压使三个压电振子1、7、8同步振动,使压电振子1和压电振子7的振动幅度相同,压电振子8的振动幅度较小,此时微泵处于工作状态Ⅰ。
微泵处于工作状态Ⅰ的排出过程中时,压电振子1、7、8向下位移,压电泵内部流动情况如图7所示,流体分别由直流管13、14、17流入汇流锥管15,由于压电振子7的振动幅度大于压电振子8的振动幅度,故从泵腔9、20流经直流管14的流量大于从泵腔12、21流经直流管17的流量,造成汇流锥管15中射流两侧区域压强不同,由于附壁效应,主射流向压力较小的一侧偏移并最终附壁,通过这种方式可以控制射流方向,使大部分流体由分流管19流入合成射流腔4,流量为,小部分由分流管16流入合成射流腔4,流量为。由分流管19排出的流体在合成射流腔4中形成射流并产生强烈漩涡,由于漩涡的卷吸,流体由进口管10被吸入。漩涡卷吸的流量为,所以从进口管10流入的流量为,合成射流腔4中形成的射流经出口管11排出,流量为。
微泵处于工作状态Ⅰ的吸入过程中时,压电振子1、7、8向上位移,由于压电振子7的振动幅度大于压电振子8的振动幅度,故经由直流管14流入泵腔9、20的流量大于经由直流管17流入泵腔12、21的流量。压电泵内部流动情况如图8所示,从分流管16、19流入汇流锥管15的流量基本相同,为,而合成射流腔4中在排出过程形成的漩涡并没有立即消失,而是向下游移动并继续卷吸流体,卷吸的流量为,这种合成射流效应造成出口管11仍然排出流体,流量为,进口管10表现为吸入流体,流量为。
一个排出过程和一个吸入过程构成一个周期,所以在一个周期内流体持续从进口管10流向出口管11,流量为。其中变量和为合成射流效应产生的卷吸流量,与泵腔容积变化量没有直接关系。该泵的泵送流量与泵腔容积变化量的比值可以超过1。
第二种,分别加载同相位的交变电压使压电振子1和压电振子8的振动幅度相同,压电振子7的振动幅度较小,此时微泵处于工作状态Ⅱ。
微泵处于工作状态Ⅱ的排出过程中时,压电振子1、7、8向下位移,压电泵内部流动情况如图9所示,流体分别由直流管13、14、17流入汇流锥管15,由于压电振子8的振动幅度大于压电振子7的振动幅度,故从泵腔12、21流经直流管17的流量大于从泵腔9、20流经直流管14的流量,造成汇流锥管15中射流两侧区域压强不同,由于附壁效应,主射流向压力较小的一侧偏移并最终附壁,使大部分流体由分流管16流入合成射流腔4,流量为,小部分由分流管19流入合成射流腔4,流量为。由分流管16排出的流体在合成射流腔4中形成射流并产生强烈漩涡,由于漩涡的卷吸,流体由出口管11被吸入。漩涡卷吸的流量为,所以从出口管11流入的流量为,合成射流腔4中形成的射流经进口管10排出,流量为。
微泵处于工作状态Ⅱ的吸入过程中时,压电振子1、7、8向上位移,由于压电振子8的振动幅度大于压电振子7的振动幅度,故经由直流管17流入泵腔12、21的流量大于经由直流管14流入泵腔9、20的流量。吸入过程中压电泵内部流动情况如图10所示,从分流管16、19流入汇流锥管15的流量基本相同,为,而合成射流腔4中在排出过程形成的漩涡并没有立即消失,而是向下游移动并继续卷吸流体,卷吸的流量为,该合成射流效应造成进口管10仍然排出流体,流量为,出口管11表现为吸入流体,流量为。一个排出过程和一个吸入过程构成一个周期,所以一个周期内流体持续从出口管11流向进口管10,流量也为。
由上述可知,通过调节压电振子7和压电振子8的振动幅度,该微泵可以在工作状态Ⅰ和工作状态Ⅱ之间切换,从而改变微泵输送流体的方向。
以下提供本发明的一个实施例:
实施例1
本实施例为流体数值模拟,实施例为工作状态Ⅰ。具体尺寸为:直管13的宽度a 1为1mm,直管14、17的宽度a 2为1mm,汇流锥管15的宽度b 1为1mm,锥角θ为30°,中心线长度L 1为6mm,圆弧半径r为1.5mm。分流管16、19宽度b 2为1mm,宽度L 2为8mm,长度L 3为4mm,高度h 1为1mm,合成射流腔4长度c 1、宽度c 2和高度c 3分别为10mm、36mm和20mm,进(出)口管10、11宽度b 3和高度h 4都为5mm。用正弦变化的速度边界条件代替因压电振子1、7、8振动产生的泵腔上半部分2、20、21的容积变化,频率为2Hz,直流管13、14、17的最大平均速度分别为0.8m/s、0.8m/s、0.08m/s,流体介质为水。图11所示的是实施例一个周期内进(出)口管10、11的瞬时流量和三个泵腔上半部分2、20、21的总容积变化量,计算可得该实施例的泵送流量与泵腔容积变化量的比值为3.69。
工作状态Ⅱ的数值模拟只需改变直流管13、14、17的最大平均速度分别为0.8m/s、0.08m/s、0.8m/s,由于微泵为对称结构,流量与工作状态Ⅰ的模拟结果相同,输送方向相反。
Claims (5)
1.一种可实现输送方向切换的合成射流型无阀压电泵,包括泵体(5)、泵体(5)正上方的泵盖(3)和固定在泵盖(3)上的三个压电振子(1、7、8),其特征是:泵盖(3)上设有三个泵腔上半部分(2、20、21)、合成射流腔(4)的上半部分、进口管(10)的上半部分及出口管(11)的上半部分;泵体(5)上设有三个泵腔下半部分(6、9、12)、三个直流管(13、14、17)、汇流锥管(15)、两个分流管(16、19)、合成射流腔(4)的下半部分、进口管(10)的下半部分及出口管(11)的下半部分;
两个分流管(16、19)的一端均与汇流锥管(15)的大端连通、另一端分别与合成射流腔(4)连通且该另一端的轴线分别与进口管(10)、出口管(11)的轴线重合,三个直管(13、14、17)的一端分别对应地连接三个泵腔(6、9、12),三个直管(13、14、17)的另一端相互交汇并与汇流锥管(15)小端连通,第一直管(13)的中心线与进口管(10)、出口管(11)均平行,第一直管(13)内的液体流动方向为主射流方向,第二、第三直管(14、17)内的液体流动使主射流方向发生改变。
2.根据权利要求1所述的可实现输送方向切换的合成射流型无阀压电泵,其特征是:第二、第三直管(14、17)关于汇流锥管(15)中心线呈中心对称,两个分流管(16、19)关于汇流锥管(15)中心线呈中心对称。
3.根据权利要求1所述的可实现输送方向切换的合成射流型无阀压电泵,其特征是:汇流锥管(15)截面积较大的大端有一段向合成射流腔(4)方向凹陷的圆弧形凹劈(18)。
4.根据权利要求3所述的可实现输送方向切换的合成射流型无阀压电泵,其特征是:第二、第三直管(14、17)的宽度a 2为第一直管(13)宽度a 1的0.5到1倍,汇流锥管(15)小端的宽度b 1为第一直管(13)宽度a 1的1到2倍,汇流锥管(15)的长度L 1为汇流锥管(15)小端的宽度b 1的5到10倍,圆弧形凹劈(18)的圆弧半径r为汇流锥管(15)小端的宽度b 1的1到2倍,汇流锥管(15)的锥角θ为30°到60°,两个分流管(16、19)的出口宽度b 2为汇流锥管(15)小端的宽度b 1的0.5到1倍,两个分流管(16、19)与合成射流腔(4)连接处的喷管长度L 3为两个分流管(16、19)的出口宽度b 2的2~6倍,合成射流腔(4)的长度c 1为两个分流管(16、19)的出口宽度b 2的5到20倍,合成射流腔(4)的宽度c 2为合成射流腔(4)的长度c 1的3到6倍,两个分流管(16、19)之间的距离L 2为合成射流腔(4)的宽度c 2的0.3到0.6倍,进口管(10)和出口管(11)的宽度b 3为两个分流管(16、19)的出口宽度b 2的2到5倍。
5.一种如权利要求1所述可实现输送方向切换的合成射流型无阀压电泵的工作方法,其特征是有以下两种方法:
第一种方法:分别加载同相位的交变电压使三个压电振子(1、7、8)同步振动,第一压电振子(1)和第二压电振子(7)的振动幅度相同且大于第三压电振子(8)的振动幅度;
压电泵工作在排出过程:三个压电振子(1、7、8)向下位移,流体分别由三个直流管(13、14、17)流入汇流锥管(15),经第二直流管(14)的流量大于经第三直流管(17)的流量,使汇流锥管(15)中射流两侧区域压强不同,因附壁效应,主射流向压力较小的一侧偏移并最终附壁;
压电泵工作在吸入过程:三个压电振子(1、7、8)向上位移,经由第二直流管(14)流入的流量大于经由第三直流管(17)流入的流量,出口管(11)排出流体,进口管(10)吸入流体;
第二种方法:分别加载同相位的交变电压使第一压电振子(1)和第三压电振子(8)的振动幅度相同且大于第二压电振子(7)的振动幅度;
压电泵工作在排出过程:三个压电振子(1、7、8)向下位移,流体分别由三个直流管(13、14、17)流入汇流锥管(15),流经第三直流管(17)的流量大于流经第二直流管(14)的流量,使汇流锥管(15)中射流两侧区域压强不同,因附壁效应,主射流向压力较小的一侧偏移并最终附壁;
压电泵工作在吸入过程:三个压电振子(1、7、8)向上位移,流体经由第三直流管(17)的流量大于经由第一直流管(14)的流量,进口管(10)排出流体,出口管(11)吸入流体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310552832.XA CN103644098B (zh) | 2013-11-11 | 2013-11-11 | 可实现输送方向切换的合成射流型无阀压电泵及工作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310552832.XA CN103644098B (zh) | 2013-11-11 | 2013-11-11 | 可实现输送方向切换的合成射流型无阀压电泵及工作方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103644098A CN103644098A (zh) | 2014-03-19 |
CN103644098B true CN103644098B (zh) | 2016-01-20 |
Family
ID=50249366
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310552832.XA Expired - Fee Related CN103644098B (zh) | 2013-11-11 | 2013-11-11 | 可实现输送方向切换的合成射流型无阀压电泵及工作方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103644098B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105545712B (zh) * | 2016-02-29 | 2017-07-18 | 江苏大学 | 收缩管合成射流无阀压电泵 |
CN106979145B (zh) * | 2017-03-14 | 2018-10-09 | 江苏大学 | 一种平面型合成射流无阀压电微泵 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01219369A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-09-01 | Hitachi Ltd | 微量ポンプ装置 |
JPH02149778A (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-08 | Seiko Epson Corp | 圧電マイクロポンプ |
KR20030060047A (ko) * | 2002-07-29 | 2003-07-12 | 한국기계연구원 | 압전펌프 |
CN1609449A (zh) * | 2003-10-24 | 2005-04-27 | 精工爱普生株式会社 | 泵的驱动方法 |
JP2006046272A (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-16 | Alps Electric Co Ltd | 圧電ポンプ及びその製造方法、並びに逆止弁構造 |
CN102165199A (zh) * | 2008-09-26 | 2011-08-24 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 射流喷射器泵 |
CN103016317A (zh) * | 2012-12-13 | 2013-04-03 | 江苏大学 | 一种基于附壁效应的三腔无阀压电泵 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20040036173A (ko) * | 2002-10-23 | 2004-04-30 | 김종원 | 피에조 엑츄에이터로 구동되는 마이크로 압축기 |
-
2013
- 2013-11-11 CN CN201310552832.XA patent/CN103644098B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01219369A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-09-01 | Hitachi Ltd | 微量ポンプ装置 |
JPH02149778A (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-08 | Seiko Epson Corp | 圧電マイクロポンプ |
KR20030060047A (ko) * | 2002-07-29 | 2003-07-12 | 한국기계연구원 | 압전펌프 |
CN1609449A (zh) * | 2003-10-24 | 2005-04-27 | 精工爱普生株式会社 | 泵的驱动方法 |
JP2006046272A (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-16 | Alps Electric Co Ltd | 圧電ポンプ及びその製造方法、並びに逆止弁構造 |
CN102165199A (zh) * | 2008-09-26 | 2011-08-24 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 射流喷射器泵 |
CN103016317A (zh) * | 2012-12-13 | 2013-04-03 | 江苏大学 | 一种基于附壁效应的三腔无阀压电泵 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103644098A (zh) | 2014-03-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101975154B (zh) | 对数螺旋组合管无阀压电泵 | |
CN103016318B (zh) | 一种基于附壁效应的无阀压电泵 | |
CN102145265B (zh) | 一种压电微流体混合器 | |
CN103170265B (zh) | 一种压电微混合器 | |
CN102135087B (zh) | 扩散/收缩组合管无阀压电泵 | |
CN102691647B (zh) | 一种轴对称椭圆管无阀压电泵 | |
CN103644098B (zh) | 可实现输送方向切换的合成射流型无阀压电泵及工作方法 | |
CN202082073U (zh) | 一种压电微流体混合器 | |
CN103016317B (zh) | 一种基于附壁效应的三腔无阀压电泵 | |
CN102900658B (zh) | 一种多锥型腔无阀压电泵 | |
CN103644102A (zh) | 一种三通结构的双腔无阀压电泵 | |
CN203248339U (zh) | 一种基于附壁效应的三腔无阀压电泵 | |
CN203525623U (zh) | 一种压电微混合器 | |
CN103644099B (zh) | 一种基于附壁效应的双腔无阀压电泵 | |
CN105545712B (zh) | 收缩管合成射流无阀压电泵 | |
CN103644101B (zh) | 一种双腔并联锥形管无阀压电泵 | |
CN203067241U (zh) | 一种基于附壁效应的无阀压电泵 | |
CN201972900U (zh) | 扩散/收缩组合管无阀压电泵 | |
CN103644105B (zh) | 一种阿基米德螺线管无阀压电泵 | |
CN202117898U (zh) | 一种阿基米德螺线流管无阀压电泵 | |
CN206996894U (zh) | 一种用于淀粉调浆喷射液化的喷射器 | |
CN106438339B (zh) | 一种无阀型往复式微泵 | |
CN107362708B (zh) | 一种旋风微泵混合器 | |
CN102261324B (zh) | 一种锥形螺旋流管无阀压电泵 | |
CN103644100B (zh) | 一种正环锁线管无阀压电泵 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160120 Termination date: 20191111 |